JP5325623B2 - 電子源 - Google Patents
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Description
前記プラズマ生成室は、開口及び内壁を有する。
前記高周波アンテナは、前記プラズマ生成室内にプラズマを発生させるために、前記プラズマ生成室の外部に設けられる。
前記コレクター電極は、前記プラズマ中のイオンを捕集し、前記プラズマ中の電子を前記開口を介して前記プラズマ生成室外へ放出させるために、前記プラズマ生成室の内部に設けられる。
前記内部構造材は、誘電体でなり、前記プラズマ生成室の前記内壁と前記コレクター電極との間に、前記内壁と対向するように、前記内壁と距離をおいて設けられる。
前記プラズマ生成室は、開口を有する。
前記高周波アンテナは、前記プラズマ生成室内にプラズマを発生させるために、前記プラズマ生成室の外部に設けられる。
前記コレクター電極は、前記プラズマ中のイオンを捕集し、前記プラズマ中の電子を前記開口を介して前記プラズマ生成室外へ放出させるために、前記プラズマ生成室の内部に設けられる。
前記トリガ電極は、前記プラズマ生成室の外部に設けられ、前記プラズマ生成室内にトリガ放電を発生させる。
前記プラズマ生成室は、開口及び内壁を有する。
前記高周波アンテナは、前記プラズマ生成室内にプラズマを発生させるために、前記プラズマ生成室の外部に設けられる。
前記コレクター電極は、前記プラズマ中のイオンを捕集し、前記プラズマ中の電子を前記開口を介して前記プラズマ生成室外へ放出させるために、前記プラズマ生成室の内部に設けられる。
前記内部構造材は、誘電体でなり、前記プラズマ生成室の前記内壁と前記コレクター電極との間に、前記内壁と対向するように、前記内壁と距離をおいて設けられる。
前記引出し電極は、前記開口から遠ざかるにつれて開口面積が大きくなるようなテーパー状の引出し口を有し、前記引出し口が前記開口と向かい合うように、前記プラズマ生成室の外部に設けられている。この場合、前記トリガ電極は、前記引出し口に向けて前記トリガ放電を発生させてもよい。
前記プラズマ生成室は、開口を有する。
前記高周波アンテナは、前記プラズマ生成室内にプラズマを発生させるために、前記プラズマ生成室の外部に設けられる。
前記コレクター電極は、前記プラズマ中のイオンを捕集し、前記プラズマ中の電子を前記開口を介して前記プラズマ生成室外へ放出させるために、前記プラズマ生成室の内部に設けられる。
前記トリガ電極は、前記プラズマ生成室の外部に設けられ、前記プラズマ生成室内にトリガ放電を発生させる。
2…高周波アンテナ
3…コレクター電極
4…内部構造材
6…開口
9…内壁
10…プラズマ
11、411…スリット
13、313…引出し電極
14、314…引出し口
15…トリガ電極
100、200、300…電子源
315…トリガ電極の先端
320、330…引出し口の開口面
340…円筒領域
Claims (6)
- 開口及び内壁を有するプラズマ生成室と、
前記プラズマ生成室内にプラズマを発生させるために、前記プラズマ生成室の外部側に巻回された高周波アンテナと、
前記プラズマ中のイオンを捕集し、前記プラズマ中の電子を前記開口を介して前記プラズマ生成室外へ放出させるために、前記プラズマ生成室の内部の前記開口側に設けられた略円筒形状でなるコレクター電極と、
前記プラズマ生成室の前記内壁と前記コレクター電極との間に、前記内壁と対向するように、前記内壁と少なくとも容量結合型の初期プラズマが発生可能な距離をおいて設けられ、前記高周波アンテナの巻回方向を横切る方向に形成されたスリットを有する、誘電体でなる内部構造材と
を具備する電子源。 - 請求項1に記載の電子源であって、
前記内部構造材は、略円筒形状でなり、その中心軸が前記コレクター電極の中心軸と略等しくなるように設けられる電子源。 - 請求項1又は2に記載の電子源であって、
前記内部構造材は、前記内壁から1mm以上5mm以下の距離をおいて設けられる電子源。 - 請求項1から3のうちいずれか1項に記載の電子源であって、
前記プラズマ生成室の外部に設けられ、前記プラズマ生成室内にトリガ放電を発生させるトリガ電極をさらに具備する電子源。 - 請求項4に記載の電子源であって、
前記開口から遠ざかるにつれて開口面積が大きくなるようなテーパー状の引出し口を有し、前記引出し口が前記開口と向かい合うように、前記プラズマ生成室の外部に設けられた、前記電子を引き出すための引出し電極をさらに具備し、
前記トリガ電極は、前記引出し口に向けて前記トリガ放電を発生させる電子源。 - 請求項5に記載の電子源であって、
前記トリガ電極は、前記引出し口の前記プラズマ生成室側に位置する開口面を、前記プラズマ生成室と反対側に投影して得られる円筒領域に含まれない領域に設けられ、
前記トリガ電極の先端部が、前記引出し口の内部であり前記円筒領域に含まれない領域に配置される電子源。
Priority Applications (1)
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JP2009071352A JP5325623B2 (ja) | 2009-03-24 | 2009-03-24 | 電子源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009071352A JP5325623B2 (ja) | 2009-03-24 | 2009-03-24 | 電子源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010225411A JP2010225411A (ja) | 2010-10-07 |
JP5325623B2 true JP5325623B2 (ja) | 2013-10-23 |
Family
ID=43042389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009071352A Active JP5325623B2 (ja) | 2009-03-24 | 2009-03-24 | 電子源 |
Country Status (1)
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-
2009
- 2009-03-24 JP JP2009071352A patent/JP5325623B2/ja active Active
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