JP5762680B2 - 半導体チップの製造方法及び加工用フィルム - Google Patents
半導体チップの製造方法及び加工用フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5762680B2 JP5762680B2 JP2009265318A JP2009265318A JP5762680B2 JP 5762680 B2 JP5762680 B2 JP 5762680B2 JP 2009265318 A JP2009265318 A JP 2009265318A JP 2009265318 A JP2009265318 A JP 2009265318A JP 5762680 B2 JP5762680 B2 JP 5762680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- adhesive layer
- film
- processing film
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
G*={(G’)2+(G”)2}1/2 …(1)
η=G*/2πf …(2)
フェノキシ樹脂(InChem社製、商品名PKHC)25重量部、三次元架橋性樹脂としてエポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名1032H60)25重量部、マイクロカプセル型潜在性硬化剤を含有する液状エポキシ樹脂(旭化成株式会社製、商品名HX−3941HP)50重量部及びシランカップリング剤(東レ・ダウコーニング社製、商品名SH6040)1重量部を用い、トルエンと酢酸エチルの混合溶媒中に溶解し、接着層用樹脂組成物のワニスを得た。
厚み120μmの基材フィルムと厚み10μmの粘着剤層を用いたこと以外は、実施例1と同様に加工用フィルムを得た。この加工用フィルムを半導体ウェハに貼り付け、カッターナイフにより余剰部分を切断したところ、切り損じやバリは観察されなかった。続いて、半導体ウェハを研削装置に配置し、厚みが50μmとなるまで半導体ウェハの反対面をバックグラインドした。この場合も、回路面側が凸となるような緩やかな反りのある半導体ウェハが得られたが、これをフラットな形状に戻した状態で破損せずにダイシングテープ上に配置できた。
厚み40μmの基材フィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様に加工用フィルムを得た。この加工用フィルムを半導体ウェハに貼り付け、カッターナイフにより余剰部分を切断したところ、切り損じやバリは観察されなかった。続いて、半導体ウェハを研削装置に配置し、厚みが50μmとなるまで半導体ウェハの反対面をバックグラインドした。加工用フィルムを貼り付けた面の側に反りのある半導体ウェハを得た。この場合も、回路面側が凸となるような緩やかな反りのある半導体ウェハが得られたが、これをフラットな形状に戻そうとしたところ、半導体ウェハが割れてしまい、ダイシングテープ上に配置することができなかった。
厚み150μmの基材フィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様に加工用フィルムを得た。この加工用フィルムを半導体ウェハに貼り付け、カッターナイフにより余剰部分を切断したところ、ウェハ外周にバリと切削屑の発生が確認された。続いて、半導体ウェハを研削装置に配置し、厚みが50μmとなるまで半導体ウェハの反対面をバックグラインドした。加工用フィルムを貼り付けた面の側に反りのある半導体ウェハを得たが、半導体ウェハの反りが実施例1,2及び比較例1に比べて非常に大きいものであった。
Claims (4)
- 基材フィルム上に接着剤層を形成してなる長尺の加工用フィルムを準備し、半導体ウェハの回路面に前記加工用フィルムの前記接着剤層を貼り付けるフィルム貼付工程と、
前記半導体ウェハの反対面をバックグラインドすることにより、前記半導体ウェハを薄化する薄化工程と、
薄化された前記半導体ウェハの前記反対面にダイシングテープを貼り付けた後、前記加工用フィルム側から前記半導体ウェハをダイシングし、個片化された半導体チップを得るチップ化工程と、を備え、
前記フィルム貼付工程において、前記半導体ウェハの直径よりも大きい幅を有するとともに、前記基材フィルムと前記接着剤層との間に粘着剤層を有し、かつ前記基材フィルムの厚みが50μm〜120μmである加工用フィルムを前記半導体ウェハの前記回路面に貼り付け、
前記薄化工程の実施前に、前記半導体ウェハの前記回路面からはみ出ている前記基材フィルム、前記粘着剤層及び前記接着剤層を同時に切断することにより、前記加工用フィルムの余剰部分を除去することを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 前記基材フィルムの厚みは、60μm〜110μmであることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの製造方法。
- 前記薄化工程において、前記半導体ウェハの厚みと前記基材フィルムの厚みとの比が1:0.5〜2.5となるように前記半導体ウェハの反対面をバックグラインドすることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体チップの製造方法。
- 前記チップ化工程の後、前記接着剤層を残して前記半導体チップの回路面から前記基材フィルム及び前記粘着剤層を除去した後、前記半導体チップをピックアップするピックアップ工程を更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の半導体チップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009265318A JP5762680B2 (ja) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | 半導体チップの製造方法及び加工用フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009265318A JP5762680B2 (ja) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | 半導体チップの製造方法及び加工用フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011109022A JP2011109022A (ja) | 2011-06-02 |
JP5762680B2 true JP5762680B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=44232160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009265318A Expired - Fee Related JP5762680B2 (ja) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | 半導体チップの製造方法及び加工用フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5762680B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014033177A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-20 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法 |
CN114496824A (zh) * | 2020-10-23 | 2022-05-13 | 长鑫存储技术有限公司 | 裸片取出方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311848A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Nitta Ind Corp | 半導体装置の製造方法、保護用粘着テープおよびダイボンド用接着剤付き支持用粘着テープ |
JP4407933B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2010-02-03 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ貼付方法およびこれを用いた装置 |
JP5032231B2 (ja) * | 2007-07-23 | 2012-09-26 | リンテック株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2009212300A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体ウエハのバックグラインド方法、半導体ウエハのダイシング方法、及び半導体チップの実装方法 |
-
2009
- 2009-11-20 JP JP2009265318A patent/JP5762680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011109022A (ja) | 2011-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5224111B2 (ja) | 半導体ウェハ加工用接着フィルム | |
JP5487619B2 (ja) | 回路部材接続用接着剤及びこれを用いた半導体装置 | |
KR101634064B1 (ko) | 수지막 형성용 복합 시트 | |
JP5569126B2 (ja) | 接着剤組成物、接着剤シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP4975564B2 (ja) | 半導体装置製造用の接着シート、及びそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP5544766B2 (ja) | 半導体加工用接着フィルム積層体 | |
TWI425598B (zh) | Adhesive for connection of circuit components | |
JP4766200B2 (ja) | 接着剤組成物及び半導体装置の製造方法 | |
JP2011140617A (ja) | アンダーフィル形成用接着剤組成物、アンダーフィル形成用接着剤シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP5771969B2 (ja) | 半導体ウェハ加工用接着フィルム | |
JP2011171712A (ja) | 半導体ウエハ加工用接着テープ、半導体ウエハ加工用接着テープ付き半導体ウエハの製造方法、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP5569121B2 (ja) | 接着剤組成物、回路部材接続用接着剤シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP5805359B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5703621B2 (ja) | 回路部材接続用接着剤、回路部材接続用接着剤シート、半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP5811514B2 (ja) | フィルム状接着剤 | |
JP5762680B2 (ja) | 半導体チップの製造方法及び加工用フィルム | |
TWI425066B (zh) | Preparation method of adhesive composition, circuit board for connecting circuit member, and manufacturing method of semiconductor device | |
JP5738263B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5589406B2 (ja) | 半導体ウェハ加工用接着フィルム及びその製造方法 | |
JP5375351B2 (ja) | 半導体回路部材の製造方法 | |
JP5728810B2 (ja) | 半導体ウェハ加工用フィルムを用いた半導体チップの製造方法 | |
TWI509043B (zh) | Adhesive composition, method for manufacturing connection of circuit member and semiconductor device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131003 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131015 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131204 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140527 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140825 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140901 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140919 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5762680 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |