JP2014162658A - ディスプレイ用ガラス基板の評価方法、及びディスプレイ用のガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】所望のガラス基板の表面状態を得るカラーフィルタ用のガラス基板の製造方法とガラス基板の表面状態を評価する方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板の製造方法は、溶融ガラスを冷却してガラス基板を形成する成形工程と、ガラス基板のカラーフィルタが形成される主表面に面処理を行う面処理工程とを有する。さらに面処理された主表面の表面状態に応じて面処理工程の条件を調整するために、面処理されたガラス基板の表面にフォトレジスト樹脂を塗膜し、所定のパターンを有するフォトマスクを用いてレジスト膜を露光し、露光されたレジスト膜を現像して、ガラス基板の表面に形成された評価用のレジストパターンの残存状態または剥離状態により、ガラス基板の表面状態を評価して、面処理の条件を変更する評価工程を備える。
【選択図】図1
【解決手段】ガラス基板の製造方法は、溶融ガラスを冷却してガラス基板を形成する成形工程と、ガラス基板のカラーフィルタが形成される主表面に面処理を行う面処理工程とを有する。さらに面処理された主表面の表面状態に応じて面処理工程の条件を調整するために、面処理されたガラス基板の表面にフォトレジスト樹脂を塗膜し、所定のパターンを有するフォトマスクを用いてレジスト膜を露光し、露光されたレジスト膜を現像して、ガラス基板の表面に形成された評価用のレジストパターンの残存状態または剥離状態により、ガラス基板の表面状態を評価して、面処理の条件を変更する評価工程を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、ディスプレイ用ガラス基板の評価方法、及びディスプレイ用のガラス基板の製造方法に関する。
液晶ディスプレイでは、光の透過量を制御するTFT(Thin Film Transistor)と液晶、カラーフィルタとを構成要素としている。液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタパネルの製造方法は、通常、ガラス基板の表面に黒色のマトリックスを形成し、続いて、赤、緑、青の異なる色相を順次、ストライプ状あるいはモザイク状等の色パターンで形成する方法が用いられている。
ディスプレイの高精細化に伴い、ガラス基板の表面に配置されるブラックマトリックスの線幅およびピッチは小さくなっている。例えば、ディスプレイの高コントラスト化を達成するために、ブラックマトリックスの高細線化・高精細化(具体的には、20μm未満の線幅)による開口率の向上、および、ブラックマトリックスの高い寸法精度による遮光性の向上が必要になっている。また、ディスプレイ画素数の高密度化に伴い、パターンサイズはカラーフィルタの用途並びにそれぞれの色により異なるが、一例としては、赤、緑、青の画素は200〜300μmから100μmへ、ブラックマトリックスは20μmから10μm、さらには5μmへと細線技術が開発されている。
カラーフィルタの製造法には電着法、染色法、印刷法および顔料分散法などがあるが、最近では顔料分散法が主流となっている。顔料分散法は、基板に塗布された感光性樹脂に顔料を分散したカラーレジスト、あるいは非感光樹脂に顔料を分散したカラーペーストを、フォトリソグラフィ加工法を用いてパターン形成する方法であり、染色工程が不要なため製造工程が簡略化でき、また得られた着色画素は、耐光、耐熱性に優れ、高精度の画素を形成できるという利点がある。また、顔料を含んだ樹脂性のブラックマトリックス材(以下、BM材ともいう)は、密着性が低いとされシランカップリング剤などを添加して密着性の向上が図られている。
しかしながら、ガラス基板の表面状態によって、ガラス基板の表面とBM材との密着性は変化する。20μm以下、特に10μm以下へと高細線化されたブラックマトリックスでは、ガラス基板の表面状態の影響を受けやすく、その表面状態の相違によって、同じBM材を使用していたとしても、ブラックマトリックスに剥離または残渣が発生しやすくなるという問題が生じている。
液晶パネルメーカーによっても使用するBM材が異なっていることもあり、ガラス基板メーカーでは、ガラス基板の表面状態を、出荷先である各パネルメーカーのBM材に対して適切に合わせ込むことが求められている。
そこで、本発明では、所望のガラス基板の表面状態を得るカラーフィルタ用のガラス基板を製造する方法を提供する。また、ガラス基板の表面状態を評価する方法を提供する。
本発明の一の態様は、ディスプレイ用のガラス基板の評価方法において、ガラス基板の表面にレジスト膜を形成するレジスト塗布工程を実施する。その後、線幅の異なる複数のラインにより形成された第1マスクパターン、及び屈曲点を有する第2マスクパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジスト膜を露光し、露光された前記レジスト膜を現像して、評価パターン形成工程を実施する。そして、前記ガラス基板の表面に形成された前記第1レジストパターンと前記第2レジストパターンの残存状態及び/又は剥離状態により、前記ガラス基板の表面状態を評価する表面評価工程を実施する。
前記第1マスクパターンを形成する前記複数のラインは1μm以上30μm以下の線幅であり、前記第2マスクパターンを形成する屈曲点は少なくとも2本のラインにより形成される交点であってもよい。また、屈曲点を形成するラインは同じ線幅又は異なる線幅であってもよい。
前記評価パターン形成工程では、前記第1マスクパターンに対応する第1レジストパターンと前記第2マスクパターンに対応する第2レジストパターンが形成され、前記表面評価工程では、前記ガラス基板に形成された前記第1レジストパターンのうち、前記ガラス基板の表面に残存した第1レジストパターンの線幅により、前記ガラス基板の表面状態を評価してもよく、前記ガラス基板に形成された前記第2レジストパターンの交点における曲率を測定、又は残差物を観察して、前記ガラス基板の表面状態を評価してもよい。
前記評価パターン形成工程では、前記第1マスクパターンに対応する第1レジストパターンと前記第2マスクパターンに対応する第2レジストパターンが形成され、前記表面評価工程では、前記ガラス基板に形成された前記第1レジストパターンや前記ガラス基板に形成された前記第2レジストパターンのパターンとガラスの間に存在する異物や空洞の有無を観察して、前記ガラス基板の表面状態を評価してもよい。
前記評価パターン形成工程では、前記第1マスクパターンに対応する第1レジストパターンと前記第2マスクパターンに対応する第2レジストパターンが形成され、前記表面評価工程では、前記ガラス基板に形成された前記第1レジストパターンや前記ガラス基板に形成された前記第2レジストパターンのパターン位置以外の残渣レジストを観察して、前記ガラス基板の表面状態を評価してもよい。
本発明の他の態様は、カラーフィルタが形成される液晶ディスプレイ用のガラス基板の製造方法において、溶融ガラスを冷却してガラス基板を形成する成形工程と、前記ガラス基板の前記カラーフィルタが形成される主表面に面処理を行う面処理工程とを有し、前記面処理された前記基板の前記主表面の表面状態に応じて前記面処理を変更するために、前記面処理された前記ガラス基板の表面にレジスト膜を形成し、所定のパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジスト膜を露光し、露光された前記レジスト膜を現像して、評価パターンを形成し、前記ガラス基板の表面に形成された前記評価パターンの残存状態及び/又は剥離状態により、前記ガラス基板の表面状態を評価して、前記面処理の条件を変更するものである。
前記面処理は、前記ガラス基板を洗浄することにより、前記ガラス基板の主表面に付着する有機物量を調整する洗浄処理でもよい。また、ガラス基板の洗浄処理は、洗浄剤としてテトラメチルアンモニウムハイドライド(TMAH)を使用するものであって、TMAHの濃度を変更することで前記面処理の条件を変更してもよい。また、前記有機物量として、400℃加熱時にスチレン、フェノール、α−メチルスチレン、1-プロピニルベンゼンなどの芳香族化合物や脂肪族炭化水素が発生する有機物の付着量を調整してもよい。
前記面処理は、前記ガラス基板の主表面の平均表面粗さRaを0.1〜1.0nmにする粗面化処理でもよい。また、前記粗面化処理は、フッ酸系薬液によるエッチングにより行ってもよく、スラリー等を用いた研磨処理によって行ってもよい。
前記面処理は、前記ガラス基板の主表面に樹脂成分を含むシート材を接触させ、前記ガラス基板の主表面に樹脂成分を移行させてもよい。例えば、前記面処理は、前記ガラス基板の主表面に樹脂フィルムを貼り付け、前記フィルムから前記ガラス基板の主表面に有機物を転写してもよく、複数枚の前記ガラス基板を合紙を介して積層することで、前記合紙から前記ガラス基板の主表面に有機物を転写してもよい。
前記面処理は、前記ガラス基板の洗浄後に、気化した有機物を蒸着することで、ガラス基板に有機物を付着してもよく、ガラス洗浄を有機物が溶解された水溶液又は溶剤に浸漬することで、ガラス基板に有機物を付着してもよい。
本発明は、フォトマスクの有するパターン形状に対する、ガラス基板に形成されたレジストパターンの再現の度合いによりレジスト膜とガラス基板との密着・剥離の程度を確認することで、ガラス基板の表面状態を評価することができる。また、表面状態を前工程の面処理にフィードバックすることで、所望の表面状態のガラス基板を得ることが出来る。
以下、図面を参照して、本実施携帯のガラス基板の製造方法について説明する。
・ ガラス基板の製造方法の概要
図1は、本実施形態に係るガラス基板の製造方法の一部のフローチャートである。
ガラス基板は、図1に示すように、溶解工程A1、成形工程A2、切断工程A3、加工・面処理工程A4、検査工程A5、の工程を経て製造され、梱包・出荷工程A6を経て、各パネルメーカーに出荷される。また、検査工程A5、梱包・出荷工程A6において、ガラス基板が抜き取られ、ガラス基板が評価工程A7にて評価されて、その評価結果に応じて加工・面処理工程A4の条件が変更されることで、出荷されるガラス基板の表面状態が調整される。
図1は、本実施形態に係るガラス基板の製造方法の一部のフローチャートである。
ガラス基板は、図1に示すように、溶解工程A1、成形工程A2、切断工程A3、加工・面処理工程A4、検査工程A5、の工程を経て製造され、梱包・出荷工程A6を経て、各パネルメーカーに出荷される。また、検査工程A5、梱包・出荷工程A6において、ガラス基板が抜き取られ、ガラス基板が評価工程A7にて評価されて、その評価結果に応じて加工・面処理工程A4の条件が変更されることで、出荷されるガラス基板の表面状態が調整される。
図7に示すように、溶融工程A1では、溶融装置10内でガラス原料を加熱して溶解することにより溶融ガラスとする。そして、移送管20により溶融ガラスは清澄装置30に移送され、清澄装置30内で溶融ガラス中に含まれるガス成分を溶融ガラスから放出する、或いは、溶融ガラス中に含まれるガスを溶融ガラス中に吸収する。ガラス原料は、例えば、SiO2、Al2O3等の組成からなり、清澄剤にはSnO2などが用いられる。
成形工程A2では、清澄された溶融ガラスが移送管40により成形装置50に供給され、帯状のガラスシートG1に成形される。
切断工程A3では、ガラスシートG1は図示しない切断装置によって流れ方向に垂直な方向である幅方向に切断されることで枚葉化され、また、流れ方向に沿って両側部が切断されることで所定の厚み・サイズを有するガラス基板が形成される。さらに所望の製品サイズとなるよう、例えば4辺を切断して製品サイズのガラス基板としてもよい。
加工・面処理工程A4では、製品サイズに切断されたガラス基板に対して、必要に応じて図示しない面取り装置により加工され、ガラス基板の4辺に糸面取り、又は丸みを有するようR面取り加工が施される。本実施形態では、ガラス基板の4辺のR面取り加工の後、ガラス基板の主表面に対して面処理を実施している。
面処理は、図8(a)に示すバッチ式洗浄装置800の洗浄容器801に、ガラス基板Gが浸漬されて行われる。図8(a)では、複数のガラス基板Gがガラス収容棚802に縦置きされて収納され、洗浄液803に満たされた洗浄装置800に、ガラス収容棚802ごと浸漬されて洗浄される。洗浄装置800内では、図示しない超音波洗浄によりガラス基板Gの表面から異物(有機物を含む)が除去される。洗浄液による洗浄後、ガラス基板Gは、図示しない純水洗浄装置による洗浄され、洗浄液が洗い流される。
図8(b)に示す枚葉式洗浄装置810では、搬送ローラ811上を搬送され、枚葉式洗浄装置810内にガラス基板Gを搬送される。洗浄装置810内では、ガラス基板の主表面に対して、ノズル812から洗浄液813を塗布して、図示しないスポンジブラシなどにより表面を洗浄してもよい。ガラス基板Gは、図示しない純水による洗浄を経て、エアナイフ814にてガラス基板Gの表面の水分を取り除き、枚様式洗浄装置810から排出される。
面処理工程では、図8(a)、(b)の両方によりガラス基板の表面が処理されてもよく、いずれか一方により表面が処理されてもよい。洗浄液803、又は、813には、ガラス基板に付着した有機物を除去できるようアルカリ洗浄洗剤が用いられる。例えば、テトラメチルアンモニウムハイドライド(TMAH)を含む洗浄液を用いることで、ガラス基板に付着する有機物量のコントロールを行うことができる。また、洗浄による面処理のほかに、洗浄後のガラス基板の表面への有機物を付着させる方法や、ガラス基板の表面の面粗さを大きくして、表面状態をコントロールしても良い。洗浄後のガラス基板の表面への有機物を付着させる方法として、400℃加熱時に、スチレン、フェノール、α−メチルスチレン、1-プロピニルベンゼンなどの芳香族化合物や脂肪族炭化水素が発生する有機物の付着量を調整する方法が好適に挙げられる。
表面処理されたガラス基板Gは、検査工程A5に送られ、ガラス基板の表面に付着する異物や、ガラス基板の表面に存在するキズの有無の評価がされる。その後、基準を満たすガラス基板については梱包・出荷工程A6に送られ、パネルメーカーに出荷される。
ここで、高精細の液晶ディスプレイ用のカラーフィルタパネルに使用されるガラス基板については、検査工程A5や梱包・出荷工程A6において、抜き取り検査によりガラス基板の表面状態の評価を行うために、評価工程A7に送られる。
評価工程A7では、ガラス基板は、図2に示すように、所定の評価用サイズに切断してサンプルガラスを切り出すサンプル作製工程B1と、評価用レジスト剤をサンプルガラス上に塗膜する塗膜工程B2と、評価用レジストが塗膜されたサンプルガラスを加熱するプリベーク工程B3と、紫外線露光装置を用いて露光し、アルカリ水溶液により現像するパターン作製工程B4と、サンプルガラス上に形成されたパターンを評価する評価工程B5が行われる。
評価用レジストの塗膜工程B2では、感光性樹脂組成物を液状組成物の状態で基板に塗布する際には、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機やスピナー機を用いる方法等の何れの方法をも採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、プリベーク工程B3により、溶剤が除去され、サンプルガラス上にレジスト材が被膜形成される。プリベークはオーブン、ホットプレート、熱真空乾燥機等により加熱、または、減圧加熱することによって行われる。プリベーク工程B3における加熱温度及び加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば50〜120℃の温度で1〜10分間行われる。
パターン作製工程では、図3に示すようなパターンが形成されたフォトマスク31が使用される。具体的には、フォトマスク31には、線幅の異なる複数のラインにより形成された第1マスクパターン32と、2本のラインが直交して形成された第2マスクパターン33とを有する。
このフォトマスク31をサンプルガラス上に設置し、BM材を露光する。露光では、波長が250〜450nmの範囲にある放射線が好ましいが、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等であってもよい。また、現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができる。
このフォトマスク31をサンプルガラス上に設置し、BM材を露光する。露光では、波長が250〜450nmの範囲にある放射線が好ましいが、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等であってもよい。また、現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができる。
本実施形態におけるマスクパターンと評価方法について、図4及び図5A〜Kを用いて説明する。図4(a)に示す第1マスクパターン32は、線幅の異なる5つのラインパターンにより構成され、3μm幅に形成されたラインパターン321、5μm幅に形成されたラインパターン322、10μm幅に形成されたラインパターン323、15μm幅に形成されたラインパターン324、20μm幅に形成されたラインパターン325からなる。また、図4(b)に示す第2マスクパターンは、30μm幅に形成されたラインが直交して十字状に形成されてなる。なお、図3に示すように、フォトマスク31には、線幅の異なる2つの第2マスクパターンが形成されてもよい。このように、第1フォトマスクのマスクパターン32を形成する複数のラインは1μm以上30μm以下の線幅であり、第2マスクパターンを形成する屈曲点は少なくとも2本のラインにより形成される交点である、ことが好ましい。
サンプルガラス上に形成されるレジスト膜が、露光され現像されることで、サンプルガラス上にレジストパターンが形成される。
図5Aは、現像されたレジストの一部が剥離し残存した状態を示す。レジストパターン521は、ラインパターン321に対応するものであるが、サンプルガラス上には3μm幅のパターンが残らなかったことを示すと共に、5μm幅、10μm幅のレジストパターンが、欠けや細りを生じることなく残存したことを示している。本発明の製造方法では、例えば、上記のように、3μm幅までを剥離する条件とするか、3μm幅まで残存させる表面状態にするか、5μm幅のパターンも残らないよう剥離させる表面状態にするか等、必要な表面状態にあうように面処理の条件を変更する。
図5Aは、現像されたレジストの一部が剥離し残存した状態を示す。レジストパターン521は、ラインパターン321に対応するものであるが、サンプルガラス上には3μm幅のパターンが残らなかったことを示すと共に、5μm幅、10μm幅のレジストパターンが、欠けや細りを生じることなく残存したことを示している。本発明の製造方法では、例えば、上記のように、3μm幅までを剥離する条件とするか、3μm幅まで残存させる表面状態にするか、5μm幅のパターンも残らないよう剥離させる表面状態にするか等、必要な表面状態にあうように面処理の条件を変更する。
図5Bに示すように、残存したレジストパターンの線幅t1についても測定して、ガラス基板の表面状態の評価が行われる。例えば、図5C,Dに示すレジストパターン530、及び先端部531は、図5Bのレジストパターンの場合とは異なり、線幅が細くなった状態を示す。例えば、図5Dに示すように、残存すべき線幅t1に対して、現像後に残存したt2の割合t2/t1により、ガラス基板の表面状態を評価しても良い。
図5Eは、残存したレジストパターンの一部に剥離が生じ、パターンにカケが発生した状態を示す。このようなカケが生じた場合には、ガラス基板の表面状態を調整するために、面処理の条件を変更する。
図5F,Gは、サンプルガラス上に残存した第2レジストパターンの一例を示す。十字状に形成された第2レジストパターン550では、中央部のラインが交差、又は屈曲した態様の箇所を確認して、ガラス基板の表面状態を評価する。具体的には、交点551の角部に形成される残渣rを確認する。例えば、2つのラインの交差する交点が、90度のマスクパターンを用いてパターン形成を行った場合において、残渣rが形成する曲率を測定することで、ガラス基板の表面状態を評価する。
図5H,Iは、レジストパターンを裏面から観察した一例を示す。ここでいう観察とは、撮像装置を介して得られた撮影画像を、画像処理装置が後述する目標を満足するか調べることを意味する。
図5H,Iでは、レジストパターン560は表面からでは確認できない微小なパターンの浮きや、浮きが発生したエリアの形状を観察することで、ガラス基板の表面状態を評価する。またレジストパターン570はレジストパターンに埋まり、付着位置の影響でパターン異常にならなかった微小異物を観察することで、ガラス基板の表面状態を評価する。
図5H,Iでは、レジストパターン560は表面からでは確認できない微小なパターンの浮きや、浮きが発生したエリアの形状を観察することで、ガラス基板の表面状態を評価する。またレジストパターン570はレジストパターンに埋まり、付着位置の影響でパターン異常にならなかった微小異物を観察することで、ガラス基板の表面状態を評価する。
図5J,Kは、レジストパターン位置以外の残渣レジストを観察した一例を示す。図5J,Kでは、レジストパターン580は残存したレジストパターンの一部にパーティクルをコアとして固着したレジストが重なった状態であり、レジストパターン590は残存したレジストパターンから離れた位置にパーティクルをコアとして固着したレジストが発生した状態であり、残渣レジストを観察することで、ガラス基板の表面状態を評価する。
(特徴)
従来は、パネルメーカーにおいて、露光時間や現像時間を調整することにより、ブラックマトリックスが所定のパターンとなるように製造条件が検討されてきた。しかし、ディスプレイの高精細化、高コントラスト化に伴うブラックマトリックスの細線化により、ガラス基板の表面状態をより高いレベルでコントロールする必要が生じるようになった。さらに、パネルメーカーにおいて、生産性向上のために製造時間の短縮が図られ、従来のように露光時間、現像時間を調整することが難しくなってきた。
本発明のガラス基板の評価方法によれば、パネルメーカーの製造条件に対するガラス基板の表面状態の適不適を容易に評価することができる。
また、本発明の製造方法によれば、パネルメーカーにおける露光、現像時間の調整を最小限に抑えつつ、ガラス基板の表面において、ブラックマトリックスが所定の形状にパターニングすることのできるガラス基板の表面状態を得ることができる。
従来は、パネルメーカーにおいて、露光時間や現像時間を調整することにより、ブラックマトリックスが所定のパターンとなるように製造条件が検討されてきた。しかし、ディスプレイの高精細化、高コントラスト化に伴うブラックマトリックスの細線化により、ガラス基板の表面状態をより高いレベルでコントロールする必要が生じるようになった。さらに、パネルメーカーにおいて、生産性向上のために製造時間の短縮が図られ、従来のように露光時間、現像時間を調整することが難しくなってきた。
本発明のガラス基板の評価方法によれば、パネルメーカーの製造条件に対するガラス基板の表面状態の適不適を容易に評価することができる。
また、本発明の製造方法によれば、パネルメーカーにおける露光、現像時間の調整を最小限に抑えつつ、ガラス基板の表面において、ブラックマトリックスが所定の形状にパターニングすることのできるガラス基板の表面状態を得ることができる。
本発明に係るディスプレイ用のガラス基板の評価方法のフローを説明する。以下の説明では、面処理としてアルカリ洗浄洗剤によりガラス基板の表面を洗浄して、表面状態をコントロールした例を用いて説明する。
本実施例では、図1に示される加工・面処理工程A4に基づき、図8(b)の枚様式洗浄装置810によりガラス基板の表面が洗浄された(第1洗浄工程)後、図8(a)のバッチ式洗浄装置800により、ガラス基板の表面が洗浄される(第2洗浄工程)。
第1洗浄工程では、横浜油脂工業社製の無機アルカリ性洗浄剤である“KG”(製品名:横浜油脂工業株式会社製)を純水で希釈して、アルカリ成分としてKOHを添加して生成された洗浄剤を使用する。洗浄装置としては、例えば、特開2012−075998に記載される洗浄装置を用いてもよい。また、第2洗浄工程では、0.3%濃度を有するTMAHを使用してガラス基板の表面洗浄を行う。
次に、図1に示される検査工程A5に基づき、ガラス基板の表面に基準を超えるキズや異物付着などの欠陥が存在しないことを確認して、評価工程A7を行った。
例えば、フルオレン系のレジスト膜を用いて評価を行う。フォトマスクには、第1マスクパターンとして、3μm幅のマスクパターン、5μm幅のマスクパターン、10μm幅のマスクパターン、15μm幅のマスクパターン、20μm幅のマスクパターンが形成され、第2マスクパターンとして、30μm幅のパターンが直交した十字状のパターンが形成されたものを用いる。
ここで、現像によりガラス基板の表面に残るレジストパターンの目標を、例えば以下のように定めることができる。具体的には、第1レジストパターンでは、3μm幅のレジストパターンは剥離して残らないこと、5μm幅のレジストパターンは、t2/t1が90%以上でガラス基板の表面に残ること、10μm幅、15μm、20μm幅のレジストパターンは、t2/t1が95%以上でガラス基板の表面に残ることとする。また、第2レジストパターンでは、直角の交点の部分のレジストパターンの縁の曲率半径R(以降、直角交点の曲率半径Rという)が4μm以下になることとする。さらに、第1レジストパターン、第2レジストパターンとも、裏面観察にて浮き、又は、パーティクルがないこと、レジストパターン位置以外の残渣レジストがないこと、とする。
ここで、評価用レジストとしては、出荷予定のパネルメーカーが用いるレジストと同系のレジストを用いることが好ましい。また、同一のレジストである必要はなく、パネルメーカーにおいて求められるガラス基板の表面状態を、レジストパターンの残存・剥離によって再現できればよい。
レジストパターンが所望の条件で残存しなかった(上記目標を満足しなかった)場合には、ガラス基板の面処理条件を変更する。例えば、3μm幅のレジストパターンが剥離して残らないことを目標とした本実施例の場合において、3μm幅のレジストパターンが残渣してしまった場合、レジストに対するガラス基板の密着性が高すぎるということになる。このような場合、第1洗浄工程のKOHの添加量を増やすと共に、第2洗浄工程のTMAHの濃度を下げることにより、レジストとの密着性を下げるよう工程の操作を行う。
また、反対に、5μm幅のレジストパターンが残ることを目標としていた場合に、5μm幅のレジストパターンのt2/t1が90%以下になり、又は、図5Eのようにカケが発生した場合、ガラス基板の表面状態の密着性を上げるよう工程の操作を行うとよい。
さらに、ガラス基板の密着性の判定には、第1レジストパターンに加えて、第2レジストパターンにより評価が行われることが好ましい。
直角の交点の曲率半径Rが4μm以下になることを目標としていた場合に、図5Gのように直角の交点の曲率半径Rが4μm以上となった場合、又は、交点にレジストがパーティクル状に残った場合、レジストに対するガラス基板の密着性が高すぎるということになる。このような場合、第2洗浄工程のTMAHの濃度を下げることにより、ガラス基板の表面の有機物量を調整して、レジストとの密着性を下げるよう工程の操作を行う。
さらに、ガラス基板の密着性の判定には、裏面観察により評価が行われる。
裏面観察にて浮き、又は、パーティクルがないことを目標としていた場合に、図5Hのようにレジストパターンの局所的な浮き、又は、図5Iのようにレジストパターン内にパーティクルが埋っていた場合、レジストに対する相溶性が低いパーティクルのガラス基板への付着により部分的に密着性が低いということになる。このような場合、第1洗浄工程のKOHの添加量を増やすこと、又は、洗浄液の温度を上げることにより、ガラス基板の表面のパーティクルを少なくして、レジストとの密着性を上げるよう工程の操作を行う。
裏面観察にて浮き、又は、パーティクルがないことを目標としていた場合に、図5Hのようにレジストパターンの局所的な浮き、又は、図5Iのようにレジストパターン内にパーティクルが埋っていた場合、レジストに対する相溶性が低いパーティクルのガラス基板への付着により部分的に密着性が低いということになる。このような場合、第1洗浄工程のKOHの添加量を増やすこと、又は、洗浄液の温度を上げることにより、ガラス基板の表面のパーティクルを少なくして、レジストとの密着性を上げるよう工程の操作を行う。
さらに、ガラス基板の密着性の判定には、レジストパターン位置以外の残渣レジストにより評価が行われる。
レジストパターン位置以外の残渣レジストがないことを目標としていた場合に、図5J,Kのようにレジストパターン位置以外の残渣レジストが発生した場合、レジストに対する相溶性が高いパーティクルのガラス基板への付着により部分的に密着性が高いということになる。このような場合、第1洗浄工程のKOHの添加量を増やすこと、又は、洗浄液の温度を上げることにより、ガラス基板の表面のパーティクルを少なくして、レジストとの密着性を下げるよう工程の操作を行う。
このような第1レジストパターン、第2レジストパターンを用いた評価は、レジストパターンを撮像して画像として読み取り、この画像を図示されない画像処理装置を用いて解析することにより行うことが好ましい。
レジストパターン位置以外の残渣レジストがないことを目標としていた場合に、図5J,Kのようにレジストパターン位置以外の残渣レジストが発生した場合、レジストに対する相溶性が高いパーティクルのガラス基板への付着により部分的に密着性が高いということになる。このような場合、第1洗浄工程のKOHの添加量を増やすこと、又は、洗浄液の温度を上げることにより、ガラス基板の表面のパーティクルを少なくして、レジストとの密着性を下げるよう工程の操作を行う。
このような第1レジストパターン、第2レジストパターンを用いた評価は、レジストパターンを撮像して画像として読み取り、この画像を図示されない画像処理装置を用いて解析することにより行うことが好ましい。
(変形例1)
図6に、フォトマスクの変形例を示す。フォトマスク600は、線幅1〜30μmの異なる複数のラインからなるマスクパターン601と、平行に設けられた複数のラインが、他方の平行に設けられた複数のラインと所定の角度で交差した格子状のマスクパターン602と、L字状に屈曲して形成されたマスクパターン603と、3本のラインが1点で交差したマスクパターン604と、複数の15μm角のドットで形成されたマスクパターン605を備える。フォトマスクに形成されるマスクパターンは、図3や図6に示されるものに限定されることなく、適宜決定すればよい。
図6に、フォトマスクの変形例を示す。フォトマスク600は、線幅1〜30μmの異なる複数のラインからなるマスクパターン601と、平行に設けられた複数のラインが、他方の平行に設けられた複数のラインと所定の角度で交差した格子状のマスクパターン602と、L字状に屈曲して形成されたマスクパターン603と、3本のラインが1点で交差したマスクパターン604と、複数の15μm角のドットで形成されたマスクパターン605を備える。フォトマスクに形成されるマスクパターンは、図3や図6に示されるものに限定されることなく、適宜決定すればよい。
(変形例2)
図9Aは、他の面処理方法である、気化した有機物をガラス基板に被膜する方法を説明する図である。図9Aのバッチ式被膜装置900は、ガラス基板の洗浄後に、被膜容器901内においてガラス基板の表面に所望の有機物を付着させる。被膜容器901内に、ガラス基板収納棚902により縦置きに保持されたガラス基板Gを収納し、被膜容器901内の雰囲気903に、例えば、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)を充填して、ガラス基板Gの表面に付着させる。一例として、ガラス基板Gの表面に、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)を0.1〜10ng/cm2付着させる。
図9Aは、他の面処理方法である、気化した有機物をガラス基板に被膜する方法を説明する図である。図9Aのバッチ式被膜装置900は、ガラス基板の洗浄後に、被膜容器901内においてガラス基板の表面に所望の有機物を付着させる。被膜容器901内に、ガラス基板収納棚902により縦置きに保持されたガラス基板Gを収納し、被膜容器901内の雰囲気903に、例えば、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)を充填して、ガラス基板Gの表面に付着させる。一例として、ガラス基板Gの表面に、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)を0.1〜10ng/cm2付着させる。
(変形例3)
図9Bは、被膜装置910を用いた他の面処理方法である、有機物を含む水溶液をガラス基板の表面に付着させ被膜する方法を説明する図である。被膜装置910は、被膜容器911内にガラス基板収納棚912に縦置きにてガラス基板Gが収納され、投入される。被膜容器911内には、所定の濃度の有機物を含む水溶液913に満たされ、ガラス基板Gの表面は水溶液913に接触する。ガラス基板Gは、洗浄後に被膜されることが好ましい。例えば、濃度1ppm〜5%の3−アミノプロピルトリエトキシシラン水溶液にガラス基板Gを浸漬させて、引き上げ乾燥させることで、ガラス基板Gの表面に、3−アミノプロピルトリエトキシシランを0.1〜10ng/cm2付着させる。
図9Bは、被膜装置910を用いた他の面処理方法である、有機物を含む水溶液をガラス基板の表面に付着させ被膜する方法を説明する図である。被膜装置910は、被膜容器911内にガラス基板収納棚912に縦置きにてガラス基板Gが収納され、投入される。被膜容器911内には、所定の濃度の有機物を含む水溶液913に満たされ、ガラス基板Gの表面は水溶液913に接触する。ガラス基板Gは、洗浄後に被膜されることが好ましい。例えば、濃度1ppm〜5%の3−アミノプロピルトリエトキシシラン水溶液にガラス基板Gを浸漬させて、引き上げ乾燥させることで、ガラス基板Gの表面に、3−アミノプロピルトリエトキシシランを0.1〜10ng/cm2付着させる。
(変形例4)
図9Cは、粗面化処理装置920を用いた他の面処理方法である粗面化処理方法を説明する図である。粗面化処理装置920では、ガラス基板Gを搬送ローラ921により内部に投入し、ノズル922からエッチング液923をガラス基板に塗布する。その後、図示しない純水により洗浄され、粗面化処理装置920の出口に設けられるエアナイフ924により水滴を除去して、搬出される。ガラス基板の表面における平均表面粗さRa(JIS B 0601:2001)を0.1〜1.0nmにすることで、レジストとの接触面積を増加させて、密着性を向上することができる。
図9Cは、粗面化処理装置920を用いた他の面処理方法である粗面化処理方法を説明する図である。粗面化処理装置920では、ガラス基板Gを搬送ローラ921により内部に投入し、ノズル922からエッチング液923をガラス基板に塗布する。その後、図示しない純水により洗浄され、粗面化処理装置920の出口に設けられるエアナイフ924により水滴を除去して、搬出される。ガラス基板の表面における平均表面粗さRa(JIS B 0601:2001)を0.1〜1.0nmにすることで、レジストとの接触面積を増加させて、密着性を向上することができる。
(変形例5)
図9Dは、バッチ式アニール装置930を用いた他の面処理方法であるアニール処理方法について説明する図である。バッチ式アニール装置930は、アニール容器931内においてガラス基板を熱処理し、ガラス基板Gの表面を改質する。具体的には、アニール容器内の温度を80〜220℃に昇温して、ガラス基板Gの表面から水分を取り除くと共に、空気中の有機物を付着することで、レジストとの密着性を変化させることができる。
図9Dは、バッチ式アニール装置930を用いた他の面処理方法であるアニール処理方法について説明する図である。バッチ式アニール装置930は、アニール容器931内においてガラス基板を熱処理し、ガラス基板Gの表面を改質する。具体的には、アニール容器内の温度を80〜220℃に昇温して、ガラス基板Gの表面から水分を取り除くと共に、空気中の有機物を付着することで、レジストとの密着性を変化させることができる。
(変形例6)
図9Eは、ガラス積層体940を用いた他の面処理方法である、ガラス基板への有機物の付着処理方法について説明する図である。ガラス載置台941にガラス基板Gを、合紙942を介して積層している。合紙(シート材)に塗工されて含まれたPVA(ポリビリルアルコール)や、ポリエチレン等の樹脂成分がガラスに移行することで、ガラス基板Gの表面の有機物量が変化する。合紙に塗工する材料、量を調整することで、ガラス基板Gの表面に付着する有機物、有機物量をコントロールして、レジストとの密着性を変化させることができる。
また、ガラス基板に有機物を付着させる付着処理方法としては、合紙のシート材に代えて樹脂フィルムのシート材を用いることができる。また、付着させるために積層する必要はなく、ロール状の樹脂フィルムからの転写を、例えば、特開2011−46586の図12に示すような方法により接触させ行ってもよい。
図9Eは、ガラス積層体940を用いた他の面処理方法である、ガラス基板への有機物の付着処理方法について説明する図である。ガラス載置台941にガラス基板Gを、合紙942を介して積層している。合紙(シート材)に塗工されて含まれたPVA(ポリビリルアルコール)や、ポリエチレン等の樹脂成分がガラスに移行することで、ガラス基板Gの表面の有機物量が変化する。合紙に塗工する材料、量を調整することで、ガラス基板Gの表面に付着する有機物、有機物量をコントロールして、レジストとの密着性を変化させることができる。
また、ガラス基板に有機物を付着させる付着処理方法としては、合紙のシート材に代えて樹脂フィルムのシート材を用いることができる。また、付着させるために積層する必要はなく、ロール状の樹脂フィルムからの転写を、例えば、特開2011−46586の図12に示すような方法により接触させ行ってもよい。
以上のように、本発明は、ディスプレイ用のガラス基板の評価方法において、ガラス基板の表面にレジスト膜を形成し、その後、線幅の異なる複数のラインにより形成された第1マスクパターン、及び屈曲点を有する第2マスクパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジスト膜を露光し、露光された前記レジスト膜を現像して、評価パターン形成工程を実施する。そして、前記ガラス基板の表面に形成された前記第1レジストパターンと前記第2レジストパターンの残存状態及び/又は剥離状態により、前記ガラス基板の表面状態を評価する表面評価工程を実施する。
Claims (10)
- ディスプレイ用のガラス基板の表面にレジスト膜を形成する工程と、線幅の異なる複数のラインにより形成された第1マスクパターン、及び/又は屈曲点を有する第2マスクパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジスト膜を露光し、露光された前記レジスト膜を現像して、評価パターンを形成する工程と、前記ガラス基板の表面に形成された前記第1レジストパターン及び/又は前記第2レジストパターンの残存状態や剥離状態により、前記ガラス基板の表面状態を評価する工程とを有する、ディスプレイ用ガラス基板の評価方法。
- 前記フォトマスクの前記第1マスクパターンを形成する前記複数のラインは1μm以上30μm以下の線幅であり、前記第2マスクパターンを形成する屈曲点は少なくとも2本のラインにより形成される交点である、請求項1に記載のディスプレイ用ガラス基板の評価方法。
- 前記評価パターンを形成する工程では、前記第1マスクパターンに対応する第1レジストパターンと前記第2マスクパターンに対応する第2レジストパターンが形成され、前記表面状態を評価する工程では、前記ガラス基板に形成された前記第1レジストパターンのうち、前記ガラス基板の表面に残存した第1レジストパターンの線幅により、前記ガラス基板の表面状態を評価し、前記ガラス基板に形成された前記第2レジストパターンの交点における曲率を測定、又は、残渣物を観察して、前記ガラス基板の表面状態を評価し、前記ガラス基板に形成された前記レジストパターンの裏面からの浮き、又は、パーティクルを観察して、前記ガラス基板の表面状態を評価し、前記ガラス基板に形成された前記レジストパターン位置以外の残渣レジストを観察して、前記ガラス基板の表面状態を評価する請求項1又は2に記載のディスプレイ用ガラス基板の評価方法。
- カラーフィルタパネルに用いられるディスプレイ用ガラス基板の製造方法において、溶融ガラスを冷却してガラス基板を形成する成形工程と、前記ガラス基板の前記カラーフィルタが形成される主表面に面処理を行う面処理工程とを有し、さらに前記面処理された前記主表面の表面状態に応じて前記面処理工程の条件を調整するために、前記面処理された前記ガラス基板の表面にフォトレジスト樹脂を塗膜し、所定のパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジスト膜を露光し、露光された前記レジスト膜を現像して、前記ガラス基板の表面に形成された評価用のレジストパターンの残存状態または剥離状態により、前記ガラス基板の表面状態を評価して、前記面処理の条件を変更する評価工程を備えるディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- 前記フォトマスクに形成される前記所定のパターンは、線幅の異なる複数のラインを有する第1マスクパターン及び/又は屈曲点を有する第2マスクパターンを有する、請求項4に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- 前記フォトマスクに形成された前記第1マスクパターンは、1μm以上30μm以下の線幅を有し、前記第2マスクパターンは、少なくとも2本のラインが交わる交点を有する、請求項5に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- 前記面処理は、前記ガラス基板の洗浄により前記ガラス基板の主表面に付着する有機物量を調整する洗浄処理であって、洗浄剤としてテトラメチルアンモニウムハイドライドを用いる、請求項4〜6のいずれか1項に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- 前記面処理により、400℃の加熱時に、スチレン、フェノール、α−メチルスチレン、または1-プロピニルベンゼンを含む芳香族化合物あるいは脂肪族炭化水素が発生する有機物の付着量を調整する、請求項7に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- 前記面処理は、前記ガラス基板の主表面の平均表面粗さRaを0.1〜1.0nmにする粗面化処理である、請求項5又は6に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- 前記面処理は、前記ガラス基板の主表面に樹脂成分を含むシート材を接触させ、前記ガラス基板の主表面に樹脂成分を移行させる、請求項5又は6に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
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