JP2014184405A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
塗布装置および塗布方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014184405A JP2014184405A JP2013061639A JP2013061639A JP2014184405A JP 2014184405 A JP2014184405 A JP 2014184405A JP 2013061639 A JP2013061639 A JP 2013061639A JP 2013061639 A JP2013061639 A JP 2013061639A JP 2014184405 A JP2014184405 A JP 2014184405A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- coating liquid
- nozzle
- discharge pump
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 133
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 131
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 90
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 塗布液を貯留する貯留タンク41と、この貯留タンク41内に貯留された塗布液をスリットノズル13に送液するための吐出ポンプ42と、分岐部45と、この分岐部45に接続され分岐部45における塗布液の圧力を測定する圧力計44と、スリットノズル13から基板に対して塗布液を吐出するときの流路抵抗と同等の流路抵抗を発生させる抵抗部43とを備える。
【選択図】 図3
Description
13 スリットノズル
14 キャリッジ
15 ノズル支持部
16 昇降機構
17 走行レール
20 リニアモータ
23 リニアエンコーダ
31 ノズル洗浄機構
41 貯留タンク
42 吐出ポンプ
43 抵抗部
44 圧力計
45 分岐部
51 電磁開閉弁
52 電磁開閉弁
61 管路
62 管路
100 基板
Claims (5)
- ノズルと被塗布部材とを相対移動させることにより前記被塗布部材に塗布液を塗布する塗布装置であって、
塗布液タンクに貯留された塗布液を圧送する吐出ポンプと、
前記吐出ポンプの駆動速度を制御する駆動速度制御部と、
前記吐出ポンプと前記ノズルとを連結する第1流路と、
前記第1流路と分岐した第2流路に配設され、前記ノズルから塗布液を吐出するときの流路抵抗と同等の流路抵抗を生じる抵抗部と、
前記吐出ポンプを、前記ノズルまたは前記抵抗部に選択的に接続する流路切替機構と、
前記吐出ポンプと前記ノズルとが接続されたときの前記第1流路の圧力と、前記吐出ポンプと前記抵抗部とが接続されたときの前記第2流路の圧力とを測定する圧力計と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記抵抗部は、流路抵抗の大きさを変更可能である塗布装置。 - 請求項1または請求項2に記載の塗布装置において、
前記流路切替機構は、前記吐出ポンプと前記ノズルとの間の流路に配設された第1開閉弁と、前記吐出ポンプと前記抵抗部との間の流路に配設された第2開閉弁とを備え、
前記圧力計は、前記第1開閉弁と前記第2開閉弁との間に配設される塗布装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の塗布装置において、
前記被塗布部材は平面状の基板であり、
前記基板を載置するテーブルと、
前記ノズルを前記テーブル上に載置された基板の表面に沿って移動させる移動機構と、
を備える塗布装置。 - ノズルと被塗布部材とを相対移動させることにより前記被塗布部材に塗布液を塗布する塗布方法であって、
吐出ポンプにより第1流路を介して前記ノズルに塗布液を圧送するときの前記第1流路の圧力を測定することで圧力損失を測定する工程と、
前記吐出ポンプにより第2流路を介して抵抗部に塗布液を圧送するときの前記第2流路の圧力を測定して、前記抵抗部に抵抗値を設定する工程と、
抵抗値が設定された抵抗部に塗布液を送液し、前記吐出ポンプの駆動速度を調整する工程と、
からなることを特徴とする塗布方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013061639A JP6155064B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 塗布装置および塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013061639A JP6155064B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 塗布装置および塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014184405A true JP2014184405A (ja) | 2014-10-02 |
JP6155064B2 JP6155064B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=51832501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013061639A Active JP6155064B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 塗布装置および塗布方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6155064B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180042343A (ko) | 2015-09-02 | 2018-04-25 | 다즈모 가부시키가이샤 | 토출장치 |
KR20220170000A (ko) | 2021-06-22 | 2022-12-29 | 한국전기연구원 | 면상발열체 및 면상발열체 제조방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002219399A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-06 | Nec Corp | ダイコータ |
JP2003190862A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布方法及び塗布装置 |
JP2006239600A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および処理液供給方法 |
-
2013
- 2013-03-25 JP JP2013061639A patent/JP6155064B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002219399A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-06 | Nec Corp | ダイコータ |
JP2003190862A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布方法及び塗布装置 |
JP2006239600A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および処理液供給方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180042343A (ko) | 2015-09-02 | 2018-04-25 | 다즈모 가부시키가이샤 | 토출장치 |
US10500606B2 (en) | 2015-09-02 | 2019-12-10 | Tazmo Co., Ltd. | Ejection device |
KR20220170000A (ko) | 2021-06-22 | 2022-12-29 | 한국전기연구원 | 면상발열체 및 면상발열체 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6155064B2 (ja) | 2017-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100817650B1 (ko) | 접합 기판 제조 장치 | |
EP2657751B1 (en) | Method and device of manufacturing plate-shaped bonded body | |
CN104698758A (zh) | 处理液供给装置和处理液供给方法 | |
TW201225031A (en) | Assembly system of 3D display panel apparatus with touch panel | |
KR101656933B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
JP2014180604A (ja) | 間欠塗布装置および間欠塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2015192984A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
JP6155064B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2013175622A (ja) | 塗布装置、基板保持装置および基板保持方法 | |
KR20130002569A (ko) | 기판 자동 실링장치의 이송유닛 | |
WO2018051397A1 (ja) | 液晶滴下装置及び液晶滴下方法 | |
KR101220202B1 (ko) | 기판 자동 실링장치의 로딩유닛 | |
JP2011207606A (ja) | 基板反転装置及び基板反転方法 | |
JP5537223B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP5871674B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
KR101926913B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
JP2019171271A (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP5941644B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP6062776B2 (ja) | バッキングロールを有するコータ | |
WO2013121814A1 (ja) | 塗布装置 | |
KR101262027B1 (ko) | 기판 자동 실링장치의 실링유닛 | |
JP2016026370A (ja) | 製造システム | |
JP4414798B2 (ja) | 液晶表示素子の製造装置および製造方法 | |
JP2006243742A (ja) | 基板貼合せ方法 | |
KR20120110555A (ko) | 표시기판의 밀봉 디바이스 및 밀봉 장치, 및 밀봉 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161025 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6155064 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |