JP2014153371A - レーザリペア装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異なる種類の多層膜が形成された基板上の特定膜にレーザ光を照射してリペア処理を施すレーザリペア装置1において、所定の発振波長λsで出力するレーザ光源3と、レーザ光源3から出射したレーザ光の波長を特定膜において最も吸収が高い特定波長λtに変換する波長変換部4と、波長変換部4から出射されたレーザ光を設定光路で伝送する伝送光学系5とを備え、伝送光学系5は、特定波長λtのレーザ光を選択的に設定光路に伝送させる波長選択光学要素5A,5B,5Dを含み、純度の高い特定波長λtのレーザ光を出射する。
【選択図】図3
Description
異なる種類の多層膜が形成された基板上の特定膜にレーザ光を照射してリペア処理を施すレーザリペア装置において、所定の発振波長で出力するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射したレーザ光の波長を前記特定膜において最も吸収が高い特定波長に変換する波長変換部と、前記波長変換部から出射されたレーザ光を設定光路で伝送する伝送光学系とを備え、前記伝送光学系は、前記特定波長のレーザ光を選択的に前記設定光路に伝送させる波長選択光学要素を含み、純度の高い前記特定波長のレーザ光を出射することを特徴とするレーザリペア装置。
5:伝送光学系,5A,5B,5D:波長選択光学要素,
50〜56:反射光学要素
Claims (7)
- 異なる種類の多層膜が形成された基板上の特定膜にレーザ光を照射してリペア処理を施すレーザリペア装置において、
所定の発振波長で出力するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射したレーザ光の波長を前記特定膜において最も吸収が高い特定波長に変換する波長変換部と、前記波長変換部から出射されたレーザ光を設定光路で伝送する伝送光学系とを備え、
前記伝送光学系は、前記特定波長のレーザ光を選択的に前記設定光路に伝送させる波長選択光学要素を含み、純度の高い前記特定波長のレーザ光を出射することを特徴とするレーザリペア装置。 - 前記波長選択光学要素は多段に設けられることを特徴とする請求項1記載のレーザリペア装置。
- 前記波長選択光学要素は、ダイクロイックミラーを含むことを特徴とする請求項1又は2記載のレーザリペア装置。
- 前記波長選択光学要素は、波長フィルタを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザリペア装置。
- 前記特定膜がITO膜であり、前記特定波長が266nmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のレーザリペア装置。
- 前記波長変換部は、前記発振波長を中間波長に変換する第1波長変換素子と中間波長を前記特定波長に変換する第2波長変換素子を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のレーザリペア装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載されたレーザリペア装置によってリペアされた表示装置。
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