JP2014190892A - 試料観察方法、試料前処理方法、および荷電粒子線装置 - Google Patents
試料観察方法、試料前処理方法、および荷電粒子線装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】観察対象の内部にイオン液体を注入し、イオン液体で置換する。観察対象表面にイオン液体を塗布する手法や、観察対象全体をイオン液体に浸す手法に比べて、観察対象表面に付着するイオン液体の量を減少させることができる。このため、観察対象表面からイオン液体を除去する過程での観察対象の形態変化や、損傷が生じる機会を減少させつつ、観察対象の表面および内部に導電性を付加できるので、荷電粒子線観察装置により観察対象を効率的且つ効果的に観察することが可能となる。
【選択図】図10
Description
2 電子光学系
3 制御部
4 二次電子検出器
5 反射電子検出器
6 画像生成部
7 表示部
8 操作部
9 ステージ制御部
10 真空ポンプ
11 コンピュータ
12 試料室
13 対物レンズ
14 試料
15 電子ビーム
16 二次電子信号
17 反射電子信号
18 試料台
19 試料ステージ
20 注射筒
21 注射針
22 目盛
23 溝
24 光学顕微鏡画像
25 ヨコエビの腹部
26 刺口
27 過剰なイオン液体
28 ヨコエビ頭部の電子顕微画像
29 ヨコエビの口器
30 注射針駆動部
31 送液ポンプ
32 送液チューブ
33 イオン液体タンク
34 イオン液体
35 プローブ
36 イオン液体注入制御コンピュータ
37 イオン液体注入制御モニタ
38 イオン液体注入操作部
39 光学観察装置
40 注射針ソケット部
41 イオン液体注入用プローブ
42 イオン液体注入用プローブ駆動部
43 試料固定用プローブ
44 試料固定用プローブ駆動部
45 注入孔
46 固い試料
47 観察位置
48 注入孔
49 イオン液体の液滴
Claims (16)
- 観察対象に荷電粒子線を照射することにより得られる信号を検出して観察対象の画像を取得する試料観察方法であって、
観察対象にイオン液体を含む溶液を注入することを特徴とする試料観察方法。 - 請求項1記載の試料観察方法において、
観察対象の表面と内部にイオン液体を含む溶液を浸透させることを特徴とする試料観察方法。 - 請求項2記載の試料観察方法において、
イオン液体を含む溶液が表面と内部に浸透した観察対象に荷電粒子線を照射して観察することを特徴とする試料観察方法。 - 観察対象に荷電粒子線を照射することにより得られる信号を検出して観察対象の画像を取得する試料観察方法の試料前処理方法であって、
観察対象にイオン液体を含む溶液を注入することを特徴とする試料前処理方法。 - 請求項4記載の試料前処理方法において、
観察対象の表面と内部にイオン液体を含む溶液を浸透させることを特徴とする試料前処理方法。 - 請求項4記載の試料前処理方法において、
観察対象の画像を取得した後に、さらに、観察対象にイオン液体を含む溶液を注入することを特徴とする試料前処理方法。 - 観察対象を載置するステージと、
観察対象に荷電粒子線を照射する電子光学系と、
荷電粒子線の照射により得られる信号を検出する検出器と、
信号に基づいて生成された観察対象の画像を表示する表示装置と、備え、
観察対象にイオン液体を含む溶液を注入する注入機構を備える荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記表示装置に、観察対象にイオン液体を含む溶液を注入する過程を表示できることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記注入機構が、観察対象にイオン液体を含む溶液を注入できる微細管を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9記載の荷電粒子線装置において、
前記微細管に、目盛りが設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記注入機構が、イオン液体を含む溶液を付着させた状態で観察対象に突き刺すことができる針を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記注入機構が、観察対象にイオン液体を含む溶液を注入できる溝が設けられた針を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記注入機構により観察対象に注入されるイオン液体を含む溶液の量を制御する注入量制御装置を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
観察対象にイオン液体を含む溶液を注入する過程を観察できる光学観察装置を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記ステージの材質が吸水性を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
試料室の内部で動かすことができるプローブを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
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