JP2014202867A - パターン照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、最初に標本面SP上にミラー標本MSを配置し、挿脱機構43により0次光カットフィルタ41を光路外に取り除く。そして、カメラ62で生成された画像によりミラー標本MSを観察して、ミラー標本MSにピントを合わせる。このとき、SLM20では変調を行わず、SLM20を単なるミラーとして機能させる。
10、10a 光源ユニット
11、11a、11b 光源
12 ビームエクスパンダ
12a、12b、33 レンズ
13、14、31、35 ミラー
20 SLM
32 フーリエ変換レンズ
34 ハーフミラー
41 0次光カットフィルタ
41a 透過領域
41b 遮断領域
42 位置調整機構
43 挿脱機構
50 対物レンズ
60 観察系
61 結像レンズ
62 カメラ
70 制御装置
71 記憶部
80 モニタ
90 入力装置
100、101、102 パターン照射装置
110 光パワーメータ
120 モニタ
P1、P2 照射パターン
SP 標本面
MS ミラー標本
Claims (12)
- 光源ユニットと、
前記光源ユニットから出射された光を標本面に照射する対物レンズと、
前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置されて、前記光源ユニットから出射された光の位相を変調する位相変調型の空間光変調器と、
前記空間光変調器と前記対物レンズの間の光路上に配置されて、前記空間光変調器から生じる0次光を遮断する遮断手段と、
前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置と前記遮断手段の位置を一致させる制御装置と、を備える
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1に記載のパターン照射装置において、
前記制御装置は、前記光源ユニットから出射された光の波長、波面、または光束径の少なくとも一つが変化するように、前記光源ユニットを制御する
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1または請求項2に記載のパターン照射装置において、さらに、
前記遮断手段の位置を移動させる位置調整機構を備え、
前記制御装置は、前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置と前記遮断手段の位置が一致するように、前記位置調整機構を制御する
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、
前記制御装置は、前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置と前記遮断手段の位置が一致するように、前記空間光変調器の位相変調パターンを制御する
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項4に記載のパターン照射装置において、
前記制御装置は、前記空間光変調器の位相変調パターンを、前記標本面上に形成すべき照射パターンから算出される位相変調パターンと、前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置を移動させるための位相変調パターンとを足し合わせた位相変調パターンに制御する
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、さらに、
前記光源ユニットから出射された光の波長、波面、または光束径の少なくとも1つが異なる前記光源ユニットの状態毎に、前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置と前記遮断手段の位置を一致させるための情報を予め格納する記憶部を備え、
前記制御装置は、前記記憶部から前記光源ユニットの状態に応じた情報を読み出して、読み出した情報に基づいて、前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置と前記遮断手段の位置を一致させる
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、
前記光源ユニットは、前記光源ユニットから出射される光の光束径を変更するためのレンズ系を備え、
前記制御装置は、前記対物レンズの瞳径に応じた光束径を有する光が前記光源ユニットから出射されるように、前記レンズ系を制御する
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、
前記光源ユニットは、波長可変レーザを備える
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、
前記光源ユニットは、
複数の光源と、
前記複数の光源から選択された光源からの光を、前記光源ユニットから出射して前記空間光変調器へ導くための光路切り替え手段と、を備える
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、
前記遮断手段を前記空間光変調器と前記対物レンズの間の光路に対して挿脱する挿脱機構と、
前記標本面からの光を検出する光検出器と、を備える
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項10に記載のパターン照射装置において、
前記制御装置は、前記挿脱機構により前記遮断手段が挿入された状態で前記光検出器により検出される光量と前記挿脱機構により前記遮断手段が取り除かれた状態で前記光検出器により検出される光量とを比較して、比較結果に基づいて前記空間光変調器から生じる0次光の集光位置と前記遮断手段の位置を一致させる
ことを特徴とするパターン照射装置。 - 請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載のパターン照射装置において、
前記パターン照射装置は顕微鏡装置である
ことを特徴とするパターン照射装置。
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