JP2014181353A - アークプラズマ成膜装置 - Google Patents
アークプラズマ成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014181353A JP2014181353A JP2013054852A JP2013054852A JP2014181353A JP 2014181353 A JP2014181353 A JP 2014181353A JP 2013054852 A JP2013054852 A JP 2013054852A JP 2013054852 A JP2013054852 A JP 2013054852A JP 2014181353 A JP2014181353 A JP 2014181353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- carbon
- forming apparatus
- arc plasma
- bent tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】カーボンイオンを含むアークプラズマを生成して、カーボンを主成分とする薄膜を処理対象の基板上に形成するアークプラズマ成膜装置であって、基板が格納される格納室と、成膜用のカーボンターゲットが配置される放電室と、格納室と放電室とを連結する、屈曲部を有する屈曲管と、格納室内及び屈曲管内の少なくともいずれかにカーボンアッシング用のプラズマを発生するプラズマ発生部とを備え、格納室内及び屈曲管内に堆積したカーボン膜及びカーボン粉塵をカーボンアッシング用のプラズマにより除去する。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施形態に係る図1に示すアークプラズマ成膜装置1は、カーボンイオンを含むアークプラズマ200をアーク放電によって生成して、カーボンを主成分とする薄膜を処理対象の基板100上に形成するFAD法を採用した成膜装置である。成膜用のカーボンターゲット600は、基板100に所望の薄膜を形成するためにアークプラズマ200に曝される。
図7に本発明の第1の実施形態の変形例に係るアークプラズマ成膜装置1を示す。図7に示したアークプラズマ成膜装置1では、プラズマ発生部50が格納室10に配置されている。つまり、プラズマ発生部50のカソード電極52は格納室10内に配置されており、格納室10内で形成されたカーボンアッシング用のプラズマ300によって、格納室10と屈曲管30がクリーニングされる。
図1では、格納室10と屈曲管30が一体化されている例を示した。しかし、格納室10と屈曲管30とが分離可能なアークプラズマ成膜装置1においても、本発明は適用可能である。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…格納室
11…排気口
12…ステージ
20…放電室
30…屈曲管
31…遮断機構
32…排出機構
40…誘導コイル
50…プラズマ発生部
51…アノード電極
52…カソード電極
53…交流電源
54…ガス導入機構
60…ターゲット保管室
100…基板
200…アークプラズマ
300…カーボンアッシング用のプラズマ
500…クリーニング用ガス
600…カーボンターゲット
Claims (9)
- カーボンイオンを含むアークプラズマを生成して、カーボンを主成分とする薄膜を処理対象の基板上に形成するアークプラズマ成膜装置であって、
前記基板が格納される格納室と、
成膜用のカーボンターゲットが配置される放電室と、
前記格納室と前記放電室とを連結する、屈曲部を有する屈曲管と、
前記格納室内及び前記屈曲管内の少なくともいずれかにカーボンアッシング用のプラズマを発生するプラズマ発生部と
を備え、前記格納室内及び前記屈曲管内に発生したカーボン膜及びカーボン粉塵を前記カーボンアッシング用のプラズマと反応させることにより除去することを特徴とするアークプラズマ成膜装置。 - 前記プラズマ発生部が、O2+Ar、O2、N2+Ar、N2、O2+N2+Arのいずれかのガスから前記カーボンアッシング用のプラズマを発生させることを特徴とする請求項1に記載のアークプラズマ成膜装置。
- 前記プラズマ発生部が、グロー放電により前記カーボンアッシング用のプラズマを発生させることを特徴とする請求項1又は2に記載のアークプラズマ成膜装置。
- 前記プラズマ発生部が、互いに対向する主面にそれぞれ開口部を有する貫通孔が形成されたマルチホローカソード電極により前記グロー放電を発生させることを特徴とする請求項3に記載のアークプラズマ成膜装置。
- 前記屈曲管に沿って配置された誘導コイルを更に備え、
前記誘導コイルが、前記カーボンアッシング用のプラズマを誘導する磁場を前記屈曲管に形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアークプラズマ成膜装置。 - 前記誘導コイルが、前記カーボンターゲットの表面に形成された前記アークプラズマを前記屈曲管を介して前記放電室から前記基板の主面に誘導する場合と逆向きの磁場を形成して、前記カーボンアッシング用のプラズマを誘導することを特徴とする請求項5に記載のアークプラズマ成膜装置。
- 前記プラズマ発生部が、前記屈曲管に配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアークプラズマ成膜装置。
- 前記屈曲管と前記格納室との連結箇所を遮断する遮断機構と、
前記屈曲管に設置された排出機構と
を更に備え、前記カーボン膜及びカーボン粉塵と前記カーボンアッシング用のプラズマとの反応によって前記屈曲管内に発生した生成物が前記排出機構から排出されることを特徴とする請求項7に記載のアークプラズマ成膜装置。 - 前記プラズマ発生部が、前記格納室に配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアークプラズマ成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013054852A JP6051983B2 (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | アークプラズマ成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013054852A JP6051983B2 (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | アークプラズマ成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014181353A true JP2014181353A (ja) | 2014-09-29 |
JP6051983B2 JP6051983B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=51700371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013054852A Expired - Fee Related JP6051983B2 (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | アークプラズマ成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6051983B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023145270A1 (ja) * | 2022-01-28 | 2023-08-03 | 株式会社日立ハイテク | 流路切替バルブ、及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05503303A (ja) * | 1990-08-13 | 1993-06-03 | グッド,ロジャー・アール | エンドキュリー療法 |
JP2008297171A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Toyohashi Univ Of Technology | Dlc膜及びdlcコート金型 |
JP2009206180A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2011243635A (ja) * | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Landmark Technology Co Ltd | 堆積チャンバのリモートクリーニング方法 |
-
2013
- 2013-03-18 JP JP2013054852A patent/JP6051983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05503303A (ja) * | 1990-08-13 | 1993-06-03 | グッド,ロジャー・アール | エンドキュリー療法 |
JP2008297171A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Toyohashi Univ Of Technology | Dlc膜及びdlcコート金型 |
JP2009206180A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2011243635A (ja) * | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Landmark Technology Co Ltd | 堆積チャンバのリモートクリーニング方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023145270A1 (ja) * | 2022-01-28 | 2023-08-03 | 株式会社日立ハイテク | 流路切替バルブ、及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6051983B2 (ja) | 2016-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004281232A (ja) | ビーム源及びビーム処理装置 | |
WO2013030953A1 (ja) | プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置 | |
JP2011154973A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP4945566B2 (ja) | 容量結合型磁気中性線プラズマスパッタ装置 | |
JP2007277708A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
US6909087B2 (en) | Method of processing a surface of a workpiece | |
JP2008248347A (ja) | プラズマガン周辺を電気的中性にしたプラズマ生成装置 | |
US20140252953A1 (en) | Plasma generator | |
JP2010006678A (ja) | カーボンナノチューブ作製装置、カーボンナノチューブ作製方法、および、ラジカル作製装置 | |
JP6051983B2 (ja) | アークプラズマ成膜装置 | |
JP2008053116A (ja) | イオンガン、及び成膜装置 | |
JP2005281773A (ja) | 防着カバー、物質生成装置、及び被処理物 | |
JP2774367B2 (ja) | プラズマプロセス用装置および方法 | |
JP5684483B2 (ja) | プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置 | |
JP2015088218A (ja) | イオンビーム処理装置及び中和器 | |
JP2008071528A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2006253190A (ja) | 中性粒子ビーム処理装置および帯電電荷の中和方法 | |
JP5325623B2 (ja) | 電子源 | |
JP2008108745A (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
JP2013129897A (ja) | 誘導結合形プラズマ処理装置のマスク部材 | |
JP2007314842A (ja) | プラズマ生成装置およびこれを用いたスパッタ源 | |
JP2007266522A (ja) | プラズマ処理装置およびそれを用いた加工方法 | |
JP2020167107A (ja) | イオン源及び蒸着装置 | |
JP6511813B2 (ja) | プラズマ処理電極およびcvd電極 | |
TW201503211A (zh) | 離子束處理裝置、電極組以及電極組之洗淨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160823 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161011 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161114 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6051983 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |