JP2014172778A - 誘電体薄膜形成用組成物及び誘電体薄膜の形成方法並びにこの方法で形成された誘電体薄膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】PLZT誘電体薄膜を形成するための有機金属化合物含有組成物であり、組成物に含まれるZr原子とTi原子の和を100とするとき、Zr原子とTi原子の原子比Zr/Tiが55/45〜80/20であり、Pb原子とLa原子の和が103〜115であり、かつLa原子が8〜12であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、薄膜キャパシタの誘電体層等に用いた際に、薄膜キャパシタとしての諸特性のうちの、特に、電圧を変えたときの容量変化率、絶縁耐圧及び静電容量特性を同時に向上させ得るPLZT誘電体薄膜を形成するための組成物及び誘電体薄膜の形成方法並びにこの方法で形成された誘電体薄膜を提供することにある。
先ず、有機溶媒として十分に脱水処理した2−メトキシエタノールを用意し、これにPb化合物、La化合物としてPb及びLaの酢酸塩を溶解させ、共沸蒸留により結晶水を除去した。そして、得られた溶液にZr化合物としてZrテトラブトキシドを、Ti化合物としてTiイソプロポキシドを添加して溶解させた。更に、この溶液を安定化させるため、溶液中の溶解させた全有機金属化合物に対し、モル比で2倍となる量のアセチルアセトンを加えた。これにより、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が105:9:57:43であって、溶液100質量%中のPLZT酸化物換算濃度が10質量%の誘電体薄膜形成用組成物を調製した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が95:9:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が100:9:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が95:12:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が95:9:80:20となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が105:9:55:45となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が105:10:57:43となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が94:9:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が105:8:57:43となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
溶液100質量%中のPLZT酸化物換算濃度を11質量%となるように誘電体薄膜形成用組成物を調製したこと、及び組成物の塗布から仮焼成までの工程を計4回繰り返し、膜厚が200nmとなるように成膜を行ったこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
溶液100質量%中のPLZT酸化物換算濃度が11質量%となるように誘電体薄膜形成用組成物を調製したこと、及び組成物の塗布から仮焼成までの工程を計8回繰り返し、膜厚が400nmとなるように成膜を行ったこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
溶液100質量%中のPLZT酸化物換算濃度が11質量%となるように誘電体薄膜形成用組成物を調製したこと、及び組成物の塗布から仮焼成までの工程を計10回繰り返し、膜厚が500nmとなるように成膜を行ったこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が110:0:52:48となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が110:7:58:42となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が100:5:52:48となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が106:10:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が105:12:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が90:12:70:30となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が106:10:80:20となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
有機金属化合物の配合割合を、組成物中のPb原子、La原子、Zr原子及びTi原子の原子比が106:10:82:18となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
組成物の塗布から仮焼成までの工程を計4回繰り返し、膜厚が180nmとなるように成膜を行ったこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
溶液100質量%中のPLZT酸化物換算濃度が12質量%となるように誘電体薄膜形成用組成物を調製したこと、及び組成物の塗布から仮焼成までの工程を計10回繰り返し、膜厚が520nmとなるように成膜を行ったこと以外は、実施例1と同様に、誘電体薄膜形成用組成物を調製し、PLZT誘電体薄膜を成膜した。
実施例1〜12及び比較例1〜10で成膜した誘電体薄膜、及び後述の方法により製造した試験用薄膜キャパシタについて、誘電体薄膜の膜厚、容量変化率及び絶縁耐圧を評価した。これらの結果を、以下の表1に示す。
T=(C0V−C5V)/C0V×100 (1)
また、Pb原子とLa原子の和が115を越える比較例4、比較例5、比較例7では、絶縁耐圧が10.0以下と、実施例1〜9に比べて非常に低い値を示した。一方、Pb原子とLa原子の和が103に満たない比較例6では、印加電圧が0Vのときの静電容量C0Vが0.81Vと非常に低い値を示した。また、Pb原子とLa原子の和が115を越え、かつLa原子が8に満たない比較例2では、容量変化率が55%と、実施例1〜9に比べて大きい値を示し、更に絶縁耐圧が27Vと、実施例1〜9に比べて低い値を示した。
11 基板
12 絶縁体膜
13 密着層
14 下部電極
16 誘電体薄膜
17 上部電極
20 支持体
Claims (3)
- PLZT誘電体薄膜を形成するための有機金属化合物含有組成物において、
前記組成物に含まれるZr原子とTi原子の和を100とするとき、
Zr原子とTi原子の原子比Zr/Tiが55/45〜80/20であり、
Pb原子とLa原子の和が103〜115であり、かつLa原子が8〜12である
ことを特徴とする誘電体薄膜形成用組成物。 - 請求項1項記載の誘電体薄膜形成用組成物を用いて成膜を行うPLZT誘電体薄膜の成膜方法。
- 請求項2の記載の誘電体薄膜の成膜方法により成膜された膜厚が200〜500nmであるPLZT誘電体薄膜。
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