JP2014238896A - 光情報記録媒体用反射膜、光情報記録媒体用反射膜形成用スパッタリングターゲット、および光情報記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】純Ｃｕや従来のＣｕ合金（Ｃｕを含むＡｇ合金）と比べて、高反射率と高耐食性の両方を発揮するＣｕ合金からなる光情報記録媒体用反射膜と、該光情報記録媒体用反射膜を備えて情報の記録再生特性が格段に高められた光情報記録媒体と、該光情報記録媒体用反射膜の形成に好適に使用されるスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】本発明の光情報記録媒体用反射膜は、Ａｇを３５原子％以上６５原子％以下含有するＣｕ合金からなり、かつ膜厚が３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であるところに特徴を有する。
【選択図】なし

Description

本発明は、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）やＢｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ（登録商標である。以下同じ。）等の光情報記録媒体の分野における、高反射率・高耐食性を有する光情報記録媒体用反射膜と、この光情報記録媒体用反射膜の形成に用いられるスパッタリングターゲット、およびこの光情報記録媒体用反射膜を備えた光情報記録媒体に関するものである。

光情報記録媒体（光ディスク）には、記録容量の違いからＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃといった種類がある。また情報の記録再生方式の違いから、再生専用型、追記型、書換型といった種類がある。いずれの光情報記録媒体も、情報を記録再生するために光情報記録媒体に照射したレーザー光を反射するための反射膜を有する。

前記レーザー光として、前記ＣＤでは波長７８０ｎｍ、前記ＤＶＤでは波長６５０ｎｍ、前記Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃでは波長４０５ｎｍのレーザー光が使用される。よって、上記各光情報記録媒体に備わった反射膜には、上記各波長のレーザー光に対する高い反射率が要求される。この要件を満たす反射膜に使用可能な材料としてＡｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕが挙げられる。これらの材料のうち、ＡｕやＡｇは耐食性に優れているため、光情報記録媒体の情報の記録再生特性が劣化しにくいという長所がある。しかしいずれも貴金属であり、原料が高価であるという短所がある。一方、Ａｌは原料が安価という長所があるが、例えばＤＶＤで使用される波長６５０ｎｍのレーザー光に対しては高い反射率を示さないという短所がある。またＣｕは、原料が安価であり、かつ例えばＤＶＤで使用される波長６５０ｎｍのレーザー光に対しても反射率が高いという長所がある。しかしＣｕは、耐食性が不十分であり、光情報記録媒体の情報の記録再生特性が劣化しやすいといった短所がある。

これまでに、光情報記録媒体の反射膜にＣｕ合金が検討された従来技術として、次の技術が挙げられる。まず特許文献１には「ＡｇにＣｕを０．５〜３０原子％含有せしめたＡｇ合金」からなる金属反射層が示されている（特許請求の範囲）。上記Ａｇ合金は、ＣｕにＡｇを７０〜９９．５原子％含有せしめたＣｕ合金と等しい。また特許文献２の特許請求の範囲には、Ｃｕを９９．７〜８５．０重量％含み、Ｃｕ主成分であって、更にＡｇと耐食性向上目的の添加元素の、少なくとも３元素の金属材料で構成される合金（Ｃｕ基合金）が示されている。該Ｃｕ基合金に含まれる上記Ａｇと耐食性向上目的の添加元素の合計含有量は、０．３〜１５．０重量％である。

特許文献３および４は、書換型の光情報記録媒体を対象とするものであって、特許請求の範囲には、該光情報記録媒体を構成する反射放熱層の材料としてＣｕ合金が示されている。しかし、特許文献３におけるＣｕ合金の具体的な例示は、実施例２のＣｕ−１重量％Ｐｄのみである。また特許文献４におけるＣｕ合金の具体的な例示は、実施例３のＣｕ−１重量％ＰｄとＣｕ−１重量％Ｒｕ−１重量％Ｗのみである。

特許文献５には、光記録媒体の金属反射層として、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｓｎ、Ｃｕ等が挙げられ、反射率や生産性の点からＡｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕが好ましいことが記載されている。しかし特許文献５には、具体的なＣｕ合金について全く示されていない。

特許文献６の特許請求の範囲には、光記録媒体の反射膜としてＡｇ、Ｃｕ、Ａｕの何れかを主成分とした材料が示されており、具体的に、Ａｇ：Ｃｕ＝５８：４２の合金からなる反射膜が示されている。尚、規定の反射率比を満たすには、該反射膜の膜厚を０．６ｎｍ程度以上且つ２２ｎｍ程度以下とすることが示されている。

特許文献７の特許請求の範囲には、光記録媒体の反射層を構成する材料としてＣｕ及びＡｇから選ばれる金属、又はこれらの金属の少なくとも１種を含む合金が示されているが、具体的なＣｕ合金の例示はない。また特許文献８の特許請求の範囲にも、光記録媒体の反射層を構成する材料としてＣｕ、Ａｇ及びＡｕから選ばれる金属、又はこれらの金属の少なくとも１種を含む合金が示されているが、具体的なＣｕ合金の例示はない。

特許文献９は、銀を主成分とする反射放熱層を有する相変化光記録媒体（特には書換型の光情報記録媒体）を対象とするものであって、特許文献９の特許請求の範囲には、前記反射放熱層を構成する材料として、Ｃｕの含有率が０．１≦Ｃｕ／Ａｇ（モル比）≦１０のＡｇ−Ｃｕ合金が好ましい旨示されている。これはＣｕを９．１〜９０．９原子％含むＡｇを意味している。しかし特許文献９には、Ｃｕ添加量について「銅の添加量は耐蝕性の面から多すぎると逆に耐蝕性が劣化する。０．１ａｔ％〜１０ａｔ％程度の範囲がよく、特に０．５ａｔ％〜３ａｔ％程度の範囲が最適量である。」との記載もあり、実施例にはＡｇ−１ａｔ％ＣｕやＡｇ−２ａｔ％Ｃｕ（膜厚１５０ｎｍ）といったＣｕを少量含むＡｇ主成分の合金層が示されている。

この様に光情報記録媒体用反射膜として、上記の通り種々のＣｕ合金膜やＣｕを含むＡｇ合金層が提案されている。しかし、Ｃｕが本来有する高い反射率を維持しつつ、Ｃｕの短所である耐食性をより高めたＣｕ合金からなる反射膜は実現されていない。

特開２０００−２２８０３２号公報 特開２００２−７４７５３号公報 特開２００２−２３０８３５号公報 特開２００２−２６９８２５号公報 特開２００２−３０７８２６号公報 特開２０１２−８９１９７号公報 特開平１１−１８５３１０号公報 特開平１１−１８５２９２号公報 特開２００２−２６０２８３号公報

本発明は以上のような状況を鑑みてなされたものであって、その目的は、Ｃｕが本来有する高い反射率を維持しつつ、Ｃｕの短所である耐食性をより高め、純Ｃｕや従来のＣｕ合金では実現し得なかった、高反射率と高耐食性を兼備するＣｕ合金からなる光情報記録媒体用反射膜と、該反射膜が備えられ情報の記録再生特性が格段に高められた光情報記録媒体、更には、上記光情報記録媒体用反射膜の形成に好適に使用されるスパッタリングターゲットを提供することにある。

前記課題を解決し得た本発明の光情報記録媒体用反射膜は、Ａｇを３５原子％以上６５原子％以下含有するＣｕ合金からなり、かつ膜厚が３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であるところに特徴を有する。

前記光情報記録媒体用反射膜は、好ましくはＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、より好ましくは追記型のＤＶＤ−Ｒ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ−Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）に用いられる。

本発明には、前記光情報記録媒体用反射膜の形成に用いられるＣｕ合金スパッタリングターゲットであって、Ａｇを３５原子％以上６５原子％以下含有するＣｕ合金からなるところに特徴を有するＣｕ合金スパッタリングターゲットも含まれる。

また本発明には、前記光情報記録媒体用反射膜を備えた光情報記録媒体（特にはＤＶＤ、更に特にはＤＶＤ−Ｒ）も含まれる。

本発明によれば、純Ｃｕや従来のＣｕ合金では実現し得なかった、高反射率と高耐食性の両方を発揮するＣｕ合金からなる光情報記録媒体用反射膜を実現できる。この反射膜は、高い反射率を長期間にわたり安定して示すため、該反射膜を備えた光情報記録媒体は、高い情報の記録再生特性を安定して発揮する。

本発明者らは前記の課題の下で、高反射率かつ高耐食性を示す光情報記録媒体用反射膜を提供すべく、次のような観点から鋭意研究を重ねてきた。即ち、上述したＡｕとＡｇの短所「原料が高価である」ことと、Ａｌの短所「ＤＶＤで使用される波長６５０ｎｍのレーザー光に対して反射率が高くない」ことは、材料自体の本質的な短所であり、改善することが困難である。これに対し、Ｃｕの短所「耐食性が不十分であるため、光情報記録媒体の情報の記録再生特性が劣化する」ことは、合金化によって改善できる可能性があることに着目し、Ｃｕをベースに該Ｃｕに加える合金元素の種類とその含有率について種々の検討を行った。

その結果、合金元素としてＡｇが最適であり、かつ、このＡｇを３５原子％以上６５原子％以下含むようにすれば、純Ｃｕに匹敵する高反射率と純Ｃｕを著しく上回る高耐食性とを併せて実現できることを見出し、本発明を完成した。

Ａｇ含有率が３５原子％未満であると、高耐食性が得られない。Ａｇ含有率は、好ましくは４０原子％以上、より好ましくは４５原子％以上である。一方、Ａｇ含有量が６５原子％を超える場合は高反射率が得られない。Ａｇ含有率は、好ましくは６０原子％以下、より好ましくは５５原子％以下である。

本発明の反射膜を構成するＣｕ合金の成分組成は、上述の通りであり、残部はＣｕおよび不可避的不純物である。該不可避的不純物として、反射膜の製造等で不可避的に混入する例えば水素（Ｈ）、炭素（Ｃ）、窒素（Ｎ）、酸素（Ｏ）等が含まれうる。

本発明の反射膜の膜厚は、好ましくは３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。膜厚が３０ｎｍ未満の場合、入射するレーザー光の一部が透過して全てが反射されず、本来の高反射率が得られにくくなる。よって前記膜厚は３０ｎｍ以上であることが好ましく、より好ましくは５０ｎｍ以上、更に好ましくは７０ｎｍ以上である。一方、膜厚が３００ｎｍを超える場合は、高反射率と高耐食性が得られるものの、反射膜を製造する時間が長くなり、光情報記録媒体の生産性が低下しやすくなる。よって、前記膜厚は３００ｎｍ以下であることが好ましく、より好ましくは２００ｎｍ以下、更に好ましくは１５０ｎｍ以下である。

本発明の反射膜は、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの薄膜形成方法によって形成することが可能である。これらの薄膜形成方法の中でもスパッタリング法が推奨される。スパッタリング法で形成された反射膜は、真空蒸着法やイオンプレーティング法で形成されたものに比べて薄膜の合金組成や膜厚の均一性に優れ、反射膜としての特性（反射率、耐食性）を良好に高めることができる。

前記スパッタリング法で本発明の反射膜を形成するには、Ａｇを３５原子％以上６５原子％以下含有するＣｕ合金からなるものであって、所望の合金組成の反射膜と同一の合金組成のＣｕ合金スパッタリングターゲットを用いれば、組成ズレすることなく、高反射率と高耐食性を兼ね備えた反射膜を形成できるのでよい。

前記Ｃｕ合金スパッタリングターゲットの合金組成（Ａｇ含有率を３５原子％以上６５原子％以下とする。）の規定理由は、前述の反射膜の合金組成の規定理由と同じであり、形成する反射膜の合金組成に応じて、Ａｇ含有率の下限値を、４０原子％以上、更に４５原子％以上としたり、Ａｇ含有率の上限値を、６０原子％以下、更に５５原子％以下とすることができる。

本発明のスパッタリングターゲットを構成するＣｕ合金の成分組成は、上述の通りであり、残部はＣｕおよび不可避的不純物である。前記不可避的不純物として、スパッタリングターゲットの製造等で混入する例えば炭素（Ｃ）、窒素（Ｎ）、酸素（Ｏ）およびケイ素（Ｓｉ）等が含まれうる。

前記Ｃｕ合金スパッタリングターゲットは、粉末焼結法、スプレイフォーミング法、または溶解鋳造法によって製造することが可能である。これらの製造方法の中でも溶解鋳造法が推奨され、特には、真空溶解鋳造法が推奨される。溶解鋳造法、特に真空溶解鋳造法で製造されたＣｕ合金スパッタリングターゲットは、他の粉末焼結法やスプレイフォーミング法で製造されたものと比べて窒素や酸素などの不純物が少ない。この様に不純物の少ないＣｕ合金スパッタリングターゲットを用いれば、特性（反射率、耐食性）の良好な反射膜が得られるため好ましい。

本発明には、上記反射膜を備えた光情報記録媒体も含まれる。上記光情報記録媒体としては、ＣＤ、ＤＶＤ、またはＢｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃが挙げられる。本発明の光情報記録媒体は、前記合金組成を満たすＣｕ合金からなる反射膜を備えているところに特徴があり、当該反射膜が適用される光情報記録媒体の構成については特に問わない。また、光情報記録媒体における反射膜以外の構成部分（記録膜、誘電体保護膜、接着剤、基板などの種類）についても特に限定されず、通常、用いられるものを採用することができる。

本発明の反射膜は、以下に示す通り、ＤＶＤの反射膜として用いるとその効果を十分に発揮する。

前記光情報記録媒体における情報の記録再生に用いられるレーザー光の波長は、上述した通り、それぞれ７８０ｎｍ、６５０ｎｍ、４０５ｎｍであるが、本発明の反射膜は、特に波長６５０ｎｍのレーザー光に対する反射率が高い。よって本発明の反射膜を、波長６５０ｎｍのレーザー光を使用するＤＶＤの反射膜として用いれば、本発明の効果（高反射率かつ高耐食性）が存分に発揮される。

またＤＶＤには、情報の記録再生方式の違いから、再生専用型のＤＶＤ−ＲＯＭとＤＶＤ−Ｖｉｄｅｏ、追記型のＤＶＤ−Ｒ、書換型のＤＶＤ−ＲＷとＤＶＤ−ＲＡＭに分かれる。以下に説明する通り、これらの中でも高反射率と共により高い耐食性が反射膜に求められるＤＶＤ−Ｒに、本発明のＣｕ合金反射膜を用いれば、本発明の効果（高反射率かつ高耐食性）が更に存分に発揮される。

ＤＶＤ−Ｒでは、反射膜の反射面側に紫色の有機色素記録膜が位置するため、波長６５０ｎｍのレーザー光は入射時と反射時の二回、この有機色素記録膜を通過する。この記録膜を通過する際に光が吸収されて強度が低下しやすいため、反射膜にはより高い反射率が求められる。本発明のＣｕ合金反射膜は、上述の通り、特に波長６５０ｎｍのレーザー光に対する反射率が高いため、上記ＤＶＤ−Ｒの反射膜に用いれば、該ＤＶＤ−Ｒの情報の記録再生が良好に行われる。また、前記ＤＶＤ−Ｒの有機色素記録膜には反射膜を腐食させ得る成分が含まれている。よって、この有機色素記録膜に直接接する反射膜がより高い耐食性を示すほど情報の記録再生が良好に行われる。本発明の光情報記録媒体用反射膜は耐食性が高いため、このＤＶＤ−Ｒの反射膜に用いれば、該ＤＶＤ−Ｒの情報の記録再生特性を格段に高めることができる。

以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。

［実施例１］
〔反射膜の作製〕
純Ｃｕスパッタリングターゲット、各種Ｃｕ合金スパッタリングターゲット（厚さ５．０ｍｍ×直径１０１．６ｍｍ）を用い、スパッタリング装置（株式会社島津製作所製ＨＳＭ−５５２）を用いて、ＤＣマグネトロンスパッタリング法により、ポリカーボネート基板（厚さ０．６ｍｍ×直径５０．８ｍｍ）上に、それぞれ膜厚１００ｎｍの、純Ｃｕ反射膜、および表１に示す各種Ｃｕ合金反射膜を作製した。作製されたＣｕ合金反射膜の合金組成は、誘導結合プラズマ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ：ＩＣＰ）発光分析法で求めた。

上記スパッタリング法では、下記スパッタリング条件を採用した。
（スパッタリング条件）
・到達真空度：１×１０^-5Ｔｏｒｒ以下
・Ａｒガス圧：２ｍＴｏｒｒ
・Ａｒガス流量：１０ｓｃｃｍ
・スパッタリングパワー：２００Ｗ
・極間距離：５２ｍｍ
・基板温度：室温
・スパッタリング時間：１５秒

〔反射率の評価〕（初期状態の反射率の測定）
上記純Ｃｕ反射膜、および各種Ｃｕ合金反射膜の作製後（初期状態）の反射率［％］を、日本分光株式会社製紫外可視近赤外分光光度計Ｖ−５７０型を用いて測定した。この時レーザー光の波長を４００〜８００ｎｍとした。そして、波長６５０ｎｍのレーザー光の反射率が９３％以上の場合を高反射率である（合格）と判定し、９３％未満の場合を高反射率でない（不合格）と判定した。

〔耐食性の評価〕（加速環境保持による反射率低下量の測定）
耐食性を評価するため、まず、初期状態の反射率を測定した後の純Ｃｕ反射膜および各種Ｃｕ合金反射膜を、温度８０℃、相対湿度８５％ＲＨの加速環境下で９６時間保持した。次いで、前記加速環境保持後の純Ｃｕ反射膜および各種Ｃｕ合金反射膜の反射率を、前記初期状態の反射率と同様に測定した。そして、下記式（１）を用いて、加速環境保持による反射率低下量［％］を算出した。本実施例では、該反射率低下量（波長６５０ｎｍのレーザー光の反射率低下量）が２．０％以下である場合を、高耐食性である（合格）と判定し、前記反射率低下量が２．０％を超える場合を高耐食性でない（不合格）と判定した。
（加速環境保持による反射率低下量［％］）＝（初期状態の反射率［％］）−（加速環境保持後の反射率［％］）・・・（１）

〔総合判定〕
前記反射率（初期状態の反射率）と前記耐食性（加速環境保持による反射率低下量）のいずれもが合格の場合を、総合的に合格と判定し、前記反射率と前記耐食性の少なくともいずれかが不合格の場合を、総合的に不合格と判定した。

これらの結果を表１に示す。

表１より次のことがわかる。即ち、Ｎｏ．１（純Ｃｕ）とＮｏ．３（Ｃｕ−５０原子％Ａｌ合金）は、初期状態の反射率は高いが、加速環境保持後の反射率低下量が大きい、つまり耐食性が十分ではなく、総合判定は不合格である。

Ｎｏ．４（Ｃｕ−５０原子％Ｐｄ合金）とＮｏ．５（Ｃｕ−５０原子％Ｒｕ合金）は、初期状態の反射率が低いため、加速環境保持後の反射率低下量は小さい、つまり高耐食性を示すが、総合判定は不合格である。

Ｎｏ．６（Ｃｕ−５０原子％Ｗ合金）は、初期状態の反射率が低く、かつ加速環境保持後の反射率低下量が大きい、つまり耐食性が十分でなく、総合判定は不合格である。

これらＮｏ．１および３〜６は、高反射率と高耐食性の少なくともいずれかを示さないため、光情報記録媒体の情報の記録再生を良好に行うことが難しい。

これらに対し、Ｎｏ．２（Ｃｕ−５０原子％Ａｇ合金）は、初期状態の反射率が高く、かつ加速環境保持後の反射率低下量が小さい、つまり高耐食性を示し、総合判定は合格である。この様にＮｏ．２の反射膜は高反射率と高耐食性を兼備するため、光情報記録媒体の情報の記録再生を良好に行うことが可能である。

以上、表１の結果から、Ｃｕの合金元素としてＡｇが最適であることがわかる。

［実施例２］
次に、Ａｇ含有率を変化させたＣｕ−Ａｇ合金膜（いずれも膜厚は実施例１と同様に１００ｎｍ）を、実施例１と同様にして作製した。そして、初期状態の反射率の測定、および耐食性の評価（加速環境保持による反射率低下量の測定）を実施例１と同様にして測定した。その結果を表２に示す。尚、表２のＮｏ．１および２は、表１のＮｏ．１および２と同じ純Ｃｕ膜、Ｃｕ−５０原子％Ａｇ合金のデータである。

表２より次のことがわかる。即ち、Ｎｏ．１（純Ｃｕ）とＮｏ．７（Ｃｕ−３０原子％Ａｇ合金）の通り、Ａｇを含まないかＡｇを含むが不足している場合は、初期状態の反射率は高いが、加速環境保持後の反射率低下量が大きい、つまり耐食性が十分ではなく、総合判定は不合格である。この反射膜は高耐食性を有しないため、光情報記録媒体の情報の記録再生を良好に行うことが難しい。

また、Ｎｏ．１４（Ｃｕ−７０原子％Ａｇ合金）は、Ａｇが過剰に含まれている例である。この場合、初期状態の反射率が低いため、光情報記録媒体の情報の記録再生を良好に行うことが難しい。

これらＮｏ．１、７および１４は、高反射率と高耐食性の少なくともいずれかを示さないため、光情報記録媒体の情報の記録再生を良好に行うことは難しい。

これに対し、Ｎｏ．２および８〜１３は、いずれも本発明で規定する量のＡｇを含むＣｕ合金反射膜であり、初期状態の反射率が高く、かつ加速環境保持後の反射率低下量も小さく、つまり耐食性も十分であり、総合判定は合格である。この反射膜は高反射率と高耐食性を有するため、光情報記録媒体の情報の記録再生特性を格段に高めることが可能である。

以上、表２の結果から、Ｃｕの合金元素としてＡｇを３５原子％以上６５原子％以下の範囲内で含有させたＣｕ合金膜は、高反射率と高耐食性を兼ね備え、光情報記録媒体の反射膜として最適である。

本発明の光情報記録媒体用Ｃｕ合金反射膜は、高反射率・高耐食性を示すため、該反射膜を備えた光情報記録媒体として、情報の記録再生特性を格段に高めることができる。該光情報記録媒体として、ＣＤ、ＤＶＤ、またはＢｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃが挙げられる。この中でも波長６５０ｎｍのレーザー光を使用するＤＶＤに用いれば、本発明の効果が存分に発揮される。更に、本発明の光情報記録媒体用反射膜形成用Ｃｕ合金スパッタリングターゲットは、前記の光情報記録媒体用Ｃｕ合金反射膜の形成に好適に使用される。更に、前記の光情報記録媒体用Ｃｕ合金反射膜を備えた光情報記録媒体（好ましくはＤＶＤ、より好ましくはＤＶＤ−Ｒ）は、情報の記録再生特性を格段に高めることが可能となる。

Claims (7)

1. Ａｇを３５原子％以上６５原子％以下含有するＣｕ合金からなり、かつ膜厚が３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であることを特徴とする光情報記録媒体用反射膜。
2. ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）に用いられる請求項１に記載の光情報記録媒体用反射膜。
3. 追記型のＤＶＤ−Ｒ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ−Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）に用いられる請求項１に記載の光情報記録媒体用反射膜。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の光情報記録媒体用反射膜の形成に用いられるＣｕ合金スパッタリングターゲットであって、Ａｇを３５原子％以上６５原子％以下含有するＣｕ合金からなることを特徴とするＣｕ合金スパッタリングターゲット。
5. 請求項１に記載の光情報記録媒体用反射膜を備えた光情報記録媒体。
6. 請求項２に記載の光情報記録媒体用反射膜を備えたＤＶＤ。
7. 請求項３に記載の光情報記録媒体用反射膜を備えたＤＶＤ−Ｒ。