JP2014199863A - ファイバーレーザー光源装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 可視域の光を出力するのに適したファイバーレーザー光源装置の実用的な構造を提供する。【解決手段】 Pr3+がドープされたフッ化アルミニウム系ファイバー2のコア21には、励起用レーザー素子1から出力された励起光が結合用光学系3で集光、ビーム整形されながら入射する。励起光により励起されたコア21中のPr3+から放出された蛍光は、波長選択反射膜41,42より成る一対の共振素子で選択的に共振し、レーザー出力される。ファイバー2は、コア21、クラッド22及びシース23より成り、金属管5で覆われて保護され、また温度上昇が抑制される。【選択図】 図1
Description
本願の発明は、ファイバーレーザーに関するものである。
ファイバーをレーザー媒体としたファイバーレーザーは、加工機用等として従来から実用化されている。図4は、一般的なファイバーレーザー光源装置の概略構成を示した図である。
ファイバーレーザー光源装置は、励起用レーザー発振器81と、励起用レーザー発振器81からの励起光が入射するファイバー82と、ファイバー82を挟んで設けられた一対の共振素子83とから主に構成されている。
ファイバーレーザー光源装置は、励起用レーザー発振器81と、励起用レーザー発振器81からの励起光が入射するファイバー82と、ファイバー82を挟んで設けられた一対の共振素子83とから主に構成されている。
レーザー媒体となるファイバー(以下、アクティブファイバーと呼ぶ)82には、ダブルクラッドファイバーがしばしば使用される。励起用レーザー発振器81からの励起光は、結合器84を介してアクティブファイバー82に入射する。入射領域は、コアを含むインナークラッドの径の領域全体である。励起光は、アウタークラッドとインナークラッドとの屈折率差によりインナークラッド内で反射しながら伝搬する。この際、励起光がコアを通過し、コアに含まれるレーザー媒質を励起する。
一対の共振素子83は、ミラーが使用される場合もあるが、FBG(Fiber Bragg Grating)という特殊な分光素子が使用される場合が多い。出力波長の光は、一対のFBGの間で共振しながらアクティブファイバー82のコアで増幅され、出射側のFBGを通して出射される。
一対の共振素子83は、ミラーが使用される場合もあるが、FBG(Fiber Bragg Grating)という特殊な分光素子が使用される場合が多い。出力波長の光は、一対のFBGの間で共振しながらアクティブファイバー82のコアで増幅され、出射側のFBGを通して出射される。
http://www.sumita-opt.co.jp/ja/news/20050809_465.html
このようなファイバーレーザーの技術は、よりエネルギー密度の高い出力光を効力良く得ることが必要な分野で特に効果的であり、このため、マーキング等のレーザー加工の分野で盛んに研究され、実用化されてきた。従って、出力波長は1000nm前後の赤外域であり、励起用レーザーも、波長900nm程度の赤外線LD(半導体レーザー)である場合が多い。
しかしながら、高出力のレーザーは、可視域でも必要になる場合が多い。例えば、近年、大規模なスクリーン上に映像を投影する大型プロジェクタやデジタルシネマ映写機の研究や開発が行われている。より大きなスクリーン上に映像を投影するには、より高出力のRGB光源が必要である。発明者の研究によれば、ファイバーレーザーの技術を応用することで大型プロジェクタ等で使用できる高出力光源を実現できる可能性がある。
しかしながら、高出力のレーザーは、可視域でも必要になる場合が多い。例えば、近年、大規模なスクリーン上に映像を投影する大型プロジェクタやデジタルシネマ映写機の研究や開発が行われている。より大きなスクリーン上に映像を投影するには、より高出力のRGB光源が必要である。発明者の研究によれば、ファイバーレーザーの技術を応用することで大型プロジェクタ等で使用できる高出力光源を実現できる可能性がある。
可視光を出力するファイバーレーザーについては、希土類元素をフッ化物系ファイバー中にドープし、コンバージョン(波長変換)によって可視光を出力することが検討されている。これの点を開示したのが、特許文献1や非特許文献1である。これら文献には、Pr3+をドープしたフッ化ジルコニウム系ガラスより成るファイバーを用いてファイバーレーザーを構成し、491nmのレーザービームを出力する技術が開示されている。
しかしながら、フッ化ジルコニウム系ガラスについては耐水性などの化学的特性の問題があるとされている。このため、フッ化アルミニウム系ガラスに希土類をドープしたものをコア材料として使用することも検討されているが、フッ化アルミニウム系ガラスは機械的強度が弱いという欠点がある。
しかしながら、フッ化ジルコニウム系ガラスについては耐水性などの化学的特性の問題があるとされている。このため、フッ化アルミニウム系ガラスに希土類をドープしたものをコア材料として使用することも検討されているが、フッ化アルミニウム系ガラスは機械的強度が弱いという欠点がある。
このように、可視光を出力するファイバーレーザーとしては、ファイバー材料の選定に関して上記のような検討が僅かにされているのみであり、実用的な装置構成としてどのような課題が存在し、どのような構造が最適化などは何ら明らかとなっていない。こういった状況ではあるが、より大出力の可視光がレーザーにより得られるようになると、RGB原色の純度や輝度がより高くなるので、より広い領域により鮮明な映像が投影できるようになると推測される。
本願発明は、このような状況に鑑みて為されたものであり、可視域の光を出力するのに適したファイバーレーザー光源装置の実用的な構造を提供する技術的意義を有している。
本願発明は、このような状況に鑑みて為されたものであり、可視域の光を出力するのに適したファイバーレーザー光源装置の実用的な構造を提供する技術的意義を有している。
上記課題を解決するため、本願の請求項1記載の発明は、励起用レーザー素子と、励起用レーザー素子から出力された励起光により励起される媒質を含有したファイバーと、励起用レーザー素子からの励起光をファイバーのコアに入射させる結合用光学系と、ファイバーの両端に設けられた一対の共振素子とを備えており、
前記一対の共振素子は、励起光より励起された媒質が放出した特定の波長の光を共振させつつ当該波長の光を取り出すことが可能なものであり、
前記結合用光学系は、前記励起用レーザー素子から出力された励起光をファイバーに導く光学素子と、この光学素子を内蔵した筐体とを備えており、
前記ファイバーは、金属管内に収められており、
この金属管と前記結合用光学系の筐体とは、前記結合用光学素子と前記ファイバーとが同軸上となる位置で固定されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記一対の共振素子は、前記ファイバーの両端面に形成された反射膜であり、前記金属管は、前記ファイバーの温度が前記各共振素子の耐熱温度を越えないように前記ファイバーの昇温を抑えることが可能な熱容量を有している。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記金属管は、外側に放熱フィンを有している。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1、2又は3の構成において、前記ファイバーは、前記コアと、前記コアの取り囲んだクラッドと、クラッドを取り囲んだジルコニア製のシースとより成っており、前記金属管は、このシースの外側を覆っているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項4の構成において、前記ジルコニア製のシースは透光性であり、前記金属管は、前記シースを通して前記ファイバー内の発光を視認するための窓を有しているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項1乃至5いずれかの構成において、前記結合用光学系は、前記励起用レーザー素子から出力されたレーザー光を集光するものであり、集光されたレーザー光を前記ファイバーのコアに入射させるものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項6の構成において、前記励起用レーザー素子から出力されたレーザー光の断面形状は非円形であり、前記結合用光学系は、この断面形状を円形に変換しつつレーザー光を前記ファイバーに入射させるものであるこという構成を有する。
前記一対の共振素子は、励起光より励起された媒質が放出した特定の波長の光を共振させつつ当該波長の光を取り出すことが可能なものであり、
前記結合用光学系は、前記励起用レーザー素子から出力された励起光をファイバーに導く光学素子と、この光学素子を内蔵した筐体とを備えており、
前記ファイバーは、金属管内に収められており、
この金属管と前記結合用光学系の筐体とは、前記結合用光学素子と前記ファイバーとが同軸上となる位置で固定されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記一対の共振素子は、前記ファイバーの両端面に形成された反射膜であり、前記金属管は、前記ファイバーの温度が前記各共振素子の耐熱温度を越えないように前記ファイバーの昇温を抑えることが可能な熱容量を有している。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記金属管は、外側に放熱フィンを有している。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1、2又は3の構成において、前記ファイバーは、前記コアと、前記コアの取り囲んだクラッドと、クラッドを取り囲んだジルコニア製のシースとより成っており、前記金属管は、このシースの外側を覆っているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項4の構成において、前記ジルコニア製のシースは透光性であり、前記金属管は、前記シースを通して前記ファイバー内の発光を視認するための窓を有しているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項1乃至5いずれかの構成において、前記結合用光学系は、前記励起用レーザー素子から出力されたレーザー光を集光するものであり、集光されたレーザー光を前記ファイバーのコアに入射させるものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項6の構成において、前記励起用レーザー素子から出力されたレーザー光の断面形状は非円形であり、前記結合用光学系は、この断面形状を円形に変換しつつレーザー光を前記ファイバーに入射させるものであるこという構成を有する。
以下に説明する通り、本願の請求項1記載の発明によれば、ファイバーが金属管で覆われているので、ファイバーが保護され、また放熱により温度上昇も抑制できる。また、結合用光学系の光学的位置合わせも容易となる。
また、請求項2記載の発明によれば、上記効果に加え、反射膜の熱的損傷が防止される。
また、請求項3記載の発明によれば、上記効果に加え、金属管が放熱フィンを有するので、ファイバーの温度上昇抑制や反射膜の熱的損傷防止の効果がより高くなる。
また、請求項4記載の発明によれば、上記効果に加え、金属管とジルコニア製シースの二重管となるので、ファイバーの保護がより図られる。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、内部に配置されたファイバーでの発光が視認されるので、位置合わせ等の作業がさらに容易となる。
また、請求項6又は7記載の発明によれば、上記効果に加え、コア径の小さなファイバーを使用する場合も効率良く励起することができ、この点でレーザー出力の効率が高くなる。
また、請求項2記載の発明によれば、上記効果に加え、反射膜の熱的損傷が防止される。
また、請求項3記載の発明によれば、上記効果に加え、金属管が放熱フィンを有するので、ファイバーの温度上昇抑制や反射膜の熱的損傷防止の効果がより高くなる。
また、請求項4記載の発明によれば、上記効果に加え、金属管とジルコニア製シースの二重管となるので、ファイバーの保護がより図られる。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、内部に配置されたファイバーでの発光が視認されるので、位置合わせ等の作業がさらに容易となる。
また、請求項6又は7記載の発明によれば、上記効果に加え、コア径の小さなファイバーを使用する場合も効率良く励起することができ、この点でレーザー出力の効率が高くなる。
次に、本願発明を実施するための形態(以下、実施形態)について説明する。
図1は、本願発明の実施形態に係るファイバーレーザー光源装置の断面概略図である。図1に示す装置は、励起用レーザー素子1と、励起用レーザー素子1から出力された励起光により励起されるレーザー媒質を含有したファイバー(以下、メインファイバーと呼ぶ)2と、励起用レーザー素子1をメインファイバー2に入射させる結合用光学系3と、メインファイバー1の両端に設けられた一対の共振素子とを備えている。
励起用レーザー素子1は、メインファイバー2中のレーザー媒質や出力する波長によって変わってくるが、例えばGaN(窒化ガリウム)系の半導体レーザーが使用される。励起用レーザー素子1は、ベース板に嵌め込まれて固定されている。
図1は、本願発明の実施形態に係るファイバーレーザー光源装置の断面概略図である。図1に示す装置は、励起用レーザー素子1と、励起用レーザー素子1から出力された励起光により励起されるレーザー媒質を含有したファイバー(以下、メインファイバーと呼ぶ)2と、励起用レーザー素子1をメインファイバー2に入射させる結合用光学系3と、メインファイバー1の両端に設けられた一対の共振素子とを備えている。
励起用レーザー素子1は、メインファイバー2中のレーザー媒質や出力する波長によって変わってくるが、例えばGaN(窒化ガリウム)系の半導体レーザーが使用される。励起用レーザー素子1は、ベース板に嵌め込まれて固定されている。
図2は、図1に示すファイバーレーザー光源装置に使用されているメインファイバー2の断面図であり、(1)は径方向の断面図、(2)は入射側の端部における長さ方向の断面図である。図2(1)に示すように、メインファイバー2は、中央にコア21があり、その外側にクラッド22、さらにその外側にシース23を有する構造である。コア21の直径は、7〜15μm程度、クラッド22の外径は35〜50μm程度、シース23の外径は280〜300μm程度である。
メインファイバー2の材質は、この実施形態では、フッ化アルミニウム(AlF3)系ガラスとなっている。コア21は、フッ化アルミニウム系ガラスにレーザー媒質となる希土類元素をドープしたものとなっている。クラッド22にもフッ化アルミニウム系ガラスが使用されており、屈折率をコア21よりも低くする材料がドープされている。シース23は、例えばジルコニア製である。
フッ化アルミニウム系ファイバーは、前述したように機械的強度が弱い。従って、通信用や伝送用の一般的な光ファイバーのように細長いものにしてループさせることが可能なものにすることは好ましくない。ある程度短いもので、ある程度の太さを持つものにせざるを得ない。従って、図1に示すようなロッド状(円柱状)となる。ロッド状ではあるものの、コア21及びクラッド22より成るので、単なる円柱状の導光ロッドとは異なる。長さの一例を示すと、例えば全長30〜50mm程度である。
一対の共振素子としては、メインファイバー2の端面に形成された反射膜41,42が採用されている。反射膜41,42は、特定の波長の光のみを反射させ、他の波長の光は透過する波長選択膜(波長選択反射膜)で構成されている。特定の波長とは、この装置の出力波長である。入射側の反射膜41は、出力波長の光をほぼ100%反射し、他の波長を透過する波長選択膜である。出射側の反射膜42は、出力波長の光を数%(例えば5〜10%)だけ透過し、他の波長を含み残りを反射させる波長選択反射膜である。
コア21にドープする希土類元素としては、この実施形態では、Pr3+が選定されている。ドープ量は、例えば3000〜5000ppm程度である。例えば、前述したPr3+ドープのフッ化物ガラス系ファイバーをGaN系半導体レーザーで励起すると、3P0→3H4の遷移によって465〜495nmの波長領域の蛍光が生じ、3P1→3H5の遷移によって515〜555nmの波長領域の蛍光が生じる。また、3P0→3F2又は3P0→3H6の遷移によって600〜660nmの蛍光が生じる。
図3は、Pr3+をドープしたフッ化アルミニウム系ガラスの蛍光スペクトルを調べた結果の図である。励起光は、例えば波長448nmのGaN系半導体レーザーからの出力光であり、Pr3+のドープ量は3000ppmである。図3に示すように、Pr3+ドープのフッ化アルミニウム系ファイバーでは、465〜495nm程度の範囲に強いピークの蛍光が存在し、515〜555nm及び600〜660nmの範囲でも十分な強さの蛍光が確認される。
従って、例えば465〜495nmのうち任意の波長を選択的に反射する波長選択反射膜41,42を一対の共振素子として採用すれば、この波長の光がメインファイバー2内で共振してレーザー発振することになり、この波長を出力波長とする青色のファイバーレーザー光源装置を構成できる。また、515〜555nmのうち任意の波長を選択的に反射する波長選択反射膜41,42を一対の共振素子として採用すれば、この波長の光がメインファイバー2内で共振してレーザー発振することになり、この波長を出力波長とする緑色のファイバーレーザー光源装置を構成できる。また、600〜660nmのうち任意の波長を選択的に反射する波長選択反射膜41,42を一対の共振素子として採用すれば、この波長の光がメインファイバー2内で共振してレーザー発振することになり、この波長を出力波長とする赤色のファイバーレーザー光源装置を構成できる。このような波長選択反射膜41,42は、誘電体多層膜で構成され、蒸着によって形成される。例えば、波長選択反射膜41,42は、SiO2膜とTa2O5膜とを交互に多数積層した多層膜とすることができる。
また、結合用光学系3は、この実施形態では、励起用レーザー素子1からの励起光をメインファイバー2のコア21に入射させるものとなっている。前述したように従来の加工機用等のファイバーレーザーでは、励起光をクラッド22に入射させてクラッド22中を伝搬させ、コア21を通過する際にコア21中の媒質を励起するようにしている。この構造は、励起効率を高め、高出力のレーザー発振をする点では優れているが、実施形態の装置では採用が難しい。クラッド22伝搬を利用するには、メインファイバー2をかなり長くしなければならないが、フッ化アルミニウム系ガラスは機械的強度が弱く、細長くしてしまうと取り扱いが非常に難しくなってしまうからである。メインファイバー2の長さがある程度制限されることを考慮すると、励起光をコア21に直接入射させ、励起光がコア21中を伝搬するようにしながら励起を行う必要がある。このため、結合用光学系3は、励起光をコア21に導いて入射させるものとなっている。
また、実施形態の結合用光学系3は、励起用レーザー素子1からの励起光を集光し、ビーム整形した上でメインファイバー2に入射させるものとなっている。この点は、上述したように実施形態のメインファイバー2がコア入射であること、半導体レーザーを励起用レーザーとして使用していることによる。
即ち、コア入射とする場合、コア径まで励起光を集光しなければならない。クラッド入射の場合、クラッドだけに入射させるのではなく、コアとクラッド(厳密にはインナークラッド)を含めたファイバー全体に入射させるが、コア入射の場合、コア径まで励起光を集光する必要がある。特に、この実施形態では、クラッド22は励起光を吸収する性質があり、端面からクラッド22に励起光が入射してしまうと、励起光の多くが熱に変わる。このため、端面からクラッド22に励起光が入射すると、クラッド22の端面に形成されている反射膜41が熱的に損傷する可能性が高い。従って、コア21にのみ励起光が入射するようコア径程度まで集光する必要がある。
即ち、コア入射とする場合、コア径まで励起光を集光しなければならない。クラッド入射の場合、クラッドだけに入射させるのではなく、コアとクラッド(厳密にはインナークラッド)を含めたファイバー全体に入射させるが、コア入射の場合、コア径まで励起光を集光する必要がある。特に、この実施形態では、クラッド22は励起光を吸収する性質があり、端面からクラッド22に励起光が入射してしまうと、励起光の多くが熱に変わる。このため、端面からクラッド22に励起光が入射すると、クラッド22の端面に形成されている反射膜41が熱的に損傷する可能性が高い。従って、コア21にのみ励起光が入射するようコア径程度まで集光する必要がある。
また、半導体レーザーは、周知のようにビーム形状がほぼ楕円形であり、単に集光しただけであると、断面楕円形のビーム形状で励起光がメインファイバー2に入射することになる。この場合、コア21からはみ出さないように集光するにはかなり小さく集光しなければならなくなるし、そのようにしたとしても、コア21の領域に集光することが難しく、効率が低下する。従って、楕円形の断面形状を円形に変換した上でコア21に入射させる必要がある。
このように集光とビーム整形(形状変換)をする結合用光学系3として、この実施形態では、アナモルフィックプリズムペア光学系が採用されている。アナモルフィックプリズムペアは、二つのプリズムを用いて一方の軸のビームサイズを変化させることなく他方の軸のビーム倍率を変化させる光学系であり、レーザービームの整形用に市販されており、また特注も可能である。実施形態の結合用光学系3も、これらから適宜選定して使用可能である。
このような実施形態のファイバーレーザー光源装置は、上述したメインファイバー2の性状に応じて最適化した構造を有している。即ち、メインファイバー2は、コア21及びクラッド22をジルコニア製のシース23内に収容した構造となっており、その周囲を覆うようにして金属管5が設けられている。即ち、コア21及びクラッド22は、シース23と金属管5という二重管の内部に収められている。
メインファイバー2を金属管5の内部に収容することには、三つの意味がある。一つは、メインファイバー2の保護である。もう一つは、メインファイバー2の温度上昇防止である。さらにもう一つは、結合用光学系3との光学的位置合わせのためである。
上述したように、この実施形態ではフッ化アルミニウム系ガラスをコア材料として使用しており、耐水性の点ではフッ化ジルコニウム系ガラスのような問題はない。しかしながら、機械的強度が弱いという欠点がある。この点を考慮し、実施形態の装置は、メインファイバー2を金属管5の内部に収容して保護している。金属管5は、ステンレス製、アルミニウム製、銅製などであり得るが、蛇腹状のような可撓性のものではない。
上述したように、この実施形態ではフッ化アルミニウム系ガラスをコア材料として使用しており、耐水性の点ではフッ化ジルコニウム系ガラスのような問題はない。しかしながら、機械的強度が弱いという欠点がある。この点を考慮し、実施形態の装置は、メインファイバー2を金属管5の内部に収容して保護している。金属管5は、ステンレス製、アルミニウム製、銅製などであり得るが、蛇腹状のような可撓性のものではない。
また、上述したように、実施形態のファイバーレーザー光源装置は、コア入射であり、励起光が集光されて高いエネルギー密度でコア21に入射する。従って、メインファイバー2全体が熱を持ちやすく昇温し易い。メインファイバー2の温度上昇に起因して生じる問題は、メインファイバー2がガラス転移温度を超えてしまう点である。フッ化アルミニウム系ガラスのガラス転移温度は360℃程度であり、この程度の温度にまで上昇してしまうことは少ない。
実施形態の装置で熱的に弱いのは、共振素子として用いた反射膜41,42である。多層膜を蒸着することにより波長選択反射膜41,42として形成された反射膜41,42は、耐熱性が低い場合があり、例えば200℃程度である。従って、200℃以下の温度にメインファイバー2の昇温を抑える必要がある。このためには、熱容量の大きな金属でメインファイバー2を覆うことが好適である。そして、図1に示すように、実施形態では金属管5の外面に放熱フィン6を設けており、メインファイバー2の温度上昇を効果的に抑えている。例えば、ステンレス製の金属管5を使用し、放熱フィン6を設けることで、放熱フィン6の外面が50℃以下に抑えられるので、万が一手で触ってしまっても大きな事故になることはない。
金属管5の採用で重要なことは、結合用光学系3との光学系位置合わせである。前述したようにこの実施形態ではコア入射であり、コア21のみに精度良く励起光を入射させる必要がある。このためには、結合用光学系3とメインファイバー2とが精度良く同軸上に位置している必要がある。同軸上とは、結合用光学系3の光軸とメインファイバー2の中心(コア21の中心)が同一直線上に並ぶことである。
この位置合わせのためには、結合用光学系3を収容した筐体31に対してメインファイバー2を精度よく配置してその位置を固定する必要がある。機械的強度に劣るメインファイバー2を直接保持しながら位置合わせして筐体31に固定する訳にはいかないので、安定した形状の部材でメインファイバー2を保持しながら、その部材と筐体31とを位置精度良く固定する必要がある。この実施形態では金属管5は例えばステンレス製であり、例えばステンレス製である筐体31に対して位置合わせした後に固定される。固定は、例えばYAGレーザー溶接とすることができる。尚、位置合わせのためには、筐体31は光軸に垂直な端面を有し、金属管5はメインファイバー2の長さ方向に垂直な端面を有する必要があり、両者の突き合わせながら位置合わせした上で固定する。
また、金属管5の構造においては、上述した位置合わせを考慮した構造も採用されている。結合用光学系3とメインファイバー2との位置合わせの際には、励起用レーザー素子1を弱い出力で動作させながら、メインファイバー2からの出力をレーザーパワーモニターでチェックすることで行う。位置合わせがされていないと、励起光が十分にコア21に入射していないので、設定された出力波長(共振素子の共振波長)の光は出射されず、レーザーパワーモニターでは値が確認されない。位置あわせがされると、出力波長の光が出射されてこれがレーザーパワーモニターで捉えられるので、位置合わせの完了が確認できる。
このような位置合わせの際、レーザーパワーモニターの出力だけを見ていると、位置合わせがしづらい。この実施形態では、金属管5でメインファイバー2を覆いつつもメインファイバー2を直接視認できるようにしている。即ち、シース23には透光性のジルコニアを使用し、金属管5及び放熱フィン6には図1に示すように窓50,60を設けている。窓50,60は開口であるが、開口に透光性の部材が嵌め込まれた構造が採用される場合もある。位置合わせの際、窓50,60を通してメインファイバー2を見ながら行うので、メインファイバー2内でレーザー発振がされているか確認することができる。このため、位置合わせの作業がより容易となる。この点は、実施形態の装置が可視光用であることにも因っている。
尚、シース23とクラッド22とは接着剤で固定されている。従って、接着剤の耐熱性以上に昇温すると、接着剤の軟化のような問題が生じ得る。即ち、金属管5や放熱フィン6による放熱作用は接着剤の耐熱性以下とするためという意義もある。
尚、シース23とクラッド22とは接着剤で固定されている。従って、接着剤の耐熱性以上に昇温すると、接着剤の軟化のような問題が生じ得る。即ち、金属管5や放熱フィン6による放熱作用は接着剤の耐熱性以下とするためという意義もある。
また、図1に示すように、メインファイバー2の出射側には、導光用ファイバー7が接続されている。この点も、実施形態の装置の構造を考慮したものである。メインファイバー2にフッ化アルミニウム系ファイバーを使用した場合、機械的強度が弱いため、長尺でフレキシブルなものとすることが困難である。このため、図1に示すように短いものとせざるを得ない。このため、実施形態の装置では、メインファイバー2の出射側にコネクタ71,72を介して導光用ファイバー7を接続している。導光用ファイバー7は、例えば石英系のファイバーで良い。導光用ファイバー7が金属管5の後端に接続されるので、実施形態のファイバーレーザー光源装置は、ピグテール構造のものであるとすることもできる。
実施形態のファイバーレーザー光源装置では、励起用レーザー素子1が動作して励起光が出力されると、励起光は結合用光学系3により一部集光されビーム整形されてメインファイバー2に入射する。励起光はメインファイバー2中を伝搬してPr3+を励起し、各遷移により各蛍光を生じさせる。生じた蛍光のうち、波長選択反射膜41,42より成る一対の共振素子の共振波長の光のみが共振して出射側の共振素子から出射し、残りの蛍光や励起光は共振素子において吸収されて減衰するか、反射膜41を透過して減衰する。
実施形態のファイバーレーザー光源装置によれば、波長選択反射膜41,42より成る一対の共振素子の反射特性を所望のものにするだけで、所望の出力波長の可視光レーザーを得ることができ、特にRBGの各波長域において所望のものを得ることができる。このため、プロジェクタやデジタルシネマ映写機のような可視光を利用するシステムの光源用として好適に使用することができる。投影装置のRGB光源用として使用可能なレーザー光源については開発完了の報告がされたものもあるが、実施形態の装置では、ファイバーレーザーによって光を増幅し且つ波長変換しているので、高輝度であって且つ任意の波長のRGB光源とすることができるので、その優位性は著しい。特に、ドルビー3Dと呼ばれる3Dシステムでは(「ドルビー」は、ドルビー ラボラトリーズ ライセンシング コーポレーション社(米国)の登録商標)、15nm程度以上離れた二つの波長の単色光源で一つの原色を作る必要があるが、波長選択が容易な実施形態のファイバーレーザー光源装置は、この用途に好適に使用することができる。
上記実施形態において、結合用光学系3としては、アナモルフィックプリズムペアの他、クロスシリンドリカルのようなシリンドリカルレンズや、トロイダルレンズを採用した光学系が用いられることもある。
尚、メインファイバー2にドープする希土類元素としては、Pr3+の他、Yb3+などがあり得る。
また、メインファイバー2の材質としては、フッ化アルミニウム系ガラスの他、ZBLANやZBLANPのようなフッ化ジルコニウム系ガラスが採用されることもある。励起用レーザー素子1については、InGaNレーザー、InGaNAsレーザー、GaNAsレーザーなどを使用することができる。
尚、メインファイバー2にドープする希土類元素としては、Pr3+の他、Yb3+などがあり得る。
また、メインファイバー2の材質としては、フッ化アルミニウム系ガラスの他、ZBLANやZBLANPのようなフッ化ジルコニウム系ガラスが採用されることもある。励起用レーザー素子1については、InGaNレーザー、InGaNAsレーザー、GaNAsレーザーなどを使用することができる。
1 励起用レーザー素子
2 ファイバー
21 コア
22 クラッド
23 シース
3 結合用光学系
31 筐体
41 波長選択反射膜
42 波長選択反射膜
5 金属管
6 放熱フィン
7 導光用ファイバー
2 ファイバー
21 コア
22 クラッド
23 シース
3 結合用光学系
31 筐体
41 波長選択反射膜
42 波長選択反射膜
5 金属管
6 放熱フィン
7 導光用ファイバー
Claims (7)
- 励起用レーザー素子と、励起用レーザー素子から出力された励起光により励起される媒質を含有したファイバーと、励起用レーザー素子からの励起光をファイバーのコアに入射させる結合用光学系と、ファイバーの両端に設けられた一対の共振素子とを備えており、
前記一対の共振素子は、励起光より励起された媒質が放出した特定の波長の光を共振させつつ当該波長の光を取り出すことが可能なものであり、
前記結合用光学系は、前記励起用レーザー素子から出力された励起光をファイバーに導く光学素子と、この光学素子を内蔵した筐体とを備えており、
前記ファイバーは、金属管内に収められており、
この金属管と前記結合用光学系の筐体とは、前記結合用光学素子と前記ファイバーとが同軸上となる位置で固定されていることを特徴とするファイバーレーザー光源装置。 - 前記一対の共振素子は、前記ファイバーの両端面に形成された反射膜であり、前記金属管は、前記ファイバーの温度が前記各共振素子の耐熱温度を越えないように前記ファイバーの昇温を抑えることが可能な熱容量を有していることを特徴とする請求項1記載のファイバーレーザー光源装置。
- 前記金属管は、外側に放熱フィンを有していることを特徴とする請求項1又は2記載のファイバーレーザー光源装置。
- 前記ファイバーは、前記コアと、前記コアの取り囲んだクラッドと、クラッドを取り囲んだジルコニア製のシースとより成っており、前記金属管は、このシースの外側を覆っていることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載のファイバーレーザー光源装置。
- 前記ジルコニア製のシースは透光性であり、前記金属管は、前記シースを通して前記ファイバー内の発光を視認するための窓を有していることを特徴とする請求項4記載のファイバーレーザー光源装置。
- 前記結合用光学系は、前記励起用レーザー素子から出力されたレーザー光を集光するものであり、集光されたレーザー光を前記ファイバーのコアに入射させるものであることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載のレーザーファイバー光源装置。
- 前記励起用レーザー素子から出力されたレーザー光の断面形状は非円形であり、前記結合用光学系は、この断面形状を円形に変換しつつレーザー光を前記ファイバーに入射させるものであることを特徴とする請求項6記載のファイバーレーザー光源装置。
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