JP2014178188A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2014178188A
JP2014178188A JP2013052005A JP2013052005A JP2014178188A JP 2014178188 A JP2014178188 A JP 2014178188A JP 2013052005 A JP2013052005 A JP 2013052005A JP 2013052005 A JP2013052005 A JP 2013052005A JP 2014178188 A JP2014178188 A JP 2014178188A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
circuit
signal
semiconductor device
differential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
JP2013052005A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasushi Nishimura
靖 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2013052005A priority Critical patent/JP2014178188A/ja
Publication of JP2014178188A publication Critical patent/JP2014178188A/ja
Abandoned legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

【課題】差動回路の立ち上がり又は立下りのテストの容易化を図ることができる半導体装置を提供することである。
【解決手段】実施の形態の半導体装置は、差動回路と、電圧保持回路と、電圧比較回路とを有する。差動回路は、データ信号に応じた差動信号を出力する。電圧保持回路は、データ信号の変化点から第1の所定の時間経過後に、少なくとも差動信号の一方の電圧を保持する。電圧比較回路は、データ信号の変化点から第2の所定の時間経過後に、電圧保持回路で保持した電圧とリファレンス電圧とを比較する。
【選択図】図2

Description

本発明の実施の形態は、半導体装置に関する。
従来、デジタルカメラやパーソナルコンピュータ等に用いられる半導体装置では、差動信号を出力する差動回路を備えている。このような半導体装置では、差動回路が出力する差動信号の立ち上がり時間及び立ち下がり時間が、信号伝送時の遅延時間に関する重要なパラメーラとなる。そのため、これらの立ち上がり及び立ち下がり時間を出荷検査することが望まれている。
しなしながら、一般的な差動回路では、立ち上がり及び立ち下がり時間が仕様書に記載されているが、出荷検査では測定環境の構築が難しいため、設計段階での評価で動作を補償する設計保証となっている場合が多いという問題がある。
また、テスタのプローブを高周波の信号出力に対応することができるプローブに変更することで出荷検査を行うことができる場合もあるが、このようなプローブは高価であり、コストへの影響が大きいという問題がある。
特開2005−292134号公報 特開2002−311109号公報 特開2004−271463号公報
本発明の実施の形態の課題は、差動信号の立ち上がり又は立下りのテストの容易化を図ることができる半導体装置を提供することである。
実施の形態の半導体装置は、差動回路と、電圧保持回路と、電圧比較回路とを有する。差動回路は、データ信号に応じた差動信号を出力する。電圧保持回路は、データ信号の変化点から第1の所定の時間経過後に、少なくとも差動信号の一方の電圧を保持する。電圧比較回路は、データ信号の変化点から第2の所定の時間経過後に、電圧保持回路で保持した電圧とリファレンス電圧とを比較する。
第1の実施の形態に係る半導体装置の構成を示す図である。 データ送信回路13の詳細な構成について説明するための図である。 ドライバの詳細な構成について説明するための図である。 第1の実施の形態に係る半導体装置1のテスト時の動作のタイミングチャートを説明するための図である。 第2の実施の形態に係る半導体装置1のテスト時の動作のタイミングチャートを説明するための図である。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
まず、図1に基づき、第1の実施の形態に係る半導体装置の構成について説明する。
図1は、第1の実施の形態に係る半導体装置の構成を示す図である。
本実施の形態の半導体装置1は、例えばデジタルカメラに用いられる半導体チップであり、実使用時では、コントローラ2に接続されて使用される。半導体装置1は、後述する撮像素子11で撮像された撮像信号を差動信号でコントローラ2に送信する。コントローラ2には、例えば表示部としてのLCD3及び記憶部としてのメモリ4が接続される。コントローラ2は、半導体装置1から送信された差動信号を受信し、受信した差動信号に応じたデータをLCD3に表示する、あるいは、メモリ4に記憶する制御を行う。
また、半導体装置1は、出荷検査が行われる場合、テスタ5に接続され、後述する差動信号の立ち上がり時間や立ち下がり時間のテストが実施される。テスタ5は、出荷検査を行う際に、接続された半導体装置1にテスト用の制御信号を出力するとともに、半導体装置1から出力されたテスト結果に対して、例えば期待値比較を行い、出荷検査の合否を判定する。
半導体装置1は、撮像素子11と、パラレルシリアル変換回路(以下、P/S変換回路という)12と、データ送信回路13と、平均値演算回路14とを有して構成されている。また、コントローラ2は、データ受信回路15を有して構成されている。
撮像素子11は、被写体を撮像して得られた撮像信号をP/S変換回路12に出力する。P/S変換回路12は、撮像素子11から出力されたパラレルデータである撮像信号をシリアルデータに変換し、シリアルデータに変換したデータ信号をデータ送信回路13に出力する。
差動回路としてのデータ送信回路13は、入力されたデータ信号に応じた差動信号を生成し、コントローラ2のデータ受信回路15に出力する。
データ送信回路13は、出荷検査が行われる場合、後述する差動信号の立ち上がり時間や立ち下がり時間のテスト結果を平均値演算回路14に出力する。平均値演算回路14は、データ送信回路13から出力されたテスト結果の平均値を演算し、その演算結果をテスタ5に出力する。テスタ5は、平均値演算回路14から出力された演算結果に基づいて、出荷検査の合否を判定する。 また、データ受信回路15は、コンパレータと、コンパレータの2つの入力端子間に接続された抵抗とにより構成されており、入力された差動信号の電位差に応じて、HレベルまたはLレベルのデータ信号を出力する。コントローラ2は、データ受信回路15から出力されたデータ信号をLCD3に表示したり、メモリ4に記憶する制御を行う。
ここで、データ送信回路13の詳細な構成について、図2及び図3を用いて説明する。
図2は、データ送信回路13の詳細な構成について説明するための図であり、図3は、ドライバ22の詳細な構成について説明するための図である。
データ送信回路13は、定電流源21と、ドライバ22と、定電流源23と、電圧保持回路24と、リファレンス電圧発生回路25と、電圧比較回路26と、制御回路27とを有して構成されている。
ドライバ22は、図3に示すように定電流源21を介して電源(Vdd)に接続され、定電流源23を介してグランド(GND)に接続されている。ドライバ22には、P/S変換回路12からのデータ信号に応じた差動信号を出力する。図3に示すように、ドライバ22は、直列に接続されたスイッチ31、抵抗R、及びスイッチ32を有して構成されている。
スイッチ31及び抵抗R間から差動信号の+信号が出力され、スイッチ32及び抵抗R間から差動信号の−信号が出力される。そして、スイッチ31及び抵抗R間に電圧保持回路24が接続されおり、電圧保持回路24は差動信号の一方(本実施の形態では、+信号)の電圧を保持する。なお、本実施の形態では、電圧保持回路24が差動信号の+信号の電圧を保持するように構成されているが、−信号の電圧を保持するように構成されていてもよいし、+信号及び−信号の双方の電圧を保持するように構成されていてもよい。
スイッチ31及びスイッチ32は、それぞれ端子a、端子b及び端子cを備えており、データ信号に応じて接続先を切り替える。具体的には、スイッチ31及び32のそれぞれは、データ信号がHレベルの場合、端子aと端子bとが接続されるように切り替わる。この結果、スイッチ31の端子bが定電流源21を介して電源(Vdd)に接続されることにより、+信号がHレベルとなる。スイッチ32の端子bが定電流源23を介してグランド(GND)に接続されることにより、−信号がLレベルとなる。したがって、+信号がHレベル、−信号がLレベルの差動信号が出力される。
一方、スイッチ31及び32のそれぞれは、データ信号がLレベルの場合、端子aと端子cとが接続されるように切り替わる。この結果、スイッチ32の端子cが定電流源23を介してグランド(GND)に接続されることにより、+信号がLレベルとなる。スイッチ31の端子cが定電流源21を介して電源(Vdd)に接続されることにより、−信号がHレベルとなる。したがって、+信号がLレベル、−信号がHレベルの差動信号が出力される。
図2に戻り、電圧保持回路24は、制御回路27から出力される電圧保持のための制御信号に基づいて、差動信号の電圧を保持する。この電圧保持のための制御信号は、データ信号がHレベルからLレベル、あるいは、LレベルからHレベルへ変化する変化点から、第1の所定の時間が経過した時点での差動信号の電圧を保持させるための制御信号である。そのため、電圧保持回路24は、この電圧保持のための制御信号に基づいて、データ信号の変化点から第1の所定の時間が経過した時点での差動信号の電圧を保持する。このように保持された電圧は電圧比較回路26に出力される。
リファレンス電圧発生回路25は、電圧比較用のリファレンス電圧を生成し、電圧比較回路26に出力する。なお、このリファレンス電圧は、テスタ5から電圧比較回路26に直接入力するようにしてもよい。
電圧比較回路26は、制御回路27から出力される電圧比較のための制御信号に基づいて、電圧保持回路24によって保持された差動信号の電圧と、リファレンス電圧発生回路25が生成したリファレンス電圧とを比較する。電圧比較のための制御信号は、第1の所定時間経過後に保持された差動信号の電圧と、リファレンス電圧とを、データ信号の変化点から第2の所定の時間が経過した時点で比較するための制御信号である。そのため、電圧比較回路26は、この電圧比較のための制御信号に基づいて、第2の所定の時間が経過した時点で、差動信号の電圧とリファレンス電圧とを比較し、その比較結果を平均値演算回路14に出力する。
平均値演算回路14は、電圧比較回路26から出力された複数の比較結果の平均値を演算し、その演算結果をテスタ5に出力する。そして、テスタ5は、平均値演算回路14からの演算結果を用いて、出荷検査の合否を判定する。なお、電圧比較回路26から出力された複数の比較結果をテスタ5に直接入力し、テスタ5でこれらの比較結果から出荷検査の合否を判定するようにしてもよい。
制御回路27は、例えば50psの遅延素子を複数有する遅延素子群28を有している。制御回路27には、テスタ5から第1の所定の時間及び第2の所定の時間に関する遅延情報が入力される。制御回路27は、データ信号に信号レベルに変化があると、テスタ5からの遅延情報に基づき、遅延素子群28の複数の遅延素子を用いて、第1の所定の時間遅延された電圧保持のための制御信号と、第2の所定の時間遅延された電圧比較のための制御信号とを生成する。
制御回路27は、このように生成された電圧保持のための制御信号を電圧保持回路24に出力し、電圧比較のための制御信号を電圧比較回路26に出力する。なお、電圧保持のための制御信号及び電圧比較のための制御信号は、それぞれテスタ5から電圧保持回路24及び電圧比較回路26に直接入力するようにしてもよい。
ここで、このように構成された半導体装置1のテスト時の動作について説明する。図4は、第1の実施の形態に係る半導体装置1のテスト時の動作のタイミングチャートを説明するための図である。一例として、データ信号が、LレベルからHレベルへの変化点での信号の立ち上がりのテスト時のタイミングチャートを表している。
ドライバ22に入力されるデータ信号がLレベルの場合、差動信号の+信号がLレベルとなり、差動信号の−信号がHレベルとなる。ここで、データ信号がLレベルからHレベルに切り替わると、ドライバ22のスイッチ31及び32の接続先が切り替わることで、+信号がLレベルからHレベルに切り替わり、−信号がHレベルからLレベルに切り替わる。
入力されるデータ信号の信号レベルに変化があると、データ信号の変化点から第1の所定の時間t1だけ遅延された、電圧保持のための制御信号が制御回路27から電圧保持回路24に出力される。電圧保持回路24では、電圧保持のための制御信号の立ち下がりエッジにおいて、差動信号の+信号の電圧が保持される。
また、入力されるデータ信号の信号レベルに変化があると、データ信号の変化点から第2の所定の時間t2だけ遅延された、電圧比較のための制御信号が制御回路27から電圧比較回路26に出力される。電圧比較回路26では、電圧比較のための制御信号の立ち下がりエッジにおいて、データ信号の変化点から第1の所定期間t1経過後の差動信号の+信号の電圧と、リファレンス電圧とが比較される。このとき、電圧保持回路24で差動信号の電圧を保持した後でなければ、リファレンス電圧との比較が行えないため、第2の所定の時間t2は、第1の所定の時間t1より長くなる。
電圧比較回路26では、データ信号の変化点から第1の所定期間t1経過後の差動信号の+信号の電圧がリファレンス電圧以上か否かが比較され、その比較結果が出力される。例えば、データ信号の変化点から第1の所定期間t1経過後の差動信号の+信号の電圧がリファレンス電圧以上の場合、比較結果として、Hレベルの信号が出力される。データ信号の変化点から第1の所定期間t1経過後の差動信号の+信号の電圧がリファレンス電圧より低い場合、比較結果として、Lレベルの信号が出力される。
テスタ5は、比較結果としてHレベルの信号が入力された場合、差動信号が所定の時間内に立ち上がっていると判定する(テストOK)。比較結果としてLレベルの信号が入力された場合、差動信号が所定の時間内に立ち上がっていないと判定する(テストNG)。また、データ信号がHレベルからLレベルに変化したときに、上述した説明と同様に、電圧保持のための制御信号及び電圧比較のための制御信号をそれぞれ電圧保持回路24及び電圧比較回路26に入力することで、立ち下がり時間についてもテストを実行することができる。
なお、差動信号の立ち上がり及び立ち下がり時間のテスト方法は、上述したリファレンス電圧との比較に限定されるものではない。例えば、リファレンス電圧発生回路25及び電圧比較回路26に代わり、アナログ/デジタル(以下、A/Dという)変換回路を用いるようにしてもよい。このA/D変換回路は、電圧保持回路24が保持したアナログ信号である電圧を、デジタル信号に変換する。テスタ5では、このデジタル信号を期待値と比較することで、差動信号の立ち上がり及び立ち下がり時間のテストを実行する。
以上のように、半導体装置1は、データ信号が変化したときに、電圧保持回路24で第1の所定の時間t1経過後の差動信号の電圧を保持し、電圧比較回路26で第2の所定の時間t2経過後に、電圧保持回路24が保持した電圧とリファレンス電圧とを比較するようにした。このように、半導体装置1は、差動信号の立ち上がり及び立ち下がり時間のテストを行うことができる各回路部を設けることで、高価な計測器具を用いずに、差動信号の立ち上がり及び立ち下がり時間の出荷検査を行うことができる。
よって、本実施の形態の半導体装置によれば、差動信号の立ち上がり又は立下りのテストの容易化を図ることができる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態について説明する。
第2の実施の形態では、差動信号の立ち上がりまたは立ち下がりの信号の傾きを検出することで、立ち上がりまたは立ち下がり時間が仕様を満たしているか否かを判定する半導体装置について説明する。なお、第2の実施の形態の半導体装置1は、第1の実施の形態の半導体装置1と同様の構成であるので、詳細は省略する。電圧の保持及び比較のタイミング及び回数が第1の実施の形態と異なっている部分について、以下説明を行う。
図5は、第2の実施の形態に係る半導体装置1のテスト時の動作のタイミングチャートを説明するための図である。
入力されるデータ信号の信号レベルに変化(L→H)があると、制御回路27はデータ信号の変化点から第1の所定の時間t3だけ遅延した電圧保持のための制御信号を電圧保持回路24に出力する。電圧保持回路24は、電圧保持のための制御信号に基づいて、第1の所定の時間t3経過後の差動信号の電圧を保持する。次に、制御回路27はデータ信号の変化点から第2の所定の時間t5だけ遅延した電圧比較のための制御信号を電圧比較回路26に出力する。電圧比較回路26は、第2の所定の時間t5経過後に、第1の所定の時間t3経過後に保持された差動信号の電圧と第1のリファレンス電圧と比較する。ここで、第1のリファレンス電圧は、リファレンス電圧発生回路によって生成される。
次のデータ信号の信号レベルに変化点(L→H)において、制御回路27はデータ信号の変化点から第3の所定の時間t4だけ遅延した電圧保持のための制御信号を電圧保持回路24に出力する。ここで、第3の所定の時間t4は、第1の所定の時間t3より長くする。これにより、一方の差動信号の立ち上がりを、異なるタイミングの電圧を保持することができる。
次に、制御回路27はデータ信号の変化点から第4の所定の時間t6だけ遅延した電圧比較のための制御信号を電圧比較回路26に出力する。電圧比較回路26は、第4の所定の時間t6経過後に、第3の所定の時間t4経過後に保持された差動信号の電圧と第2のリファレンス電圧と比較する。ここで、第2のリファレンス電圧は、リファレンス電圧発生回路によって生成される。第2のリファレンス電圧は、第1のリファレンス電圧より高い。これらの比較結果は、半導体装置1からテスタ5に出力される。
テスタ5は、比較結果が、第1の所定の時間t3経過後に保持された差動信号の電圧が第1のリファレンス電圧より低く、かつ、第3の所定の時間t4経過後に保持された差動信号の電圧が第2のリファレンス電圧よい高い場合、差動信号の立ち上がりの傾きが所定の傾きより大きいため、差動信号が所定の時間内に立ち上がっていると判定し(テストOK)する。一方、テスタ5は、比較結果が、上記以外の場合、差動信号の立ち上がりの傾きが所定の傾きより小さいため、差動信号が所定の時間内に立ち上がっていないと判定する(テストNG)。また、データ信号がHレベルからLレベルに変化したときに、上述した説明と同様に、信号の立ち下がりを、異なるタイミングで電圧を保持し、それぞれ異なるリファレンス電圧と比較することで、立ち下がり時間についてもテストを実行することができる。
なお、本実施の形態では、差動信号の異なる変化点における立ち上がりまたは立ち下がりを、異なるタイミングで電圧を保持し、それぞれ異なるリファレンス電圧と比較している。しかし、差動信号の同一の変化点における立ち上がりまたは立ち下がりの期間に異なるタイミングで2回電圧を保持し、それぞれ異なるリファレンス電圧と比較するようにしてもよい。
以上のように、半導体装置1は、差動信号の立ち上がりまたは立ち下がりを、異なるタイミングで電圧を保持し、それぞれ異なるリファレンス電圧で比較するようにした。そして、半導体装置1は、これらの比較結果に基づいて、差動信号の立ち上がりまたは立ち下がりの傾きを検出することで、立ち上がりまたは立ち下がり時間のより詳しいテストを行うことができる。
よって、本実施の形態の半導体装置によれば、第1の実施の形態と同様に、差動信号の立ち上がり又は立下りのテストの容易化を図ることができる。
本発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体装置、2…コントローラ、3…LCD、4…メモリ、5…テスタ、11…撮像素子、12…パラレルシリアル変換回路、13…データ送信回路、14…平均値演算回路、15…データ受信回路、21,23…定電流源、22…ドライバ、24…電圧保持回路、25…リファレンス電圧発生回路、26…電圧比較回路、27…制御回路、28…遅延素子群、31,32…スイッチ。

Claims (6)

  1. データ信号に応じた差動信号を出力する差動回路と、
    前記データ信号の変化点から第1の所定の時間経過後に、少なくとも前記差動信号の一方の電圧を保持する電圧保持回路と、
    リファレンス電圧を発生するリファレンス電圧発生回路と、
    前記データ信号の変化点から第2の所定の時間経過後に、前記電圧保持回路で保持した電圧と前記リファレンス電圧とを比較する電圧比較回路と、
    前記電圧比較回路で比較した複数の比較結果の平均値を演算する平均値演算回路と、
    前記電圧保持のための制御信号及び前記電圧比較のための制御信号を生成し、それぞれ前記電圧保持回路及び前記電圧比較回路に出力する制御回路と、
    を有することを特徴とする半導体装置。
  2. データ信号に応じた差動信号を出力する差動回路と、
    前記データ信号の変化点から第1の所定の時間経過後に、少なくとも前記差動信号の一方の電圧を保持する電圧保持回路と、
    前記データ信号の変化点から第2の所定の時間経過後に、前記電圧保持回路で保持した電圧とリファレンス電圧とを比較する電圧比較回路と、
    を有することを特徴とする半導体装置。
  3. 前記電圧比較回路で比較した複数の比較結果の平均値を演算する平均値演算回路を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  4. 前記リファレンス電圧を発生するリファレンス電圧発生回路を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  5. 前記電圧保持回路は、前記第1の所定の時間より長い第3の所定の時間経過後に前記差動信号の一方の電圧をさらに保持し、
    前記電圧比較回路は、前記保持した複数の電圧とそれぞれ異なる複数のリファレンス電圧とを比較することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  6. 前記電圧保持回路が保持した電圧をデジタル信号に変換する変換回路を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
JP2013052005A 2013-03-14 2013-03-14 半導体装置 Abandoned JP2014178188A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013052005A JP2014178188A (ja) 2013-03-14 2013-03-14 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013052005A JP2014178188A (ja) 2013-03-14 2013-03-14 半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014178188A true JP2014178188A (ja) 2014-09-25

Family

ID=51698295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013052005A Abandoned JP2014178188A (ja) 2013-03-14 2013-03-14 半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2014178188A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013036975A (ja) バッテリセルと外部回路とを接続するワイヤの断線の検出
JP2011128029A (ja) 任意波形発生器
TWI407129B (zh) 可調式電壓比較電路及可調式電壓檢測裝置
KR20190103921A (ko) 샘플링 회로 및 수신 전압 추정 방법
JP2008256632A (ja) 半導体集積回路の試験方法及びicテスタ
JP5305134B2 (ja) 波形生成回路
US8456154B2 (en) Low voltage differential signaling test system and method
JP2005315729A (ja) 直流試験装置
TWI408375B (zh) 電流測量裝置以及電腦系統
JP2014178188A (ja) 半導体装置
JP2014134498A (ja) 検出装置、ウエハおよび電子デバイス
JP2009156580A (ja) 入力容量測定回路
KR101823762B1 (ko) 집적 회로를 테스트하는 디바이스 및 방법
JP2009047480A (ja) 半導体試験装置
JP6662398B2 (ja) 回路装置、電気光学装置及び電子機器
JP2006214827A (ja) テストシステム
JP2012185055A (ja) 評価試験装置および評価試験方法
TW201416821A (zh) 頻率測試電路
JP2007147469A (ja) Icテスタ
JP2004045085A (ja) クロスオーバ電圧評価方法および検査装置
JP2006071290A (ja) 半導体試験装置
JP2010122149A (ja) Dcモジュールおよびそれを用いた半導体試験装置
JP2009075046A (ja) 半導体試験装置
JP2005300287A (ja) Icテスタ
JP2007303898A (ja) テストシステム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150209

A762 Written abandonment of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762

Effective date: 20151203