JP2014150221A - 光半導体用シートおよび光半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】周囲への汚染を低減して、非粘着性を向上させつつ、透明性に優れる光半導体用シート、および、発光効率の低下が抑制された光半導体装置を提供すること。
【解決手段】光半導体用シート1は、第1のシリコーン樹脂からなる粘着層2と、粘着層2の上面に設けられ、第2のシリコーン樹脂からなる非粘着層3とを備える。また、光半導体装置6は、上記した光半導体用シート1と、光半導体用シート1により封止される光半導体素子8とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】光半導体用シート1は、第1のシリコーン樹脂からなる粘着層2と、粘着層2の上面に設けられ、第2のシリコーン樹脂からなる非粘着層3とを備える。また、光半導体装置6は、上記した光半導体用シート1と、光半導体用シート1により封止される光半導体素子8とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、光半導体用シートおよび光半導体装置、詳しくは、光半導体用シート、および、それにより封止される光半導体素子を備える光半導体装置に関する。
ゴム状のシリコーン樹脂シートは、耐久性、耐熱性などに優れることから、種々の用途に用いられている。
そのようなシリコーン樹脂シートは、表面に粘着性があるため、輸送時に、シリコーン樹脂シートが他の部材に付着して、周囲を汚染したり、あるいは、別途、剥離シートを積層して、表面を保護する必要がある。また、表面の粘着性が過度に高い場合には、離型シートをシリコーン樹脂シートから離型する際の離型性が低下する場合もある。
そこで、例えば、表面に、タルクやマイカなどの鱗片状の粉を打粉して得られる熱圧着用シリコーンゴムシートが提案されている(例えば、下記特許文献1参照。)。
特許文献1の熱圧着用シリコーンゴムシートは、打粉された粉によって、表面の粘着性を低減させて、周囲への汚染を低減させ、さらに、離型性を向上させている。
しかし、特許文献1に記載の熱圧着用シリコーンゴムシートは、打粉された粉に起因して透明性が不十分となるため、これによって光半導体素子を封止して得られる光半導体装置は、発光効率が低下するという不具合がある。
本発明の目的は、周囲への汚染を低減して、非粘着性を向上させつつ、透明性に優れる光半導体用シート、および、発光効率の低下が抑制された光半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の光半導体用シートは、第1のシリコーン樹脂からなる粘着層と、前記粘着層の厚み方向一方面に設けられ、第2のシリコーン樹脂からなる非粘着層とを備えることを特徴としている。
この光半導体用シートには、粘着層の厚み方向一方面に、非粘着層が設けられるので、粘着層が周囲の部材に付着することに起因する汚染を低減して、非粘着性を向上させつつ、透明性を向上させることができる。
また、本発明の光半導体用シートでは、前記第2のシリコーン樹脂は、常温で固形状であり、かつ、熱可塑性であることが好適である。
この光半導体用シートでは、第2のシリコーン樹脂は、熱可塑性であるので、加熱により、非粘着層が粘着層に密着することができる。そのため、非粘着層と粘着層との間に隙間が生じることを防止することができる。その結果、光半導体用シートの透明性をより一層向上させることができる。
また、本発明の光半導体用シートでは、前記第1のシリコーン樹脂は、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂であることが好適である。
この光半導体用シートによれば、第1のシリコーン樹脂は、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂であるので、対象物を容易かつ確実に被覆することができる。対象物の被覆後に、光半導体用シートを加熱してCステージにすることにより、対象物を確実に封止することができる。
また、本発明の光半導体用シートでは、前記第2のシリコーン樹脂は、シルセスキオキサンであることが好適である。
この光半導体用シートによれば、第2のシリコーン樹脂は、シルセスキオキサンであるので、耐久性および透明性に優れながら、熱可塑性を容易に担保することができる。
また、本発明の光半導体用シートでは、前記シルセスキオキサンは、前記第1のシリコーン樹脂と反応する官能基を含有することが好適である。
この光半導体用シートでは、シルセスキオキサンは、第1のシリコーン樹脂と反応する官能基を含有するので、第2のシリコーン樹脂と、第1のシリコーン樹脂とを反応させて、これによって、粘着層と非粘着層との密着性をより一層向上させることができる。
また、本発明の光半導体用シートは、光半導体素子の封止に用いられることが好適である。
この光半導体用シートは、光半導体素子の封止に用いられるので、光半導体素子の信頼性を向上させつつ、発光効率の低下を抑制することができる。
また、本発明の光半導体用シートでは、前記非粘着層は、前記第2のシリコーン樹脂からなるシートから形成されていることが好適である。
この光半導体用シートによれば、非粘着層は、第2のシリコーン樹脂からなるシートから形成されているので、非粘着層の厚みを均一に確保することができ、また、長期保存性に優れる。
また、本発明の光半導体用シートでは、前記非粘着層は、前記第2のシリコーン樹脂からなる粒子から層状に形成されていることが好適である。
この光半導体用シートによれば、非粘着層は、粒子から層状に形成されているので、プロセスを簡易にすることができる。
また、本発明の光半導体装置は、上記した光半導体用シートと、前記光半導体用シートにより封止される光半導体素子とを備えることを特徴としている。
この光半導体装置は、透明性に優れる光半導体用シートにより封止される光半導体素子を備えるので、発光効率の低下を抑制することができる。
本発明の光半導体用シートは、粘着層が周囲の部材に付着することに起因する汚染を低減して、非粘着性を向上させつつ、透明性を向上させることができる。
本発明の光半導体装置は、発光効率の低下を抑制することができる。
<第1実施形態>
図1において、紙面上下方向を上下方向(厚み方向、第1方向)、紙面左右方向を左右方向(第2方向、第1方向に直交する方向)、紙面紙厚方向を前後方向(第3方向、第1方向および第2方向に直交する方向)とする。図2以降の各図は、上記した方向に準拠する。
図1において、紙面上下方向を上下方向(厚み方向、第1方向)、紙面左右方向を左右方向(第2方向、第1方向に直交する方向)、紙面紙厚方向を前後方向(第3方向、第1方向および第2方向に直交する方向)とする。図2以降の各図は、上記した方向に準拠する。
図1(b)において、光半導体用シート1は、粘着層2と、粘着層2の上面(厚み方向一方面)に設けられる非粘着層3とを備える。また、粘着層2の下には、第1離型シート4が設けられている。また、離型層3の上には、第2離型シート5が設けられている。
粘着層2は、第1離型シート4の上面に積層されており、第1のシリコーン樹脂から、面方向(厚み方向に直交する方向、すなわち、左右方向および前後方向の両方向)に広がるシート状に形成されている。
第1のシリコーン樹脂としては、例えば、熱可塑性シリコーン樹脂、熱硬化性シリコーン樹脂などが挙げられる。好ましくは、熱硬化性シリコーン樹脂が挙げられる。
熱硬化性シリコーン樹脂としては、例えば、2段階硬化型シリコーン樹脂、1段階硬化型シリコーン樹脂などが挙げられる。
2段階硬化型シリコーン樹脂は、2段階の反応機構を有しており、1段階目の反応でBステージ化(半硬化)し、2段階目の反応でCステージ化(完全硬化)する熱硬化性シリコーン樹脂である。一方、1段階硬化型シリコーン樹脂は、1段階の反応機構を有しており、1段階目の反応で完全硬化する熱硬化性シリコーン樹脂である。
また、Bステージは、熱硬化性シリコーン樹脂が、液状であるAステージと、完全硬化したCステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、弾性率がCステージの弾性率よりも小さい状態である。
熱硬化性シリコーン樹脂として、好ましくは、2段階硬化型シリコーン樹脂が挙げられる。
なお、第1のシリコーン樹脂(具体的には、熱硬化性シリコーン樹脂)を、複数種類の成分を含むシリコーン樹脂組成物(具体的には、熱硬化性シリコーン樹脂組成物)から調製することもできる。
2段階硬化型シリコーン樹脂組成物の未硬化体(1段階目の硬化前)としては、例えば、縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物が挙げられる。
縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、加熱によって、縮合反応および付加反応することができる熱硬化性シリコーン樹脂組成物であって、より具体的には、加熱によって、縮合反応して、Bステージ(半硬化)となることができ、次いで、さらなる加熱によって、付加反応(具体的には、例えば、ヒドロシリル化反応)して、Cステージ(完全硬化)となることができる熱硬化性シリコーン樹脂組成物である。
このような縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、好ましくは、付加可能なまたは縮合可能な官能基が残存しており、より好ましくは、付加可能な官能基が残存している。
付加反応可能な官能基としては、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基などの炭素数2〜10のアルケニル基、例えば、シクロヘキセニル基、ノルボルネニル基などの炭素数3〜10のシクロアルケニル基などが挙げられる。好ましくは、炭素数2〜5のアルケニル基、より好ましくは、ビニル基が挙げられる。さらに、付加反応可能な官能基としては、例えば、ヒドロシリル基(−SiH)も挙げられる。
付加反応可能な官能基は、単独使用または併用することができる。
付加反応可能な官能基としては、好ましくは、アルケニル基とヒドロシリル基との組合せが挙げられる。
一方、縮合反応可能な官能基としては、例えば、ヒドロシリル基、シラノール基(−Si−OH)、ハロゲン原子(具体的には、臭素原子、塩素原子、フッ素原子、ヨウ素原子など)、アルコキシ基(具体的には、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基など)、フェノキシ基、または、アセトキシ基などが挙げられる。
縮合反応可能な官能基として、好ましくは、ヒドロシリル基、シラノール基が挙げられる。
なお、ヒドロシリル基は、付加反応可能な官能基および縮合反応可能な官能基を兼ねることできる。
縮合反応可能な官能基は、単独使用または併用することができる。
縮合反応可能な官能基としては、好ましくは、ヒドロシリル基とシラノール基との組合せが挙げられる。
このような縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物としては、例えば、特開2012−82320号公報などに記載されるシリコーン樹脂用組成物などが挙げられる。
粘着層2は、好ましくは、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂(組成物)から形成されている。
粘着層2の25℃における弾性率は、例えば、0.01MPa以上、好ましくは、0.025MPa以上であり、また、例えば、1.0MPa以下、好ましくは、0.5MPa以下である。粘着層2の弾性率は、ナノインデンタを用いて測定される。後述する非粘着層3の弾性率も同様の方法によって測定される。
粘着層2の弾性率が上記下限以上であれば、粘着層2の形状保持性を確保して、粘着層2の取扱性を向上させることができる。粘着層2の弾性率が上記上限以下であれば、後述する光半導体素子8(図2参照)の封止時に、光半導体素子8を確実に被覆することができる。
また、粘着層2の光透過率は、厚みが600μmの場合に、波長500nmの光に対して、例えば、80%以上、好ましくは、85%以上、より好ましくは、90%以上、さらに好ましくは、95%以上であり、また、99.99%以下である。粘着層2の光透過率は、JIS K 7361−1(1997年版)の「プラスチック−透明材料の全光線透過率の試験方法」の記載に準拠して、積分球を装備する分光光度計によって測定される。後述する非粘着層3の光透過率についても、同様の方法によって測定される。
また、粘着層2は、常温(具体的には、25℃、以下同様)時において、タック(粘着性)を有する。例えば、粘着層2のポリプロピレン(PP)シート(無延伸。厚み50μm)に対する25℃の剥離粘着力が、例えば、0.3N/2cm以上、好ましくは、1N/2cm以上であり、また、例えば、8N/2cm以下、好ましくは、5N/2cm以下である。
なお、粘着層2の剥離粘着力は、後の実施例において詳述される。後述する非粘着層3および光半導体用シート1の剥離粘着力についても同様の方法によって測定される。
粘着層2の厚みは、例えば、50μm以上、好ましくは、100μm以上であり、また、例えば、2000μm以下、好ましくは、1500μm以下である。
非粘着層3は、第2のシリコーン樹脂からなるシートから形成されている。
第2のシリコーン樹脂としては、例えば、シルセスキオキサン、シリコーン粒子などが挙げられる。好ましくは、シルセスキオキサンが挙げられる。
シルセスキオキサンの「Si−O−Si」骨格の構造は、特に限定されず、例えば、かご形、はしご形、ランダム形などが挙げられる。
シルセスキオキサンとしては、例えば、ポリメチルシルセスキオキサン、ポリメチルフェニルシルセスキオキサン、ポリフェニルシルセスキオキサンなどが挙げられる。好ましくは、ポリメチルシルセスキオキサンが挙げられる。
また、シルセスキオキサンは、分子内に、第1のシリコーン樹脂の官能基と反応する官能基を含有することもできる。具体的には、シルセスキオキサンは、分子内に、第1のシリコーン樹脂の付加可能なまたは縮合可能な官能基と反応する官能基を含有することができる。
シルセスキオキサンに含有される官能基としては、例えば、ビニル基、ヒドロキシル基などが挙げられる。好ましくは、ビニル基が挙げられる。
第2のシリコーン樹脂は、市販品を用いることができ、具体的には、ポリメチルシルセスキオキサンとして、KR−220L(信越化学社製)などが挙げられ、また、ビニル基含有ポリメチルシルセスキオキサンとして、製品番号52365−8(Aldrich製)、OL1123(ハイブリットプラスチックス製)などが挙げられる。
第2のシリコーン樹脂は、常温で固形状であり、かつ、熱可塑性である。
具体的には、第2のシリコーン樹脂の軟化点は、例えば、60℃以上、好ましくは、70℃以上であり、また、例えば、200℃以下、好ましくは、150℃以下である。
軟化点が上記上限以下であれば、後述する熱圧着時に、非粘着層3を確実に軟化させることができる。さらには、非粘着層3を容易に軟化・溶融させて、後述する光半導体素子8が基板7にワイヤボンディングされる場合に、ワイヤの損傷を防止することができる。一方、軟化点が上記下限以上であれば、常温における取扱性を向上させることができる。
第2のシリコーン樹脂の軟化点は、約1gの第2のシリコーン樹脂をホットプレートに載置し、ホットプレートを昇温温度5℃/分で加熱することにより、第2のシリコーン樹脂が軟化することを目視にて観察することにより、測定される。
また、非粘着層3は、常温において、タックフリーである(つまり、粘着性を有していない)。
非粘着層3の25℃における弾性率は、例えば、0.5MPa以上、好ましくは、1MPa以上であり、また、例えば、15MPa以下、好ましくは、10MPa以下である。
非粘着層3の光透過率は、厚みが10μmの場合に、波長500nmの光に対して、例えば、80%以上、好ましくは、85%以上、より好ましくは、90%以上、さらに好ましくは、95%以上であり、また、99.99%以下である。
非粘着層3の厚みは、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、100μm以下、好ましくは、50μm以下である。
第1離型シート4としては、例えば、ポリオレフィンシート(ポリエチレンシート、PPシートなど)、ポリエステルシート(PETシートなど)などのポリマーシート、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔などが挙げられる。好ましくは、ポリマーシートが挙げられる。また、第1離型シート4の表面(下面)には、フッ素処理などの剥離処理を施すこともできる。
第2離型シート5は、第1離型シート4と同様の材料から形成されている。また、第2離型シート5に、第1離型シート4と同様の剥離処理を施すこともできる。
次に、この光半導体用シート1の製造方法について説明する。
この方法では、まず、図1(a)の下側図に示すように、粘着層2を第1離型シート4の上に積層する。
具体的には、第1のシリコーン樹脂からなるワニスを第1離型シート4の上面に塗布し、その後、塗膜を加熱することにより、粘着層2を第1離型シート4の上に形成する。なお、第1のシリコーン樹脂が、縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物を含有する場合には、塗膜を加熱することにより、縮合反応を進行させる。これにより、粘着層2は、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂から形成される。
また、別途、非粘着層3を用意する。
具体的には、図1(a)の上側図に示すように、非粘着層3を第2離型シート5の上(但し、図1(a)では、粘着層2との相対位置を明瞭にするために、便宜上、「下」に形成される)に積層する。
非粘着層3を第2離型シート5の上に形成するには、図1(a)の上側図が参照されるように、まず、第2のシリコーン樹脂を溶媒に溶解させて、溶液を調製し、次いで、溶液を、第2離型シート5の上面に塗布して、塗膜を形成する。
溶媒としては、例えば、ヘキサン、ヘプタンなどの炭化水素系溶媒、例えば、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶媒が挙げられる。
溶液における固形分(第2のシリコーン樹脂)濃度は、例えば、10質量%以上、好ましくは、25質量%であり、また、例えば、90質量%以下、好ましくは、75質量%以下である。
その後、塗膜中の溶媒を加熱により除去する。
加熱時間は、例えば、0.1分間以上、好ましくは、0.5分間以上であり、また、例えば、100分間以下、好ましくは、50分間以下である。また、加熱温度は、例えば、50℃以上、好ましくは、75℃以上であり、また、例えば、150℃以下、好ましくは、120℃以下である。
これによって、非粘着層3を第2離型シート5の上面に形成する。
次いで、図1(b)に示すように、粘着層2と非粘着層3とを貼り合わせる。
具体的には、第1離型シート4に積層される粘着層2と、第2離型シート5に積層される非粘着層3(第2離型シート5の上面に積層された非粘着層3を上下反転させたもの)とを貼着する。
粘着層2と非粘着層3との貼着では、それらを圧着する。圧着における圧力は、例えば、0.001MPa以上、また、例えば、300MPa以下、好ましくは、50MPa以下である。
一方、粘着層2と非粘着層3との貼着では、粘着層2の粘着性に基づいて、単に、粘着層2に非粘着層3を積層(具体的には、載置)することもできる。
これにより、第1離型シート4および第2離型シート5により厚み方向に挟まれ、粘着層2および非粘着層3からなる光半導体用シート1を得る。非粘着層3の上面に第2離型シート5が積層され、また、粘着層2の下面には、第1離型シート4が積層されている。
製造直後(具体的には、作製から30分以内、以下同義)の光半導体用シート1の上面、つまり、非粘着層3側面のポリプロピレン(PP)シート(無延伸。厚み50μm)に対する25℃の剥離粘着力は、例えば、0.40N/2cm以下、好ましくは、0.20N/2cm以下、より好ましくは、0.10N/2cm以下、さらに好ましくは、0.05N/2cm以下であり、また、例えば、0.001N/2cm以上である。
製造直後の光半導体用シート1(第1離型シート4および第2離型シート5を除く光半導体用シート1)の波長500nmの光に対する光透過率は、例えば、80.0%以上、好ましくは、90.0%以上、より好ましくは、92.5%以上、さらに好ましくは、95.0%以上であり、また、100%未満である。
その後、製造直後の図1(b)の光半導体用シート1を取り扱う、つまり、具体的には、長期保存および/または輸送する(流通させる)。すなわち、図1(b)に示す光半導体用シート1の製造後から輸送、さらには、使用の直前に至るまで、少なくとも、第2離型シート5を光半導体用シート1に設けておく。換言すれば、図1(b)の光半導体用シート1を使用する直前に、図1(b)の仮想線で示すように、第2離型シート5を非粘着層3から剥離する。
次に、この光半導体用シート1を封止シートとして用いて、光半導体素子8を封止して、光半導体装置6を製造する方法について、図2を参照して説明する。
この方法では、まず、図1(b)の仮想線で示すように、第2離型シート5を非粘着層3から剥離する。
その後、図2(a)に示すように、第2離型シート5が剥離された光半導体用シート1と、基板7とを対向配置する。
具体的には、図1(b)の仮想線で示す第2離型シート5が剥離された光半導体用シート1を上下反転させた光半導体用シート1(図2(a)参照)の非粘着層3と、基板7の上面に実装される光半導体素子8とを対向させる。
基板7は、略平板状をなし、具体的には、絶縁基板の上に、電極パッド(図示せず)および配線(図示せず)を含む導体層(図示せず)が回路パターンとして積層された積層板から形成されている。絶縁基板は、例えば、シリコン基板、セラミックス基板、ポリイミド樹脂基板などからなり、好ましくは、セラミックス基板、具体的には、サファイア基板からなる。
導体層は、例えば、金、銅、銀、ニッケルなどの導体から形成されている。なお、電極パッドは、好ましくは、電気伝導性の観点から、銀、銅から形成されている。基板7の厚みは、例えば、30μm以上、好ましくは、50μm以上であり、また、例えば、1,500μm以下、好ましくは、1,000μm以下である。
光半導体素子8は、基板7の上面に設けられている発光ダイオード素子あるいはレーザーダイオードである。光半導体素子8は、基板7の電極パッドに対して、フリップチップ実装接続またはワイヤボンディング接続され、これによって、導体層と電気的に接続されている。光半導体素子8は、例えば、青色光を発光する素子(具体的には、青色LED)である。光半導体素子8の厚みは、例えば、0.05mm以上、1mm以下である。
次いで、図2(b)に示すように、光半導体用シート1によって、光半導体素子8を埋設(被覆)する。
具体的には、光半導体用シート1を基板7に対して熱圧着させる。
好ましくは、光半導体用シート1および基板7を平板プレスする。
プレス条件としては、温度が、非粘着層3が可塑化する温度またはそれ以上、具体的には、非粘着層3の第2のシリコーン樹脂の軟化点またはそれ以上であり、詳しくは、例えば、80℃以上、好ましくは、100℃以上であり、また、例えば、220℃以下、好ましくは、200℃以下である。また、圧力は、例えば、0.01MPa以上であり、また、例えば、1MPa以下、好ましくは、0.5MPa以下である。プレス時間は、例えば、1〜10分間である。
この熱圧着により、図2(b)に示すように、非粘着層3が軟化・溶融して、粘着層2と相溶し、より具体的には、渾然一体となった封止層9を形成する。そして、光半導体素子8が封止層9に埋設される。つまり、光半導体素子8の上面および側面が、封止層9に被覆される。
なお、光半導体素子8から露出する基板7の上面は、封止層9によって被覆される。
これによって、光半導体用シート1(封止層9)が、光半導体素子8および基板7に粘着される。
そして、この熱圧着によって、粘着層2がBステージの熱硬化性シリコーン樹脂を含有する場合には、粘着層2がCステージ状態となる(完全硬化する)。
より具体的には、粘着層2が縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物である場合には、残存する付加反応可能な官能基(具体的には、ヒドロキシル基)が残存するときに、粘着層2内で付加反応が進行するとともに、非粘着層3が上記した官能基(具体的には、ビニル基)を含有する場合には、粘着層2の官能基と非粘着層3の官能基とが付加反応(具体的には、ヒドロキシル付加反応)する。
封止層9は、常温においてタックフリーである。封止層9の25℃における弾性率は、例えば、0.001MPa以上、また、例えば、0.3MPa以下、好ましくは、0.1MPa以下である。
なお、封止層9の25℃における弾性率として、後述する実施例の評価が参照されるように、光半導体用シート1を150℃で3時間加熱した後の封止層9の弾性率で評価することができ、その場合の弾性率は、例えば、0.5MPa以上、好ましくは、1MPa以上であり、また、例えば、15MPa以下、好ましくは、10MPa以下である。
また、封止層9の厚みが600μmの場合の波長500nmの光に対する光透過率は、例えば、80%以上、好ましくは、85%以上であり、また、例えば、99.9%以下、好ましくは、99%以下である。
これによって、光半導体用シート1によって光半導体素子8が封止された光半導体装置6を得る。
その後、必要により、図2(b)の仮想線で示すように、第1離型シート4を非粘着層3から剥離する。
そして、この光半導体用シート1には、粘着層2の上面に、非粘着層3が設けられるので、粘着層2が周囲の部材に付着することに起因する汚染を低減して、非粘着性を向上させることができる。具体的には、第2離型シート5に対する非粘着性や、第1離型シート4に対する非粘着性(巻回ロールから光半導体用シート1を引き出す時の非粘着性)を向上させることができる。
また、図1(b)に示す光半導体用シート1では、第2離型シート5によって、塵埃などの異物の粘着層2への付着を防止し、さらには、輸送時における外部の衝撃から光半導体用シート1を保護することもできる
また、光半導体用シート1の輸送に必要な空間、具体的には、従来は、他の部材と付着することを防止するためのスペースを狭くまたはなくして、大量の光半導体用シート1を効率よく保存または輸送することができる。
また、光半導体用シート1の輸送に必要な空間、具体的には、従来は、他の部材と付着することを防止するためのスペースを狭くまたはなくして、大量の光半導体用シート1を効率よく保存または輸送することができる。
また、光半導体用シート1の透明性を向上させることができる。
また、この光半導体用シート1では、第2のシリコーン樹脂は、熱可塑性であるので、光半導体素子8の封止におけるプレス時の加熱により、非粘着層3が粘着層2に密着することができる。そのため、非粘着層3と粘着層2との間に隙間が生じることを防止することができる。その結果、光半導体用シート1の透明性をより一層向上させることができる。
また、この光半導体用シート1において、第1のシリコーン樹脂が、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂であれば、対象物、具体的には、光半導体素子8を容易かつ確実に埋設(被覆)することができる。そして、対象物の被覆後、具体的には、光半導体素子8の封止後に、光半導体用シート1を加熱してCステージにすることにより、光半導体素子8を確実に封止することができる。
また、この光半導体用シート1では、非粘着層3の第2のシリコーン樹脂が、シルセスキオキサンであれば、耐久性および透明性に優れながら、上記した熱可塑性を容易に担保することができる。
この光半導体用シート1では、シルセスキオキサンは、第1のシリコーン樹脂と反応する官能基を含有すれば、第2のシリコーン樹脂と、第1のシリコーン樹脂とを反応させて、これによって、粘着層2と非粘着層3との密着性をより一層向上させることができる。
また、この光半導体用シート1は、光半導体素子8の封止に用いられるので、光半導体素子8の信頼性を向上させつつ、発光効率の低下を抑制することができる。
また、この光半導体用シート1によれば、非粘着層3は、第2のシリコーン樹脂からなるシートから形成されているので、非粘着層3の厚みを均一に確保することができ、また、長期保存性に優れる。
また、この光半導体装置6は、透明性に優れる光半導体用シート1により封止される光半導体素子8を備えるので、発光効率の低下を抑制することができる。
<変形例>
第1実施形態では、図1(b)の実線で示すように、非粘着層3に第2離型シート5が積層された光半導体用シート1を取り扱っている(具体的には、長期保存および/または輸送している)。つまり、図1(b)の実線で示す光半導体用シート1の製造後から輸送、さらには、使用の直前に至るまで、少なくとも、第2離型シート5を光半導体用シート1に設けている。
第1実施形態では、図1(b)の実線で示すように、非粘着層3に第2離型シート5が積層された光半導体用シート1を取り扱っている(具体的には、長期保存および/または輸送している)。つまり、図1(b)の実線で示す光半導体用シート1の製造後から輸送、さらには、使用の直前に至るまで、少なくとも、第2離型シート5を光半導体用シート1に設けている。
しかしながら、図1(b)の仮想線で示すように、まず、製造直後の光半導体用シート1の非粘着層3から第2離型シート5を剥離し、次いで、第2離型シート5が剥離された光半導体用シート1をそのまま取り扱うこともできる。
また、光半導体用シート1を巻回して、具体的には、図1(b)が参照されるように、粘着層2と、その上に積層される第1離型シート4(図示しない)との間に、非粘着層3を介在させて、ロール状(図1(b)において図示せず)に収納することができ、かかるロールから、光半導体用シート1を円滑に引き出すことができる。
このような光半導体用シート1であれば、第2離型シート5が予め剥離されているので、薄型化が図られており、光半導体用シート1をロール状に効率的に収納することができる。
また、第1実施形態では、光半導体素子8の封止時に、粘着層2および非粘着層3が相溶しているが、例えば、図2(b)の破線で示すように、互いに相溶せず、区別されていてもよい。その場合には、非粘着層3は、光半導体素子8の上面および側面と、光半導体素子8から露出する基板7の上面とに、連続して形成される。
さらに、第1実施形態では、図2に示すように、基板7に予め実装された光半導体素子8を、光半導体用シート1によって埋設して封止しているが、例えば、図示しないが、基板7にまだ実装されず、例えば、支持台(図示せず)などによって支持された光半導体素子8を、光半導体用シート1に貼着することもできる。
第1実施形態では、図2(a)に示すように、非粘着層3と光半導体素子8とを対向させているが、例えば、図3(a)に示すように、粘着層2と光半導体素子8とを対向させることもできる。
この場合には、まず、図1(b)の光半導体用シート1を上下反転させず、かかる光半導体用シート1における非粘着層3から、図3(a)の仮想線および仮想線矢印で示すように、第1離型シート4を剥離する。これにより、粘着層2の下面を露出させる。
次いで、粘着層2と光半導体素子8とを対向させる。
次いで、図3(b)に示すように、光半導体用シート1によって、光半導体素子8を埋設(被覆)する。具体的には、光半導体用シート1を基板7に対して熱圧着する。
これによって、粘着層2が光半導体素子8の上面および側面を被覆および封止する。
これによって、光半導体装置6を得る。
また、第1のシリコーン樹脂および/または第2のシリコーン樹脂に、充填剤および/または蛍光体(後述)を添加することもできる。
充填剤としては、例えば、シリカ(二酸化ケイ素)、硫酸バリウム、炭酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化鉄、水酸化アルミニウム、炭酸カルシウム、層状マイカ、カーボンブラック、珪藻土、ガラス繊維、シリコーン樹脂微粒子などが挙げられる。
蛍光体は、波長変換機能を有する粒子であって、光半導体装置6(図2(b)参照)に用いられる公知の蛍光体であれば、特に制限されず、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体、青色光を赤色光に変換することのできる赤色蛍光体などの公知の蛍光体が挙げられる。
黄色蛍光体としては、例えば、Y3Al5O12:Ce(YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)、Tb3Al3O12:Ce(TAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)などのガーネット型結晶構造を有するガーネット型蛍光体、例えば、Ca−α−SiAlONなどの酸窒化物蛍光体などが挙げられる。
赤色蛍光体としては、例えば、CaAlSiN3:Eu、CaSiN2:Euなどの窒化物蛍光体などが挙げられる。
また、充填剤および蛍光体は、粒子状であり、その形状は、特に限定されず、例えば、略球形状、略平板形状、略針形状などが挙げられる。充填剤および蛍光体の最大長さの平均値平均粒子径(略球形状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、0.2μm以上であり、また、例えば、500μm以下、好ましくは、200μm以下である。
充填剤および蛍光体の配合割合は、本発明の優れた効果(具体的には、透明性)を阻害しない程度に調節されており、具体的には、第1のシリコーン樹脂および/または第2のシリコーン樹脂100質量部に対して、例えば、0.01質量部以上、好ましくは、1質量部以上であり、また、例えば、80質量部以下、好ましくは、70質量部以下である。
<第2実施形態>
図4および図5において、第1実施形態と同様の部材については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図4および図5において、第1実施形態と同様の部材については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第1実施形態では、図1に示すように、非粘着層3をシートから形成しているが、図4に示すように、粒子から層状に形成することもできる。
図4に示すように、光半導体用シート1は、粘着層2と、粘着層2の上面に層状に設けられる非粘着層3とを備える。また、導電層3の上には、剥離層5が設けられている。粘着層2の下には、第1離型シート4が設けられている。
非粘着層3は、第2のシリコーン樹脂からなる粒子から、面方向に広がる層状に形成されている。
第2のシリコーン樹脂からなる各粒子の形状は、特に限定されず、例えば、略球形状、略板形状(あるいは略鱗片形状)、略針形状、不定形状(塊状)などが挙げられる。なお、図4において、粒子を断面略球形状で描画しているが、その形状は、上記したように、限定されない。
粒子の最大長さの平均値(球形状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.01μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、100μm以下、好ましくは、50μm以下である。
このような粒子は、予め、上記形状に成形されたものを用いることができ、あるいは、比較的大きな粒子を、粉砕(すり潰しを含む)により、上記形状に成形することもできる。好ましくは、比較的大きな粒子を粉砕により上記形状に成形する。
粒子は、粘着層2の上面を実質的に露出させることなく、被覆しており、粒子は、粘着層2の上面に密着状に積層されている。また、複数の粒子は、面方向に互いに隣接配置されている。さらに、図4において図示しないが、粒子は、厚み方向に互いに重複していてもよい。
非粘着層3の平均厚みは、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、50μm以下、好ましくは、30μm以下である。非粘着層3の平均厚みは、例えば、層の断面観察により算出される。
次に、図4に示す光半導体用シート1の製造方法について説明する。
まず、図4が参照されるように、粘着層2を第1離型シート4の上に積層する。
次いで、非粘着層3を粘着層2の上面に積層する。
非粘着層3を粘着層2の上面に積層するには、第2のシリコーン樹脂からなる粒子を粘着層2の上面に塗布する。具体的には、予め、ガーゼなどの綿布に粒子を付着・吸収させておき、かかるガーゼを粘着層2の上面に擦り付ける。あるいは、粒子を、粘着層2の上から振りかける。
その後、第2離型シート5を非粘着層3の上に積層する。
これにより、第1離型シート4と第2離型シート5とにより厚み方向に挟まれ、粘着層2および非粘着層3からなる光半導体用シート1を得る。
製造直後の光半導体用シート1(第1離型シート4および第2離型シート5を除く光半導体用シート1)の波長500nmの光に対する光透過率は、非粘着層3が粒子から層状に形成されていることを考慮すると、第1実施形態の光透過率より低く、第1実施形態の光透過率に対して、例えば、95%以下、さらには、90%以下であり、また、60%以上である。具体的には、光半導体用シート1の波長500nmの光に対する光透過率は、例えば、60%以上、好ましくは、70%以上であり、また、例えば、99%以下、好ましくは、90%以下である。
製造直後の光半導体用シート1の上面、つまり、非粘着層3側面のポリプロピレン(PP)シート(無延伸。厚み50μm)に対する25℃の剥離粘着力は、例えば、0.40N/2cm以下、好ましくは、0.20N/2cm以下であり、また、例えば、0.001N/2cm以上である。
その後、この光半導体用シート1を封止シートとして用いて、光半導体素子8を封止して、光半導体装置6を製造する方法は、第1離型シート4を剥離する工程以外は、第1実施形態と同様である。
封止層9の25℃の弾性率は、例えば、0.5MPa以上、好ましくは、1MPa以上であり、また、例えば、15MPa以下、好ましくは、10MPa以下である。
また、封止層9の波長500nmの光に対する光透過率は、例えば、80%以上、好ましくは、90%以上であり、また、例えば、99.9%以下、好ましくは、99%以下である。
また、封止層9の波長500nmの光に対する光透過率は、例えば、80%以上、好ましくは、90%以上であり、また、例えば、99.9%以下、好ましくは、99%以下である。
そして、この光半導体用シート1によれば、非粘着層3は、粒子から層状に形成されているので、プロセスを簡易にすることができる。つまり、粒子を塗布することにより、非粘着層3を形成することができるので、その製造工程を簡易にすることができる。
<変形例>
第2実施形態では、図4の実線で示すように、光半導体用シート1に第2離型シート5を設けているが、例えば、図4の仮想線で示すように、製造直後の光半導体用シート1から第2離型シート5を剥離し、その後、第2離型シート5が剥離された光半導体用シート1を取り扱う(具体的には、長期保存および/または輸送する)こともできる。
第2実施形態では、図4の実線で示すように、光半導体用シート1に第2離型シート5を設けているが、例えば、図4の仮想線で示すように、製造直後の光半導体用シート1から第2離型シート5を剥離し、その後、第2離型シート5が剥離された光半導体用シート1を取り扱う(具体的には、長期保存および/または輸送する)こともできる。
また、第2実施形態では、図5(a)に示すように、非粘着層3と光半導体素子8とを対向させているが、例えば、図6(a)に示すように、粘着層2と光半導体素子8とを対向させることもできる。
この場合には、まず、粘着層2と光半導体素子8とを対向させる。
次いで、図6(b)に示すように、光半導体用シート1によって、光半導体素子8を埋設(被覆)する。具体的には、光半導体用シート1を基板7に対して熱圧着する。
これによって、粘着層2が光半導体素子8の上面および側面を被覆および封止する。
これによって、光半導体装置6を得る。
以下に示す実施例等の数値は、上記の実施形態において記載される数値(すなわち、上限値または下限値)に代替することができる。
実施例1
(第1実施形態に対応)
1. 粘着層の調製
特開2012−82320号公報の実施例1に準拠して、PETシートからなる第1離型シートの上面に、粘着層を形成した(図1(a)の下側図参照)。
(第1実施形態に対応)
1. 粘着層の調製
特開2012−82320号公報の実施例1に準拠して、PETシートからなる第1離型シートの上面に、粘着層を形成した(図1(a)の下側図参照)。
なお、粘着層は、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂(第1のシリコーン樹脂、縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物、未反応のヒドロシリル基が残存。)から、厚み600μmで調製した(図1(a)の下側図参照)。
2. 非粘着層の調製
KR−220L(第2のシリコーン樹脂、ポリメチルシルセスキオキサン、軟化点75℃)をアセトンに、固形分濃度が50質量%となるように溶解させて溶液を調製し、続いて、調製した溶液を、PETシートからなる第2離型シートの非処理面に、加熱後の厚みが約10μmとなるように塗布した。
2. 非粘着層の調製
KR−220L(第2のシリコーン樹脂、ポリメチルシルセスキオキサン、軟化点75℃)をアセトンに、固形分濃度が50質量%となるように溶解させて溶液を調製し、続いて、調製した溶液を、PETシートからなる第2離型シートの非処理面に、加熱後の厚みが約10μmとなるように塗布した。
その後、塗膜を、100℃で30分間、加熱して、アセトンを除去することにより、非粘着層を第2離型シートの上面に調製した(図1(a)の上側図参照)。
3. 光半導体用シートの作製
その後、粘着層と非粘着層とを、圧力0.01MPaで貼り合わせた(図1(b)参照)。
3. 光半導体用シートの作製
その後、粘着層と非粘着層とを、圧力0.01MPaで貼り合わせた(図1(b)参照)。
これにより、第1離型シートと第2離型シートとにより挟まれ、粘着層および非粘着層からなる光半導体用シートを作製した。
実施例2
(第1実施形態に対応)
KR−220Lに代えてビニル基含有ポリメチルシルセスキオキサン(第2のシリコーン樹脂、軟化点70℃)を用いた以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した。
(第1実施形態に対応)
KR−220Lに代えてビニル基含有ポリメチルシルセスキオキサン(第2のシリコーン樹脂、軟化点70℃)を用いた以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した。
実施例3
(第2実施形態に対応)
1. 粘着層の調製
実施例1と同様にして、粘着層を調製した(図4参照)。
2. 非粘着層の調製
(第2実施形態に対応)
KR−220L(第2のシリコーン樹脂、ポリメチルシロキサン、軟化点75℃)を、乳鉢および乳棒を用いて、すり潰して、最大長さの平均値が10μmである粒子状にし、これをガーゼに付着・付着させ、かかるガーゼによって、粒子状のKR−220Lを、粘着層の上面全面に均一に(むらなく)塗布した。
(第2実施形態に対応)
1. 粘着層の調製
実施例1と同様にして、粘着層を調製した(図4参照)。
2. 非粘着層の調製
(第2実施形態に対応)
KR−220L(第2のシリコーン樹脂、ポリメチルシロキサン、軟化点75℃)を、乳鉢および乳棒を用いて、すり潰して、最大長さの平均値が10μmである粒子状にし、これをガーゼに付着・付着させ、かかるガーゼによって、粒子状のKR−220Lを、粘着層の上面全面に均一に(むらなく)塗布した。
これにより、非粘着層を粘着層の上面に形成した(図4参照)。なお、非粘着層の平均厚みは、30μmであった。
これにより、第1離型シートと第2離型シートとにより挟まれ、粘着層および非粘着層からなる光半導体用シートを作製した(図4参照)。
実施例4
KR−220Lに代えてビニル基含有ポリメチルシルセスキオキサン(第2のシリコーン樹脂、軟化点70℃)を用いた以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した(図4参照)。
KR−220Lに代えてビニル基含有ポリメチルシルセスキオキサン(第2のシリコーン樹脂、軟化点70℃)を用いた以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した(図4参照)。
比較例1
非粘着層を設けなかった以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した。
非粘着層を設けなかった以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した。
比較例2
KR−220Lに代えてタルク(粒子状、球形状、平均粒子径10μm)を用いた以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した(図4参照)。
(評価)
下記の項目について評価した。それらの結果を表1に示す。
1.光透過率
1−1.初期(作製・製造直後)の光透過率
A. 光半導体用シート
各実施例および各比較例の作製直後の光半導体用シート(粘着層および非粘着層)の波長500nmの光に対する光透過率を、初期の全光線透過率として分光光度計を用いて測定した。
KR−220Lに代えてタルク(粒子状、球形状、平均粒子径10μm)を用いた以外は、実施例1と同様に処理して、光半導体用シートを作製した(図4参照)。
(評価)
下記の項目について評価した。それらの結果を表1に示す。
1.光透過率
1−1.初期(作製・製造直後)の光透過率
A. 光半導体用シート
各実施例および各比較例の作製直後の光半導体用シート(粘着層および非粘着層)の波長500nmの光に対する光透過率を、初期の全光線透過率として分光光度計を用いて測定した。
具体的には、JIS K 7361−1(1997年版)の「プラスチック−透明材料の全光線透過率の試験方法」の記載に準拠して、積分球を装備する分光光度計(U−4100、日立製作所社製)によって、第1離型シートおよび第2離型シートを剥離した光半導体用シートの光透過率を測定した。
B. 粘着層および非粘着層
実施例1〜4および比較例1、2において調製した粘着層と、実施例1および2において調製した非粘着層とのそれぞれの光透過率を、上記と同様の方法によって測定した。
実施例1〜4および比較例1、2において調製した粘着層と、実施例1および2において調製した非粘着層とのそれぞれの光透過率を、上記と同様の方法によって測定した。
1−2.加熱後の光透過率
各実施例および各比較例の光半導体用シートの、150℃で、3時間で加熱した後の光透過率についても、上記と同様の方法によって測定した。
2.剥離試験(剥離粘着力)
2−1. 光半導体用シートの剥離粘着力
実施例1〜4および比較例2の作製直後の光半導体用シートにおける粘着層側面に、PPからなるセパレータを貼り合せ、それらを2cm幅に切断加工して、サンプルを調製した。
各実施例および各比較例の光半導体用シートの、150℃で、3時間で加熱した後の光透過率についても、上記と同様の方法によって測定した。
2.剥離試験(剥離粘着力)
2−1. 光半導体用シートの剥離粘着力
実施例1〜4および比較例2の作製直後の光半導体用シートにおける粘着層側面に、PPからなるセパレータを貼り合せ、それらを2cm幅に切断加工して、サンプルを調製した。
その後、サンプルを、万能試験機(オートグラフ、島津製作所社製)を用い、セパレータを光半導体用シートに対して180度の角度で剥離する180度剥離試験を実施した。なお、セパレータの剥離速度は、30cm/分であった。また、試験時の温度は、25℃であった。
また、比較例1については、粘着層の上面に、セパレータを貼り合せた以外は、上記と同様の方法によって剥離試験を実施した。
2−2. 粘着層の剥離粘着力
実施例1〜4および比較例1、2において調製した粘着層について、上記と同様の方法によって、180度剥離試験を実施した。
3.弾性率(インデンター法)
3−1. 粘着層
実施例1〜4および比較例1、2において調製した粘着層について、ナノインデンタを用いて、25℃における弾性率を測定した。
実施例1〜4および比較例1、2において調製した粘着層について、上記と同様の方法によって、180度剥離試験を実施した。
3.弾性率(インデンター法)
3−1. 粘着層
実施例1〜4および比較例1、2において調製した粘着層について、ナノインデンタを用いて、25℃における弾性率を測定した。
3−2. 非粘着層
実施例1および2において調製した非粘着層について、ナノインデンタを用いて、25℃における弾性率を測定した。
実施例1および2において調製した非粘着層について、ナノインデンタを用いて、25℃における弾性率を測定した。
1 光半導体用シート
2 粘着層
3 非粘着層
6 光半導体装置
8 光半導体素子
2 粘着層
3 非粘着層
6 光半導体装置
8 光半導体素子
Claims (9)
- 第1のシリコーン樹脂からなる粘着層と、
前記粘着層の厚み方向一方面に設けられ、第2のシリコーン樹脂からなる非粘着層と
を備えることを特徴とする、光半導体用シート。 - 前記第2のシリコーン樹脂は、常温で固形状であり、かつ、熱可塑性である
ことを特徴とする、請求項1に記載の光半導体用シート。 - 前記第1のシリコーン樹脂は、Bステージの熱硬化性シリコーン樹脂である
ことを特徴とする、請求項1または2に記載の光半導体用シート。 - 前記第2のシリコーン樹脂は、シルセスキオキサンである
ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光半導体用シート。 - 前記シルセスキオキサンは、前記第1のシリコーン樹脂と反応する官能基を含有する
ことを特徴とする、請求項4に記載の光半導体用シート。 - 光半導体素子の封止に用いられる
ことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光半導体用シート。 - 前記非粘着層は、前記第2のシリコーン樹脂からなるシートから形成されている
ことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光半導体用シート。 - 前記非粘着層は、前記第2のシリコーン樹脂からなる粒子から層状に形成されている
ことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光半導体用シート。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の光半導体用シートと、
前記光半導体用シートにより封止される光半導体素子と
を備える
ことを特徴とする、光半導体装置。
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