JP2014135790A - モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム - Google Patents
モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014135790A JP2014135790A JP2013000922A JP2013000922A JP2014135790A JP 2014135790 A JP2014135790 A JP 2014135790A JP 2013000922 A JP2013000922 A JP 2013000922A JP 2013000922 A JP2013000922 A JP 2013000922A JP 2014135790 A JP2014135790 A JP 2014135790A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- acceleration
- command
- speed
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
- H02P23/20—Controlling the acceleration or deceleration
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
- H02P25/06—Linear motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
Abstract
【課題】機械の振動を抑制すると共に、機械の位置決めの際のオーバーシュートの発生を抑制する。
【解決手段】位置指令Prefとモータ位置Pfbに基づいて速度指令Vrefを生成する位置ループゲインKpと、速度指令Vrefとモータ速度Vfbに基づいてトルク指令Trefを生成する速度ループゲインKvと、トルク指令Trefに基づいてリニアモータ11を駆動するモータ駆動部と、を備え、リニアモータ11で加速度センサ14が取り付けられた機械3を駆動するモータ制御装置2であって、加速度センサ14の検出信号である加速度検出信号に基づく、速度指令Vrefへの第2加速度フィードバック信号を生成する1次ローパスフィルタ28及び第2加速度フィードバックゲインKf2と、位置指令Prefが入力され、機械3の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタ21と、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】位置指令Prefとモータ位置Pfbに基づいて速度指令Vrefを生成する位置ループゲインKpと、速度指令Vrefとモータ速度Vfbに基づいてトルク指令Trefを生成する速度ループゲインKvと、トルク指令Trefに基づいてリニアモータ11を駆動するモータ駆動部と、を備え、リニアモータ11で加速度センサ14が取り付けられた機械3を駆動するモータ制御装置2であって、加速度センサ14の検出信号である加速度検出信号に基づく、速度指令Vrefへの第2加速度フィードバック信号を生成する1次ローパスフィルタ28及び第2加速度フィードバックゲインKf2と、位置指令Prefが入力され、機械3の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタ21と、を備える。
【選択図】図2
Description
開示の実施形態は、モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システムに関する。
特許文献1には、位置フィードバック制御と速度フィードバック制御を行うモータ制御装置でモータを駆動し、それに連結する機械の位置決め制御を行う構成において、当該機械に取り付けた加速度センサの加速度信号をモータ制御装置の速度指令にフィードバックすることにより機械の振動抑制機能を得る構成が開示されている。
上記従来技術において、機械の振動は抑制されるものの、機械の位置決めの際にオーバーシュートが発生するため、モータ制御装置の用途に応じては改善の余地があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、機械の振動を抑制すると共に、機械の位置決めの際のオーバーシュートの発生を抑制できるモータ制御装置、モータ制御方法、及び機械システムを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備え、前記モータで加速度センサが取り付けられた機械を駆動するモータ制御装置であって、前記加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づく、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成部と、前記位置指令が入力され、前記機械の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタと、を備えるモータ制御装置が適用される。
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備え、前記モータで機械を駆動するモータ制御装置で実行されるモータ制御方法であって、前記機械に取り付けられた加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づいて、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成ステップと、前記位置指令に対して、前記機械の低周波数振動を抑制するようフィルタリングする位置指令フィルタステップと、を実行するモータ制御方法が適用される。
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備えるモータ制御装置と、前記モータ制御装置に駆動されるモータと、加速度センサが取り付けられて前記モータで駆動される機械と、を備える機械システムであって、前記モータ制御装置は、前記加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づく、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成部と、前記位置指令が入力され、前記機械の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタと、を備える機械システムが適用される。
本発明のモータ制御装置、モータ制御方法、及び機械システムによれば、機械の振動を抑制すると共に、機械の位置決めの際のオーバーシュートの発生を抑制できる。
以下、一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
<機械システムの構成>
まず、図1を用いて、一実施の形態に係るモータ制御装置を備えた機械システムの概略的な構成について説明する。図1に示すように、本実施形態の例の機械システムSは、リニアモータ11の可動テーブル11bに連結したリンクを当該リニアモータ11の直動方向における所定の位置に位置決め制御するものであり、上位制御装置1、モータ制御装置2、及び機械3で構成される。上位制御装置1は、後述する機械のエンドエフェクタに対して所定の位置に位置決めさせるための位置指令をモータ制御装置2に出力する。モータ制御装置2は上位制御装置1から入力された位置指令に基づいて接続するリニアモータ11の駆動を制御する。
まず、図1を用いて、一実施の形態に係るモータ制御装置を備えた機械システムの概略的な構成について説明する。図1に示すように、本実施形態の例の機械システムSは、リニアモータ11の可動テーブル11bに連結したリンクを当該リニアモータ11の直動方向における所定の位置に位置決め制御するものであり、上位制御装置1、モータ制御装置2、及び機械3で構成される。上位制御装置1は、後述する機械のエンドエフェクタに対して所定の位置に位置決めさせるための位置指令をモータ制御装置2に出力する。モータ制御装置2は上位制御装置1から入力された位置指令に基づいて接続するリニアモータ11の駆動を制御する。
機械3は、固定子11aと可動テーブル11bを備えた直動型モータであるリニアモータ11と、その可動テーブル11b上に垂直に設置した弾性ロッド12と、この弾性ロッド12の上端に固定したエンドエフェクタ13と、このエンドエフェクタ13に設置した加速度センサ14とを備えている。弾性ロッド12は弾性材料からなる十分な長さの角柱部材であり、エンドエフェクタ13は所定の質量を有する部材である。これら弾性ロッド12とエンドエフェクタ13の結合体はその全体の剛性が低いため、リニアモータ11の可動テーブル11bがその移動中に急停止することで弾性ロッド12の設置部分を中心に揺動するよう機械的な振動を発生しやすい。
本実施形態の例では、上記加速度センサ14がエンドエフェクタ13の揺動方向、つまりリニアモータ11における可動テーブル11bの移動方向での一方側の端面に取り付けられ、当該エンドエフェクタ13の揺動方向の加速度を検出する。この加速度センサ14の検出信号である加速度検出信号は、モータ制御装置2に入力される。また、リニアモータ11の可動テーブル11bには特に図示しない位置検出器が設けられており、この位置検出器から位置検出信号が検出されてモータ制御装置に入力される(速度は位置をモータ制御装置で近似微分して作成する)。モータ制御装置2は、上位制御装置1から入力される位置指令に基づいて可動テーブル11bを位置決め移動させるようリニアモータ11に駆動電力を供給するとともに、可動テーブル11bからの速度検出信号と、加速度センサ14からの加速度検出信号を参照して上記エンドエフェクタ13の振動を抑えるよう上記駆動電流を制御する。
<本実施形態の例の機械システムの制御系モデル>
図2は、本実施形態の例の機械システムSの制御系モデルを伝達関数形式で表している。なお、図示の煩雑を避けるために、上位制御装置1や電流制御ループなどをできるだけ省略して簡略化したモデルで表している。この図2において、機械システムSは、位置指令フィルタ21と、第1加減算部22と、位置ループゲインKpと、第2加減算部23と、第3加減算部24と、速度ループゲインKvと、モータモデル25と、積分器26と、機械モデル27と、第1加速度フィードバックゲインKf1と、1次ローパスフィルタ28と、第2加速度フィードバックゲインKf2とを有している。
図2は、本実施形態の例の機械システムSの制御系モデルを伝達関数形式で表している。なお、図示の煩雑を避けるために、上位制御装置1や電流制御ループなどをできるだけ省略して簡略化したモデルで表している。この図2において、機械システムSは、位置指令フィルタ21と、第1加減算部22と、位置ループゲインKpと、第2加減算部23と、第3加減算部24と、速度ループゲインKvと、モータモデル25と、積分器26と、機械モデル27と、第1加速度フィードバックゲインKf1と、1次ローパスフィルタ28と、第2加速度フィードバックゲインKf2とを有している。
本実施形態において、位置指令フィルタ21は、第1時定数T1を分母に有し、第2時定数T2を分子に有する伝達関数((T2・s+1)/(T1・s+1))のフィルタで構成されており、上位制御装置1からの位置指令を当該位置指令フィルタ21に入力し、その出力を第1加減算部22に出力する。なお、この位置指令フィルタ21の機能と同等に実行するソフトウェア的手順が、各請求項記載の位置指令フィルタステップに相当する。
第1加減算部22は、位置指令フィルタ21から入力された位置指令から後述するモータ位置Pfbを減算してその偏差を求める。この偏差に位置ループゲインKpを乗算した値を速度指令Vrefとして第2加減算部23へ出力する。なお、この位置ループゲインKpが、各請求項記載の位置制御部に相当する。
第2加減算部23は、位置ループゲインKpから出力された速度指令Vrefから、後述する第1加速度フィードバック信号と第2加速度フィードバック信号を減算してその偏差を求める。
第3加減算部24は、第2加減算部23から出力された偏差から後述するモータ速度Vfbを減算してその偏差を求める。この偏差に速度ループゲインKvを乗算した値をトルク指令Trefとしてモータモデル25へ出力する。なお、この速度ループゲインKvが、各請求項記載の速度制御部に相当する。
モータモデル25は、本実施形態の例における上記リニアモータ11を模したモデル(簡単のためにイナーシャJ=1)であり、速度ループゲインKvから入力されたトルク指令Trefに対して積分を行う積分器(1/s)で構成される。これにより、モータモデル25はモータ速度Vfb(上記可動テーブル11bの移動速度)を出力する。このモータ速度Vfbは、上記第3加減算部24と機械モデル27にそれぞれ入力される。
本実施形態において、機械モデル27は、上記図1で示した可動テーブル11b、弾性ロッド12、エンドエフェクタ13、及び加速度センサ14の結合体に相当する伝達関数((wr2s)/(s2+wr2))で表される。この機械モデル27に上記モータ速度Vfbを入力することで、加速度センサ14から検出される加速度検出信号に相当する信号が出力される。
上記機械モデル27が出力した加速度検出信号に第1加速度フィードバックゲインKf1を乗算し、この値を第1加速度フィードバック信号として上記第2加減算部23に入力する。
本実施形態において、1次ローパスフィルタ28は、分母と分子に第1時定数T1を有する伝達関数(T1/(T1・s+1))で表される。上記機械モデル27が出力した加速度検出信号をこの1次ローパスフィルタ28に入力し、その出力に第2加速度フィードバックゲインKf2を乗算した値を第2加速度フィードバック信号として上記第2加減算部23に入力する。なお、第2加速度フィードバックゲインKf2が各請求項記載のゲインに相当し、第2加速度フィードバック信号が各請求項記載のフィードバック信号に相当し、1次ローパスフィルタ28と第2加速度フィードバックゲインKf2が各請求項記載の加速度フィードバック信号生成部に相当する。また、1次ローパスフィルタ28と第2加速度フィードバックゲインKf2の機能と同等に実行するソフトウェア的手順が、各請求項記載の加速度フィードバック信号生成ステップに相当する。
また、上記モータモデル25が出力したモータ速度Vfbを積分器26に入力すると、その出力はリニアモータ11の可動テーブル11bの位置、つまりモータ位置Pfbとなり、このモータ位置Pfbを上記第1加減算部22に入力する。
以上の制御系の構成においては、位置指令Prefの入力に追従する位置制御系のPフィードバックループ(以下、位置制御系ループという)と、速度制御系のPフィードバックループ(以下、速度制御系ループという)によるP−Pフィードバック制御と併せて、加速度検出信号に適宜のゲインKf1、Kf2と1次ローパスフィルタ28を介した第1加速度フィードバック信号と第2加速度フィードバック信号を速度制御系ループにフィードバックする加速度フィードバック制御も複合的に行う構成となっている。なお、この図2に示す制御系モデルのうちモータモデル25と機械モデル27を除いた部分がモータ制御装置2に相当する。また、特に図示していないが、モータ制御装置2においてはトルク指令に対する電流制御系のフィードバックループも備えている。この電流制御系のフィードバックループのモデル(図示せず)が、各請求項記載のモータ駆動部に相当する。
以上の構成の本実施形態による機械システムSは、第2加速度フィードバック信号を生成するために設けた1次ローパスフィルタ28に対応して位置指令フィルタ21を設け、上位制御装置1からの位置指令Prefをこの位置指令フィルタ21を介して入力することにより、機械3における低周波数振動の発生を抑制することができる。以下、その理由を順次説明する。
<機械における低周波数振動の発生原因について>
まず、機械3における低周波数振動の発生原因について説明する。図3は、加速度フィードバック制御を最も理想的に行う場合の制御系モデルを示している。この図3において、上記図2で示した制御系モデルとの相違点は、第2加速度フィードバック信号を生成するための1次ローパスフィルタ28の代わりに加速度積分器29を備え、さらに位置指令フィルタ21を設けずに上位制御装置1からの位置指令Prefを第1加減算部22に直接入力している点である。なお、最終的な制御対象となるエンドエフェクタ13の位置(以下において、負荷位置という)は、機械モデル27が出力する信号を2階積分して検出している。また、比較例として第1、第2加速度フィードバック信号をフィードバックしない場合、つまり上記加速度フィードバック制御を無効とした場合も想定し、上記第2加減算部23への第1、第2加速度フィードバック信号の入力の有無を切り替え可能な2つのスイッチSW1、SW2も設けている。
まず、機械3における低周波数振動の発生原因について説明する。図3は、加速度フィードバック制御を最も理想的に行う場合の制御系モデルを示している。この図3において、上記図2で示した制御系モデルとの相違点は、第2加速度フィードバック信号を生成するための1次ローパスフィルタ28の代わりに加速度積分器29を備え、さらに位置指令フィルタ21を設けずに上位制御装置1からの位置指令Prefを第1加減算部22に直接入力している点である。なお、最終的な制御対象となるエンドエフェクタ13の位置(以下において、負荷位置という)は、機械モデル27が出力する信号を2階積分して検出している。また、比較例として第1、第2加速度フィードバック信号をフィードバックしない場合、つまり上記加速度フィードバック制御を無効とした場合も想定し、上記第2加減算部23への第1、第2加速度フィードバック信号の入力の有無を切り替え可能な2つのスイッチSW1、SW2も設けている。
この図2に示す制御系モデルにおいて、2つのスイッチSW1、SW2を遮断状態とし加速度フィードバック制御を無効とした場合には、上記負荷位置のステップ応答で図4に示すような振動が発生する。これに対し、2つのスイッチSW1、SW2を接続状態として加速度フィードバック制御を有効とした場合には、同じステップ応答が図5に示すように速く安定する。これは、機械モデル27が出力する加速度検出信号を加速度積分器29で1階積分することで、加速度フィードバック信号(第2加速度フィードバック信号)を速度指令に対応した適切な信号として生成することができ、加速度フィードバック制御が理想的に機能するためである。また、詳細な説明は省力するが、加速度検出信号に加速度積分器29を介さず第1加速度フィードバックゲインKf1だけ乗算した第1加速度フィードバック信号も併せて加速度フィードバック制御に用いることも、位置制御の制振機能上有効である。
なお、このステップ応答の反応の速さや安定度は、上記の位置ループゲインKpや速度ループゲインKvにも依存する。例えば、位置ループゲインKpを変化させた場合には、図6に示すようにステップ応答の速さが変化し、位置ループゲインKpの値によっては振動も発生する。このため、位置ループゲインKp、速度ループゲインKv、第1加速度フィードバックゲインKf1、及び第2加速度フィードバックゲインKf2のそれぞれの値を公知の係数図法などによって適切に設定することで、理想的な加速度フィードバック制御が可能となる。
しかしながら、実装上の都合から実際に加速度積分器29を用いて加速度フィードバック制御を行うことは困難である。具体的には、加速度積分器29がAD変換時のDCオフセットやドリフトを積算してしまうため、結果的に位置指令に対する位置ズレが生じてしまうためである。そこで、図7に示すように、加速度積分器29の代わりに周波数特性が似ている1次ローパスフィルタ28を用いて第2加速度フィードバック信号を生成する構成が考えられる。この1次ローパスフィルタ28は、上述したように分母と分子に第1時定数T1を有する伝達関数(T1/(T1・s+1))で表されるフィルタであり、図8のボード線図に示すように周波数ゲイン特性が加速度積分器29(1/s)に近似しているため代用可能と考えられる。この1次ローパスフィルタ28を用いて加速度フィードバック制御を行った場合には、ステップ応答が図9に示すように安定する。しかし、加速度積分器29を用いた場合と比較すると、図示から分かるようにオーバーシュート、すなわち機械3における低周波数振動が発生してしまう。
そこで今回の検討によれば、加速度フィードバック制御に1次ローパスフィルタ28を用いた場合に低周波数振動が発生する原因が、極配置におけるダイポールの形成によるものであることが新たに知見された。この点について、以下に順次説明する。
<ダイポールの形成について>
ここで、上記図7に示した制御系モデルを、図10の構成の制御系モデルに置き換えてみる。なお、図中のGv(s)は、上記図7における第3加減算部24、速度ループゲインKv、モータモデル25を含んだ速度制御系ループ全体の伝達関数に相当し、その出力はモータ速度Vfbに相当する。また図中のP(s)は、機械モデル27の伝達関数に相当するが、その出力はエンドエフェクタ13の移動速度、つまり負荷速度に相当する。加速度センサ14はこの負荷速度を1階微分して加速度検出信号を検出する。また、モータ速度Vfbを1階積分することでモータ位置Pfbが得られ、負荷速度を1階積分することで負荷位置が求められる。なお計算の便宜上、この図10の制御系モデルにおいては、1次ローパスフィルタ28の伝達関数を(1/(T・s+1))で簡略化している。
ここで、上記図7に示した制御系モデルを、図10の構成の制御系モデルに置き換えてみる。なお、図中のGv(s)は、上記図7における第3加減算部24、速度ループゲインKv、モータモデル25を含んだ速度制御系ループ全体の伝達関数に相当し、その出力はモータ速度Vfbに相当する。また図中のP(s)は、機械モデル27の伝達関数に相当するが、その出力はエンドエフェクタ13の移動速度、つまり負荷速度に相当する。加速度センサ14はこの負荷速度を1階微分して加速度検出信号を検出する。また、モータ速度Vfbを1階積分することでモータ位置Pfbが得られ、負荷速度を1階積分することで負荷位置が求められる。なお計算の便宜上、この図10の制御系モデルにおいては、1次ローパスフィルタ28の伝達関数を(1/(T・s+1))で簡略化している。
以上の制御系モデルにおいて、位置指令Prefから負荷位置までの全体の伝達関数G(s)を整理すると以下のようになる。
・・・(1)
・・・(1)
この式(1)から分かるように、伝達関数G(s)の分子に1次ローパスフィルタ28の分母が入っている。すなわち、式(1)は、1次ローパスフィルタ28のカットオフ周波数(−1/T(rad/s))が当該伝達関数G(s)のゼロ点となる。また、伝達関数G(s)の分母にも1次ローパスフィルタ28の分母が複数入っており、これらのカットオフ周波数が当該伝達関数G(s)の複数の極に影響を与える。これらの極配置の例を図11に示す。なおこの図11では、参考までに加速度フィードバック制御に加速度積分器29を用いた場合(上記図3の制御系モデルの場合)の極配置も併せて示している。そしてこの図11の原点付近のA部を拡大した図が図12となる。
この図12における原点以外の位置で、1次ローパスフィルタ28によるゼロ点の近傍に極の1つが位置していることが分かる。一般的にこのように極がゼロ点の近傍に位置するダイポールの配置関係が成立している場合で、ゼロ点が極よりも遅い位置(原点に近い配置)にある場合には、ステップ応答で低周波数振動となるオーバーシュートが発生する。以上から、加速度フィードバック制御に1次ローパスフィルタ28を用いた場合には、制御系全体の伝達関数G(s)の極配置においてダイポールの配置関係となるゼロ点と極が存在するために、機械3に低周波数振動が発生することが分かった。
<低周波数振動の抑制対策その1:ダイポールのゼロ点を消去>
以上の検討のようにダイポールが原因で発生する低周波数振動を抑制するために、最も簡易な手法としては、ダイポールのゼロ点を消去することが考えられる。そのための1つの構成として、1次ローパスフィルタ28の時定数と同一の時定数を持つ位置指令フィルタ21を設ける。具体的には、図13に示すように、1次ローパスフィルタ28(T/(T・s+1))の分母の時定数Tと同一の時定数Tを分母に持つ位置指令フィルタ21a(1/(T・s+1)を設け、位置指令Prefをこの位置指令フィルタ21aを介して第1加減算部22に入力すればよい。この構成によれば、図14に示すように、ステップ応答で低周波数振動であるオーバーシュートを抑制できる。ただし、この位置指令フィルタ21aは1次遅れ要素となるため、ステップ応答の速さが遅くなってしまう。しかし、位置指令フィルタ21aにおける時定数Tを適宜調整することで、図15に示すようにステップ応答の速さも適宜調整できる。なお、位置指令フィルタ21aの時定数の調整次第ではオーバーシュートが発生する場合もあるので、前述した係数図法などで適切に調整する必要がある。
以上の検討のようにダイポールが原因で発生する低周波数振動を抑制するために、最も簡易な手法としては、ダイポールのゼロ点を消去することが考えられる。そのための1つの構成として、1次ローパスフィルタ28の時定数と同一の時定数を持つ位置指令フィルタ21を設ける。具体的には、図13に示すように、1次ローパスフィルタ28(T/(T・s+1))の分母の時定数Tと同一の時定数Tを分母に持つ位置指令フィルタ21a(1/(T・s+1)を設け、位置指令Prefをこの位置指令フィルタ21aを介して第1加減算部22に入力すればよい。この構成によれば、図14に示すように、ステップ応答で低周波数振動であるオーバーシュートを抑制できる。ただし、この位置指令フィルタ21aは1次遅れ要素となるため、ステップ応答の速さが遅くなってしまう。しかし、位置指令フィルタ21aにおける時定数Tを適宜調整することで、図15に示すようにステップ応答の速さも適宜調整できる。なお、位置指令フィルタ21aの時定数の調整次第ではオーバーシュートが発生する場合もあるので、前述した係数図法などで適切に調整する必要がある。
<低周波数振動の抑制対策その2:ダイポールのゼロ点と極の両方を消去>
さらに、ゼロ点とダイポールの配置関係にある極も併せて消去することで、ダイポール全体をキャンセルすることができ、機械3の低周波数振動を抑制しつつ、応答を速くすることができる。具体的には、図16に示すように、1次ローパスフィルタ28(T1/(T1・s+1))の分母の第1時定数T1と同一の第1時定数T1を位置指令フィルタ21の分母に持たせ、上記伝達関数G(s)の極を消去可能な第2時定数T2を位置指令フィルタ21の分子に持たせればよい。ただし、第2時定数T2で消去する極は、伝達関数G(s)が有する複数の極のうちゼロ点に対してダイポールの配置関係にある極である必要がある。この消去対象の極を明確に算出することは容易でないため、第2時定数T2は第1時定数T1を固定した上で適宜調整して設定する必要がある。このようにして構成した位置指令フィルタ21((T2・s+1)/(T1・s+1))は、特にダイポール消去フィルタとして機能する。なお、このダイポール消去フィルタが、各請求項記載の第1ダイポール消去フィルタに相当する。
さらに、ゼロ点とダイポールの配置関係にある極も併せて消去することで、ダイポール全体をキャンセルすることができ、機械3の低周波数振動を抑制しつつ、応答を速くすることができる。具体的には、図16に示すように、1次ローパスフィルタ28(T1/(T1・s+1))の分母の第1時定数T1と同一の第1時定数T1を位置指令フィルタ21の分母に持たせ、上記伝達関数G(s)の極を消去可能な第2時定数T2を位置指令フィルタ21の分子に持たせればよい。ただし、第2時定数T2で消去する極は、伝達関数G(s)が有する複数の極のうちゼロ点に対してダイポールの配置関係にある極である必要がある。この消去対象の極を明確に算出することは容易でないため、第2時定数T2は第1時定数T1を固定した上で適宜調整して設定する必要がある。このようにして構成した位置指令フィルタ21((T2・s+1)/(T1・s+1))は、特にダイポール消去フィルタとして機能する。なお、このダイポール消去フィルタが、各請求項記載の第1ダイポール消去フィルタに相当する。
このダイポール消去フィルタ21を設けた構成によれば、図17に示すように、加速度積分器29を用いた場合の理想的な加速度フィードバック制御に近いステップ応答が得られる。また、上記図12に対応する図18に示すように、伝達関数G(s)においてダイポールの配置関係となるゼロ点と極が、それぞれダイポール消去フィルタ21自体の極とゼロ点によって相殺され、つまり制御系全体のダイポールがキャンセルされる。これにより、機械3における低周波数振動がほぼ完全に抑制される。また、このダイポール消去フィルタ21自体が、ダイポールの配置関係にあるゼロ点と極を有するフィルタであるため、フィルタ遅れがほとんどない。これにより、図19に示すように、ステップ応答の速さも理想的に近い速さとなる。したがって、図16の構成から負荷位置の検出構成を除いた上記図2の制御系モデルは、加速度フィードバック制御に加速度積分器29を用いることなく、低周波数振動を抑えた遅れの少ないステップ応答が可能となる。
以上説明したように、本実施形態のモータ制御装置2及び機械システムSによれば、加速度検出信号に基づく第2加速度フィードバック信号を生成し、位置指令Prefが入力され、機械3の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタ21を備える。これにより、剛性の低い機械3の振動を抑制すると共に、機械3の位置決めの際のオーバーシュートの発生を抑制できる。
また、本実施形態によれば、加速度検出信号を1次ローパスフィルタ28および第2加速度フィードバックゲインKf2を介して加速度フィードバック信号を生成し、位置指令フィルタ21は、その伝達関数において、1次ローパスフィルタ28の時定数T1と同一の時定数T1をもつ。これにより、位置指令フィルタ21が伝達関数G(s)のゼロ点を消去することができ、機械3の位置決めの際のオーバーシュートの発生を抑制できる。
また、本実施形態によれば、位置指令フィルタ21は、その伝達関数において、1次ローパスフィルタ28の時定数T1と同一の第1時定数T1を分母に持ち、伝達関数G(s)の極を消去可能な第2時定数T2を分子に持つダイポール消去フィルタで構成されている。これにより、伝達関数G(s)においてダイポールの配置関係となるゼロ点と極が、それぞれダイポール消去フィルタである位置指令フィルタ21自体の極とゼロ点によって相殺され、すなわち制御系全体のダイポールがキャンセルされる。これにより、機械3における低周波数振動がほぼ完全に抑制される。また、位置指令フィルタ21自体が、ダイポールの配置関係にあるゼロ点と極を有するフィルタであるため、フィルタ遅れがほとんどなくステップ応答の速さも理想的に近い速さとなる。
なお、具体的な構成としては、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。
(1)加速度フィードバック制御にハイパスフィルタを備える場合
上記実施形態においては、加速度検出信号に基づいて1次ローパスフィルタ28と第2加速度フィードバックゲインKf2だけで第2加速度フィードバック信号を生成していた。しかし、加速度センサ14は定格測定範囲の下限以下の周波数を正確に測定できないため、1次ローパスフィルタ28に対して直列に1次ハイパスフィルタを設け、正確に測定できない低周波成分の影響を排除する構成が考えられる。この場合には、当該1次ハイパスフィルタにより生じるゼロ点や極を消去可能なハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aをさらに備えてもよい。
上記実施形態においては、加速度検出信号に基づいて1次ローパスフィルタ28と第2加速度フィードバックゲインKf2だけで第2加速度フィードバック信号を生成していた。しかし、加速度センサ14は定格測定範囲の下限以下の周波数を正確に測定できないため、1次ローパスフィルタ28に対して直列に1次ハイパスフィルタを設け、正確に測定できない低周波成分の影響を排除する構成が考えられる。この場合には、当該1次ハイパスフィルタにより生じるゼロ点や極を消去可能なハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aをさらに備えてもよい。
例えば、上記図2に対応する図20に示すように、機械モデル27が出力する加速度検出信号を1次ハイパスフィルタ31に入力し、その出力を1次ローパスフィルタ28に入力する。また、上位制御装置1からの位置指令Prefをハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aに入力し、その出力を位置指令フィルタ21に入力する。その他の構成は上記図2と同様であるため、説明を省略する。なお、位置指令フィルタ21とハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aが、各請求項記載の位置指令フィルタに相当する。
1次ハイパスフィルタ31は、分母と分子に第1ハイパスフィルタ時定数Th1を持つ伝達関数Th1・s/(Th1・s+1)で表される。
ハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aは、その分母に1次ハイパスフィルタ31が分母に持つものと同一の第1ハイパスフィルタ時定数Th1を有し、その分子に第2ハイパス時定数Th2を有する伝達関数((Th2・s+1)/(Th1・s+1))のフィルタで構成されている。
このように構成された制御系モデルにおいては、第1加減算部22に入力される位置指令から機械3の負荷位置までの伝達関数G(s)に、1次ローパスフィルタ28の第1時定数に対応するゼロ点と極のダイポールとともに、1次ハイパスフィルタ31の第1ハイパスフィルタ時定数Th1に対応するゼロ点と極のダイポールも併せて生じる。ハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aにおいて、分子の第2ハイパス時定数Thを適宜調整することにより、当該ハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aで第1ハイパスフィルタ時定数Th1に対応するゼロ点と極のダイポールを消去することができる。これにより、位置指令フィルタ21及びハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aが伝達関数G(s)のダイポールを全て消去し、制御系全体で低周波数振動を抑制できる。なお、第1ハイパスフィルタ時定数Th1が各請求項記載の第3時定数に相当し、第2ハイパスフィルタ時定数Th2が各請求項記載の第4時定数に相当し、ハイパスフィルタ用位置指令フィルタ21Aが各請求項記載の第2ダイポール消去フィルタに相当する。
(2)機械が複数次の振動モードで振動する場合
上記実施形態においては、図21の一点鎖線で示すように、機械3のエンドエフェクタ13が単純に揺動するだけの1次振動モードで振動する場合を前提としていた。しかしながら、機械3のパラメータの設定によっては、図中の実線で示すように、弾性ロッド12とエンドエフェクタ13が個別に振動する複数次の振動モードで振動する場合がある。この場合には、機械3を構成する弾性ロッド12とエンドエフェクタ13の2つのリンクで、それぞれ最も大きく振幅する部分に加速度センサ14を設置する。この例では、弾性ロッド12の振動節部である腹部と、エンドエフェクタ13の移動方向一方側の端面にそれぞれ加速度センサ14を設ける。そして各加速度センサ14からの加速度検出信号にそれぞれ対応して加速度フィードバック制御を並列して行うとよい。
上記実施形態においては、図21の一点鎖線で示すように、機械3のエンドエフェクタ13が単純に揺動するだけの1次振動モードで振動する場合を前提としていた。しかしながら、機械3のパラメータの設定によっては、図中の実線で示すように、弾性ロッド12とエンドエフェクタ13が個別に振動する複数次の振動モードで振動する場合がある。この場合には、機械3を構成する弾性ロッド12とエンドエフェクタ13の2つのリンクで、それぞれ最も大きく振幅する部分に加速度センサ14を設置する。この例では、弾性ロッド12の振動節部である腹部と、エンドエフェクタ13の移動方向一方側の端面にそれぞれ加速度センサ14を設ける。そして各加速度センサ14からの加速度検出信号にそれぞれ対応して加速度フィードバック制御を並列して行うとよい。
この場合には、上記図2に対応する図22に示すように、第1機械モデル27、第1加速度フィードバックゲインKf1、第1ローパスフィルタ28、及び第2加速度フィードバックゲインKf2を備えた第1加速度フィードバックループと、第2機械モデル27A、第3加速度フィードバックゲインKf3、第2ローパスフィルタ28A、及び第4加速度フィードバックゲインKf4を備えた第2加速度フィードバックループとを並列に設ける。また、第1加速度フィードバックループに対応する第1位置指令フィルタ21と、第2加速度フィードバックループに対応する第2位置指令フィルタ21Bを直列に設ける。
このように構成された制御系モデルにおいては、第1加減算部22に入力される位置指令Prefから機械3の負荷位置までの伝達関数G(s)に、第1ローパスフィルタ28の第1時定数T1に対応するゼロ点と極のダイポールとともに、第2ローパスフィルタ28Aの第3時定数T3に対応するゼロ点と極のダイポールも併せて生じる。各位置指令フィルタ21、21Bのそれぞれの分母に第1時定数T1、第3時定数T3を割り当てることで各ゼロ点を消去し、それぞれの分子の第2時定数T2、第4時定数T4を適宜調整することで各極を消去する。これにより、各位置指令フィルタ21、21Bが伝達関数G(s)のダイポールを全て消去し、制御系全体で低周波数振動を抑制できる。なお、機械3を構成するリンク数が3以上であっても、加速度センサ14、加速度フィードバックループ及び位置指令フィルタ21をそれぞれ機械3のリンク数と同数設ければよい。
なお、上記実施形態や各変形例においては、機械3の駆動用アクチュエータに直動型であるリニアモータ11を用いた場合で説明したが、これに限られない。他にも、特に図示しないが、回転型のモータ及びボールねじなどを用いて可動テーブルを駆動する機械の構成としてもよい。この場合には、機械システムSの制御系モデルにおいて、機械モデル27の内容だけを適宜変更すればモータモデル25をそのまま回転型モータのモデルとして利用できる。
以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
1 上位制御装置
2 モータ制御装置
3 機械
11 リニアモータ(モータに相当)
12 弾性ロッド
13 エンドエフェクタ
14 加速度センサ
21、21B 位置指令フィルタ(第1ダイポール消去フィルタに相当)
21a 位置指令フィルタ
21A ハイパスフィルタ用位置指令フィルタ(第2ダイポール消去フィルタに相当)
22 第1加減算部
23 第2加減算部
24 第3加減算部
25 モータモデル
26 積分器
27、27A 機械モデル
28、28A 1次ローパスフィルタ
29 加速度積分器
31 1次ハイパスフィルタ
Kf1 第1加速度フィードバックゲイン
Kf2 第2加速度フィードバックゲイン(ゲインに相当)
Kf3 第3加速度フィードバックゲイン
Kf4 第4加速度フィードバックゲイン(ゲインに相当)
Kp 位置ループゲイン(位置制御部に相当)
Kv 速度ループゲイン(速度制御部に相当)
S 機械システム
2 モータ制御装置
3 機械
11 リニアモータ(モータに相当)
12 弾性ロッド
13 エンドエフェクタ
14 加速度センサ
21、21B 位置指令フィルタ(第1ダイポール消去フィルタに相当)
21a 位置指令フィルタ
21A ハイパスフィルタ用位置指令フィルタ(第2ダイポール消去フィルタに相当)
22 第1加減算部
23 第2加減算部
24 第3加減算部
25 モータモデル
26 積分器
27、27A 機械モデル
28、28A 1次ローパスフィルタ
29 加速度積分器
31 1次ハイパスフィルタ
Kf1 第1加速度フィードバックゲイン
Kf2 第2加速度フィードバックゲイン(ゲインに相当)
Kf3 第3加速度フィードバックゲイン
Kf4 第4加速度フィードバックゲイン(ゲインに相当)
Kp 位置ループゲイン(位置制御部に相当)
Kv 速度ループゲイン(速度制御部に相当)
S 機械システム
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備え、前記モータで加速度センサが取り付けられた機械を駆動するモータ制御装置であって、前記加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づく、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成部と、前記位置指令が入力され、前記位置指令から前記機械の位置までの伝達関数の少なくとも零点を消去可能な時定数を用いて前記機械の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタと、を備えるモータ制御装置が適用される。
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備え、前記モータで機械を駆動するモータ制御装置で実行されるモータ制御方法であって、前記機械に取り付けられた加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づいて、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成ステップと、前記位置指令に対して、前記位置指令から前記機械の位置までの伝達関数の少なくとも零点を消去可能な時定数を用いて前記機械の低周波数振動を抑制するようフィルタリングする位置指令フィルタステップと、を実行するモータ制御方法が適用される。
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備えるモータ制御装置と、前記モータ制御装置に駆動されるモータと、加速度センサが取り付けられて前記モータで駆動される機械と、を備える機械システムであって、前記モータ制御装置は、前記加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づく、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成部と、前記位置指令が入力され、前記位置指令から前記機械の位置までの伝達関数の少なくとも零点を消去可能な時定数を用いて前記機械の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタと、を備える機械システムが適用される。
Claims (8)
- 位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、
前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、
前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備え、前記モータで加速度センサが取り付けられた機械を駆動するモータ制御装置であって、
前記加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づく、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成部と、
前記位置指令が入力され、前記機械の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタと、
を備えることを特徴とするモータ制御装置。 - 前記加速度フィードバック信号生成部は、
1次ローパスフィルタとゲインとを有し、前記加速度検出信号を前記1次ローパスフィルタおよび前記ゲインを介して前記フィードバック信号を生成し、
前記位置指令フィルタは、その伝達関数において、前記1次ローパスフィルタの時定数と同一の時定数をもつ、
ことを特徴とする請求項1記載のモータ制御装置。 - 前記位置指令フィルタは、その伝達関数において、分母に第1時定数と分子に第2時定数とをもつ第1ダイポール消去フィルタを備え、
前記第1時定数は前記1次ローパスフィルタの時定数と同一であり、前記第2時定数は前記位置指令から前記機械の位置までの伝達関数の極を消去可能な時定数である、
ことを特徴とする請求項2記載のモータ制御装置。 - 前記加速度フィードバック信号生成部は、前記1次ローパスフィルタに直列に配置した1次ハイパスフィルタを更に有し、
前記位置指令フィルタは、その伝達関数において、前記1次ハイパスフィルタの時定数と同一の時定数をもつ
ことを特徴とする請求項2又は3記載のモータ制御装置。 - 前記位置指令フィルタは、その伝達関数において、分母に第3時定数と分子に第4時定数とをもつ第2ダイポール消去フィルタを更に備え、
前記第3時定数は前記1次ハイパスフィルタの時定数と同一であり、前記第4時定数は前記位置指令から前記機械の位置までの伝達関数の極を消去可能な時定数である、
ことを特徴とする請求項4記載のモータ制御装置。 - 前記機械は、
直列に接続されて複数次の振動モードをもつN個(ただしNは2以上の整数)のリンクからなり、
前記加速度フィードバック信号生成部は、
前記N個のリンクの先端または振動節部に取り付けられたN個の前記加速度センサからの加速度検出信号にそれぞれ対応してN個並列に備え、
前記位置指令フィルタは、
前記N個の加速度フィードバック信号生成部にそれぞれ対応してN個直列に備える
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のモータ制御装置。 - 位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備え、前記モータで機械を駆動するモータ制御装置で実行されるモータ制御方法であって、
前記機械に取り付けられた加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づいて、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成ステップと、
前記位置指令に対して、前記機械の低周波数振動を抑制するようフィルタリングする位置指令フィルタステップと、
を実行することを特徴とするモータ制御方法。 - 位置指令とモータ位置に基づいて速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令とモータ速度に基づいてトルク指令を生成する速度制御部と、前記トルク指令に基づいてモータを駆動するモータ駆動部と、を備えるモータ制御装置と、
前記モータ制御装置に駆動されるモータと、
加速度センサが取り付けられて前記モータで駆動される機械と、
を備える機械システムであって、
前記モータ制御装置は、
前記加速度センサの検出信号である加速度検出信号に基づく、前記速度指令へのフィードバック信号を生成する加速度フィードバック信号生成部と、
前記位置指令が入力され、前記機械の低周波数振動を抑制可能な位置指令フィルタと、
を備えることを特徴とする機械システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013000922A JP5648870B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム |
CN201310724355.0A CN103916068A (zh) | 2013-01-08 | 2013-12-25 | 马达控制装置、马达控制方法及机械系统 |
EP13199791.8A EP2752987A2 (en) | 2013-01-08 | 2013-12-30 | Motor controlling device, motor controlling method and machinery system |
US14/148,730 US9287816B2 (en) | 2013-01-08 | 2014-01-07 | Motor controlling device, motor controlling method and machinery system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013000922A JP5648870B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014135790A true JP2014135790A (ja) | 2014-07-24 |
JP5648870B2 JP5648870B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=49916931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013000922A Active JP5648870B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9287816B2 (ja) |
EP (1) | EP2752987A2 (ja) |
JP (1) | JP5648870B2 (ja) |
CN (1) | CN103916068A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6353731B2 (ja) * | 2014-08-04 | 2018-07-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | モータシステム |
CN106788039B (zh) * | 2017-01-13 | 2019-02-26 | 青岛大学 | 基于极限学习机的异步电机驱动系统控制方法 |
CN106788046B (zh) * | 2017-02-20 | 2019-03-26 | 青岛大学 | 永磁同步电机命令滤波有限时间模糊控制方法 |
CN106788086B (zh) * | 2017-02-20 | 2019-02-05 | 青岛大学 | 考虑输入饱和的异步电机命令滤波有限时间模糊控制方法 |
JP7044177B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2022-03-30 | 株式会社島津製作所 | 材料試験機、及び材料試験機の制御方法 |
JP6750707B1 (ja) * | 2019-05-23 | 2020-09-02 | 株式会社明電舎 | モータ駆動装置及びモータ駆動装置の制御方法 |
CN111030528B (zh) * | 2019-11-29 | 2021-12-21 | 南京航空航天大学 | 一种用于三级式无刷同步电机的多环调压控制方法 |
CN111351998B (zh) * | 2019-12-25 | 2022-04-29 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 一种马达极性确定方法、装置、存储介质及设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006158026A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
JP2008191774A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Yaskawa Electric Corp | 電動機制御装置およびその機械振動抑制方法 |
JP2009159774A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Yaskawa Electric Corp | モータ制御装置とその制御方法とその適用機械システム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4006871A (en) * | 1972-06-19 | 1977-02-08 | The Boeing Company | Automatic pitch axis control system for aircraft |
EP0706906A3 (en) * | 1994-10-12 | 1997-07-02 | Unisia Jecs Corp | Method and device for controlling the damping force of a vehicle suspension |
JP3025421B2 (ja) * | 1995-06-14 | 2000-03-27 | 三菱電機株式会社 | 制御システムの異常検知装置 |
JP2000347743A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Yaskawa Electric Corp | 位置制御装置 |
WO2000075739A1 (fr) * | 1999-06-04 | 2000-12-14 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Unite de commande de position pour moteur |
KR100923822B1 (ko) * | 2005-05-31 | 2009-10-27 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 전동기 제어 장치 |
US7689320B2 (en) * | 2005-12-20 | 2010-03-30 | Intuitive Surgical Operations, Inc. | Robotic surgical system with joint motion controller adapted to reduce instrument tip vibrations |
JP4174543B2 (ja) * | 2007-01-29 | 2008-11-05 | ファナック株式会社 | サーボモータの制御装置 |
JP4577336B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2010-11-10 | 日産自動車株式会社 | 電動車両における電動機の制御装置 |
-
2013
- 2013-01-08 JP JP2013000922A patent/JP5648870B2/ja active Active
- 2013-12-25 CN CN201310724355.0A patent/CN103916068A/zh active Pending
- 2013-12-30 EP EP13199791.8A patent/EP2752987A2/en not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-01-07 US US14/148,730 patent/US9287816B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006158026A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
JP2008191774A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Yaskawa Electric Corp | 電動機制御装置およびその機械振動抑制方法 |
JP2009159774A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Yaskawa Electric Corp | モータ制御装置とその制御方法とその適用機械システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2752987A2 (en) | 2014-07-09 |
US9287816B2 (en) | 2016-03-15 |
JP5648870B2 (ja) | 2015-01-07 |
CN103916068A (zh) | 2014-07-09 |
US20140191702A1 (en) | 2014-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5648870B2 (ja) | モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム | |
JP4577107B2 (ja) | 機械位置制御装置 | |
JP5273575B2 (ja) | 電動機制御装置 | |
JP6020537B2 (ja) | モータ制御装置及びモータ制御方法 | |
JP2009303432A (ja) | モータによる位置制御装置 | |
JP5989694B2 (ja) | 制御装置、制御方法及び制御プログラム | |
JP5389251B2 (ja) | 並列駆動システム | |
JP4294344B2 (ja) | 電動機の制御方法及び制御装置 | |
JP2010284758A (ja) | ロボットの制御装置、及びロボットの制御方法 | |
JP2013118817A (ja) | 電動機制御装置 | |
JP6161854B1 (ja) | モータ制御システム | |
JP5127767B2 (ja) | 駆動制御装置 | |
JP5441944B2 (ja) | モータ制御装置 | |
JP2011036061A (ja) | モータ制御装置及びモータ制御システム | |
JP2009159774A (ja) | モータ制御装置とその制御方法とその適用機械システム | |
JP2004023910A (ja) | モータ制御装置 | |
JP5092831B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
JP2007143224A (ja) | 振動検出装置 | |
JP2007295678A (ja) | システム同定装置およびそれを備えたモータ制御装置 | |
WO2015177912A1 (ja) | 指令生成装置および方法 | |
JP2011151887A (ja) | モータ制御方法及び装置 | |
JP2008061470A (ja) | 振動検出装置およびそれを備えたモータ制御装置 | |
JP5263143B2 (ja) | 電動機制御装置 | |
JP2010054397A (ja) | 制御アクチュエーター及び振動制御方法 | |
JP2005039954A (ja) | 電動機制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141016 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141029 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5648870 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |