JP2014165202A - 電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 - Google Patents
電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の実施形態に係る電子線描画装置の故障診断方法は、電子線によりマスク基板に所望のパターンを描画する電子線描画装置の故障診断方法であって、マスク基板への描画パターンを記述したデータを電子線描画装置で理解可能な描画データに展開する工程と、展開後の描画データを所定単位ごとに順次出力する工程と、描画データに基づいて電子線を偏向する工程と、展開後の描画データが出力されるまでの間、自己の故障の有無を診断する工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、実施形態に係る電子線描画装置10の模式図(一部断面図)である。図2は、電子鏡筒500及び制御機構600の構成を示す模式図である。以下、図1,図2を参照して、電子線描画装置10の構成について説明する。
制御機構600は、展開部610と、描画制御部620と、偏向部630と、ステージ制御部640とを備える。なお、制御機構600の各構成は、プロセッサ、メモリ等により構成される。
展開部610は、マスク基板への描画パターンを記述したデータ(以下、パターンデータと記載する)を電子線描画装置10で理解可能な描画データ(言語)に展開(変換)する。なお、パターンデータは、例えば、CADで記述される。
展開部610、偏向部630及びステージ制御部640は、描画制御部620からの指示に基づいて、自己の故障の有無を診断する。展開部610、偏向部630及びステージ制御部640の各メモリには、故障診断プログラムが記憶されており、この故障診断プログラムを実行することで、展開部610、偏向部630、ステージ制御部640は、自己の故障の有無を診断する。
図3〜図5は、電子線描画装置10の故障診断時の動作を示すフローチャートである。以下、図1〜図5を参照して、電子線描画装置10の故障診断時の動作を説明する。
初めに、図1〜図3を参照して、パターンデータ展開中の電子線描画装置10の故障診断時の動作について説明する。この故障診断では、展開部610でパターンデータを展開中に、使用していない偏向部630及びステージ制御部640の故障診断を行うことで、故障診断によるダウンタイムを効果的に低減している。
次に、図1,図2及び図4を参照して、描画中の電子線描画装置10の故障診断時の動作について説明する。この故障診断では、任意のエリアの描画が終了した後、次に描画を行うエリアが電子線の照射領域(偏向領域)に入るまでの間、使用していない展開部610及び偏向部630の故障診断を行うことで、故障診断によるダウンタイムを効果的に低減している。
次に、図1,図2及び図5を参照して、校正用パラメータを取得中の電子線描画装置10の故障診断時の動作について説明する。この故障診断では、偏向部630及びステージ制御部640を使用して、校正用パラメータを取得している間、使用していない展開部610の故障診断を行うことで、故障診断によるダウンタイムを効果的に低減している。
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、上記実施形態は、例示であり、本発明を上記実施形態に限定することを意図するものではない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。例えば、上記実施形態においては、描画中に描画データをバックアップするメモリの故障診断を行うようにしてもよい。
Claims (4)
- 電子線によりステージ上に載置されたマスク基板に所望のパターンを描画する電子線描画装置の故障診断方法であって、
前記マスク基板への描画パターンを記述したデータを前記電子線描画装置で理解可能な描画データに展開する工程と、
展開後の描画データを所定単位ごとに順次出力する工程と、
前記描画データに基づいて前記電子線を偏向し、前記ステージを駆動する工程と、
前記展開後の前記描画データが出力されるまでの間、自己の故障の有無を診断する工程と、
を有する電子線描画装置の故障診断方法。 - 電子線によりステージ上に載置されたマスク基板に所望のパターンを描画する電子線描画装置の故障診断方法であって、
前記ステージを駆動し、前記マスク基板を移動させる工程と、
前記ステージの位置を監視する工程と、
前記マスク基板が所望の位置に到達すると、前記電子線を照射する工程と、
前記マスク基板が所望の位置に到達するまでの間、自己の故障の有無を診断する工程と、
を有する電子線描画装置の故障診断方法。 - 電子線によりステージ上に載置されたマスク基板に所望のパターンを描画する電子線描画装置の故障診断方法であって、
前記ステージ上に設けられた校正用マークに前記電子線を照射し、校正データを取得する工程と、
前記校正データを取得する間、自己の故障の有無を診断する工程と、
を有する電子線描画装置の故障診断方法。 - 電子線によりステージ上に載置されたマスク基板に所望のパターンを描画する電子線描画装置であって、
前記マスク基板への描画パターンを記述したデータを前記電子線描画装置で理解可能な描画データに展開し、展開後の描画データを所定単位ごとに順次出力する描画データ展開部と、
前記描画データに基づいて前記電子線を偏向する偏向部と、
前記描画データに基づいて前記ステージを駆動するステージ制御部と、
を備え、
前記展開部から前記描画データが出力されるまでの間、自己の故障の有無を診断する電子線描画装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09260247A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Hitachi Ltd | パタン転写方法及びパタン転写用データの作成方法 |
JP3291591B2 (ja) * | 1992-11-11 | 2002-06-10 | 東芝機械株式会社 | 荷電粒子線描画露光方法及びその装置 |
JP2007324229A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Nuflare Technology Inc | 荷電ビーム描画装置の描画回路自己診断方法および荷電ビーム描画装置 |
JP2008521221A (ja) * | 2004-11-17 | 2008-06-19 | イーエムエス ナノファブリカツィオン アーゲー | 粒子ビーム露光装置のためのパターンロック装置 |
JP2009016439A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Jeol Ltd | 近接効果補正量の補正方法及び装置 |
JP2013021045A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
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2013
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3291591B2 (ja) * | 1992-11-11 | 2002-06-10 | 東芝機械株式会社 | 荷電粒子線描画露光方法及びその装置 |
JPH09260247A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Hitachi Ltd | パタン転写方法及びパタン転写用データの作成方法 |
JP2008521221A (ja) * | 2004-11-17 | 2008-06-19 | イーエムエス ナノファブリカツィオン アーゲー | 粒子ビーム露光装置のためのパターンロック装置 |
US20090146082A1 (en) * | 2004-11-17 | 2009-06-11 | Ims Nanofabrication Ag | Pattern Lock System for Particle-Beam Exposure Apparatus |
JP2007324229A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Nuflare Technology Inc | 荷電ビーム描画装置の描画回路自己診断方法および荷電ビーム描画装置 |
US20080067426A1 (en) * | 2006-05-30 | 2008-03-20 | Nuflare Technology, Inc. | Pattern writing circuit self-diagnosis method for charged beam photolithography apparatus and charged beam photolithography apparatus |
JP2009016439A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Jeol Ltd | 近接効果補正量の補正方法及び装置 |
JP2013021045A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
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