JP2014157963A - スリットノズルおよび基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スリットノズル42は、ノズル本体部71と、ノズル本体部71の長手方向の両端面の側方に配置された一対のサイドプレート72と、ノズル本体部71とサイドプレート72との間に挟まれた調整薄板73とを備える。調整薄板73は、ノズル本体部71の端面と当接している内側面から、サイドプレート72と当接している外側面に貫通して設けられ、内側面側の開口端において送液路712と連通するとともに、外側面側の開口端がサイドプレート72に対して開口している、送液空間Vと、送液空間V内の処理液を、外側面の下端縁から漏れ出させる漏れ出し構造Lとを備える。
【選択図】図2
Description
基板処理装置1の全体構成について、図1を参照しながら説明する。図1は、基板処理装置1の概略を示した斜視図である。図1および以下の各図においては、図示および説明の便宜のため、X方向、Y方向、およびZ方向を定義している。X方向は、スリットノズル42の移動方向である。Y方向は、スリットノズル42の長手方向である。Z方向は、鉛直方向である。
スリットノズル42の構成について、図2、図3を参照しながら説明する。図2は、スリットノズル42の構成を示した概略側面図である。図3は、スリットノズル42のノズル本体部71の構成を示した概略斜視図である。
ノズル本体部71の内部には、内部流路である送液路712が形成されている。送液路712の下端は、外部に対して開口している。この開口は、ノズル本体部71のY軸方向に沿って、ノズル本体部71の全長に亘って延びる直線状の開口であり、この開口によって、吐出口711の長手方向に沿った開口縁が規定されている。送液路712に供給されたレジスト液は、吐出口711から基板2に向けて吐出される。つまり、ノズル本体部71は、送液路712の前面(−X側)および背面(+X側)においてレジスト液の流れを規定する。
サイドプレート72は、ノズル本体部71のY方向の端面713,714に、調整薄板73を挟んで、取り付けられる。すなわち、ノズル本体部71、調整薄板73、および、サイドプレート72は、ノズル本体部71の端面713,714に、調整薄板73の一方の主面(内側面)731が当接され、さらに、調整薄板73の他方の主面(外側面)732にサイドプレート72の一方の主面(当接面)721が当接された状態で(図4等参照)、締結部材74(具体的には、例えば、サイドプレート72から調整薄板73を介してノズル本体部71まで到達するビスなど)によって互いに締結されて、一体に固定される。これによって、ノズル本体部71の内部に形成されている送液路712のY方向の開口端が塞がれることになる。
調整薄板73は、薄板状の部材であり、ノズル本体部71とサイドプレート72との間に挟まれて配設される。具体的には、調整薄板73は、上述したとおり、内側面731をノズル本体部71の端面713,714に当接させるとともに、外側面732をサイドプレート72の当接面721に当接させた状態で、締結部材74で締結されることによって、ノズル本体部71、および、サイドプレート72に対して固定されている。つまり、調整薄板73は、締結部材74によって、ノズル本体部71、および、サイドプレート72に対して着脱自在に固定される。
まず、調整薄板73の第1の形態について、図4、図5を参照しながら説明する。図4、図5には、第1の形態に係る調整薄板73(以下、他の形態の調整薄板73と区別する場合には、「調整薄板73a」と示す)を備えるスリットノズル42(以下、他の形態の調整薄板73を備えるスリットノズル42と区別する場合には、「スリットノズル42a」と示す)が示されている。図4は、スリットノズル42aにおける調整薄板73aの付近を、送液路712を含む平面で切断した断面図である。図5は、スリットノズル42aを図4の矢印Kから見た図である。すなわち、図5は、ノズル本体部71に配設された調整薄板73aを、外側面732の側から見た概略平面図である。なお、図4、図5、および、後に参照する図6〜図13においては、ノズル本体部71の一方の端面713に設けられた調整薄板73の付近のみを示しているが、他方の端面714に設けられた調整薄板73の付近も、同様の構成となる。
次に、調整薄板73の第2の形態について、図6、図7を参照しながら説明する。図6、図7には、第2の形態に係る調整薄板73(以下、他の形態の調整薄板73と区別する場合には、「調整薄板73b」と示す)を備えるスリットノズル42(以下、他の形態の調整薄板73を備えるスリットノズル42と区別する場合には、「スリットノズル42b」と示す)が示されている。図6は、スリットノズル42bにおける調整薄板73bの付近を、送液路712を含む平面で切断した断面図である。図7は、スリットノズル42bを図6の矢印Kから見た図である。すなわち、図7は、ノズル本体部71に配設された調整薄板73bを、外側面732の側から見た概略平面図である。
次に、調整薄板73の第3の形態について、図8、図9を参照しながら説明する。図8、図9には、第3の形態に係る調整薄板73(以下、他の形態の調整薄板73と区別する場合には、「調整薄板73c」と示す)を備えるスリットノズル42(以下、他の形態の調整薄板73を備えるスリットノズル42と区別する場合には、「スリットノズル42c」と示す)が示されている。図8は、スリットノズル42cにおける調整薄板73cの付近を、送液路712を含む平面で切断した断面図である。図9は、スリットノズル42cを図8の矢印Kから見た図である。すなわち、図9は、ノズル本体部71に配設された調整薄板73cを、外側面732の側から見た概略平面図である。
次に、調整薄板73の第4の形態について、図10、図11を参照しながら説明する。図10、図11には、第4の形態に係る調整薄板73(以下、他の形態の調整薄板73と区別する場合には、「調整薄板73d」と示す)を備えるスリットノズル42(以下、他の形態の調整薄板73を備えるスリットノズル42と区別する場合には、「スリットノズル42d」と示す)が示されている。図10は、スリットノズル42dにおける調整薄板73dの付近を、送液路712を含む平面で切断した断面図である。図11は、スリットノズル42dを図10の矢印Kから見た図である。すなわち、図11は、ノズル本体部71に配設された調整薄板73を、外側面732の側から見た概略平面図である。
次に、調整薄板73の第5の形態について、図12、図13を参照しながら説明する。図12、図13には、第5の形態に係る調整薄板73(以下、他の形態の調整薄板73と区別する場合には、「調整薄板73e」と示す)を備えるスリットノズル42(以下、他の形態の調整薄板73を備えるスリットノズル42と区別する場合には、「スリットノズル42e」と示す)が示されている。図12は、スリットノズル42eにおける調整薄板73eの付近を、送液路712を含む平面で切断した断面図である。図13は、スリットノズル42eを図12の矢印Kから見た図である。すなわち、図13は、ノズル本体部71に配設された調整薄板73eを、外側面732の側から見た概略平面図である。
上述したとおり、調整薄板73は、送液空間Vと漏れ出し構造Lとを備えており、スリットノズル42の送液路712に供給されたレジスト液9の一部が、調整薄板73の外側面732の下端縁7320から漏れ出るようになっている。ここで、図2に示されるように、スリットノズル42が基板2に向けてレジスト液9を吐出している状態において、スリットノズル42の下端と基板2とはごく接近した状態となっており、スリットノズル42の下端と基板2の表面とが、スリットノズル42から吐出されるレジスト液9を介してつながった状態が形成される。このときに、下端縁7320からレジスト液9が漏れ出る状態が形成されていると、スリットノズル42の吐出幅におけるY方向の端の位置(吐出端位置)Eが、ノズル本体部71の端面713,714の位置から調整薄板73の外側面732の位置まで引き寄せられる。
上記の実施の形態によると、調整薄板73が、ノズル本体部71の送液路712に連通する送液空間Vと、送液空間V内の処理液を調整薄板73の外側面732の下端縁7320から漏れ出させる漏れ出し構造Lとを備える。この構成によると、上述したとおり、スリットノズル42の吐出端位置Eを、調整薄板73の外側面732の位置とすることができる。つまり、スリットノズル42の吐出端位置Eを、ノズル本体部71の端面713,714の位置から、調整薄板73の厚みd分だけ外側にシフトさせることができる。したがって、同じノズル本体部71を用いつつ、調整薄板73の厚みdを変更するだけで、スリットノズル42における処理液の吐出幅を柔軟に変更できる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記の実施の形態においては、調整薄板73の下端面733は、ノズル本体部71の下端と面一になるように配置されるとしたが、調整薄板73の下端面733は、ノズル本体部71の下端と面一になっていなくともよい。例えば、図15に例示されるように、調整薄板73の下端面733は、ノズル本体部71の下端およびサイドプレート72の下端よりも上側に配置されていてもよい。また、例えば、図16に例示されるように、調整薄板73の下端面733は、ノズル本体部71の下端およびサイドプレート72の下端よりも下側に配置されていてもよい。ノズル本体部71の下端(すなわち、吐出口711の形成位置)に対する下端面733の高さ位置を調整することによって、基板2に形成される塗布膜90のY方向の端縁部分の膜厚(すなわち、スリットノズル42の吐出端位置E付近から処理液を塗布されることによって形成される塗布膜の部分の膜厚)を、調整することができる。
2 基板
10 本体部
20 制御部
30 ステージ
40 架橋部
42,42a,42b,42c,42d,42e スリットノズル
50 駆動部
71 ノズル本体部
711 吐出口
712 送液路
7121 マニホールド
7122 ランド
72 サイドプレート
73,73a,73b,73c,73d,73e 調整薄板
731 内側面
732 外側面
7320 下端縁
733 下端面
V 送液空間
L 漏れ出し構造
Claims (12)
- スリット状の吐出口をその下部に有するスリットノズルにおいて、
内部に送液路が形成され、前記送液路の下端が外部に対して開口することにより、前記吐出口の長手方向に沿った開口縁が規定されているノズル本体部と、
前記ノズル本体部の長手方向の両端面の側方に配置された一対のサイドプレートと、
前記ノズル本体部の端面と前記サイドプレートとの間に挟まれた調整薄板と、
を備え、
前記調整薄板が、
前記ノズル本体部の前記端面と当接している内側面から、前記サイドプレートと当接している外側面に貫通して設けられ、前記内側面側の開口端において前記送液路と連通するとともに、前記外側面側の開口端が前記サイドプレートに対して開口している、送液空間と、
前記送液空間内の処理液を、前記外側面の下端縁から漏れ出させる漏れ出し構造と、
を備える、スリットノズル。 - 請求項1に記載のスリットノズルにおいて、
前記送液路が、
前記ノズル本体部の長手方向に処理液を拡散させる拡散路部と、
前記拡散路部から前記吐出口に処理液を導く流路部と、
を備え、
前記送液空間が、前記流路部と連通している、
スリットノズル。 - 請求項1または2に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板が、前記ノズル本体部、および、前記サイドプレートに対して、着脱自在に固定されている、
スリットノズル。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のスリットノズルにおいて、
前記送液空間が、前記調整薄板の下端面に対して閉じている、
スリットノズル。 - 請求項4に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板が、
前記調整薄板の前記内側面から前記外側面に貫通して設けられた、上下に延在する長尺の貫通溝、
を備え、
前記貫通溝が、前記送液空間を形成する、
スリットノズル。 - 請求項4に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板が、
前記外側面に形成された、上下に延在する長尺の溝と、
前記溝の底面から前記内側面に貫通する貫通孔と、
を備え、
前記溝と前記貫通孔とが、前記送液空間を形成する、
スリットノズル。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のスリットノズルにおいて、
前記送液空間が、前記調整薄板の下端面に開口した開口部、
を備え、
前記開口部の縁が、前記下端縁まで達している、
スリットノズル。 - 請求項7に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板が、
前記調整薄板の前記内側面から前記外側面に貫通して設けられ、上下に延在して下端が前記下端面に開口した、長尺の貫通溝、
を備え、
前記貫通溝が、前記送液空間を形成し、
前記貫通溝の下端が、前記開口部を形成する、
スリットノズル。 - 請求項7に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板が、
前記外側面に形成され、上下に延在して下端が前記下端面に開口した、長尺の溝と、
前記溝の底面から前記内側面に貫通する貫通孔と、
を備え、
前記溝と前記貫通孔とが、前記送液空間を形成し、
前記溝の下端が、前記開口部を形成する、
スリットノズル。 - 請求項7に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板が、
前記調整薄板の前記内側面から前記外側面に貫通して設けられ、前記ノズル本体部の長手方向に沿って見たときに、前記送液路と同じ形状となっている貫通溝、
を備え、
前記貫通溝が、前記送液空間を形成し、
前記貫通溝の下端が、前記開口部を形成する、
スリットノズル。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載のスリットノズルにおいて、
前記調整薄板の前記下端面が、前記ノズル本体部の下端と面一ではない、
スリットノズル。 - 請求項1から11のいずれか一項に記載のスリットノズルと、
前記スリットノズルの下方において基板を水平に保持する保持部と、
前記スリットノズルを、前記保持部に保持された基板に対して、前記吐出口の長手方向と直交する方向に、相対的に移動させる駆動部と、
前記スリットノズルに処理液を供給する供給部と、
を備える、基板処理装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170077394A (ko) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
CN109107838A (zh) * | 2018-11-08 | 2019-01-01 | 爱普科斯电阻电容(珠海)有限公司 | 一种元件器表面刮胶装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002153795A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-28 | Advanced Color Tec Kk | 枚葉基板の製造方法および塗布装置 |
JP2006043562A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スリットノズルおよびそれを用いた基板処理装置 |
JP2006261326A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スリットノズル,基板処理装置,および基板処理方法 |
JP2007152170A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Mitsubishi Materials Corp | 塗布工具 |
JP2008246280A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Toray Ind Inc | スロットダイおよび塗膜を有する基材の製造装置および塗膜を有する基材の製造方法 |
-
2013
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002153795A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-28 | Advanced Color Tec Kk | 枚葉基板の製造方法および塗布装置 |
JP2006043562A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スリットノズルおよびそれを用いた基板処理装置 |
JP2006261326A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スリットノズル,基板処理装置,および基板処理方法 |
JP2007152170A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Mitsubishi Materials Corp | 塗布工具 |
JP2008246280A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Toray Ind Inc | スロットダイおよび塗膜を有する基材の製造装置および塗膜を有する基材の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170077394A (ko) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
KR102446802B1 (ko) | 2015-12-28 | 2022-09-23 | 에스케이실트론 주식회사 | 잉곳 절단 장치 |
CN109107838A (zh) * | 2018-11-08 | 2019-01-01 | 爱普科斯电阻电容(珠海)有限公司 | 一种元件器表面刮胶装置 |
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