JP2014229426A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[プラズマ処理装置全体の構成]
[フィルタユニット内の回路構成]
[フィルタユニット内の物理的構成(実施例1)]
[フィルタユニットの作用(実施例1)]
λ=2π/(ω√(LC) ・・・・(1)
[フィルタユニット内の物理的構成(実施例2)]
[フィルタユニットの作用(実施例2)]
[他の実施形態又は変形例]
12 サセプタ(下部電極)
28 (プラズマ生成用)高周波電源
30 (イオン引き込み用)高周波電源
40(IN) 内側の発熱線
40(OUT) 外側の発熱線
54(IN),54(OUT) フィルタユニット
58(IN),58(OUT) ヒータ電源
100(1),100(2) 給電ライン
102(1),102(2) フィルタ
104(1),104(2) ソレノイドコイル
106(1),106(2) コンデンサ
110 外導体
114 棒状櫛歯部材
128 板状櫛歯部材
M,M1〜M3 櫛歯
Claims (21)
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる所定周波数の高周波ノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
前記線路の一部を構成する1個のソレノイドコイルと、
前記ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒形の外導体と
を有し、
前記ソレノイドコイルが、軸方向において、巻線ピッチが異なる第1および第2の区間を有する、
プラズマ処理装置。 - 前記フィルタが、前記第1の区間において、前記ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の第1の櫛歯を有する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタが、前記第2の区間において、前記ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の第2の櫛歯を有する、請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタが、前記第2の区間において、前記ソレノイドコイルの巻線間を周回方向の全域で塞ぐ絶縁性の第2のコイルチューブを有する、請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ソレノイドコイルが、軸方向において、前記第2の区間を挟んで前記第1の区間と一列に並び、前記第1の区間と巻線ピッチが同一である第3の区間を有する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタが、前記第1および第3の区間において、それぞれ前記ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の第1および第3の櫛歯を有する、請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタが、前記第2の区間において、前記ソレノイドコイルの巻線間を周回方向の全域で塞ぐ絶縁性の第2のコイルチューブを有する、請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタが、前記第1および第3の区間において、それぞれ前記ソレノイドコイルの巻線間を周回方向の全域で塞ぐ絶縁性の第1および第3のコイルチューブを有する、請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタが、前記第2の区間において、前記ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で入っている絶縁性の第2の櫛歯を有する、請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の区間の巻線ピッチは、前記第2の区間の巻線ピッチの2倍以上または1/2以下である、請求項1〜9のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- コイル軸方向において、前記第1の区間の長さは、前記第2の区間の長さの1/5以上で5倍以下である、請求項1〜10のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる所定周波数の高周波ノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
前記線路の一部を構成し、軸方向において、独立した巻線ピッチの第1および第2の区間を有する1個のソレノイドコイルと、
前記ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒形の外導体と、
前記第1の区間において前記ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の第1の櫛歯と、
前記第2の区間において前記ソレノイドコイルの巻線間を周回方向の全域で塞ぐ絶縁性の第2のコイルチューブと
を有する、プラズマ処理装置。 - 前記櫛歯は、前記ソレノイドコイルの外周面に隣接して設けられ、コイル軸方向において前記ソレノイドコイルと平行に延びる複数本の絶縁体からなる棒状部材の内側面に形成されている、請求項2,3,6,9,12のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記櫛歯は、前記ソレノイドコイルの内周面に隣接して設けられ、コイル軸方向において前記ソレノイドコイルと平行に延びる複数本の絶縁体からなる棒状部材の外側面に形成されている、請求項2,3,6,9,12のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記櫛歯は、前記ソレノイドコイルの中に設けられ、コイル半径方向では前記ソレノイドコイルの内周面に当たるように放射状に延び、コイル軸方向では前記ソレノイドコイルと平行に延びる複数枚の絶縁体からなる板状部材の外側端面に形成されている、請求項2,3,6,9,12のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる所定周波数の高周波ノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
前記線路の一部を構成する1個のソレノイドコイルと、
前記ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒形の外導体と
を有し、
前記ソレノイドコイルが、軸方向において、コイル導体が比誘電率の異なる第1および第2のコイルチューブでそれぞれ絶縁被覆されている第1および第2の区間を有する、
プラズマ処理装置。 - 前記第1のコイルチューブの比誘電率は、前記第2のコイルチューブの比誘電率の2倍以上または1/2以下である、請求項16に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ソレノイドコイルおよび前記外導体のそれぞれの横断面の形状およびサイズは、前記分布定数線路に沿って一定である、請求項1〜17のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ソレノイドコイルと前記外導体との間の距離間隔は、前記分布定数線路に沿って一定である、請求項1〜17のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ソレノイドコイルは空芯コイルである、請求項1〜19のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電気的部材は、プラズマ処理のために前記所定周波数の高周波を印加される高周波電極の内部または周囲に設けられる発熱体であり、
前記外部回路は、前記発熱体に発熱用の電力を供給するためのヒータ電源であり、
前記線路は、前記ヒータ電源と前記発熱体とを電気的に接続する給電ラインである、
請求項1〜20のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
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