JP2014212475A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】位相補償用容量およびノイズ除去用容量による差動増幅部の電圧変動を抑制する。【解決手段】半導体基板に一体に形成される半導体集積回路装置で、差動増幅部1、利得部2、利得・出力部3を有する。利得・出力部3の出力端子と入力端子との間に位相補償コンデンサ4を接続し、利得・出力部3の入力端子と回路のグランド端子との間にノイズ除去コンデンサ5を接続する。高周波ノイズに晒された場合に、接地端子などからノイズが進入して寄生インピーダンスで電圧変動が生じるのは利得部2の出力端子部分となり、差動増幅部1に変動を来すのを抑制できる。【選択図】図1
Description
本発明は、半導体集積回路装置に関する。
半導体集積回路装置として、入力部に差動増幅回路が設けられ、利得部を介して出力部から出力する構成のオペアンプがある。このオペアンプで、出力部の出力端子と利得部の入力端子との間に位相補償用容量Ccを設ける場合、出力端子から位相補償用容量Ccを介して伝播されるノイズや、半導体基板から位相補償用容量Ccを介して伝播するノイズが利得部の入力端子に影響を及ぼすことがある。
すなわち、利得部にノイズが伝播すると、利得部が持つ非線形性による動作点変化が発生する。そこで、このような動作点変化を抑制するためにノイズ除去用の容量をグランド端子との間に設けることが有効である。これにより、ノイズ耐量の向上を図ることができる。
しかし、このようなノイズ除去用の容量を設ける構成では、適用する周波数が高周波になるに従って別の問題が生ずる。高周波のノイズが伝播する場合には、回路のGND端子と装置の接地間のインピーダンスがインダクタンス成分により高くなるため、回路のGND端子の電圧変動が大きくなる。このため、回路のGND端子に伝播するノイズがノイズ除去用の容量を介して、差動増幅の入力端子を介してトランジスタの動作点を変化させる事態を引き起こし、オペアンプとして誤動作を引き起こすという不具合がある。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的は、入力部に差動増幅回路が設けられ、利得部を介して出力部から出力する構成のオペアンプにおいて、位相補償用容量およびノイズ除去用容量を設ける構成で、高周波ノイズによる悪影響を抑制できるようにした半導体集積回路装置を提供することにある。
請求項1に記載の半導体集積回路装置は、差動入力端子に与えられる入力信号を増幅する差動増幅部と、前記差動回路から出力される差動増幅信号を増幅する利得部と、前記利得回路の利得出力信号を増幅して出力信号として出力する利得・出力部と、前記利得・出力部の出力端子と入力端子との間に接続される位相補償用容量と、前記利得・出力部の入力端子とグランド端子との間に接続されるノイズ除去用容量とを備えたことを特徴とする。
上記構成によれば、差動入力端子に入力信号が入力されると、差動増幅部において差動増幅信号が生成されて利得部を介して増幅した信号が利得・出力部に入力される。利得・出力部はこれを増幅して出力端子から出力する。この場合、利得・出力部の出力端子側から進入するノイズに対して、位相補償用容量を介して利得部の出力端子側に伝播するが、これをノイズ除去用容量によりグランド端子側に逃がすことでノイズ耐量を向上できる。また、高周波帯域のノイズの場合には、半導体装置のグランド端子から進入するノイズがノイズ除去用容量を介して、利得部の出力端子側に入力するが、利得部の入力端子側すなわち差動増幅部に対して電位変動を発生するのを抑制できる。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。図1は半導体基板に一体に形成される半導体集積回路からなるオペアンプのブロック構成を示している。差動増幅部1は、反転入力端子1a、非反転入力端子1bに入力される信号を差動増幅して出力する。差動増幅部1の出力端子は利得部2の入力端子に接続されている。利得部2は、入力信号を増幅して出力するもので、出力端子は利得・出力部3の入力端子に接続されている。利得・出力部3は入力信号を増幅して出力端子3aに出力する。利得・出力部3の出力端子3aと入力端子との間には位相補償コンデンサ(位相補償用容量)4が接続されている。利得・出力部3の入力端子は、ノイズ除去コンデンサ(ノイズ除去用容量)5を介して回路のグランド端子GNDに接続されている。
以下、本発明の第1実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。図1は半導体基板に一体に形成される半導体集積回路からなるオペアンプのブロック構成を示している。差動増幅部1は、反転入力端子1a、非反転入力端子1bに入力される信号を差動増幅して出力する。差動増幅部1の出力端子は利得部2の入力端子に接続されている。利得部2は、入力信号を増幅して出力するもので、出力端子は利得・出力部3の入力端子に接続されている。利得・出力部3は入力信号を増幅して出力端子3aに出力する。利得・出力部3の出力端子3aと入力端子との間には位相補償コンデンサ(位相補償用容量)4が接続されている。利得・出力部3の入力端子は、ノイズ除去コンデンサ(ノイズ除去用容量)5を介して回路のグランド端子GNDに接続されている。
図2は、上記した図1の構成を具体的に示す一例である。差動増幅部1においては、電源端子Vccに接続される電流源1cからpnp型トランジスタ1d、npn型トランジスタ1eおよび抵抗1fを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pnp型トランジスタ1dのベースは反転入力端子1aに接続されている。npn型トランジスタ1eはベース−コレクタ間が短絡接続されている。また、電流源1cからpnp型トランジスタ1g、npn型トランジスタ1hおよび抵抗1iを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pnp型トランジスタ1gのベースは非反転入力端子1bに接続されている。npn型トランジスタ1hのベースはnpn型トランジスタ1eのベースと共通に接続され、コレクタは、差動増幅部1の出力端子とされている。
利得部2は、具体的にはフォロワ回路を構成している。この利得部2においては、電源端子Vccに接続される電流源2aからpnp型トランジスタ2bを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pnp型トランジスタ2bのベースは差動増幅部1の出力端子に接続される。pnp型トランジスタ2bのエミッタは利得部2の出力端子とされ、ノイズ除去コンデンサ5を介して回路のグランド端子GNDに接続されている。
利得・出力部3においては、電源端子Vccに接続される電流源3bからnpn型トランジスタ3cおよびnpn型トランジスタ3dを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。npn型トランジスタ3cのベースは利得部2の出力端子に接続されている。npn型トランジスタ3dのベース−コレクタ間は短絡されている。電源端子Vccに接続される電流源3eからnpn型トランジスタ3fを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。npn型トランジスタ3fのベースはnpn型トランジスタ3dのベースと共通に接続され、npn型トランジスタ3fのコレクタは出力端子3aとされ、位相補償コンデンサ4を介してnpn型トランジスタ3cのベースに接続されている。
上記した位相補償コンデンサ4およびノイズ除去コンデンサ5は、半導体集積回路装置においては、半導体基板に素子として作り込む構成としている。この場合、上記回路構成を形成する場合の製造工程によって図3(a)あるいは図4に示すような構成で作り込むことができる。
図3(a)は、半導体集積回路装置をSOI(silicon on insulator)基板に形成した場合の位相補償コンデンサ4あるいはノイズ除去コンデンサ5の構成の一例を示している。図3(b)は位相補償コンデンサ4あるいはノイズ除去コンデンサ5の等価回路を示す図である。図3(a)において、SOI基板は、半導体基板11に絶縁膜12を介して半導体層13が形成されたものである。半導体層13は、単結晶シリコン膜などを絶縁膜14により素子分離された素子領域に区画形成されている。なお、半導体層13の図示しない素子領域の各区画内には種々の半導体素子が作りこまれ、上記した回路構成が形成されている。
半導体層13は、例えばn型の不純物が導入されており、表層部にコンタクト形成用の高濃度n型不純物領域13a、13bが形成されている。半導体層13の上面にはゲート絶縁膜15が形成され、その上面にゲート電極用の導体膜16が形成されている。位相補償コンデンサ4あるいはノイズ除去コンデンサ5は、正極側端子Caが導体膜16にコンタクトにより接続され、負極側端子Cbが高濃度n型不純物領域13a、13bにコンタクトにより共通に接続されている。そして、ゲート絶縁膜15を挟んで対向する半導体層13と導体膜16とによりコンデンサを形成している。
なお、上記のように位相補償コンデンサ4あるいはノイズ除去コンデンサ5を形成しているので、等価回路上では現れないが、半導体基板11から絶縁膜12を挟んで対向配置されている半導体層13が寄生容量となり、また、半導体基板11などがインダクタンス成分を有するので、ノイズの進入経路として機能し、電位変動を及ぼすことがある。
図4は、半導体集積回路装置を半導体基板21にpn接合で素子分離を行うように構成した装置に適用した場合の位相補償コンデンサ4あるいはノイズ除去コンデンサ5の一例を示している。例えばp型の半導体基板21にp型ウエル21aを形成し、その表層部に高濃度p型不純物領域21b、高濃度n型不純物領域21c、21dを形成している。p型ウエル21aの上面にはゲート絶縁膜22が形成され、その上面にゲート電極用の導体膜23が形成されている。位相補償コンデンサ4あるいはノイズ除去コンデンサ5は、正極側端子Caが導体膜23にコンタクトにより接続され、負極側端子Cbが高濃度n型不純物領域21c、21dにコンタクトにより共通に接続されている。そして、ゲート絶縁膜15を挟んで対向するp型ウエル21aと導体膜23とによりコンデンサを形成している。高濃度p型不純物領域21bはグランド端子GNDにコンタクトにより接続されている。
上記の構成においても、等価回路上では現れないが、半導体基板21のp型ウエル21aに対してグランド端子GNDからノイズが進入する経路が形成されるので、電位変動を及ぼすことがある。
上記構成によれば、差動増幅部1の入力端子1a、1b間に入力される信号が、利得部2および利得・出力部3を介して増幅された信号が出力される。このとき、外部からノイズが進入することを想定すると、次のような動作となる。
上記構成によれば、差動増幅部1の入力端子1a、1b間に入力される信号が、利得部2および利得・出力部3を介して増幅された信号が出力される。このとき、外部からノイズが進入することを想定すると、次のような動作となる。
ノイズ周波数成分が低周波の場合には回路のグランド端子GNDと接地間のインピーダンス成分が十分低いので、回路のグランド端子GNDの電位変動は少ない。しかし、高周波のノイズが進入する場合には、回路のグランド端子GNDと接地間のインピーダンス成分が影響してくる。すなわち、回路のグランド端子GNDと接地間のインピーダンス成分として、例えば、ICパッケージのワイヤーボンディング、リードフレーム等のインダクタンス成分や、プリント基板・筐体のインダクタンス成分、あるいはワイヤーハーネスのインダクタンス成分などがある。このため、周波数が高い場合には、このインダクタンス成分により発生する電圧が高くなり、回路のグランド端子GNDの電位変動が大きくなる。
この場合、従来回路構成の場合には、差動増幅出力のノードに接続されていたノイズ除去コンデンサを介して、回路のグランド端子GNDにノイズによる電位変動が発生すると、差動増幅部の一方の入力トランジスタの動作点を変化させることが生じていた。したがって、pnp型トランジスタのVCE特性の非線形の特性により、動作点の平均値が変化してしまう事態が生じていた。
これに対して、本実施形態では上記構成を採用することで、ノイズ除去コンデンサ5は、利得部2の出力端子に接続されるため、差動増幅部1への影響は抑制され、差動増幅部1の入力部のpnpトランジスタ1gの動作点が変化するのを抑制できる。
また、上記構成では、出力端子3aからのノイズ伝播や、MOS容量で構成する位相補償コンデンサ4によるノイズ伝播に対しても機能を損なうことなく実施できるので、オペアンプとしてのノイズ耐量の向上を図ることができる。
また、上記構成では、出力端子3aからのノイズ伝播や、MOS容量で構成する位相補償コンデンサ4によるノイズ伝播に対しても機能を損なうことなく実施できるので、オペアンプとしてのノイズ耐量の向上を図ることができる。
上記の場合において、ノイズ除去の効果をもたらすノイズ除去コンデンサ5の容量値Ciは、次のようにして設定することができる。出力端子3aから位相補償コンデンサ4を介して利得部入力に伝播するノイズ成分として、例えば10MHz程度のノイズを想定する。この場合に、利得・出力部3の入力端子に接続される利得部2の出力インピーダンスよりも一桁以上小さくなるような容量値Ciを選択することができる。
つまり、電源端子Vccの電源電圧を5Vとして、利得部2の消費電流がマイクロアンペアオーダーであるとすると、そのときのインピーダンスは数百kΩ程度である。したがって、その1桁以上小さいインピーダンスを想定すると、数十kΩ以下のインピーダンスになるような容量値Ciとして数pF以上の容量に設定すると良い。
例えば、1桁下げる場合には1pF以下程度の容量値となり、2桁下げる場合には10pF〜数10pF程度となる。このような容量値Ciのノイズ除去コンデンサ5を接続すれば、利得部2の交流的な出力ノードのインピーダンスはノイズ除去容量値Ciにより下げられ、AC的なフォロワ出力のノードの安定性が増す。
つまり、電源端子Vccの電源電圧を5Vとして、利得部2の消費電流がマイクロアンペアオーダーであるとすると、そのときのインピーダンスは数百kΩ程度である。したがって、その1桁以上小さいインピーダンスを想定すると、数十kΩ以下のインピーダンスになるような容量値Ciとして数pF以上の容量に設定すると良い。
例えば、1桁下げる場合には1pF以下程度の容量値となり、2桁下げる場合には10pF〜数10pF程度となる。このような容量値Ciのノイズ除去コンデンサ5を接続すれば、利得部2の交流的な出力ノードのインピーダンスはノイズ除去容量値Ciにより下げられ、AC的なフォロワ出力のノードの安定性が増す。
また、同様にして、位相補償コンデンサ4の容量値Ccについても、図3(a)に示したSOI基板を用いる構成におけるMOS容量で構成する場合に、BOX(buried oxide)容量(数フェムトF〜数十フェムトF:フェムトは10−15)を有する。また、図4に示したpn接合により分離を形成する場合、接合容量(数フェムトF〜数十フェムトF)を有する。これらのノイズ伝播経路に対しても同様に、利得部2の出力端子にノイズ除去コンデンサ5を付加すれば交流的な出力インピーダンスを下げることができ、利得部2の出力端子の安定性を向上させることができる。
(第2実施形態)
図5は第2実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、バイポーラトランジスタに代えてMOSFETを用いる構成としたところである。すなわち、基本的には第1実施形態におけるpnp型トランジスタはpチャンネル型MOSFETに、npn型トランジスタはnチェンネル型MOSFETに置き換えた構成である。
図5は第2実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、バイポーラトランジスタに代えてMOSFETを用いる構成としたところである。すなわち、基本的には第1実施形態におけるpnp型トランジスタはpチャンネル型MOSFETに、npn型トランジスタはnチェンネル型MOSFETに置き換えた構成である。
具体的には、差動増幅部31、利得部32、利得・出力部33を差動増幅部1、利得部2、利得・出力部3に代えて設けている。差動増幅部31においては、電源端子Vccに接続される電流源31cからpチャンネル型MOSFET31d、nチャンネル型MOSFET31eを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pチャンネル型MOSFET31dのゲートは非反転入力端子31aである。nチャンネル型MOSFET31eはゲート−ドレイン間が短絡状態とされる。また、電流源31cからpチャンネル型MOSFET31f、nチャンネル型MOSFET31gを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pチャンネル型MOSFET31fのゲートは反転入力端子31bである。nチャンネル型MOSFET31gのゲートはnチャンネル型MOSFET31eのゲートと共通に接続され、ドレインは、差動増幅部1の出力端子とされている。
利得部32においては、電源端子Vccに接続される電流源32aからnチャンネル型MOSFET32bを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。nチャンネル型MOSFET32bのゲートは差動増幅部31の出力端子に接続される。nチャンネル型MOSFET32bのドレインは利得部32の出力端子とされ、ノイズ除去コンデンサ5を介して回路のグランド端子GNDに接続されている。
利得・出力部33においては、電源端子Vccに接続される電流源33bからnチャンネル型MOSFET33cを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。nチャンネル型MOSFET33cのゲート−ドレイン間は短絡されている。電源端子Vccからpチャンネル型MOSFET33dおよびnチャンネル型MOSFET33eを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pチャンネル型MOSFET33dのゲートは利得部32の出力端子に接続されている。nチャンネル型MOSFET33eのゲートはnチャンネル型MOSFET33cのゲートと接続され、ドレインは出力端子33aとされている。位相補償コンデンサ4は出力端子33aとpチャンネル型MOSFET33dのゲートとの間に接続されている。
以上のように構成しているので、MOSFETとして回路が動作することを除いて、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
以上のように構成しているので、MOSFETとして回路が動作することを除いて、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
(第3実施形態)
図6は第3実施形態を示すもので、第2実施形態と異なるところは、利得・出力部33に代えて、利得・出力部34を設けたところである。利得・出力部34は、電源端子Vccと出力端子34aとの間にpチャンネル型MOSFET34bを設けて、オープンドレインタイプの回路を構成している。pチャンネル型MOSFET34bのゲートは利得部32の出力端子に接続されている。位相補償コンデンサ4は、pチャンネル型MOSFET34bのドレイン−ゲート間に接続されている。
このような第3実施形態の構成によっても、第2実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
図6は第3実施形態を示すもので、第2実施形態と異なるところは、利得・出力部33に代えて、利得・出力部34を設けたところである。利得・出力部34は、電源端子Vccと出力端子34aとの間にpチャンネル型MOSFET34bを設けて、オープンドレインタイプの回路を構成している。pチャンネル型MOSFET34bのゲートは利得部32の出力端子に接続されている。位相補償コンデンサ4は、pチャンネル型MOSFET34bのドレイン−ゲート間に接続されている。
このような第3実施形態の構成によっても、第2実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
(第4実施形態)
図7は第4実施形態を示すもので、第1実施形態の構成に対してCMOS回路により構成したところが異なる。
図7は第4実施形態を示すもので、第1実施形態の構成に対してCMOS回路により構成したところが異なる。
具体的には、差動増幅部41、利得部42、利得・出力部43を差動増幅部1、利得部2、利得・出力部3に代えて設けている。差動増幅部41においては、電源端子Vccに接続される電流源41cからpチャンネル型MOSFET41d、nチャンネル型MOSFET41eを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。nチャンネル型MOSFET41eは、ゲート−ドレイン間が短絡されている。また、nチャンネル型MOSFET41eとゲートを共通に接続したnチャンネル型MOSFET41fが接続されている。pチャンネル型MOSFET41dのゲートは非反転入力端子41aである。
電流源31cからpチャンネル型MOSFET41g、nチャンネル型MOSFET41hを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。nチャンネル型MOSFET41hは、ゲート−ドレイン間が短絡されている。また、nチャンネル型MOSFET41hとゲートを共通に接続したnチャンネル型MOSFET41iが接続されている。pチャンネル型MOSFET41gのゲートは反転入力端子41bである。nチャンネル型MOSFET41fおよび41iのドレインは差動増幅部41の2つの出力端子とされている。
利得部42においては、電源端子Vccに接続されるpチャンネル型MOSFET42aから第1ノイズ除去コンデンサ5aを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。同じく電源端子Vccに接続されるpチャンネル型MOSFET42bから第2ノイズ除去コンデンサ5bを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pチャンネル型MOSFET42aのドレインは、nチャンネル型MOSFET41fのドレイン、pチャンネル型MOSFET42a、42bの各ゲートに接続されるとともに、第1出力端子とされている。pチャンネルMOSFET42bのドレインは、nチャンネル型MOSFET41iのドレインに接続されるとともに第2出力端子とされている。
利得・出力部43においては、電源端子Vccからpチャンネル型MOSFET43bnチャンネル型MOSFET43cを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。pチャンネル型MOSFET43bのゲートは利得部42の第1出力端子に接続されている。nチャンネル型MOSFET43cのゲート−ドレイン間は短絡されている。また、電源端子Vccからpチャンネル型MOSFET43dおよびnチャンネル型MOSFET43eを介して回路のグランド端子GNDに接続されている。
pチャンネル型MOSFET43dのゲートは利得部42の第2出力端子に接続されると共に、位相補償コンデンサ4を介して出力端子43aとなるドレインに接続されている。nチャンネル型MOSFET43eのゲートはnチャンネル型MOSFET43cのゲートと接続されている。
pチャンネル型MOSFET43dのゲートは利得部42の第2出力端子に接続されると共に、位相補償コンデンサ4を介して出力端子43aとなるドレインに接続されている。nチャンネル型MOSFET43eのゲートはnチャンネル型MOSFET43cのゲートと接続されている。
以上のように構成しているので、CMOS回路として回路が動作することを除いて、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
なお、上記構成において、第1ノイズ除去コンデンサ5aは、省略した構成とすることもできる。
なお、上記構成において、第1ノイズ除去コンデンサ5aは、省略した構成とすることもできる。
(第5実施形態)
図8は第5実施形態を示すもので、第4実施形態と異なるところは、利得部42および利得・出力部43に代えて、利得部44および利得・出力部45を設けたところである。
具体的には、利得部44においては、pチャンネル型MOSFET42a、42bに代えて電流源44a、44bを設けている。また、利得・出力部45においては、nチャンネル型MOSFET43cに代えて抵抗45cを設けたところである。
したがって、このような第5実施形態においても第4実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
図8は第5実施形態を示すもので、第4実施形態と異なるところは、利得部42および利得・出力部43に代えて、利得部44および利得・出力部45を設けたところである。
具体的には、利得部44においては、pチャンネル型MOSFET42a、42bに代えて電流源44a、44bを設けている。また、利得・出力部45においては、nチャンネル型MOSFET43cに代えて抵抗45cを設けたところである。
したがって、このような第5実施形態においても第4実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
(第6実施形態)
図9は第6実施形態を示すもので、第5実施形態と異なるところは、CMOS回路で構成していたのに対して、バイポーラトランジスタで置き換えた構成としたところである。具体的には、pチャンネル型MOSFETをpnp型トランジスタに置き換え、nチャンネル型MOSFETをnpn型トランジスタに置き換えた構成としている。同等の構成であるから符号および接続態様の説明を省略するが、バイポーラ動作をすることを除いて、第5実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
図9は第6実施形態を示すもので、第5実施形態と異なるところは、CMOS回路で構成していたのに対して、バイポーラトランジスタで置き換えた構成としたところである。具体的には、pチャンネル型MOSFETをpnp型トランジスタに置き換え、nチャンネル型MOSFETをnpn型トランジスタに置き換えた構成としている。同等の構成であるから符号および接続態様の説明を省略するが、バイポーラ動作をすることを除いて、第5実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
(第7実施形態)
図10は第7実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、利得・出力部3の出力端子3aと差動増幅部1の出力端子との間にも位相補償コンデンサ60を接続する構成としたところである。
このような構成によっても、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、位相補償コンデンサ60を設けることで、従来相当の作用を生じるが、差動増幅部1に対するノイズによる悪影響については位相補償コンデンサ4とノイズ除去コンデンサ5とにより解消される。
図10は第7実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、利得・出力部3の出力端子3aと差動増幅部1の出力端子との間にも位相補償コンデンサ60を接続する構成としたところである。
このような構成によっても、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、位相補償コンデンサ60を設けることで、従来相当の作用を生じるが、差動増幅部1に対するノイズによる悪影響については位相補償コンデンサ4とノイズ除去コンデンサ5とにより解消される。
(第8実施形態)
図11は第8実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、ノイズ除去コンデンサ5を回路のグランド端子GNDに接続するのではなく、他の端子Nに接続する構成としたところである。この場合、他の端子Nとしては、例えば電源端子、他のグランド端子、他の容量素子が接続される端子、あるいは外付け端子などが該当する。したがって、このような第8実施形態によっても、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
図11は第8実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、ノイズ除去コンデンサ5を回路のグランド端子GNDに接続するのではなく、他の端子Nに接続する構成としたところである。この場合、他の端子Nとしては、例えば電源端子、他のグランド端子、他の容量素子が接続される端子、あるいは外付け端子などが該当する。したがって、このような第8実施形態によっても、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
(第9実施形態)
図12から図14は第9実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、位相補償コンデンサ4を利得・出力部3の入力端子側に接続する場合に、信号線の抵抗成分61a、61bを考慮しているところである。利得部2の出力端子と利得・出力部3の入力端子との間に、例えば配線抵抗が存在する場合、あるいは抵抗素子を設ける場合などの構成の場合である。
図12から図14は第9実施形態を示すもので、第1実施形態と異なるところは、位相補償コンデンサ4を利得・出力部3の入力端子側に接続する場合に、信号線の抵抗成分61a、61bを考慮しているところである。利得部2の出力端子と利得・出力部3の入力端子との間に、例えば配線抵抗が存在する場合、あるいは抵抗素子を設ける場合などの構成の場合である。
この場合には、信号線に介在している抵抗成分として、位相補償コンデンサ4およびノイズ除去コンデンサ5を接続する関係で、少なくとも2個の抵抗成分61a、61bを考える。2個の抵抗成分は存在しない場合含めてゼロ以上の抵抗値を有するものとする。また、コンデンサ4、5の接続可能なノードとして3個のノードN1〜N3を考える。なお、さらに多くの抵抗成分およびノードの個数を考慮することもできる。
上記のように抵抗成分61a、61bが介在している場合に、位相補償コンデンサ4がノードN1に接続されていると、ノイズ除去コンデンサ5はノードN1またはノードN2(N3)の2通りの接続態様がある。同様に、位相補償コンデンサ4がノードN3に接続されていると、ノイズ除去コンデンサ5はノードN1(N2)またはノードN3の2通りの接続態様がある。位相補償コンデンサ4がノードN2に接続されていると、ノイズ除去コンデンサ5はノードN1、ドN2またはN3の3通りの接続態様がある。
これらの接続態様の違いに起因した具体的な効果について、以下の3つのケースに分けて説明する。なお、これらの接続態様は一例であって、抵抗成分を更に増やしてノードを増やした構成について接続態様を想定することもできる。
第1のケースは、例えば図12に示すように、位相補償コンデンサ4とノイズ除去コンデンサ5が同じノードに接続される場合である。この場合には、利得・出力部3の出力端子側から進入するノイズに対して効果的である。
第2のケースは、例えば図13に示すように、位相補償コンデンサ4が利得・出力部3の入力端子に近いノードに接続され、ノイズ除去コンデンサ5が抵抗成分61a、61bの少なくとも一つを介して利得部2側のノードに接続されている場合である。この場合には、利得・出力部3の入力端子に対する耐量に比べて、利得部2の出力端子に対する耐量が低い場合に適用すると効果的である。
第3のケースは、例えば図14に示すように、位相補償コンデンサ4が利得部2の出力端子に近いノードに接続され、ノイズ除去コンデンサ5が抵抗成分61a、61bの少なくとも一つを介して利得・出力部3側のノードに接続されている場合である。この場合には、利得・出力部3の入力端子に対する耐量に比べて、利得部2の出力端子に対する耐量が高い場合に適用すると効果的である。
これにより、位相補償コンデンサ4およびノイズ除去コンデンサ5によるノイズ除去を効果的に行うことができる接続形態をいずれかから選択することで、適用しようとする半導体集積回路に適した構成とすることができる。
(他の実施形態)
なお、本発明は、上述した一実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能であり、例えば、以下のように変形または拡張することができる。
なお、本発明は、上述した一実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能であり、例えば、以下のように変形または拡張することができる。
実施形態中で設定した高周波の周波数レベルは、例示した10MHzに限らず、これ以上の周波数の信号に適用することを想定することができる。これによって、回路定数は適用周波数に対応して適宜変更設定することができる。
位相補償コンデンサ4、ノイズ除去コンデンサ5は、図3あるいは図4に示した構成に適用する場合に限らず、次のように変形することができる。例えば、SOI基板を用いる場合であれば、素子分離絶縁膜14で仕切られた隣接して対向する半導体層13で容量を形成するようにしても良い。また、半導体基板に設けた半導体層13やウエル21aとゲート絶縁膜を挟んだ構成に限らず、半導体基板上に形成する複数層の導体層の間に絶縁膜を設けて容量を形成することもできる。
利得部2は、実施形態で示したフォロワ回路以外に、インピーダンス変換回路、レベルシフト回路、電流電圧変換回路、バッファ回路あるいは物理量変換回路など種々の回路に適用することができる。
図面中、1、31、41、51は差動増幅部、2、32、42、44、52は利得部、3、33、34、43、45、53は利得・出力部、4は位相補償コンデンサ(位相補償用容量)、5はノイズ除去コンデンサ(ノイズ除去用容量)、11、21は半導体基板、12は絶縁膜、13は半導体層、15、22はゲート絶縁膜、16、23は導体層、61a、61bは抵抗成分である。
Claims (6)
- 差動入力端子に与えられる入力信号を増幅する差動増幅部(1、31、41、51)と、
前記差動回路から出力される差動増幅信号を増幅する利得部(2、32、42、44、52)と、
前記利得回路の利得出力信号を増幅して出力信号として出力する利得・出力部(3、33、34、43、45、53)と、
前記利得・出力部の出力端子と入力端子との間に接続される位相補償用容量(4)と、
前記利得・出力部の入力端子とグランド端子との間に接続されるノイズ除去用容量(5)とを備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1に記載の半導体集積回路装置において、
前記ノイズ除去用容量は、絶縁膜(15、22)の両側に形成される導電膜(13、16、21a、23)からなる容量により構成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1または2に記載の半導体集積回路装置において、
前記利得部は、フォロワ回路(2)により構成されることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体集積回路装置において、
前記ノイズ除去用容量は、前記利得部の出力端子側から見た高周波帯域におけるインピーダンスに対して一桁以上小さいインピーダンスに設定されていることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体集積回路装置において、
前記差動増幅部、前記利得部、前記利得・出力部は、バイポーラトランジスタにより構成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体集積回路装置において、
前記前記差動増幅部、前記利得部、前記利得・出力部は、MOSトランジスタにより構成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。
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---|---|---|---|---|
JPS51132062A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-16 | Toshiba Corp | Electronic industrial meter |
JPH09167827A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Tokai Rika Co Ltd | 半導体装置 |
JP2000201114A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-07-18 | Trw Inc | 高速差動型光電受信機 |
JP2010028173A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | New Japan Radio Co Ltd | 演算増幅器 |
JP2011082825A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | フィルタ回路 |
-
2013
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51132062A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-16 | Toshiba Corp | Electronic industrial meter |
JPH09167827A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Tokai Rika Co Ltd | 半導体装置 |
JP2000201114A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-07-18 | Trw Inc | 高速差動型光電受信機 |
JP2010028173A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | New Japan Radio Co Ltd | 演算増幅器 |
JP2011082825A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | フィルタ回路 |
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