JP2014199201A - 磁気ディスク検査装置および磁気ディスク検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 磁気ディスク検査装置のユーザが、自らの製品ディスクに発生し得る欠陥の事例を生じたサンプルディスクを用意して、そのサンプルディスクを認識処理してユーザ向けの欠陥認識パラメータを作成する機能を備えた磁気ディスク検査装置を提供する。
【解決手段】 ユーザが設置した基準ディスクを収納したディスクトレーから、順次基準ディスクを取出して、検査を行い、仮収納ディスクトレーへ逆順に収納し、全ての基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出し、前記仮収納ディスクトレーへ逆順に収納した基準ディスクを、前記基板ハンドリングユニットにより、専用ディスクトレーへ元の順番に詰め替え処理を行なうサンプルディスク測定制御部を磁気ディスク検査装置に備える。
【選択図】 図９

Description

本発明は、磁気ディスクの両面の傷や異物などを光学的に検査するスループットを高めた磁気ディスク検査装置のユーザが、自らの製品ディスクに発生し得る欠陥の事例を生じたサンプルディスクを用意して、そのサンプルディスクを測定処理してユーザ固有の欠陥認識パラメータを作成する機能を備えた磁気ディスク検査装置および磁気ディスク検査方法に関する。

磁気ディスク（メディア）は、年々記録密度が高くなってきており、それに伴い製造工程で管理すべきディスク表面の欠陥のサイズがより小さくなってきている。一方、スループットは従来のレートを維持して生産しなければならず、微細な欠陥を検出するために検査の時間を十分に確保するためにはディスクを検査装置に出し入れするためのハンドリング時間を短くすると共に、ディスク出し入れ時に微細な異物がディスクの表面に付着するのを極力防止しなければならない。

磁気ディスクは、基板の両面に磁性膜が形成されるため、基板の両面を同じ精度で検査しなければならない。この両面を検査する方法として、先ず、基板の一方の面を検査し、次に基板を反転させて他方の面を検査することが行われている。この基板の両面を片方ずつ順次検査する方法として、特許文献１には、ハンドリングロボットを用いて２つのスピンドルを備えた検査装置で第１のスピンドルに装着されて一方の面が検査されたディスクをハンドリングロボットで反転させて第２のスピンドルに装着し、他方の面の検査が終わったら第２のスピンドルから取り外してディスク排出位置へ搬送する構成が記載されている。

検査のスループットを維持しつつ高い検査精度を確保するためには、ディスクの検査装置への出し入れやディスクを反転させるためのハンドリング時間をできるだけ短くすることが重要になってくる。このディスクの検査装置への出し入れの時間にはカセットからのディスクの取り出しや検査後のディスクを検査結果に応じて仕分けしてそれぞれのカセットに戻す時間も含まれる。

然るに、特許文献１に記載されている発明においては、カセットからのディスクの取り出しや検査後のディスクを検査結果に応じて仕分けしてそれぞれのカセットに戻す時間も含んだトータルとしてのスループットを向上させることについては配慮されていない。

トータルとしてのスループットを向上させるには、複数の検査ユニットをそろえてそれらを同時に操作する方法が考えられるが、単純に検査ユニットの数を増やしただけでは装置の設置床面積(フットプリント)が広くなってしまい施設を大型化しなければならず、かつ、発塵源が増えて異物欠陥発生の原因となってしまうという不具合が生じてしまう。

特許文献２には、カセットから取り出した磁気ディスクの両面を検査し、検査結果に応じたグレード分けをして再びカセットに戻すまでのトータルのスループットを高い状態に維持しつつ、低発塵環境の中で実施することを可能とする磁気ディスク検査装置を開示している。その構成の特徴は、基板上の欠陥を光学的に検出する光学検査ユニットと、基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて基板回転駆動部に載置した基板を光学検査ユニットで検査する位置と基板を取出・供給する位置との間を回転して搬送するテーブルユニットと、検査前の基板を収納するカセットと検査後の基板を収納するカセットとを収容するカセット部と、このカセット部の検査前の基板を収納するカセットから未検査の基板を取り出してテーブルユニットの基板回転駆動部に供給すると共に、光学検査ユニットで両面を検査し終えた基板を基板回転駆動部から取り出してカセット部の検査後の基板を収納するカセットに収納する基板ハンドリングユニットとを備えた磁気ディスク検査装置において、光学検査ユニットとテーブルユニットとを複数備え、基板ハンドリングユニットは複数の光学検査ユニットで検査を終えた複数の基板を複数のテーブルユニットから同時に取出すとともに、未検査の複数の基板を複数のテーブルユニットに同時に供給するように構成している。

特許文献２に開示される磁気ディスク検査装置を、ディスク搬送系の効率を更に高めるために、搬送ロボットと基板回転駆動部を搭載したテーブルの間に受渡しホルダを設け、ディスクの反転機構を独立して設けた磁気ディスク検査装置を特許文献３が開示している。

特開２００８−３２４１５号公報 特開２０１２−７３１５５号公報 特願２０１２−１７７８３０号

特許文献３に開示される磁気ディスク検査装置において、光学式検査ユニット、制御装置の欠陥検査処理をユーザ独自に定義するために、ユーザ自らの製品ディスクに発生し得る欠陥の事例を生じたサンプルディスク(基準ディスクと呼ぶ)を用意して、その基準ディスクを測定処理してユーザ固有の欠陥認識パラメータを作成する機能を効率化して、自動化する課題が生じた。

基準ディスクは、ディスク検査装置の保守点検や、個々のディスク検査装置の測定結果が同じ値となるように、ディスク検査装置間のバラツキをなくすために基準とするもので、繰り返し使用され、専用のディスクトレーに基準ディスクは元の状態に戻されて厳格に管理される必要がある。

本発明の磁気ディスク検査装置の構成要素である多関節ロボットのディスク把持用ハンドは、図６に示すように磁気ディスクの内径と外径とを把持する形式のハンドを採用している。このハンドを使用すると、図７に示すようなディスクトレーに基準ディスクが隙間なく搭載されている場合には、任意の位置のディスクを把持しようとすると、ハンドの爪部分が他のディスクに当るため、手前側の１番目の位置のディスクより順次把持して取り出さなければならない制約がある。また逆に、空のディスクトレーに隙間なくディスクをロボットハンドにより収納する場合には、一番奥側の２５番目の位置から順に、ディスクを収納していかなければならない制約がある。

本発明は、磁気ディスク検査のスループットを高めた磁気ディスク検査装置において、専用ディスクトレーに収納された基準ディスクの自動認識を行い、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを作成する手段を提供する。

上記課題を解決するために本発明では、基板上の欠陥を光学的に検出する光学検査ユニットと、前記基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて該基板回転駆動部に載置した前記基板を前記光学検査ユニットの下部を通過させて基板の表面の検査を実行するテーブルユニットと、検査前の基板を収納するディスクトレーと検査後の基板を収納するディスクトレーとを収容する仕分けテーブルと、前記基板回転駆動部に未検査の基板を供給すると共に、前記基板回転駆動部から検査をし終えた基板を取出す受渡ユニットと、該仕分けテーブルの検査前の基板を収納するディスクトレーから未検査の基板を取り出して前記受渡ユニットに供給すると共に、前記光学検査ユニットで両面を検査し終えた基板を前記受渡ユニットから受け取って前記仕分けテーブルの検査後の基板を収納するディスクトレーに収納する基板ハンドリングユニットとを備えた磁気ディスク検査装置に、ユーザが設置した基準ディスクを収納したディスクトレーから、順次基準ディスクを取出して、検査を行い、仮収納ディスクトレーへ逆順に収納し、全ての基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出し、前記仮収納ディスクトレーへ逆順に収納した基準ディスクを、前記基板ハンドリングユニットにより、専用ディスクトレーへ元の順番に詰め替え処理を行なうサンプルディスク測定制御部を更に備えて磁気ディスク検査装置を構成した。

また、本発明の磁気ディスク検査方法は、ユーザが設置した基準ディスクを収納したディスクトレーから、順次基準ディスクを取出して検査を行うステップと、仮収納ディスクトレーへ前記基準ディスクを逆順に収納し、全ての前記基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出するステップと、前記仮収納ディスクトレーへ逆順に収納した前記基準ディスクを、基板ハンドリングユニットにより、専用ディスクトレーへ元の順番に詰め替え処理を行なうステップと、を有する。

磁気ディスク検査装置において、ユーザ自らの製品ディスクに発生し得る欠陥の事例を生じたサンプルディスク(基準ディスクと呼ぶ)を用意して、その基準ディスクを測定してユーザ固有の欠陥認識パラメータを作成する機能を効率化して、自動化した。処理後に、専用のディスクトレーに基準ディスクは元の状態に戻されて管理することができる。

本発明の一実施形態である磁気ディスク検査装置の全体レイアウト図である。 本発明の一実施形態である磁気ディスク検査装置の制御系統とディスク検査制御装置のブロック図である。 本発明の一実施形態における光学式検査ユニットの概略の構成を示す正面図である。 図４(Ａ),(Ｂ)は、２台のスピンドルを搭載したステージと受渡ホルダとのディスクの受渡しを説明する概略図である。 図５(Ａ)は、受渡ホルダのディスク載置部が、ディスクを保持している様子を説明する図である。図５(Ｂ),(Ｃ),(Ｄ)は、受渡ホルダがディスクをスピンドルに搭載する様子を説明する図である。 多関接ロボットのディスク把持用ハンドを示す斜視図である。 ディスクトレーに基準ディスクが隙間なく搭載されている様子を示す斜視図である。 量産時には検査終了後の不良品ディスクをランク分け収納する仕分けテーブルに基準ディスクを収納したディスクトレーを配置する例を示す図である。 サンプルディスク測定処理を模式的に説明する図である。 サンプルディスク測定処理のフローチャートを示す図である。 基準ディスク詰換え処理を模式的に説明する図である。 基準ディスク詰換え処理のフローチャートを示す図である。 ディスク測定処理前後のディスクトレーへのディスク収納関係と、ディスク詰め替え処理の前後のディスクトレーへのディスク収納関係とを纏めて示す図である。

以下に、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

図１は、本発明の一実施形態である磁気ディスク検査装置の全体レイアウト図である。本実施形態のディスク検査装置１００は、ディスク２枚を把持する事が出来る２つのハンドを持つ多関節ロボット１、ディスク面上の各種欠陥を検査する検査ユニット２、ディスク４枚を保持し上下動および水平回転出来る機能を持つ受渡搬送部の一実施例である受渡ホルダ３、量産時に検査対象の供給ディスクを例えば１００枚収納する洗浄籠４、検査終了後の良品ディスクを収納するディスクカセット５、検査終了後の不良品ディスクをランク分け収納する仕分けテーブル６を有する。

多関節ロボット１は、複数の爪でディスクの内径と外径とを把持及び開放するロボットハンド１１を備えている(図６参照)。多関節ロボット１は、量産時には、このロボットハンド１１で洗浄籠４から未検査ディスクを取出し、受渡ホルダ３に渡し、受渡ホルダ３から検査済ディスクを受け取り、仕分けテーブル６におく。このとき、良品ディスクはディスクカセット５に収納する。このように、多関節ロボット１は、受渡ホルダ３を介して、検査ユニット２に未検査ディスクを供給し、検査済ディスクを所定の場所に排出するディクスの供給排出搬送部の一実施例を構成する。

本実施形態の磁気ディスク検査装置の特徴である受渡ホルダ３は、ディスクを保持可能なディスク載置部３３を複数有するベース３１と、ベース３１を回転中心３２を中心に回転させ、上下動させる駆動機構３５を有する。受渡ホルダ３は、検査ユニット２とのディスクの受け渡し時に、検査ユニット２へ供給する未検査のディスク２枚を保持しながら、検査済みの２枚のディスクを受け取るために、ディスク４枚を同時に保持可能である。受渡ホルダ３は、検査ユニット２とのディスク受け渡し時に、上下動し、検査ユニット２に設けられた２台のスピンドル２１から２枚のディスクを受け取る。その後、受渡ホルダ３は、保持している未検査の２枚のディスクを水平回転によって前記２台のスピンドル２１に正対させ、未検査の２枚のディスクを前記２台のスピンドル２１に載置する。

受渡ホルダ３の４か所のディスク載置部３３は１枚おきに供給、受取り用のディスクホルダになっており、最小の水平回転角度の移動でディスクの受渡しができるようになっている。この結果、ディスク搬送動作時間の短縮が可能でスループットの向上になる。

図４(Ａ)には、２台のスピンドル２１を搭載したステージ２５が受渡ホルダ３へ移動して、検査済みの２枚のディスク５１，５２を受渡ホルダ３のディスク載置部３３ｂ，３３ｄへ受け渡す動作を説明している。また、図４(Ｂ)には、受渡ホルダ３のディスク載置部３３ａ，３３ｃが保持する未検査の２枚のディスク５３，５４を受け取るために、ステージ２５が受渡ホルダ３へ移動して、ディスクを受け渡すことを説明している。

図５(Ａ)には、受渡ホルダ３のディスク載置部３３が、ディスク支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃにより３点支持方式でディスク５１を保持している様子を説明している。また、図５(Ｂ),(Ｃ),(Ｄ)の順に受渡ホルダ３が降下して、ディスク載置部３３に保持していたディスク５１をスピンドル２１に搭載する様子を説明している。

受渡ホルダ３は、検査ユニット２との間のディスク受け渡しと同様に、多関節ロボット１との間で、検査済みの２枚のディスクを渡し、未検査の２枚のディスクを受け取る、受け渡しを行う。

この受渡ホルダ３と検査ユニット２、及び受渡ホルダ３と多関節ロボット１との受け渡しを交互に行うことによって、検査ユニット２と多関節ロボット１は、相手側の動作タイミングに影響を受けることが殆ど無くなり、相互に独立して搬送動作を行なえる割合が多くなるので、ディスク搬送動作時間に停滞などの無駄が無くなりスループットの向上になる。

検査ユニット２は、前述した２台のスピンドル２１を搭載したステージ２５と、ディスクを検査するための光学式検査ユニット２２と、ディスクの表裏両面を検査するためのディスク反転機構２４と、ステージ２５を移動させるキャリッジ２３とを備える。キャリッジ２３は、ステージ２５と共に検査ユニット搬送部の一実施例を構成し、ディスクを受渡ホルダ３との受け渡し位置と、ディスク反転機構２４との間を往復移動させる。ディスク反転機構２４は、ディスクの外周部をハンドにより把持して、スピンドル２１から持ち上げて、反転させて、再びスピンドルへディスクを装着する動作を行なう。

光学式検査ユニット２２は、図３に示すように、検査対象の磁気ディスク５１の表面に斜方から光を照射する照明光学系２６と照明光学系により光が照射された磁気ディスク１の表面からの反射光を検出する検出光学系２７を備えている。照明光学系２６と検出光学系２７とは、光学式検査ユニット２２に支持されている。光学式検査ユニット２２による検査は、ステージ２５が光学式検査ユニット２２の下部を通過中にスピンドル２１を高速旋回させながら、ディスク表面の欠陥を検査する。検査は、ディスク反転機構２４への移動中にディスクの上面が検査され、ディスク反転機構２４でディスクが反転され受渡ホルダ３との受け渡し位置に戻る移動中にディスクの下面が検査される。

本発明の一実施形態であるディスク検査装置１００の制御系統とディスク検査制御装置８０を図２にブロック図で示す。
ディスク検査制御装置８０は、ＣＰＵなどにより構成される演算部８１が、記憶部８２に記憶された各種プログラムをロードして実行することにより、各機能を実現する。
ディスク検査量産制御部９１は、ディスク検査装置１００により製品ディスクを検査する量産時の検査装置の全動作を制御する。

サンプルディスク測定制御部９２は、ユーザがディスク検査装置１００の保守点検時などに、専用ディスクトレーに収納した基準ディスクを用意して、ユーザ固有の欠陥認識パラメータなどを作成・修正処理を起動すると、ディスク検査装置１００の全動作を制御する。

ディスク欠陥検査部９３は、光学式検査ユニット２２により検査したディスク表面の検査データより、欠陥を検査する処理を行なう。光学式検査ユニット２２で磁気ディスク１からの反射光を検出して得た信号はディスク欠陥検査部９３で処理されて磁気ディスク１の傷や異物などの欠陥が検出される。
欠陥認識パラメータ算出部９４は、サンプルディスク測定制御部９２の制御により、全ての基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出して、記憶部８２のユーザ定義欠陥認識パラメータ記憶領域９７に記憶する。

ロボット搬送動作制御部９５は、ロボットコントローラ６４を介して、多関節型ロボット１の動作を制御する。
記憶部８２のディスク検査装置制御パラメータ記憶領域９６には、ディスク検査装置１００の各部を制御するために必要となる各種パラメータが格納されている。

ディスク検査制御装置８０は、更に入力部８３、出力部８４、通信部８５を備える。通信部８５、ＧＰ−ＩＢなどのローカルバス７０を介して、光学式検査ユニット２２、スピンドル制御装置６１、キャリッジ制御装置６２、反転機構制御装置６３、ロボットコントローラ６４、受渡ホルダ制御装置６５、仕分けテーブル制御装置６６、カセット搬送制御装置６７と接続されている。

以上の構成のディスク検査装置１００において、ユーザにより入力部８３から、サンプルディスク測定制御部９２の起動が指示された場合のディスク検査装置１００の動作を説明する。

図８は、量産時には検査終了後の不良品ディスクをランク分け収納する仕分けテーブル６を示す。サンプルディスク測定制御部９２が実行される場合には、ユーザは基準ディスクが収容された専用ディスクトレーを、例えばSUPPLY-Aの位置に置き、空のディスクトレーを例えばEMPTY-Aの位置に置く。専用ディスクトレーは、本実施例では２５枚の基準ディスクを収納する容量であるが、２５枚には限定されない。また、基準ディスクが２５枚より少ない枚数しか収納されていない場合も当然考えられる。

図９に、専用ディスクトレーに収納された基準ディスクを順次取り出して、ディスク面の測定を行い、空のディスクトレーへ収納する一連の動作を模式的に説明する図を示す。また、図１０に、図９の一連のサンプルディスク測定処理のフローチャートを示す。図１０のフローチャートのステップに従って説明する。

専用ディスクトレー(カセット)に収納された基準ディスクの枚数Ｍをユーザが入力部８３より入力した値を読み込む。(Ｓ１００)
Ｎ＝１にセットする。(Ｓ１０１)
取出し順Ｎ枚目(ディスクトレーの手前側よりＮ枚目)の基準ディスクをロボットのハンドで把持して取出す。(Ｓ１０２)
受渡ホルダの未検査ディスク載置部３３にロボットがディスクを載置する。(Ｓ１０３)
受渡ホルダよりディスクをスピンドルに装着する。(Ｓ１０４)
検査ユニットによりディスク表面を検査する。(Ｓ１０５)
ディスクを反転機構により反転する。(Ｓ１０６)
検査ユニットにより基準ディスクの裏面を検査する。(Ｓ１０７)
基準ディスクを回収する時に裏面の状態では元に戻せないので、反転機構へ再度移動して、ディスクを反転機構により反転して表面にする。(Ｓ１０８)
受渡ホルダにより検査済み基準ディスクをスピンドルから回収する。(Ｓ１０９)
ロボットハンドにより、検査済み基準ディスクを受渡ホルダより仕分けテーブル６上の空のディスクトレー(収納カセット)まで搬送する。(Ｓ１１０)
空のディスクトレー(収納カセット)に、手前側より収納順(Ｍ＋１−Ｎ)枚目｛一番奥側の位置より順に｝の位置に検査済み基準ディスクを収納する。(Ｓ１１１)
全ての基準ディスクの測定が終了したか、否かを判定する。(Ｓ１１２)
残っている基準ディスクが在る場合には、Ｎをインクリメントして、Ｓ１０２からの処理を繰り返す。(Ｓ１１３)
以上のサンプルディスク測定処理では、基準ディスクが収容された専用ディスクトレーが１つの場合であったが、２つ在る場合には、２つ目の専用ディスクトレーを例えば仕分けテーブル６のSUPPLY-Bの位置に置き、ロボットハンドに２枚の基準ディスクを把持して、２枚ずつ並行に測定をすることができる。

欠陥認識パラメータ算出部９４は、サンプルディスク測定制御部９２の制御により、全ての基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出して、記憶部８２のユーザ定義欠陥認識パラメータ記憶領域９７に記憶する。

図１１に、サンプルディスク測定処理によって、空のディスクトレーへ逆順に収納された基準ディスクを、専用ディスクトレーへ元の順番に詰め替える処理を模式的に説明する。図１２に基準ディスク詰換え処理のフローチャートを示す。

仕分けテーブル６のSUPPLY-Bの位置に、基準ディスクを詰め替える空の専用ディスクトレーが置かれて、基準ディスク詰換え処理がスタートされている。
元の専用ディスクトレー(カセット)に収納された基準ディスクの枚数Ｍをユーザが入力部８３より入力した値を読み込む。(Ｓ２００)
Ｎ＝１にセットする。(Ｓ２０１)
検査済み基準ディスクを収納している仮収納のディスクトレー(仮収納カセット)より、取出し順Ｎ枚目(ディスクトレーの手前側よりＮ枚目)の基準ディスクをロボットのハンドで把持して取出す。(Ｓ２０２)
仕分けテーブル６を回転移動する。(Ｓ２０３)
基準ディスクを詰め替える空の専用ディスクトレーへ、手前側より収納順(Ｍ＋１−Ｎ)枚目｛一番奥側の位置より順に｝の位置に検査済み基準ディスクを収納する。(Ｓ２０４)
全ての基準ディスクの詰め替え処理が終了したか、否かを判定する。(Ｓ２０５)
未だ詰め替えていない基準ディスクが残っている場合は、仕分けテーブル６を回転移動して、Ｎをインクリメントして、Ｓ２０２からの処理を繰り返す。(Ｓ２０６，Ｓ２０７)
図１３に、２５枚の収容量の専用ディスクトレーに２５枚の基準ディスクが収容されている場合の、ディスク測定処理前後のディスクトレーへのディスク収納関係と、ディスク詰め替え処理の前後のディスクトレーへのディスク収納関係とを纏めて示している。

以上の処理によって、専用のディスクトレーに基準ディスクは元の状態に戻されて厳格に管理することができる。

１：多関節ロボット
２：検査ユニット
３：受渡ホルダ
４：洗浄籠
５：ディスクカセット
６：仕分テーブル
１１：ロボットハンド
２１：スピンドル
２２：光学式検査ユニット
２３：キャリッジ
２４：ディスク反転機構
２５：ステージ
２６：照明光学系
２７：検出光学系
３１：ベース
３２：回転中心
３３ａ、３３ｃ：未検査ディスク載置部
３３ｂ、３３ｄ：検査済ディスク載置部
３５：駆動機構
３６：ディスク支持ピン
５１：ディスク
７０：ローカルバス
８０：ディスク検査制御装置
８１：演算部
８２：記憶部
８３：入力部
８４：出力部
８５：通信部
９１：ディスク検査量産制御部
９２：サンプルディスク測定制御部
９３：ディスク欠陥検査部
９４：欠陥認識パラメータ算出部
９５：ロボット搬送動作制御部
９６：ディスク検査装置制御パラメータ記憶領域
９７：ユーザ定義欠陥認識パラメータ記憶領域
１００：ディスク検査装置

Claims (3)

1. 基板上の欠陥を光学的に検出する光学検査ユニットと、
   前記基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて該基板回転駆動部に載置した前記基板を前記光学検査ユニットの下部を通過させて基板の表面の検査を実行するテーブルユニットと、
   検査前の基板を収納するディスクトレーと検査後の基板を収納するディスクトレーとを収容する仕分けテーブルと、
   前記基板回転駆動部に未検査の基板を供給すると共に、前記基板回転駆動部から検査をし終えた基板を取出す受渡ユニットと、
   該仕分けテーブルの検査前の基板を収納するディスクトレーから未検査の基板を取り出して前記受渡ユニットに供給すると共に、前記光学検査ユニットで両面を検査し終えた基板を前記受渡ユニットから受け取って前記仕分けテーブルの検査後の基板を収納するディスクトレーに収納する基板ハンドリングユニットと
   を備えた磁気ディスク検査装置であって、
   ユーザが設置した基準ディスクを収納したディスクトレーから、順次基準ディスクを取出して、検査を行い、仮収納ディスクトレーへ逆順に収納し、全ての前記基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出し、前記仮収納ディスクトレーへ逆順に収納した前記基準ディスクを、前記基板ハンドリングユニットにより、専用ディスクトレーへ元の順番に詰め替え処理を行なうサンプルディスク測定制御部を更に備えることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
2. 前記基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて該基板回転駆動部に載置した前記基板を前記光学検査ユニットの下部を通過させて基板の表面の検査を実行するテーブルユニットの前進先にディスク反転機構が設置されており、
   前記サンプルディスク測定制御部の制御により、前記基準ディスクの裏面を前記光学検査ユニットにより検査後、再び前記ディスク反転機構により基準ディスクを表面に反転して、前記基板ハンドリングユニットにより回収することを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク検査装置。
3. ユーザが設置した基準ディスクを収納したディスクトレーから、順次基準ディスクを取出して検査を行うステップと、
   仮収納ディスクトレーへ前記基準ディスクを逆順に収納し、全ての前記基準ディスクを検査したデータに基づいて、ユーザ固有の欠陥認識パラメータを算出するステップと、
   前記仮収納ディスクトレーへ逆順に収納した前記基準ディスクを、基板ハンドリングユニットにより、専用ディスクトレーへ元の順番に詰め替え処理を行なうステップと、
   を有する磁気ディスク検査方法。

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