RU2474005C1 - Способ создания мелкоблочных пленок с совершенной структурой блоков - Google Patents
Способ создания мелкоблочных пленок с совершенной структурой блоков Download PDFInfo
- Publication number
- RU2474005C1 RU2474005C1 RU2011121598/28A RU2011121598A RU2474005C1 RU 2474005 C1 RU2474005 C1 RU 2474005C1 RU 2011121598/28 A RU2011121598/28 A RU 2011121598/28A RU 2011121598 A RU2011121598 A RU 2011121598A RU 2474005 C1 RU2474005 C1 RU 2474005C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- bismuth
- nanoclusters
- films
- block
- blocks
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Использование: в физике конденсированного состояния, материаловедении, термоэлектричестве для получения тонкопленочных образцов с мелкоблочной структурой и совершенной внутренней структурой блоков. Сущность изобретения заключается в том, что для получения мелкоблочных пленок различных веществ, например висмута, с совершенной структурой блоков используется система нанокластеров данного материала. Способ получения состоит из двух этапов. Первый этап заключается в получении системы нанокластеров. Данные объекты получаются напылением исходного материала, например висмута, в вакууме при температуре подложки несколько ниже температуры его плавления в массивном состоянии, но выше температуры плавления зародышей напыляемого материала критического размера. Далее на полученную систему нанокластеров при температуре подложки, соответствующей росту по механизму «пар-кристалл», производится напыление висмута для формирования сплошного слоя. Техническим результатом изобретения является получение мелкоблочных тонкопленочных образцов с совершенной внутренней структурой блоков.
Description
Использование: в физике конденсированного состояния, термоэлектричестве для получения тонкопленочных образцов с мелкоблочной структурой и совершенной внутренней структурой блоков.
Сущность изобретения заключается в том, что для получения мелкоблочных пленок (пленок с размерами блоков не больше толщины пленки) различных веществ, например висмута, с совершенной структурой блоков используется система нанокластеров. Способ получения состоит из двух этапов. Первый этап заключается в получении системы нанокластеров висмута толщиной не больше половины толщины получаемой пленки. Данные объекты получаются напылением висмута в вакууме при температуре подложки несколько ниже температуры плавления массивного висмута, но выше температуры плавления частиц висмута размером, соответствующим критическому размеру зародыша. Далее на полученную систему нанокластеров при температуре подложки, соответствующей росту по механизму «пар-кристалл», производится напыление висмута для формирования сплошного слоя. Все операции производятся в едином технологическом процессе в глубоком вакууме без контакта системы нанокластеров висмута с атмосферой с целью исключения окисления ее поверхности. Предложенный способ можно использовать для получения мелкоблочных пленок других материалов с совершенной структурой блоков.
Технический результат - с помощью предложенного способа возможно получение мелкоблочных тонкопленочных образцов с совершенной внутренней структурой блоков в отличие от существующих аналогов.
Изобретение относится к материаловедению, а именно к технологии получения тонких пленок.
Известны способы получения мелкоблочных пленок различных веществ, в том числе и висмута, методами вакуумного напыления из пара, электроосаждения, импульсного лазерного напыления, магнетронного напыления и т.д., основанные на выборе необходимых технологических параметров и материала подложки, позволяющих получать пленки с мелкоблочной структурой [1-5]. Недостатком данных способов для термоэлектрических применений является тот факт, что при таком получении пленки внутренняя структура блоков также содержит множество дефектов.
Наиболее близким из известных способов является способ, описанный в работе [6].
В работе [6] предлагается для выращивания тонкопленочных солнечных батарей использовать предварительно сформированный наноструктурированный подслой. Недостатком описанного способа для термоэлектрических применений является то, что предлагаемые способы получения подслоя не позволяют сформировать бездефектную структуру, формирование подслоя указанными способами и напыление пленки на этот подслой в одном технологическом процессе без контакта с атмосферой представляет сложную технологическую задачу.
Цель изобретения: получение мелкоблочных пленок висмута с совершенной внутренней структурой блоков.
Поставленная цель достигается с помощью предварительно сформированного слоя нанокластеров висмута толщиной не больше половины толщины получаемой пленки.
1. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. М.: Атомиздат, 1979. 264 с.
2. Палатник Л.С. Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. 320 с.
3. Sadale S.B., Patil P.S. Nucleation and growth of bismuth thin films onto fluorine-doped tin oxide-coated conducting glass substrates from nitrate solutions // Solid State Ionics. 2004. V.167 (3-4). P.273-283.
4. Keng Shuo Wu and Ming Yau Cherna. Temperature-dependent growth of pulsed-laser-deposited bismuth thin films on glass substrates // Thin Solid Films. 2008. V.516. P.3808-3812.
5. Wojciechowski K., Godlewska E., Mars K., Mania R., Karpinski G., Ziolkowski P., Stiewe C, Muller E. Characterization of thermoelectric properties of layers obtained by pulsed magnetron sputtering // Vacuum. 2008. V.82 (10). P.1003-1006.
6. Deposition of a thin film on a nanostructured surface. Patent: GB 2462108. МПК: H01L 21/20; H01L 31/0352.
Claims (1)
- Способ получения мелкоблочных пленок (пленок с размерами блоков не больше толщины пленки) различных веществ, например висмута, с совершенной структурой блоков, методом вакуумного напыления, отличающийся тем, что способ получения состоит из двух этапов: первый этап - для формирования указанной структуры используется подслой нанокластеров, толщиной меньше половины толщины получаемой пленки, предварительно сформированный путем напыления необходимого материала на подложку при температуре подложки несколько меньше, чем температура плавления массивного материала, но выше температуры плавления частиц данного материала размером, соответствующим критическому размеру зародыша; второй этап - после формирования подслоя нанокластеров для формирования сплошного слоя используется вакуумное напыление при температуре подложки, соответствующей росту по механизму «пар-кристалл»; все операции выполняются в едином технологическом процессе в глубоком вакууме без контакта подслоя из нанокластеров с атмосферой.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011121598/28A RU2474005C1 (ru) | 2011-05-27 | 2011-05-27 | Способ создания мелкоблочных пленок с совершенной структурой блоков |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011121598/28A RU2474005C1 (ru) | 2011-05-27 | 2011-05-27 | Способ создания мелкоблочных пленок с совершенной структурой блоков |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2011121598A RU2011121598A (ru) | 2012-12-10 |
RU2474005C1 true RU2474005C1 (ru) | 2013-01-27 |
Family
ID=48807151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011121598/28A RU2474005C1 (ru) | 2011-05-27 | 2011-05-27 | Способ создания мелкоблочных пленок с совершенной структурой блоков |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2474005C1 (ru) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52140896A (en) * | 1976-05-20 | 1977-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Resistive element and its manufacturing method |
RU2156518C1 (ru) * | 1999-05-26 | 2000-09-20 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "ОРИОН" | Способ получения тонких пленок многокомпонентных твердых растворов |
KR20050039023A (ko) * | 2003-10-23 | 2005-04-29 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 미세 실리콘 결정화 방법과 이를 포함하는 박막트랜지스터 제조방법 |
GB2462108A (en) * | 2008-07-24 | 2010-01-27 | Sharp Kk | Deposition of a thin film on a nanostructured surface |
RU2406689C2 (ru) * | 2005-04-25 | 2010-12-20 | Смольтек Аб | Наноструктура, предшественник наноструктуры и способ формирования наноструктуры и предшественника наноструктуры |
-
2011
- 2011-05-27 RU RU2011121598/28A patent/RU2474005C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52140896A (en) * | 1976-05-20 | 1977-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Resistive element and its manufacturing method |
RU2156518C1 (ru) * | 1999-05-26 | 2000-09-20 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "ОРИОН" | Способ получения тонких пленок многокомпонентных твердых растворов |
KR20050039023A (ko) * | 2003-10-23 | 2005-04-29 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 미세 실리콘 결정화 방법과 이를 포함하는 박막트랜지스터 제조방법 |
RU2406689C2 (ru) * | 2005-04-25 | 2010-12-20 | Смольтек Аб | Наноструктура, предшественник наноструктуры и способ формирования наноструктуры и предшественника наноструктуры |
GB2462108A (en) * | 2008-07-24 | 2010-01-27 | Sharp Kk | Deposition of a thin film on a nanostructured surface |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Гольцман Б.М. и др. Влияние малоугловых границ на диэлектрические свойства эпитаксиальных пленок BaSrTiO. Физика твердого тела, 2001, т. 43, вып.5, с.874-879. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2011121598A (ru) | 2012-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Gould et al. | Thin films | |
Youssef et al. | Structural and optical characterization of ZnO thin films deposited by reactive rf magnetron sputtering | |
Myers et al. | Smoothing surface roughness using Al2O3 atomic layer deposition | |
Madhavi et al. | Structural, optical, and luminescence properties of reactive magnetron sputtered tungsten oxide thin films | |
Iriarte et al. | Effect of substrate–target distance and sputtering pressure in the synthesis of AlN thin films | |
Sarkar et al. | Silica-based antireflection coating by glancing angle deposition | |
Hsiao et al. | Curved-Lattice Epitaxial Growth of In x Al1–x N Nanospirals with Tailored Chirality | |
Daichakomphu et al. | Understanding the effect of sputtering pressures on the thermoelectric properties of GeTe films | |
CN108732791A (zh) | 一种极化率可控的可变波长二维旋光器件及其制备方法 | |
Özhan et al. | Development of hard, anti-reflective coating for mid wave infrared region | |
RU2474005C1 (ru) | Способ создания мелкоблочных пленок с совершенной структурой блоков | |
Shvets et al. | Ellipsometry as a high-precision technique for subnanometer-resolved monitoring of thin-film structures | |
Golovchanskiy et al. | Quantitative model for tunable microstructure in magnetic FePt thin films by pulsed laser deposition | |
Cheng et al. | Preparation and structural investigation of ultra-uniform Mo films on a Si/SiO2 wafer by the direct-current magnetron sputtering method | |
Ristau et al. | Thin Film Optical Coatings | |
Misyura et al. | Wetting properties of graphene and multilayer graphene deposited on copper: The influence of copper topography | |
Vemuri et al. | Spectroscopic and morphological studies of SiO2 graded index thin films fabricated at oblique incidence angles | |
Gao et al. | Basic mechanisms of Al interaction with the ZnO surface | |
Nomoto et al. | Characteristics of the orientation distribution and carrier transport of polycrystalline Al-doped ZnO films prepared by direct current magnetron sputtering | |
Lee et al. | A Study of Structural and Photoluminescence for Al‐Doped CdO Thin Films | |
Bocchese et al. | Low-E glass improvement by the understanding and control of the Ag growth | |
Stefaniuk et al. | Optical parameters of 10 nm to 100 nm thick silver films | |
Karyaoui et al. | The porous nature of ZnO thin films deposited by sol–gel Spin-Coating technique | |
Kaiser | Some fundamentals of optical thin film growth | |
Chaikeeree et al. | Investigation of omnidirectional transmittance related to ITO nanorods orientation for optical applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130528 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20140627 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170528 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20180511 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190528 |