JP2014170228A - 顕微鏡用油浸対物レンズ及び顕微鏡用油浸対物レンズの使用 - Google Patents

Abstract

【課題】ＮＡ＞１．３６の高開口数を有していて、接合剤の使用に関連する不都合（高い放射強度での接合剤への損傷及び／又は接合剤の自身の蛍光）をできるだけ回避する顕微鏡用油浸対物レンズを提供する。
【解決手段】本発明は、顕微鏡用の油浸対物レンズ（１００）に関する。対物レンズはＮＡ＞１．３６の開口数を有し、第１の対象物側光学素子として平行平面板（１０３）と、第２の光学素子としてハイパー半球体（１０２）とを有するフロントレンズ群（１０１）を有する。平行平面板（１０３）はハイパー半球体（１０２）の平坦側面と共に捩じるようにして繋がれている。
【選択図】図２ｂ

Description

本発明は、ＮＡ＞１．３６の開口数を有する顕微鏡用の油浸対物レンズ（液浸対物レンズ）に関する。

顕微鏡用油浸対物レンズは従来技術から本質的に公知である。ここでは、液浸液体が対物レンズと標本（プレパラート）の間に導入され、それにより実現可能な分解能が増大し、よって高い倍率でなくても空倍率（empty magnification）が無くなる。別な効果は、特にガラスと略同じ屈折率を有する液浸油が使用されるときに、コントラストを減少させる反射が抑制されることである。ＮＡ＝１．４の開口数を有する油浸対物レンズは例えば５００ｎｍの波長で２１７ｎｍの最大分解能を作り出す。開口数の上限閾値は液浸媒体の屈折率で示され、一般的に油では１．５１８である。

一般原理を制限することなく、以下では油浸対物レンズの実際に関連するケースを考慮する。他の可能な油浸媒体は水、グリセリン又はシリコーン油である。しかしながら、本発明は他の液浸媒体にも適する。

油浸対物レンズが一般に使用される分野は蛍光顕微鏡検査である。この場合、使用される液浸油が自身の蛍光を有しないことを保証するよう注意すべきである。

従来の油浸対物レンズは、一般的に対象物に最も近いレンズ群（「フロントレンズ群」）が少なくとも接合レンズからなる点で特有である。接合の際、同一半径を有さなければならない隣接するレンズ面は、薄い透明な接合層を用いて共にくっつけられる。主に合成樹脂でできた接合層はまた、接合剤のない２つのレンズの間のガラス・空気表面での全反射（及び反射全般）を防止するために使用される。しかし、使用される接合剤は多数の顕微鏡検査用途で不都合である。幾つかの顕微鏡法、特に蛍光顕微鏡検査では、高性能のレーザー照射が操作される。特に、レーザー光を対物レンズに合焦させる方法では、これにより対物レンズ内、特にフロントレンズ群の領域で高めの強度がもたらされる。この位置に使用された接合剤はこのような強い強度で照射されたときに損傷を受けるかもしれない。これにより、損傷した接合剤位置で濁りが生じる。

さらに、接合剤は特有の自身の蛍光を有する。これは、（広視野）蛍光顕微鏡検査での方法には有害であり、というのは接合剤内で生じる蛍光光の多くは像に入り込み、そこで蛍光を放つ試料からの有益な光のコントラストを低減させるからである。

特許文献１は、接合レンズからなる対象物側フロントレンズ群を有する、顕微鏡用アポクロマート液浸対物レンズを開示している。このフロントレンズ群は、平凸レンズ要素とメニスカスレンズ要素からなり、平凸レンズ要素の平坦表面は対象物に対向し、メニスカスレンズ要素の凹面は対象物側に対向し、接合により平凸レンズ要素の凸側に結合している。この文献で予見されている対物レンズは、ＮＡ＞１．４の開口数に達することを意図している。

特許文献２は、液浸用途、とくにＴＩＲＦ（全反射蛍光）用の高アパーチャの顕微鏡対物レンズを開示している。フロントレンズ群は、平凸レンズ面を有する正の屈折力の第１レンズを有し、平坦面は対象物に対向している。このレンズは、第１レンズの凸面を取り囲んでいて負の屈折力を有する第２レンズに接合している。

特許文献３は、ＮＡ＞１．４５の開口数を有する顕微鏡用油浸対物レンズを開示している。その第１の対象物側（フロント）レンズ群も同様に第１平凸レンズを有し、その平坦表面は対象物に対向し、平凸レンズはメニスカスレンズに接合し、その凸面は画像側に対向している。ＴＩＲＦ顕微鏡検査はこの場合にも適用分野として挙げられている。この場合、開口数はＮＡ≧１．４６を意図されている。

先述した油浸対物レンズにより共有される高アパーチャを創出するための公知の構造原理は、接合によって第２レンズに対象物に対向する平凸レンズを埋め込むことである。だが、接合レンズは先述の不都合により傷つけられる。

ＵＳ７１９９９３８Ｂ２ ＵＳ２００２／０１５４４１４Ａ１ ＵＳ７０４６４５１Ｂ２ ＤＥ１９９２９４０３Ａ１ ＤＥ１０２００２４３Ａ１

ゆえに、本発明の目的は、ＮＡ＞１．３６の高い開口数を有していて、接合剤の使用に関連する不都合（高い照射強度での接合剤への損傷及び／又は接合剤の自身の蛍光）をできるだけ回避する顕微鏡用油浸対物レンズを提供することである。

本発明は、請求項１に係る顕微鏡用油浸対物レンズと、局在顕微鏡検査又はＴＩＲＦ顕微鏡検査のためのこの顕微鏡用油浸対物レンズの使用を提案する。他の実施形態は、様々な従属請求項と以下の記載に見出すことができる。

ＮＡ＞１．３６の開口数を有する本発明に係る顕微鏡用油浸対物レンズはフロントレンズ群、すなわち第１の対象物側光学素子として平行平面板と、第２の光学素子としてハイパー半球体を有する、対象物と直接対向したレンズ群を有する。平行平面板はハイパー半球体の平坦側面と共に捩じるようにして繋がれている。

光学の当業者なら「ハイパー半球体」を知っている。これは、１８０°を超える、すなわち頂点を超える開口角を有する球体の一部分である。このようなハイパー半球体の例は図２ｂに示されている。

明細書の導入部で述べたように、以下では油浸対物レンズの具体的なケースに関連して本発明を説明する。しかしながら、本発明は油浸対物レンズに明らかに限定されない。他の液浸液体も本発明に係る対物レンズに使用できる。

本発明に係る対物レンズは油浸対物レンズの分野の新たなアプローチを具現化しており、第１の対象物側光学素子としての平行平面板は対物レンズ全体に対して全体的に新たなデザインを必要とする。平行平面板の使用により、ハイパー半球体である第２の光学素子が共に捩じるようにして繋がれることが可能となる。それ自体公知である共に捩じるようにして繋ぐための技術では、汚れた粒子の無い２つの滑らかな平坦面が正確な嵌合により接合され、その後引き付ける分子力の結果固く接続されたままになる。ハイパー半球体の平坦側面への平行平面板の結合は強力かつ安定的である必要がある。もはやフロントレンズ群の前記光学素子を互いに接合する必要はないので、高い光強度に起因する接合剤損傷と接合剤の自身の蛍光の可能性という不都合がなくなる。驚くべきことに、関連する利点は新たな対物レンズデザインのどんな不都合（新たな対物レンズ構造の必要性と新たな対物レンズに起因する光学的悪化）より勝ることが分かった。

特許文献４は、別なタイプの対物レンズ、すなわち半導体リソグラフィー投影露光装置用の対物レンズであって、薄い等距離板を別な光学素子と一緒に捩じるようにして繋ぐことを提案している。この薄い等距離板は、対物レンズを密封してそれを汚染から守るクロージングプレートとして知られているものである。このクロージングプレートは付属品がなく、他の光学素子と一緒に交換可能に捩じるようにして繋がれる。

特許文献５は、光学素子を対向素子と一緒に捩じるようにして繋ぐための一般的な方法を開示している。このプロセスでは、対向素子は例えば圧電セラミック材料により変形され、それでその表面は光学素子の表面形状に直接一致しない。一旦、光学素子が対向素子に適用されると、２つの素子が共に捩じるようにして繋がれるまで表面形状の変化は安定的に無効化される。

望ましくは、平行平面板はハイパー半球体の平坦側面を越えて突出する。これにより、突出した平行平面板に機械的に保持された又は固定されたフロントレンズ群の選択が可能になる。原則として、逆のシナリオも実行可能であり、当該ハイパー半球体が平行平面板を越えて突出する場合にハイパー半球体への機械的固定が行われる。

好ましくは、本発明に係る油浸対物レンズの対物レンズ倍率は５０〜２００倍、好ましくは１００〜１６０倍である。

本発明に係る油浸対物レンズの開口数はＮＡ＞１．４０であることが分かった。より具体的には、１．４３，１．４４又は１．４５の開口数が得られる。

平行平面板の厚みはせいぜい１ｍｍを意図している。さらに、０．６ｍｍ以下の値が有利である。０．４ｍｍは下限閾値として適切である。

特に有利には、本発明に係る油浸対物レンズはプランアポクロマート対物レンズである。公知なように、これは、色収差を補正して縁領域においても像視野を平らにする対物レンズである。これは、特にＴＩＲＦ顕微鏡検査で使用されるとき非常に大きい利点である。より具体的には、本発明に係る油浸対物レンズの視覚範囲全体が色収差補正により使用できる。

有利には、本発明に係る油浸対物レンズは３つのレンズ群Ｇ１，Ｇ２及びＧ３からなる。この装置では、第１のレンズ群Ｇ１が、主にハイパー半球体とそれと一緒に捩じるようにして繋がれた平行平面板であるフロントレンズ群を構成する。第２のレンズ群Ｇ２が、均一電位レンズと、全部で３つの接合面を有する接合レンズ（すなわち例えば３つの複レンズ、又は１つの複レンズ及び１つの三重複合レンズ）からなる。第３のレンズ群Ｇ３は対物レンズの残りを有し、これは少なくとも２つの接合面を有する少なくとも４つのレンズを有する。レンズ群Ｇ３は一般的に６以上のレンズを含まない。

前記したようにレンズ群Ｇ１〜Ｇ３に配分される本発明に係る油浸対物レンズは、以下の３つの条件が満たされれば、像収差の有利な補正に役立つ。以下で、ｆは焦点距離を表す。
３．０ ＜ ｆ（Ｇ１）／ｆ（対物レンズ） ＜ ４．０
６．０ ＜ ｆ（Ｇ２）／ｆ（対物レンズ） ＜ ７．０
−１５．５ ＜ ｆ（Ｇ３）／ｆ（対物レンズ） ＜ −１４．５

本発明に係る油浸対物レンズは局在顕微鏡検査又はＴＩＲＦ顕微鏡検査に特に適している。一般的に言って、本発明に係る対物レンズは他の全ての蛍光顕微鏡検査法で使用することもできる。

局在顕微鏡検査は、像を捉えるときにほんの僅かな対象物位置だけが同時に光を放出する点が独特である。それら位置が光学分解能よりはるかに離れている場合、使用する対物レンズの光学分解能より高い精度でこれら位置の所在を決定するために数学的焦点決定法を使用することができる。それぞれが別個の対象物位置から突出した、これらの個々の像の多くが共に加えられる場合、対象物全体は超分解能で像として最終的に示される。これらの方法の公知の実施形態は、ほんの僅かな対象物位置だけが同時に光を放出することが保証される方法に関して異なる。これらの方法の名前はＰＡＬＭ，ＳＴＯＲＭ，ＧＳＤＩＭを含む。最後の方法を以下で簡単に記載する。

ＧＳＤＩＭは、「個々の分子リターンに引き続く基底状態逓減顕微鏡検査」を表す。この方法のために、暗状態を有する蛍光体が使用される。先ず、色素分子が適切なレーザーパワーで照射されることで基底状態から励起状態に遷移される。励起状態は暗状態への遷移に引き続く。この暗状態は、（たった約３ｎｓの）励起した一重項状態よりかなり長い寿命（約１００ｍｓ）を有し、これは暗状態での分子が十分な光強度で蓄積することを意味する。暗状態から、分子は自然放出を介して基底状態に戻る。これら自然放出からの個々の画像が捉えられ、前述した数学的方法が使用でき、光学分解能より高い精度で自然放出の位置を決定できる。実現可能な分解能は２０〜２５ｎｍ、一般的に６０ｎｍ以下である。実現可能な分解能は、レーザーパワーと使用するカメラの分解能にも依存する。

ＧＳＤＩＭを実行するための主な技術的要件は高めの発光パワーでの標本の蛍光励起である。これは適切なレーザー照明により行われる。これは、レーザービームを対物レンズひとみ（後方焦点面）に合焦するＴＩＲＦ照明装置により促進される。これは、照明の大きめの焦点深度で標本の均一な照明を実現できるという利点を有する。レーザーの発光パワーを最適に利用するため、照明された標本視野がＴＩＲＦ照明と比較してたった約４分の１に等しくなる程度に、レーザーのビーム横断面は減少される（例えば、１００倍倍率を有する対物レンズを用いるとき、照明された標本視野の直径は約６０μｍであるが、この直径はＴＩＲＦ照明では約２５０μｍである）。

以下の簡単なコメントはＴＩＲＦ顕微鏡検査に関する。一般的に、全反射に必要とされる平らな入射角を実現するため、非常に高い開口数を有する油浸対物レンズを備えた倒立光顕微鏡が使用される。全反射はカバーガラスから標本への界面で生じる。エバネッセントフィールドとして知られているものがカバーガラスの後ろの領域で形成し、その強度は標本の深さと共に級数的に減少する。可視光では、一般的な貫通深さは１００〜２００ｎｍである。この領域内に、照射された波長から光を吸収できる蛍光放出分子が或る場合、当該分子は蛍光光の放出のために励起される。標本の観察される層はたった２００〜２００ｎｍの薄さなので、通常の蛍光顕微鏡（一般的に５００ｎｍの層領域）よりも、対物レンズの光軸に沿って顕著に高い分解能が実現できる。ＴＩＲＦ顕微鏡検査によって、励起光が対物レンズの縁に結合され、必要な平らな角度でカバーガラスに当たる。

言うまでもなく、前述した特徴と以下で説明する特徴は所与のものに加えて他の組み合わせでも、単独でも、本発明の範囲を逸脱せずに使用できる。

本発明を図面における実施形態に基づいて概略的に示し、それを参照しながら以下に詳細に説明する。

蛍光顕微鏡検査での標準広視野方法における顕微鏡検査セットアップを概略的に示す図である。 本発明に係る対物レンズの全体図の実施形態を示す図である。 詳細図における本発明に係る対物レンズのフロントレンズ群の実施形態を示す図である。 局在顕微鏡検査（図３ａ）及びＴＩＲＦ顕微鏡検査（図３ｂ）のための一般的照明を概略的に示す図である。 全体図（図４ａ）及びフロントレンズ群（図４ｂ）の詳細図における図３ａに従うセットアップの、本発明に係る対物レンズの実施形態を通るビーム経路を示す図である。 全体図（図５ａ）及びフロントレンズ群（図５ｂ）の詳細図における図３ｂに従うセットアップの、本発明に係る対物レンズの実施形態を通るビーム経路を示す図である。 ３つのレンズ群を有する、本発明に係る油浸対物レンズの特定の実施形態を示す図である。 このような対物レンズの結像力、すなわち縦収差（図７ａ）と正弦条件からのずれ（図７ｂ）を示す図である。

本発明の２つの本質的な利点を以下の実施形態に基づいて詳細に記載する。先ず、蛍光顕微鏡検査では、自身の蛍光は、２つの光学面の間の他の従来の接合層では創出されない（図１及び図２に関する実施形態）。次に、２つの光学面の接触位置で非常に高い光エネルギー密度を生成する顕微鏡検査法によれば、これらの面の間の他の従来の接合剤は損傷しない（図３，４，５に関する実施形態参照）。

図１は、アパーチャ全開での照明を有する蛍光顕微鏡検査での標準広視野方法における顕微鏡検査セットアップを示す。標本７に対して共役な明視野ダイヤフラムアパーチャ２が均質に照明されるように、光源（不図示）、例えばガス放電ランプからの光が適切な照明光学系（やはり不図示）を用いて処理される。光軸１は図１に示されている。照明レンズ３は明視野ダイヤフラムを出る光を平行にし、当該光は分割ミラー４によって対物レンズ６に案内される。一般に、分割ミラー４は、主に蛍光フィルターブロックの形状で、上流励起フィルター及び下流放出フィルターを有するダイクロイック分割ミラーとして構成される。この装置において、励起フィルターは照明光から励起波長を選択する一方、放出フィルターはコントラストを増大させるために対象物から出た蛍光放出光を透過させ、他の波長範囲をブロックする。この一般に公知のセットアップ（設置）は、簡略化のために図１には詳細には示していない。

対物レンズ６は光を標本７に投影する。これが行われると、対物レンズ６の入射ひとみ５の全体が一般に光で満たされる。蛍光を発する標本７により放出された放出光は、対物レンズ６、ダイクロイックビームスプリッター４及び一般的にその後ろに接続した放出フィルター（不図示）を介して、結像レンズ８に達する。これにより、像面９において標本７の像が生成されることになる。

図２ａ及び図２ｂに関連して説明するように、対物レンズ６の入射ひとみ５の全体が照明されるという事実は、光が対物レンズのフロント群の広い領域を貫通することを意味する。フロント群の関連するレンズ面が接合剤で結合されている場合、接合剤は自身の蛍光を示す。波長スペクトルに依存して、接合層において生じた放出光の全て又は幾らかが分割ミラー４及び放出フィルターを通り、像面９に達することができる。像面では、それが標本からの蛍光放出により生成された像のコントラストを低減する。

それに反して、図２ａ及び図２ｂに示す本発明に係る対物レンズを使用する場合、２つのフロント対象物側光学素子は接合剤で結合されておらず、光学的に接触している（共に捩じるようにして繋がれている）。結局、放出光の擾乱は自身の蛍光によって作られない。

図２ａは、本発明に係る油浸対物レンズ１００の実施形態におけるビーム経路１１１を示す。このセットアップは図１に示すセットアップに対応する。対物レンズ１００のフロントレンズ群は１０１で示されている。対物レンズのひとみは１０５で示されている。図２ｂは、図２ａのフロントレンズ群１０１についての一部を示す。フロントレンズ群１０１は、平行平面板１０３（スモール平面板とも称する）及びハイパー半球体１０２を有し、スモール平面板１０３はハイパー半球体１０２の平坦側面と共に捩じるようにして繋がれている。接触面は１０４で示されている。図２ｂから、光が標本７（図１参照）の方向にこの接触面１０４の広い領域にわたって貫通することが分かる。接触面１０４に沿って接合剤が存在しないため、前記した自身の蛍光は回避される。

図２ｂは、平行平面板１０３がハイパー半球体１０２の平坦面を越えて横に突出することを示している。このセットアップは２つの利点を有する。第一に、平行平面板１０３がフロント群の簡単な機械的保持を可能にする。第二に、ハイパー半球体レンズとスモール平面板の組み合わせは対物レンズの光学補正の利点をもたらす。

前記した第二の本質的利点の影響力により、顕微鏡検査において高いエネルギー密度が対物レンズに入るようになる。このような顕微鏡検査法の典型例は局在顕微鏡検査又はＴＩＲＦ顕微鏡検査であり、そのどちらも蛍光顕微鏡検査法である。これらの方法は図３〜５に関連して以下に説明する。

前記した２つの方法に共通なのは、対物レンズ６の入射ひとみ５への励起光の合焦である。この合焦は、図３ａにおけるように光軸１の位置上で生じてもよいし、図３ｂに示すようにそこから横にずれてもよい。図１と同じ参照番号は同じ構成要素を示す。この点につき、図１に関連する実施形態を参照されたい。図１とは対照的に、照明光は先ず傾斜ミラー１１に到達し、そこから、対物レンズ６の入射ひとみ５に対して共役の位置に光を合焦させる観察接眼レンズ（scanocular）１２に達する。輸送光学系１３によって、光は光軸１の位置で（又はその近傍で）入射ひとみ５に合焦される。小さいアパーチャの照明が光軸の近くに作られる。

図３ａから進行して、図３ｂはＴＩＲＦ顕微鏡検査用の適したセットアップを示す。これは、基本的に傾斜ミラー１１が照明ビーム経路を光軸１の外側に案内する点でのみ図３ａに従うセットアップと異なる。光学系は、対物レンズ６の後方焦点面５の位置での横ずれを定めるミラー１１の傾きの実施を保証するスキャン接眼レンズ１２と輸送光学系１３からなる。図３ｂに従うセットアップは、大きい入射角で小さいアパーチャの照明を生じる。局在顕微鏡検査（図３ａ）及びＴＩＲＦ顕微鏡検査（図３ｂ）用の照明の切り替えは簡単である。つまり、局在顕微鏡検査に切り替えるときには、ビーム径を減少させる望遠鏡（不図示）が傾斜ミラー１１の前でビーム経路に組み込まれる。これにより標本に照明される円の大きさが減少し、それによりパワー密度が大幅に増大する。

図３ａに従うセットアップは、光軸１のまわりの小さい領域で標本７を高いパワー密度で照明する照明ビーム経路を生成する。前述した理由のため、局在顕微鏡検査法はこのような高い照明強度を必要とする。図４は対物レンズを通る関連するビーム経路を詳細に示す。

図３ｂに示すビーム経路は、前述したＴＩＲＦ顕微鏡検査に必要なように、大きい入射角で標本７を照明する。対物レンズを通るビームのコースは図５に示されている。

図４は、本発明に係る油浸対物レンズ１００の実施形態を通る図３ａに従うセットアップでのビーム経路を示す。参照番号は図２のものと一致する。この点につき、図２の説明を参照されたい。小さいアパーチャの照明ビーム経路１１２が光軸の近くに明瞭に見てとれる。対照的に、図４ｂはフロントレンズ群１０１の拡大図である。ビーム経路１１２は、光軸のまわりの、平行平面板１０３とハイパー半球体１０２との接触面１０４の非常に小さい領域しか貫通しない。ゆえに、全ての光エネルギーはこの小さい領域に集中し、高いパワー密度が生じる。これらの高いパワー密度は接触面１０４上の接合面における接合剤に損傷を引き起こし得る。このような損傷は、像形成と照明の両方の質を悪化させる「ブラインドスポット（盲点）」を引き起こす。接触面１０４上に接合剤がないため、これらの不都合が回避される。

最後に、図５は、図３ｂに従う照明を有する、本発明に係る油浸対物レンズ１００の実施形態におけるビーム経路１１３を示す。小さいアパーチャであって大きい入射角の照明ビーム経路１１３が明瞭に見てとれる。再度、図２と同じ参照番号が選択されており、この点につきこの図面を再び参照できる。

図５ｂは、図５ａからのフロントレンズ群１０１の拡大図である。ビーム経路１１３が標本７の方向に接触面１０４の小さい領域を貫通していることが明瞭に分かる。ビーム経路１１３は大きい入射角で標本７に衝突し、それによりこの位置でエバネッセント照明を生成する。接触面１０４の小さい領域における高いパワー密度は再度従来の接合剤に損傷を与えることになる。この接触面１０４上に接合剤がないことにより、この不都合が回避される。

図６は、３つのレンズ群Ｇ１，Ｇ２及びＧ３を有する、本発明に係る油浸対物レンズ１００の特定の実施形態を示す。レンズ群Ｇ１は、先に十分に議論したフロントレンズ群１０１である。第２のレンズ群Ｇ２は、均一電位レンズと、３つの複レンズ、すなわち３つの接合レンズペアを有する。レンズ群Ｇ３は対物レンズの残りを有しており、これはこの場合２つの複レンズである。個々の光学素子の端面は従来通りに連続的に番号が付けられている。これらは端面１’〜２０’である。以下の表１は、これらの端面（Ｆ１）１’〜２０’に対して、関連する曲率半径（Ｒ／ｍｍ）、光軸に沿った距離（ｄ／ｍｍ）、屈折率（ｎ_ｅ）及び分散（ｖ_ｅ）を従来通りに図示している。

ここで記載した対物レンズは、焦点距離１．２及び開口数ＮＡ＝１．４３を有する無収差色消しレンズである。この焦点距離は、２００ｍｍの焦点距離を有する標準結像レンズと協力して、中間像において１６０ｘの倍率を作る。０．１７ｍｍ厚のカバーガラスを使用する際、作動距離はＷ＝０．１０ｍｍである。視野平坦化がカメラとの使用のために最適化される。

収差を望ましく補正するため、レンズ群Ｇ１〜Ｇ３は以下の条件を満たす（ｆ＝焦点距離）。
３．０ ＜ ｆ（Ｇ１）／ｆ（対物レンズ） ＜ ４．０
６．０ ＜ ｆ（Ｇ２）／ｆ（対物レンズ） ＜ ７．０
−１５．５ ＜ ｆ（Ｇ３）／ｆ（対物レンズ） ＜ −１４．５

図７は、このような対物レンズの結像力を示す。図７ａは縦収差を示し、図７ｂはＯＣＲ（正弦条件からのずれ）を示す。

曲線は、様々な波長（ｅ＝５４６ｎｍ、ｇ＝４３６ｎｍ、Ｃ’＝６４４ｎｍ、Ｆ’＝４８０ｎｍ）で示されている。図７ａでは、ＤＯＦは焦点深度を示し、ＮＡ^２は正方形スケールの開口数を示す。図７ｂでの正弦条件からのずれは通常通りパーセントで示されている。

１ 光軸
２ 明視野ダイヤフラムアパーチャ
３ 照明レンズ
４ 分割ミラー
５ 対物レンズの入射ひとみ
６ 対物レンズ
７ 標本
８ 結像レンズ
９ 像面
１１ 傾斜ミラー
１２ スキャン接眼レンズ
１３ 輸送光学系
１００ 油浸対物レンズ
１０１ フロントレンズ群
１０２ ハイパー半球体
１０３ 平行平面板
１０４ 接触面
１０５ 対物レンズひとみ
１１１ ビーム経路
１１２ ビーム経路
１１３ ビーム経路
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３ レンズ群
１’〜２０’ レンズ端面

Claims (9)

1. 顕微鏡用の油浸対物レンズ（１００）であって、
   前記対物レンズはＮＡ＞１．３６の開口数を有し、第１の対象物側光学素子として平行平面板（１０３）と、第２の光学素子としてハイパー半球体（１０２）を有するフロントレンズ群（１０１）を有し、前記平行平面板（１０３）は前記ハイパー半球体（１０２）の平坦側面と共に捩じるようにして繋がれている、油浸対物レンズ。
2. 前記平行平面板（１０３）は前記ハイパー半球体（１０２）の平坦側面を越えて突出する、ことを特徴とする請求項１に記載の対物レンズ。
3. 前記フロントレンズ群（１０１）は突出した前記平行平面板（１０３）上に機械的に保持される、ことを特徴とする請求項２に記載の対物レンズ。
4. 対物レンズ倍率が５０〜２００倍、好ましくは１００〜１６０倍である、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の対物レンズ。
5. 前記開口数はＮＡ＞１．４０である、ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の対物レンズ。
6. 前記平行平面板（１０３）の厚みはせいぜい１ｍｍ、特にせいぜい０．６ｍｍである、ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の対物レンズ。
7. 前記油浸対物レンズ（１００）はプランアポクロマート対物レンズである、ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の対物レンズ。
8. 前記油浸対物レンズは３つのレンズ群Ｇ１，Ｇ２及びＧ３からなり、第１のレンズ群Ｇ１がフロントレンズ群（１０１）からなり、第２のレンズ群Ｇ２が、均一電位レンズと、全部で３つの接合面を有する接合レンズからなり、第３のレンズ群Ｇ３が対物レンズの残りであり、
   焦点距離ｆに対して以下の条件、
   ３．０ ＜ ｆ（Ｇ１）／ｆ（対物レンズ） ＜ ４．０
   ６．０ ＜ ｆ（Ｇ２）／ｆ（対物レンズ） ＜ ７．０
   −１５．５ ＜ ｆ（Ｇ３）／ｆ（対物レンズ） ＜ −１４．５
   が満たされる、ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の対物レンズ。
9. 局在顕微鏡検査又はＴＩＲＦ顕微鏡検査における、請求項１〜８のいずれか一項に記載の油浸対物レンズ（１００）の使用。