JP2014148112A - 液体吐出装置及び液体吐出ヘッドのクリーニング方法 - Google Patents

液体吐出装置及び液体吐出ヘッドのクリーニング方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 上部保護層を液体に溶解させて上部保護層上のコゲを除去する場合に、上部保護層の位置による溶解量の差を小さくし、上部保護層の膜厚が不均一になることを抑制する。
【解決手段】 キャップ51は、キャップ51が吐出口面122を覆った状態で吐出口121を介して上部保護層107と対向する位置に吐出口面122に沿って配置され、上部保護層107との間に電圧を印加可能な電極52を備える。
【選択図】 図7

Description

本発明は、液体を吐出して記録媒体に記録を行うための液体吐出装置、及び液体を吐出する液体吐出ヘッドのクリーニング方法に関するものである。
液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェットヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口と、吐出口に連通する流路と、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子とを有している。電気熱変換素子は、発熱抵抗体およびこれに電力を供給するための電極とで構成される。この電気熱変換素子が電気的絶縁性を有する絶縁保護層により被覆されることで、インクと電気熱変換素子との間の絶縁性が確保される。電気熱変換素子は駆動されることで熱エネルギーを発生し、電気熱変換素子の上方のインクとの接触部分(熱作用部)でインクが急激に加熱されて発泡が生じ、インクが吐出される。
インクジェットヘッドの熱作用部は、発熱抵抗体の加熱により高温になると共に、インクの発泡、収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用や、インクによる化学的作用を受ける。これらの影響から電気熱変換素子を保護するために、キャビテーションによる衝撃やインクによる化学的作用に対して比較的強いTaや白金族系(Ir、Ruなど)などの金属材料からなる上部保護層を電気熱変換素子の上に設けている。
ここで、インクとの接触部分である熱作用部では、インクに含まれる色材等の添加物が高温加熱されることにより分解されて難溶解性の物質に変化し、熱作用部を構成する上部保護層の表面に物理吸着される現象が起こる。この現象は「コゲ」と称されているが、このように上部保護層の熱作用部にコゲが付着すると、熱作用部からインクへの熱伝導が不均一になり、発泡が不安定となることによりインクの吐出特性に影響を及ぼす場合がある。
この課題を解決するための手法として、特許文献1には、インクとの電気化学反応を生じさせるための電極となるように上部保護層を設けて、電気化学反応により上部保護層の表面をインクに溶出させて熱作用部のコゲを除去する方法が記載されている。
特許文献1に記載の構成の模式図を図6(a)に示す。インクジェットヘッド用基板1100に設けられた電気熱変換素子1117の上には上部保護層1107aが形成されており、この上部保護層1107aはインク流路1110内に露出されている。上部保護層1107aがアノード電極、上部保護層1107aが設けられた面と同じ面上に設けられた1107bがカソード電極となるように電圧を印加し、上部保護層1107aとインクとの電気化学反応を生じさせて上部保護層1107aのコゲを除去する。
特開2008−105364号公報
図6(b)は、図6(a)でコゲの除去を繰り返し行った後の状態を示す図である。
図6(a)に示すように同一面上に両電極が設けられていると、両電極間の内側では電界強度が大きくなり、外側は電界強度が小さくなる。これにより、上部保護層1107aの溶解量は、上部保護層1107aの電極1107bに近い側では多く、遠い側では少なくなるため、図6(b)に示すように上部保護層1107aの膜厚が不均一になってしまう。そのため、電気熱変換素子1117で発生した熱がインクに伝わる際、その位置によって熱伝導が不均一となってしまい、インクの発泡や吐出特性に影響を及ぼす恐れがある。
そこで、本発明は、上部保護層を液体に溶出させて上部保護層上のコゲを除去する場合に、上部保護層の位置による溶解量の差を小さくし、上部保護層の膜厚が不均一になることを抑制することを目的とする。
本発明の液体吐出装置は、液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の上の、前記電気熱変換素子に対応する位置に設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む上部保護層と、を備える液体吐出ヘッドと、前記吐出口面を覆うためのキャップと、を有する液体吐出装置において、前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記吐出口を介して前記上部保護層と対向する位置に前記吐出口面に沿って配置され、前記上部保護層との間に電圧を印加可能な電極を備えることを特徴とする。
本発明によると、上部保護層を液体に溶解させて上部保護層上のコゲを除去する場合に、上部保護層の位置による溶解量の差を小さくし、上部保護層の膜厚が不均一になることを抑制することが可能となる。
本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の斜視図である。 本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドユニットの斜視図である。 本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの熱作用部付近の説明図であり、(a)は平面図、(b)は模式的断面図である。 本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の本体のクリーニング機構を示す斜視図である。 (a)は従来のコゲ除去処理の為の電極配置を説明するための模式図であり、(b)はコゲ除去処理後の状態を説明するための模式図である。 (a)〜(c)本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の電極配置の例を示す模式的断面図である。 (a)〜(c)はコゲ除去処理手順の一例を示すフローチャートである。 (a)〜(c)はそれぞれ図8(a)〜(c)に対応しており、上部保護層に対する電圧印加とインク吸引動作のタイミングを示す図である。 (a)は熱作用部に堆積したコゲの状態を示す図であり、(b)はコゲが除去された状態を示す説明図である。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
(液体吐出装置)
本発明の実施形態に係る液体吐出装置としてのインクジェット記録装置の模式的斜視図を図1に示す。キャリッジ500はインクジェットヘッドユニット410を取り付けて印字を行うために、ガイド502によって支持されている。ガイド502はシャーシに取り付けられており、記録媒体の搬送方向に対して直角方向にキャリッジ500を往復走査させるように案内支持している。ガイド502は、シャーシに一体に形成されており、キャリッジ500の後端を保持してインクジェットヘッドユニット410と記録媒体との隙間を維持する役割を果たしている。
キャリッジ500は、シャーシに取り付けられたキャリッジモータ504によりタイミングベルト501を介して駆動される。また、タイミングベルト501は、アイドルプーリ503によって張設、支持されている。
上記構成において記録媒体に画像形成する場合、行位置に対しては、不図示の搬送ローラおよびピンチローラからなるローラ対が、記録媒体を搬送して位置決めする。また、列位置に対しては、キャリッジモータ504によりキャリッジ500を上記搬送方向と垂直な方向に移動させて、インクジェットヘッドユニット410を目的の画像形成位置に配置させる。位置決めされたインクジェットヘッドユニット410が記録媒体に対してインクを吐出する。前者の記録主走査においては、インクジェットヘッドユニット410により記録を行いながらキャリッジ500が列方向に走査し、後者の副走査においては、搬送ローラ511により記録媒体が行方向に搬送される。本実施形態の記録装置は、記録主走査と副走査とを交互に繰り返すことにより、記録媒体上に画像を形成する構成となっている。
(液体吐出ヘッドユニット及び液体吐出ヘッド)
図2は本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドユニットとしてのインクジェットヘッドユニット410の斜視図である。インクジェットヘッドユニット410は、インクジェットヘッド1と、電気配線テープ402、及びインクジェット記録装置(記録装置本体)と電気的に接続するためのコンタクト部403を備えている。
図3は本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド1の斜視図である。インクジェットヘッド1は、液体吐出ヘッド用基板としてのインクジェットヘッド用基板100と吐出口形成部材120とで構成されている。
インクジェットヘッド用基板100には、インクを発泡させるエネルギーを発生する電気熱変換素子117とそれを駆動させる駆動回路などが形成されている。また、電気熱変換素子117上のインクとの接触部分である熱作用部108(図4(b))にインクを供給するインク供給口116が形成されている。
樹脂材料からなる吐出口形成部材120には、インク供給口116から供給されたインクを吐出するためのインク吐出口121が形成されている。吐出口形成部材120は、各インク吐出口121が電気熱変換素子117に対応するようにインクジェットヘッド用基板100上に設けられている。電気熱変換素子117を選択的に駆動させてインクを発泡することによりその圧力を利用してインクを吐出させて記録が行われる。
図4は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド1の熱作用部108付近の説明図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のIVB−IVBの断面を示す模式断面図である。
101はシリコンの基体である。102は熱酸化膜,SiO膜,SiN膜等からなる蓄熱層である。104はTaSiN等からなる発熱抵抗体層、105はAl,Al−Si,Al−Cu等の金属材料からなる配線としての電極配線層である。電気熱変換素子117は、電極配線層105の一部を除去してギャップを形成し、その部分の発熱抵抗体層104を露出することで形成される。106は、電気熱変換素子117および電極配線層105の上層として設けられた絶縁保護層である。この絶縁保護層106は、SiO膜,SiN膜等からなる。
107は、インクの発泡・収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用や、インクによる化学的作用から電気熱変換素子117を守るための上部保護層である。電気熱変換素子117の上に位置する上部保護層107の部分はインク流路112に露出しており、この部分が電気熱変換素子117が発生した熱をインクに伝達する熱作用部108となる。
本実施形態では、インクと接する上部保護層107としてインク中での電気化学反応により溶出する金属、具体的にはイリジウム(Ir)を用いる。なお、Irで形成された上部保護層107は絶縁保護層106との密着性が低い。このため、絶縁保護層106と上部保護層107の間に中間層としてTa等からなる密着層109を形成することで、絶縁保護層106と上部保護層107との密着性を向上させている。
この密着層109は、上部保護層107と外部端子とを電気的に接続するための配線部を構成しており、導電性を有する材料を用いて形成される。また、密着層109は、絶縁保護層106に形成されたスルーホールに挿通されて電極配線層105に接続されている。さらに、電極配線層105は基体101の端部にまで延在しており、この電極配線層105の先端は外部端子との電気的接続を行うための外部電極111をなしている。これにより、上部保護層107と外部端子が電気的に接続されることになる。
なお、本明細書においてはインクジェットヘッド用基板100における「上」とは、インクジェットヘッド用基板100のインクとの接触部分である熱作用部108側を意味する。
(液体吐出装置のクリーニング機構)
図5は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の本体に設けられたクリーニング機構を示す斜視図である。
クリーニング機構はインクジェットヘッド1のクリーニングを行うための機構であり、インクジェットヘッド1からインクを吸引する吸引手段としてのポンプ50、インクジェットヘッド1の乾燥を抑えるためのキャップ51などから構成されている。キャップ51は不図示の昇降機構を介して昇降可能に駆動され、上昇位置ではインクジェットヘッド1の吐出口面122を覆い、非記録動作時等においてその保護や行うこと、あるいは吸引回復を行うことが可能である。また、記録動作時にはインクジェットヘッド1との干渉を避ける下降位置に設定され、またインクジェットヘッド1と対向する位置において予備吐出を受けることが可能である。
図示の例ではキャップ51は2つ設けられている。吸引ポンプ50は、キャップ51を吐出口面122に接触させてその内部に密閉空間を形成した状態で負圧を発生させることが可能である。これにより、インクタンクからインクジェットヘッド1の内部にインクを充填させたり、インク吐出口121やインク流路112に存在する塵埃、固着物、気泡等を吸引除去したりすることができる。
(コゲ除去操作及びキャップ内の電極の構成)
図7(a)〜(c)は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の電極構成例を示す模式的断面図である。
本実施形態では、熱作用部108上のコゲ除去のために電気化学反応を行う際に用いる、上部保護層107との間に電圧を印加可能な電極52となる金属層がクリーニング機構のキャップ51内に形成されている。
この電極52は、キャップ51がインクジェットヘッド1の吐出口面122を覆った状態で、インク吐出口121を介して上部保護層107と対向する位置に設けられている。また、キャップ51がインクジェットヘッド1の吐出口面122を覆った状態で、電極52は吐出口面122に沿って配置されている。
これにより、上部保護層107と電極52との間をインクで満たして電圧を印加した際に、両者の間の電界強度は一様な分布となり、電界強度のばらつきが抑えられる。したがって、コゲ除去の処理を行った際の上部保護層107の位置による溶解量の差が小さくなり、上部保護層107の膜厚が不均一になることを抑制することができる。
上部保護層107は電極配線層105を介し、キャップ51内に設けられた電極52は別の配線層を介して、インクジェット記録装置本体に設けられた電圧印加手段300に接続されている。
インクジェットヘッド用基板100の上部保護層107と、キャップ51内の電極52とは電気的に接続されていない。インクジェットヘッド1に電解質を含むインク150が充填された状態において、電圧印加手段300によって上部保護層107と電極52との間に電圧を印加すると、上部保護層107とインク150とで電気化学反応が発生する。
この際、上部保護層107がアノードとなっているときに上部保護層107であるIrがインクに溶出する。従って、電圧印加手段300によって上部保護層107がアノード、電極52がカソードとなるように電圧を印加して、上部保護層107をインクに溶出させて熱作用部108上のコゲを除去する。
図10(a)は、熱作用部108に堆積したコゲKの状態を示す図であり、図10(b)はコゲが除去された状態を示す図である。
記録の際に高温となる電気熱変換素子117上の上部保護層107表面には、インクの成分がコゲとして付着し易いため、電気熱変換素子117の駆動に伴って熱作用部108の表面にコゲが堆積していく。このように付着したコゲは、上述のように上部保護層107を電気化学反応によりインクに溶出させることにより除去することが可能となる。
また、本実施形態では、大気中でも800℃まで酸化膜を形成しないIrを用いて上部保護層107を形成しているため、熱作用部108に均一に電圧を印加することが可能となる。
なお、本実施形態では、上部保護層107としてpHが比較的低い電解液にも溶出する特性をもつIrを用いている。しかし、上部保護層107の材料はIrに限定されず、電気化学反応により溶出する金属を含み、かつ加熱により溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料であれば、ルテニウム(Ru)などの他の材料を用いてもよい。なお、加熱により溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料とは、酸化膜を全く形成しない材料を意味するのではなく、加熱によって酸化膜を形成したとしても、その酸化膜が溶出を妨げない程度しか形成されない材料を意味する。
次に、図7(a)〜(c)を用いて、電極52の構成について具体的に説明する。
図7(a)では、キャップ51内に設けられた多孔質ポリオレフィンからなる吸収体53上の表面にIr等からなる多孔質の電極52が形成されている。なお、電極52の膜厚は非常に薄く、インクの浸透性、透過性に影響を与えるレベルではないため、インク吸引によってキャップ51内をインクで満たすことができる。そのため、インクジェットヘッド1の上部保護層107と、吸収体53の表面に設けられた電極52との間に電圧を印加することにより、インクと上部保護層107との電気化学反応を起こす事が出来る。
図7(b)では、キャップ51内に設けられた吸収体53を炭化物、ホウ化物、窒化物などの非酸化物系の導電性セラミックス多孔質体を用いて形成し、吸収体53自体を電極52として用いる構成である。
図7(c)では、吸収体53、電極52の構成は図7(a)と同様であるが、吸収体53の下側にばね等の弾性体54を設けている。この弾性体54によって、インクジェットヘッド1の吐出口面122がキャップ51で覆われた状態で、電極52が吐出口面122を付勢するように弾性力が働く。これにより上部保護層107と電極52との距離が近い状態を維持することができるので、効果的に電気化学反応を行うことが出来る。
なお、図7(a)〜(c)に示した構成は、電極52が吸収体53の吐出口面122の側の面に設けられた構成である。このような構成とすることで、電極52を上部保護層107に近い位置に配置することができる。なお、電極52が吸収体53の吐出口面122とは反対側の面に設けられた構成であってもよく、この場合、電極52は多孔質体でなくてもよい。
(コゲ除去処理のフロー)
図8、図9を用いてコゲ除去処理の手順の例について説明する。図8(a)〜(c)は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置によって実施されるコゲ除去処理手順の例を示すフローチャートである。また、図9(a)〜(c)は、上部保護層107に対する電圧印加とインク吸引回復動作を示すタイミング図であり、それぞれ図8(a)〜(c)に対応している。
図8(a)、図9(a)で示す例では、インクジェットヘッド1の熱作用部108上に堆積したコゲを除去するために、先ずステップ1においてインクジェットヘッド1をキャップ51で覆うキャッピングを行う。その状態のまま、ステップ2において吸引ポンプ50を作動してインクを吸引することにより、インクジェットヘッド1の上部保護層107とキャップ51内に配置した電極52との間をインクで満たして電気的に導通可能な状態とする(t=t0〜t1)。
その後、インクの吸引を停止し、ステップ3で上部保護層107がアノード、電極52がカソードとなるように電圧印加手段300で電圧を印加し(t=t2〜t3)、上部保護層107をインクに溶出させて蓄積したコゲを表面から浮かす。
その後、ステップ4において再度吸引ポンプ50を作動させることにより、熱作用部108上から浮き出たコゲをインクと共に吸引してインクジェットヘッド1から排出する(t=t4〜t5)。最後に、ステップ5においてキャップ51内のインクを吸引すること(図9(a)では不図示)により一連のコゲ除去処理が完了する。
この方法では、電圧印加中にはインクの吸引を行わないため、インクの消耗を抑えることが出来る。
図8(b)、図9(b)で示す例は、先ずステップ1においてキャッピングを行い、ステップ2においてインク吸引を開始し(t=t0)、上部保護層107と電極52との間をインクで満たして電気的に導通可能な状態とする。この操作は図8(a)、図9(a)で示す例と同様である。
その後、両電極間をインクで満たした後もインク吸引を続けたまま、ステップ3で上部保護層107がアノード、電極52がカソードとなるように電圧を印加する(t=t1〜t2)。これにより、上部保護層107をインクに溶出させて熱作用部108に蓄積したコゲをその表面から浮かし、インクと共に吸引してインクジェットヘッド1から排出する。その後、ステップ4においてインクジェットヘッド1からのインク吸引を停止し(t=t3)、ステップ5においてキャップ51内に満たされたインクを吸引すること(図9(b)では不図示)により一連のコゲ除去処理が完了する。
電気化学反応時にインクが分解してアノード側から発生する気泡によって電気化学反応が阻害されて上部保護層107の溶出が進みにくくなる可能性がある。そこで、上述のようにインクを吸引しながら電気化学反応を進めることにより、気泡が発生した場合でもその気泡を強制的に除去することで新たなインクが両電極の間に導入され、電気化学反応を進めることができる。
図8(c)、図9(c)で示す例は、インクジェットヘッド1をキャッピングした後、インク吸引を継続しながら電圧を印加して電気化学反応させる点は図8(b)、図9(b)と同様である。電圧を印加する際に、ステップ3でインクジェットヘッド1の上部保護層107をアノード、キャップ51内の電極52をカソードとし、その後、ステップ4で両電極の極性を反転させて上部保護層107をカソード、電極52をアノードとする。さらに、ステップ3とステップ4とを繰り返し行う。
インクに樹脂分散型の顔料インクを用い、上部保護層107をアノード、電極52をカソードとしたまま電気化学反応を進めると、アノード側である上部保護層107の表面に徐々にインク成分が付着していく。これが上部保護層107の全面を覆うことによりインクとの電気化学反応が停止してしまう恐れがある。
そこで、上述のように、両電極の極性を電圧反転回路によって反転させることで、電極表面に付着したインク成分が除去あるいは分散されて、上部保護層107の全面がインク成分によって覆われることを抑制できる。再び上部保護層107がアノードとなるように電圧を印加すると上部保護層107の溶出が生じ、熱作用部108上のコゲを継続的に除去することができる。以上の動作を繰り返し行うことによって、上部保護層107上に蓄積したコゲを除去することが可能となる。
なお、上述の実施形態ではインクを充填してコゲ除去処理を行う方法について説明したが、インクの代わりに電解質を含むコゲ除去専用の液体を用いてもよい。
1 インクジェットヘッド(液体吐出ヘッド)
100 インクジェットヘッド用基板
121 インク吐出口(吐出口)
122 吐出口面
106 絶縁保護層
107 上部保護層
117 電気熱変換素子
51 キャップ
52 電極

Claims (13)

  1. 液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の上の、前記電気熱変換素子に対応する位置に設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む上部保護層と、を備える液体吐出ヘッドと、
    前記吐出口面を覆うためのキャップと、
    を有する液体吐出装置において、
    前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記吐出口を介して前記上部保護層と対向する位置に前記吐出口面に沿って配置され、前記上部保護層との間に電圧を印加可能な電極を備えることを特徴とする液体吐出装置。
  2. 液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の上の、前記電気熱変換素子に対応する位置に設けられ、液体との電気化学反応により溶出する金属を含む上部保護層と、を備える液体吐出ヘッドと、
    前記吐出口面を覆うためのキャップと、
    を有する液体吐出装置において、
    前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記吐出口を介して前記上部保護層と対向する位置に前記吐出口面に沿って配置され、前記上部保護層との間に電圧を印加可能な電極を備えることを特徴とする液体吐出装置。
  3. 前記キャップは内部に多孔質の吸収体を備え、
    前記電極は、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態における前記吸収体の前記吐出口面の側の面に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体吐出装置。
  4. 前記キャップは前記電極として導電性の多孔質体からなる吸収体を内部に備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体吐出装置。
  5. 前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記電極が前記吐出口面を付勢するための弾性力を生じさせる弾性体を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
  6. 前記上部保護層と前記電極との間に電圧を印加する電圧印加手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
  7. 前記キャップを介して前記液体吐出ヘッドから液体を吸引する吸引手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
  8. 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の液体吐出装置の液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
    前記吐出口面が前記キャップで覆われ、前記上部保護層と前記電極とが液体を介して導通された状態で、前記上部保護層と前記電極との間に電圧を印加し、前記上部保護層を液体に溶出させることを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  9. 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の液体吐出装置の液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
    前記吐出口面が前記キャップで覆われ、前記上部保護層と前記電極とが液体を介して導通された状態で、前記上部保護層をアノード、前記電極をカソードとして電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  10. 前記キャップを介して前記液体吐出ヘッドから液体を吸引し、前記上部保護層と前記電極とを液体を介して導通させることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  11. 前記キャップを介して前記液体吐出ヘッドから液体を吸引し、前記液体吐出ヘッドから前記溶出された前記上部保護層を含む液体を排出することを特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  12. 前記上部保護層と前記電極との間に電圧を印加しながら、前記液体の排出を行うことを特徴とする請求項11に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  13. 前記上部保護層と前記電極との極性を反転させて電圧を印加することを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
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