JP2014235805A - 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 - Google Patents
極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014235805A JP2014235805A JP2013114964A JP2013114964A JP2014235805A JP 2014235805 A JP2014235805 A JP 2014235805A JP 2013114964 A JP2013114964 A JP 2013114964A JP 2013114964 A JP2013114964 A JP 2013114964A JP 2014235805 A JP2014235805 A JP 2014235805A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- pulse
- light emission
- target
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 127
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 112
- 230000036278 prepulse Effects 0.000 claims description 39
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 30
- 230000008859 change Effects 0.000 description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 19
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 13
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 13
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 8
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10007—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers
- H01S3/10015—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers by monitoring or controlling, e.g. attenuating, the input signal
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
- H05G2/006—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas details of the ejection system, e.g. constructional details of the nozzle
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10038—Amplitude control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
- H01S3/2316—Cascaded amplifiers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】本開示の一例は、ターゲットにパルスレーザ光を照射することによってプラズマを生成して極端紫外光を生成する、極端紫外光生成装置であってもよい。レーザ制御部は、ターゲット検出部からのターゲット検出を示す検出信号に従って、レーザシステムに含まれるレーザ装置にパルスレーザ光の発光を指示する発光トリガを生成してレーザシステムに出力してもよい。レーザ制御部は、レーザシステムに連続して出力する発光トリガの時間間隔が所定の範囲内に入るように、生成する発光トリガを調整してもよい。
【選択図】図6
Description
1.概要
2.用語の説明
3.EUV光生成システムの全体説明
3.1 構成
3.2 動作
4.EUV光生成装置におけるターゲット供給部及びレーザシステムの制御
4.1 EUV光生成システムの構成
4.2 動作
4.3 課題
5.レーザ装置への発光トリガの制御
5.1 第1の実施形態
5.2 第2の実施形態
5.3 第3の実施形態(光シャッタを含むレーザシステム)
5.4 第4の実施形態(プリパルスレーザ装置を含むレーザシステム)
LPP方式のEUV光生成システムにおいては、ターゲット供給部がターゲットを出力し、チャンバ内のプラズマ生成領域に到達させてもよい。ターゲットがプラズマ生成領域に到達した時点で、レーザ装置がターゲットにパルスレーザ光を照射することで、ターゲットがプラズマ化し、このプラズマからEUV光が放射され得る。
本願において使用される用語を以下に説明する。「プラズマ生成領域」は、EUV光を生成するためのプラズマの生成が開始される領域を意味し得る。プラズマ生成領域においてプラズマの生成が開始されるためには、プラズマ生成領域にターゲットが供給され、かつ、ターゲットがプラズマ生成領域に到達するタイミングでプラズマ生成領域にパルスレーザ光が集光される必要があり得る。「発光トリガ」は、レーザ光を生成、発光(出力)するレーザ装置に、レーザ光の発光を指示する信号であり得る。「発光トリガ信号」は、発光トリガを含み、時間により変化する信号であり得る。
3.1 構成
図1に、例示的なLPP式のEUV光生成システムの構成を概略的に示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザシステム3と共に用いられてもよい。本願においては、EUV光生成装置1及びレーザシステム3を含むシステムを、EUV光生成システム11と称する。図1に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2、ターゲット供給部26を含んでもよい。
図1を参照すると、レーザシステム3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御部34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過してチャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光経路に沿ってチャンバ2内を進み、レーザ光集光ミラー22で反射されて、パルスレーザ光33として少なくとも1つのターゲット27に照射されてもよい。
4.1 EUV光生成システムの構成
図2は、EUV光生成システムの構成例の一部断面図を示す。図2に示されるように、チャンバ2の内部には、レーザ光集光光学系22aと、EUV集光ミラー23と、ターゲット回収部28と、EUV集光ミラーホルダ81と、プレート82及び83とが設けられてもよい。
図3は、EUV光生成制御部5による、ターゲット供給部26及びレーザシステム3の制御を説明するブロック図を示す。EUV光生成制御部5は、ターゲット供給制御部51とレーザ制御部55とを含んでもよい。ターゲット供給制御部51は、ターゲット供給部26の動作を制御してもよい。レーザ制御部55は、レーザシステム3の動作を制御してもよい。
ターゲット供給制御部51がドロップレット状のターゲット27を生成するとき、サテライト271が生成され得る。サテライト271は、本来のターゲット27から分離した、ターゲット27よりも小さいドロップレットであり得る。サテライト271は、プラズマ生成領域25に向かう本来のターゲット27の直前又は直後に位置し得る。サテライト271は、望ましくないターゲットであり得る。
5.1 第1の実施形態
(構成)
図6は、第1の実施形態における、レーザ制御部55及びレーザシステム3の構成例を模式的に示している。本実施形態のレーザ制御部55は、通過タイミング信号SAにおける連続する第1及び第2の検出パルスの時間間隔が所定時間よりも短い場合に、第2の検出パルスに対応する発光トリガパルスの出力を省いてもよい。これにより、レーザ装置3におけるマスタオシレータ351の発光間隔が短いことによるパルスレーザ光の変動を抑制し得る。
図6を参照すると、発光トリガ制御部551は、ターゲットセンサ4から通過タイミング信号SAを受信し、ワンショット回路561及びAND回路563に出力してもよい。たとえば、ワンショット回路561は、通過タイミング信号SAの立下りエッジにおいて、パルス幅Tshのパルスを出力してもよい。つまり、ワンショット回路561は、通過タイミング信号SAがHighレベルであるONからLowレベルであるOFFに変化するタイミングを検出し、その検出タイミングを示すパルスを生成してもよい。
td=L/v−α
Lは、ターゲット検出位置40からプラズマ生成領域25の中心位置までの距離でもよい。vは、ターゲット27の速度でもよい。αは、レーザシステム3にパルスレーザ光の発光を指示する発光トリガが出力されてから、パルスレーザ光がプラズマ生成領域25で集光されるまでの所要時間でもよい。
上記構成によれば、ターゲット(ドロップレット)の検出パルスの時間間隔Tが許容最小値Tminよりも短い場合に、発光トリガパルスを出力することを抑制し得る。その結果、レーザシステム3から出力されるパルスレーザ光のパルスエネルギの減少とパルス幅の変化を抑制し得る。これにより、EUV光のパルスエネルギの変動とレーザシステム3の破損を抑制し得る。
図8及び図9は、第1の実施形態における他の構成例を示す。以下においては、図6及び図7を参照して説明した構成例との相違点について主に説明する。図8は、レーザ制御部55及びレーザシステム3の他の構成例を模式的に示している。図9は、図8の構成例の発光トリガ信号生成部552における信号のタイミングチャート例を示す。
図8を参照して、発光トリガ信号生成部552は、図6に示す構成例におけるワンショット回路561及びインバータ562に代えて、AND回路566、タイマ567、RSフリップフロップ568及び立下りエッジ検出回路569を含んでいてもよい。発光トリガ制御部551は、タイマ設定信号STにより、タイマ567の設定時間を設定してもよい。設定される時間は、Tminであってもよい。
ターゲットが検出されると、発光トリガ制御部551は、通過タイミング信号SAを受信し、検出パルスを出力してもよい。RSフリップフロップ568は、検出パルスに対応するON信号をAND回路563に出力してもよい。AND回路563は、RSフリップフロップ568からのON信号及び通過タイミング信号SAにおけるパルスから、パルスを生成して遅延回路564に出力してもよい。
上記構成によれば、ターゲットの検出パルスの時間間隔Tが許容最小値Tminよりも短い場合に、発光トリガパルスを出力することを抑制し得る。その結果、レーザシステム3から出力されるパルスレーザ光のパルスエネルギの減少とパルス幅の変化を抑制し得る。これにより、EUV光のパルスエネルギの変動とレーザシステム3の破損を抑制し得る。
図10及び図11を参照して、第2の実施形態を説明する。以下においては、主に、第1の実施形態の相違点を説明する。第2の実施形態のレーザ制御部55は、サテライトを含むターゲットの検出に応じた発光トリガパルスに加え、ダミーの発光トリガパルスを生成してレーザシステム3へ出力してもよい。これにより、レーザシステム3から出力されるパルスレーザ光の安定性を改善し得る。
図10は、第2の実施形態におけるレーザ制御部55及びレーザシステム3の構成例を模式的に示している。発光トリガ制御部551は、図6に示す構成に加え、OR回路575、577及びタイマ576を含んでいてもよい。
OR回路575、577及びタイマ576からなる前段回路の動作を説明する。後段回路の動作は、第1の実施形態において図6及び図7を参照して説明した通りである。OR回路575、577及びタイマ576からなる前段回路は、通過タイミング信号SAにおける前回の検出パルスからタイマ576に設定されている設定時間が経過すると、ダミー検出パルスを生成し、後段回路に出力してもよい。ここで、ダミー検出パルスとは、サテライトを含むターゲットの検出に対応ぜずに生成されるパルスを意味する。
第1の実施形態における図6及び図7を参照しても説明したように、上記構成におけるワンショット回路561、インバータ562及びAND回路563は、一部のターゲット検出パルスに対応した発光トリガパルスの出力を省略し得る。これにより、発光トリガパルスの時間間隔が最小許容値より小さくなることを抑制し得る。
図12及び図13を参照して第3の実施形態を説明する。以下においては、第2の実施形態との相違点を主に説明する。本実施形態のEUV光生成システム11は、ダミー発光トリガパルスに応じて出力されたパルスレーザ光を遮蔽してもよい。これによって、ダミー発光トリガパルスによる望ましくないパルスレーザ光がプラズマ生成領域25に照射されることを抑制し得る。
図12は、第3の実施形態におけるレーザ制御部55及びレーザシステム3の構成例を模式的に示している。発光トリガ制御部551は、図10に示す構成に加え、ワンショット回路581及びインバータ582を含んでいてもよい。レーザシステム3は、図10に示す構成に加え、光シャッタ355を含んでいてもよい。
第2の実施形態において説明したように、通過タイミング信号における検出パルス間隔TがTmaxよりも長い場合、タイマ576は、パルスを出力してもよい。当該パルスは、ダミー検出パルスであり得る。
本実施形態の構成によれば、通過タイミング信号SAにおける検出パルス間隔Tが、Tmaxよりも長い場合、ダミー発光トリガパルスによって、マスタオシレータ351はパルスレーザ光を発光し得る。これにより、マスタオシレータ351からのパルスレーザ光の変動を抑制し得る。
図14を参照して第4の実施形態を説明する。以下においては、第3の実施形態との相違点を主に説明する。本実施形態のレーザシステム3は、メインレーザ装置に加え、プリパルスレーザ装置を含んでいていてもよい。
図14は、第4の実施形態におけるレーザ制御部55及びレーザシステム3の構成例を模式的に示している。レーザシステム3は、図12に示す構成に加え、プリパルスレーザ装置361、光シャッタ362、高反射ミラー363及びダイクロイックミラー364を含んでいてもよい。プリパルスレーザ装置361は、YAGレーザ装置等の固体レーザ装置であってもよい。
第2の実施形態において説明したように、通過タイミング信号における検出パルス間隔TがTmaxよりも長い場合、タイマ576は、パルスを出力してもよい。当該パルスは、ダミー検出パルスであり得る。
本実施形態によれば、通過タイミング信号SAにおける検出パルス間隔TがTmaxよりも長い場合、ダミー発光トリガパルスによって、マスタオシレータ351及びプリパルスレーザ装置361はパルスレーザ光を発光し得る。これにより、マスタオシレータ351及びプリパルスレーザ装置361からのパルスレーザ光の変動を抑制し得る。
求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業
者には明らかであろう。
解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるも
のとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用
語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。ま
た、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「1つの」は、「少なくとも
1つ」又は「1又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
Claims (7)
- ターゲットにパルスレーザ光を照射することによってプラズマを生成して極端紫外光を生成する、極端紫外光生成装置であって、
レーザシステムからのパルスレーザ光が入射するプラズマ生成領域を収容するチャンバと、
前記チャンバ内の前記プラズマ生成領域に複数のターゲットを順次供給するように構成されたターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部から出力され、前記ターゲット供給部と前記プラズマ生成領域との間の所定位置を通過したターゲット検出するように構成された、ターゲット検出部と、
前記レーザシステムを制御するように構成されたレーザ制御部と、を含み、
前記レーザ制御部は、
前記ターゲット検出部からのターゲット検出を示す検出信号に従って、前記レーザシステムに含まれるレーザ装置にパルスレーザ光の発光を指示する発光トリガを生成して前記レーザシステムに出力し、
前記レーザシステムに連続して出力する発光トリガの時間間隔が所定の範囲内に入るように、生成する発光トリガを調整する、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記レーザ制御部は、前記ターゲット検出部からの連続する第1及び第2の検出信号の間の時間間隔が第1の時間よりも短い場合に、前記第2の検出信号に対応する発光トリガの出力を省く、極端紫外光生成装置。 - 請求項2に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記レーザ制御部は、前記ターゲット検出部から受信した前回の検出信号から次の検出信号を受信することなく第2の時間が経過した後に、ダミー発光トリガを生成して前記レーザシステムに出力する、極端紫外光生成装置。 - 請求項3に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記レーザシステムは、前記レーザ装置からのパルスレーザ光の透過を制御する光シャッタをさらに含み、
前記レーザ制御部は、前記ダミー発光トリガに従って前記レーザ装置により発光されたパルスレーザ光を遮蔽するように前記光シャッタを制御する、極端紫外光生成装置。 - 請求項4に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記レーザ装置はメインパルスレーザ装置であり、
前記レーザシステムは、前記メインレーザ装置からのメインパルスレーザ光の発光前にプリパルスレーザ光を発光するプリパルスレーザ装置と、前記プリパルスレーザ光の透過を制御する第2の光シャッタと、をさらに含み、
前記レーザ制御部は、
前記ターゲット検出部からターゲットの検出を示す検出信号を受信すると、前記プリパルスレーザ装置に発光トリガを出力した後に、前記メインパルスレーザ装置に発光トリガを出力し、
前記ターゲット検出部から受信した前回の検出信号から前記第2の時間が経過すると、前記プリパルスレーザ装置に第1のダミー発光トリガを出力した後に、前記メインパルスレーザ装置に第2のダミー発光トリガを出力し、
前記第1のダミー発光トリガに従って前記プリパルスレーザ装置により発光されたパルスレーザ光を遮蔽するように前記第2の光シャッタを制御し、
前記第2のダミー発光トリガに従って前記メインレーザ装置により発光されたパルスレーザ光を遮蔽するように前記光シャッタを制御する、極端紫外光生成装置。 - 請求項2に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記レーザ制御部は、前記第1の検出信号から前記第1の時間が経過した直後の検出信号に応答して、前記レーザシステムに前記発光トリガを出力する、極端紫外光生成装置。 - パルスレーザ光を出力するレーザシステムと、
前記レーザシステムからのパルスレーザ光が入射するプラズマ生成領域を収容するチャンバと、
前記チャンバ内の前記プラズマ生成領域にターゲットを順次供給するように構成されたターゲット供給部と、を含み、
前記ターゲット供給部からのターゲットに前記パルスレーザ光を照射することによってプラズマを生成して極端紫外光を生成する極端紫外光生成システムおいて、前記レーザシステムを制御する方法であって、
前記ターゲット供給部から出力され、前記ターゲット供給部と前記プラズマ生成領域との間の所定位置を通過したターゲット検出し、
前記所定位置を通過したターゲットの検出に基づき、前記レーザシステムに含まれるレーザ装置にパルスレーザ光の発光を指示する発光トリガを生成して前記レーザシステムに出力し、
前記レーザシステムに連続して出力する発光トリガの時間間隔が所定の範囲内に入るように、生成する発光トリガを調整する、方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013114964A JP6195474B2 (ja) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 |
US14/290,483 US9131589B2 (en) | 2013-05-31 | 2014-05-29 | Extreme ultraviolet light generation apparatus and control method for laser apparatus in extreme ultraviolet light generation system |
US14/814,983 US9468082B2 (en) | 2013-05-31 | 2015-07-31 | Extreme ultraviolet light generation apparatus and control method for laser apparatus in extreme ultraviolet light generation system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013114964A JP6195474B2 (ja) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014235805A true JP2014235805A (ja) | 2014-12-15 |
JP6195474B2 JP6195474B2 (ja) | 2017-09-13 |
Family
ID=51984053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013114964A Active JP6195474B2 (ja) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9131589B2 (ja) |
JP (1) | JP6195474B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016170972A1 (ja) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | ギガフォトン株式会社 | ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置 |
WO2016203630A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
WO2017103980A1 (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
JP2018515907A (ja) * | 2015-03-30 | 2018-06-14 | ホリバ・エービーエックス・エスエーエス | パルス光源をトリガーするための方法および装置 |
JPWO2017051454A1 (ja) * | 2015-09-24 | 2018-07-05 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
US10054861B2 (en) | 2014-11-18 | 2018-08-21 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generating apparatus and method for generating extreme ultraviolet light |
WO2018203370A1 (ja) * | 2017-05-01 | 2018-11-08 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 |
US10172224B2 (en) | 2014-07-25 | 2019-01-01 | Gigaphoton Inc. | Extreme UV light generator |
US10955751B2 (en) | 2017-11-09 | 2021-03-23 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generation apparatus and electronic device manufacturing method |
JP7329577B2 (ja) | 2016-04-07 | 2023-08-18 | ギガフォトン株式会社 | パルスレーザ光の生成方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6198816B2 (ja) * | 2012-05-21 | 2017-09-20 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 放射源 |
WO2014192872A1 (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-04 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成システム |
WO2016094679A1 (en) | 2014-12-10 | 2016-06-16 | Regents Of The University Of Minnesota | Genetically modified cells, tissues, and organs for treating disease |
US10166255B2 (en) | 2015-07-31 | 2019-01-01 | Regents Of The University Of Minnesota | Intracellular genomic transplant and methods of therapy |
US9778022B1 (en) * | 2016-09-14 | 2017-10-03 | Asml Netherlands B.V. | Determining moving properties of a target in an extreme ultraviolet light source |
CN110520530A (zh) | 2016-10-18 | 2019-11-29 | 明尼苏达大学董事会 | 肿瘤浸润性淋巴细胞和治疗方法 |
WO2019006418A2 (en) | 2017-06-30 | 2019-01-03 | Intima Bioscience, Inc. | ADENO-ASSOCIATED VIRAL VECTORS FOR GENE THERAPY |
US10342109B2 (en) * | 2017-11-14 | 2019-07-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for generating extreme ultraviolet radiation |
JP2022111888A (ja) | 2021-01-20 | 2022-08-01 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004031342A (ja) * | 2002-05-28 | 2004-01-29 | Trw Inc | レーザープラズマ極紫外放射線源 |
JP2011014913A (ja) * | 2010-07-16 | 2011-01-20 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7372056B2 (en) | 2005-06-29 | 2008-05-13 | Cymer, Inc. | LPP EUV plasma source material target delivery system |
US8653437B2 (en) | 2010-10-04 | 2014-02-18 | Cymer, Llc | EUV light source with subsystem(s) for maintaining LPP drive laser output during EUV non-output periods |
DE10339495B4 (de) | 2002-10-08 | 2007-10-04 | Xtreme Technologies Gmbh | Anordnung zur optischen Detektion eines bewegten Targetstromes für eine gepulste energiestrahlgepumpte Strahlungserzeugung |
US8158960B2 (en) * | 2007-07-13 | 2012-04-17 | Cymer, Inc. | Laser produced plasma EUV light source |
WO2011013779A1 (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-03 | 株式会社小松製作所 | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体 |
US9265136B2 (en) * | 2010-02-19 | 2016-02-16 | Gigaphoton Inc. | System and method for generating extreme ultraviolet light |
US9072153B2 (en) * | 2010-03-29 | 2015-06-30 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generation system utilizing a pre-pulse to create a diffused dome shaped target |
JP2013065804A (ja) * | 2010-12-20 | 2013-04-11 | Gigaphoton Inc | レーザ装置およびそれを備える極端紫外光生成システム |
JP2012199512A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-18 | Gigaphoton Inc | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成方法 |
JP5844536B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2016-01-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
JP2014078394A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Gigaphoton Inc | 極端紫外光生成システム |
-
2013
- 2013-05-31 JP JP2013114964A patent/JP6195474B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-29 US US14/290,483 patent/US9131589B2/en active Active
-
2015
- 2015-07-31 US US14/814,983 patent/US9468082B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004031342A (ja) * | 2002-05-28 | 2004-01-29 | Trw Inc | レーザープラズマ極紫外放射線源 |
JP2011014913A (ja) * | 2010-07-16 | 2011-01-20 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10172224B2 (en) | 2014-07-25 | 2019-01-01 | Gigaphoton Inc. | Extreme UV light generator |
US10054861B2 (en) | 2014-11-18 | 2018-08-21 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generating apparatus and method for generating extreme ultraviolet light |
JP2018515907A (ja) * | 2015-03-30 | 2018-06-14 | ホリバ・エービーエックス・エスエーエス | パルス光源をトリガーするための方法および装置 |
JPWO2016170972A1 (ja) * | 2015-04-23 | 2018-02-15 | ギガフォトン株式会社 | ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置 |
US10271414B2 (en) | 2015-04-23 | 2019-04-23 | Gigaphoton Inc. | Droplet detector and extreme ultraviolet light generating apparatus |
WO2016170972A1 (ja) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | ギガフォトン株式会社 | ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置 |
WO2016170658A1 (ja) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | ギガフォトン株式会社 | ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置 |
US10111312B2 (en) | 2015-06-19 | 2018-10-23 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generation device |
WO2016203630A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
JPWO2016203630A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2018-04-05 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
US10531550B2 (en) | 2015-09-24 | 2020-01-07 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generation device |
JPWO2017051454A1 (ja) * | 2015-09-24 | 2018-07-05 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
WO2017103980A1 (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
US10126657B2 (en) | 2015-12-14 | 2018-11-13 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generating apparatus |
JP7329577B2 (ja) | 2016-04-07 | 2023-08-18 | ギガフォトン株式会社 | パルスレーザ光の生成方法 |
JPWO2018203370A1 (ja) * | 2017-05-01 | 2020-03-12 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 |
US10667376B2 (en) | 2017-05-01 | 2020-05-26 | Gigaphoton Inc. | Target supply device, extreme ultraviolet light generation device, and target supply method |
WO2018203370A1 (ja) * | 2017-05-01 | 2018-11-08 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 |
US10955751B2 (en) | 2017-11-09 | 2021-03-23 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generation apparatus and electronic device manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150342015A1 (en) | 2015-11-26 |
JP6195474B2 (ja) | 2017-09-13 |
US9131589B2 (en) | 2015-09-08 |
US9468082B2 (en) | 2016-10-11 |
US20140353528A1 (en) | 2014-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6195474B2 (ja) | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 | |
US9497840B2 (en) | System and method for creating and utilizing dual laser curtains from a single laser in an LPP EUV light source | |
JP5952274B2 (ja) | 光源焦点のアラインメント | |
TWI643209B (zh) | 用於形成極紫外光源的經定形標靶之方法、形成發射極紫外光的電漿之方法及極紫外光源 | |
US9241395B2 (en) | System and method for controlling droplet timing in an LPP EUV light source | |
US10314153B2 (en) | Target expansion rate control in an extreme ultraviolet light source | |
WO2015012099A1 (ja) | レーザシステム、極端紫外光生成システム及びレーザ装置の制御方法 | |
CN108348763B (zh) | 用于在lpp euv光源中控制源激光器激发的系统和方法 | |
KR20180063232A (ko) | 광학 아이솔레이션 모듈 | |
KR20180038543A (ko) | 극자외 광원 내에서의 타겟 팽창 속도 제어 방법 | |
WO2016079838A1 (ja) | 極端紫外光生成装置 | |
JP6434404B2 (ja) | 極端紫外光生成システム | |
JP6855570B2 (ja) | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 | |
JP6748730B2 (ja) | 極端紫外光生成装置 | |
WO2018030122A1 (ja) | 極端紫外光生成方法 | |
WO2018029863A1 (ja) | ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置 | |
US20190239330A1 (en) | Laser device and extreme ultraviolet light generation device | |
JP2021018364A (ja) | 極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法 | |
JP7434096B2 (ja) | 極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 | |
US10481422B2 (en) | Laser device and extreme ultraviolet light generation device | |
TWI825198B (zh) | 極紫外線(euv)光源及用於euv光源之設備、用於形成光學脈衝之設備及調整光學脈衝之性質的方法 | |
JPWO2017103991A1 (ja) | 極端紫外光生成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170124 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170725 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6195474 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |