JP2014152061A - 弾性波素子用基板 - Google Patents
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Abstract
本発明は、弾性波素子として常用されているタンタル酸リチウム結晶を改質することで、周波数の温度特性が改善された弾性波素子用基板を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、Sc、Y、ランタノイド金属から選択される1種または2種以上の3価の陽イオンを1モル%以上含むことを特徴とするタンタル酸リチウム結晶からなる弾性波素子用基板であり、好ましくは、3価の陽イオンの含有量の上限が4モル%であり、その周波数の温度係数の絶対値が20ppm/℃以下である。
【選択図】なし
Description
また、特許文献2の結晶材料は、温度係数の改善用要求比率(−20ppm/℃÷−35ppm/℃)が0.57以下に対して、この特許文献2に記載されている最良の例でも、(−45ppm÷アンドープの値−74ppm/℃)が0.61であり、要求に応えられるものではない。
さらに、非特許文献1の結晶材料も、Fig.2に記載されているように、その温度係数の絶対値が28ppm/℃であり、まだまだ改善レベルとしては不十分な材料であるという問題がある。
なお、3価の陽イオンの添加量を予め多様な比率で混合し、焼成して複数のサンプルを用意し、これらサンプルについて、タンタル酸リチウム結晶の変形イルメナイト構造が維持される範囲をX線回折で調べておくことで、各々の陽イオンの含有量の上限値を事前に把握しておくことが好ましい。
なお、この作製の過程において、スライス処理後又はラップ処理後に、ウェーハに公知の技術に基づいて還元処理することで導電率を向上させることもできる。
そして、本発明によれば、その温度係数は、下記表1に示すように、従来のコングルーエント組成のタンタル酸リチウム結晶基板の温度係数の絶対値が35ppm/℃の値と比べて、20ppm/℃以下のかなり小さい値を示す。
なお、表1の添加した金属元素の分析は、結晶育成後にICP-AES法で行なった。
一方、比較例1〜3では、温度係数の絶対値がいずれも30ppm/℃以上の大きい値であり、従来のものと差がないことが確認された。
なお、温度係数を測定した弾性波素子の試料について、その電気機械結合係数を測定したところ、無添加の比較例1と差がないことも確認された。
Claims (3)
- Sc、Y、ランタノイド金属から選択される1種または2種以上の3価の陽イオンを1モル%以上含むことを特徴とするタンタル酸リチウム結晶からなる弾性波素子用基板。
- 前記3価の陽イオンの含有量は、その上限が4モル%であることを特徴とする請求項1に記載のタンタル酸リチウム結晶からなる弾性波素子用基板。
- 温度係数の絶対値が20ppm/℃以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のタンタル酸リチウム結晶からなる弾性波素子用基板。
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JPH06340497A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-13 | Toshiba Corp | 単結晶体 |
JP2004254114A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Yamajiyu Ceramics:Kk | 圧電基板用単結晶、それを用いた弾性表面波フィルタおよびその製造方法 |
JP2005314137A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Yamajiyu Ceramics:Kk | 圧電性酸化物単結晶の帯電抑制処理方法、および帯電抑制処理装置 |
WO2007046176A1 (ja) * | 2005-10-19 | 2007-04-26 | Yamaju Ceramics Co., Ltd. | 強誘電体単結晶、それを用いた弾性表面波フィルタ及びその製造方法 |
-
2013
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06340497A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-13 | Toshiba Corp | 単結晶体 |
JP2004254114A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Yamajiyu Ceramics:Kk | 圧電基板用単結晶、それを用いた弾性表面波フィルタおよびその製造方法 |
JP2005314137A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Yamajiyu Ceramics:Kk | 圧電性酸化物単結晶の帯電抑制処理方法、および帯電抑制処理装置 |
WO2007046176A1 (ja) * | 2005-10-19 | 2007-04-26 | Yamaju Ceramics Co., Ltd. | 強誘電体単結晶、それを用いた弾性表面波フィルタ及びその製造方法 |
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