JP2014134347A - ベーパチャンバ - Google Patents

Abstract

【課題】被冷却体を任意の位置に取り付けても、気相冷媒の拡散、移動が妨げられることがなく、性能差が生じない汎用性の高いベーパチャンバを提供する。
【解決手段】ベーパチャンバ１は、互いの間に確保した気相空間Ａに冷媒を封入した状態で相互に対向配置された一対の表面層部材１０を備え、それぞれの表面層部材１０には、液相冷媒を面方向に沿って流通させる液相空間Ｂを形成するとともに、気相空間Ａには、各液相空間Ｂを互いに連絡する連絡通路２１を設けて構成され、一対の表面層部材１０の間に複数の柱状部材２０を介在させ、各柱状部材２０の内部に連絡通路２１を複数設けるとともに、各表面層部材１０には液相空間Ｂと気相空間Ａとの間を連通する連通孔１２４を形成し、各連絡通路２１は、連通孔１２４に連通する位置に配置される。
【選択図】図２

Description

本発明は、ベーパチャンバと称される平板状のヒートパイプに関するもので、特に、液相空間を有した一対の表面層部材の間に気相空間を確保し、この気相空間と表面層部材の液相空間との間に冷媒を循環させることによって熱輸送を行うベーパチャンバに関するものである。

この種のベーパチャンバとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このベーパチャンバは、複数の平板状部材を積層することによって冷媒の循環通路を形成するようにしたものである。具体的には、中間板と称される平板状部材に気相空間および連絡通路を設けるとともに、一対の平板状部材の内表面にそれぞれ格子状の凹部を形成することによって液相空間および連通孔を形成し、それぞれの内表面を中間板に向けた状態でこれらを積層している。これにより、平板状部材の液相空間が連通孔によって気相空間に連通するとともに、平板状部材の液相空間の間が連絡通路によって互いに連通される。

上記のように構成されたベーパチャンバでは、一方の平板状部材に温度の高い被冷却体を接触させると、この平板状部材の液相空間で気相となった冷媒が連通孔を通じて気相空間に移動し、気相空間の空間方向に沿って拡散する。拡散した気相冷媒が相対的に温度の低い平板状部材に接触すると、熱を奪われて液化し、平板状部材の液相空間に至る。一方の平板状部材の液相空間に到達した冷媒は、毛細管力によって面方向に広がり、再び被冷却体に接触して蒸発する。一方、もう一方の平板状部材の液相空間に到達した冷媒は、毛細管力によって面方向に広がり、さらに連絡通路を通過して被冷却体が接触した平板状部材の液相空間に戻ることになる。これらの動作を繰り返すことにより、被冷却体の熱が周辺の低温部に運ばれることになり、被冷却体を冷却することができるようになる。

また、特許文献２には、熱輸送ユニットの上下面のそれぞれに冷媒還流空間が形成され、上下面のそれぞれに形成された冷媒還流空間に挟まれて蒸気拡散空間が形成された構成からなるベーパチャンバが記載されている。

特許第４１１２６０２号公報 特開２０１１−１４５０４４

ここで、特許文献１に記載されたベーパチャンバでは、複数の平板状部材を積層することで冷媒の循環通路を構成することができるため、その製造作業を容易に行うことができる。しかしながら、中間板には気相空間や連絡通路を構成するために多数の開口を設けなければならず、強度が著しく低下することになり、例えばベーパチャンバに外力が加えられた場合に容易に面外方向に変形する恐れがある。ベーパチャンバが面外方向に変形した場合には、気相空間や連絡通路の機能が損なわれる場合があり、熱輸送効率の低下を招来することとなる。特に、連絡通路については、冷媒の毛細管力を利用するために微細に形成されている場合が多く、ベーパチャンバが変形した場合の影響を受け易い。

また、液相空間で気相となった冷媒は気相空間の形状により流れる方向が決まってしまうため、最適な性能を維持するためには、被冷却体の接触する位置により個別の設計が必要になる。例えば、被冷却体が中央にある場合は、液相空間を中央部から放射状に広げるように形成する必要があるが、被冷却体を端部に移動した場合には、気相冷媒は被冷却体に最も近い気相空間を通って中央部まで移動するだけで、それ以外の気相空間は被冷却体により発生した気相冷媒の輸送に寄与することができない状態となる。その結果、ベーパチャンバの熱輸送量が低下し、空間全体を熱輸送に有効に使用することができなくなる。

一方、特許文献２に記載された構成は、冷媒還流空間と蒸気拡散空間との間にそれぞれ細孔を有した干渉防止板を配設し、細孔を介して蒸気拡散空間で凝縮した冷媒を冷媒還流空間に移動させるようにしているだけである。従って、２つの表面層部材の液相空間において直接的に冷媒の授受が行われないため、発熱体が接触する表面層部材において冷媒が枯渇し、冷却機能が停止する可能性がある。

本発明は、上記実情に鑑みて、被冷却体を任意の位置に取り付けても、気相冷媒の拡散、移動が妨げられることがなく、性能差が生じない汎用性の高いベーパチャンバを提供することを目的とする。
また、発熱体が接触する表面層部材において冷媒が枯渇する事態を未然に防ぐことができるベーパチャンバを提供することを目的とする。
さらに、強度が低下する事態を抑えた上で、製造作業を容易化することのできるベーパチャンバを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係るベーパチャンバは、互いの間に確保した気相空間に冷媒を封入した状態で相互に対向配置された一対の表面層部材を備え、それぞれの表面層部材には、液相冷媒を面方向に沿って流通させる液相空間を形成するとともに、一対の表面層部材の間の気相空間には、それぞれの表面層部材の液相空間を互いに連絡する連絡通路を設け、一方の表面層部材に設けた液相空間の気相冷媒を、前記気相空間を経て拡散させるとともに、他方の表面層部材に設けた液相空間の液相冷媒を前記連絡通路から一方の表面層部材の液相空間に移動させるようにしたベーパチャンバにおいて、前記一対の表面層部材の間に複数の柱状部材を介在させ、各柱状部材の内部に前記連絡通路を複数設けるとともに、各表面層部材には前記液相空間と前記気相空間との間を連通する連通孔を形成し、各連絡通路は、前記連通孔に連通する位置に配置されることを特徴とする。

この場合、前記一対の表面層部材の積層方向で、各連絡通路が前記連通孔に重なる位置に配置されることが好ましい。

また、それぞれの表面層部材は、平板状を成す外層板と、平板状を成し、貫通孔が開口形成された内層板とを備え、前記外層板の一方の面又は前記内層板の一方の面には、複数の凸部が形成され、前記外層板の一方の面に前記内層板の一方の面を対向させてこれら外層板と内層板とを積層することにより、前記外層板及び前記内層板のいずれか一方に形成された凸部の頂部を、前記外層板及び前記内層板のいずれか他方に着地させてその周囲に前記液相空間を形成するとともに、前記貫通孔を前記連通孔として機能させる構成としてもよい。この場合、前記複数の凸部は、前記内層板に形成されるとともに、該内層板では、各凸部に隣接して前記貫通孔が開口形成されているとよい。

さらに、隣接する柱状部材の周面間には互いの間を連結する連結部を設け、前記連結部は、前記柱状部材に対して軸方向に沿った寸法を小さく形成したものとしてもよい。

さらにまた、前記柱状部材に形成する連絡通路は、複数の細径孔または多角形を結合した横断面形状を有する構成としてもよい。

本発明によれば、各表面層部材に液相空間と気相空間との間を連通する連通孔を形成したことにより、気相空間がベーパチャンバ全体に渡って貫通、解放されているため、気相冷媒の拡散、移動が妨げられることがなく、被冷却体の取り付け位置による性能差が生じることを防止できる。また、各柱状部材の各連絡通路を、それぞれ表面層部材の連通孔に連通する位置に配置させているため、各液相空間間での液相冷媒の移動を効率的にかつ円滑にすることができ、発熱体が接触する表面層部材において冷媒が枯渇する事態を未然に防ぐことができる。さらに、液相空間を有した一対の表面層部材の間に柱状部材を介在させることで、表面層部材の間に気相空間を確実に確保することができるとともに、表面層部材の液相空間を連絡させる連絡通路を構成することができるようになり、気相冷媒と液相冷媒の流れを分離する冷媒のループ回路ができ熱輸送量の低減を防ぐことができる。しかも、柱状部材が気相空間全体に渡り配置されているため強度的に有利となり、曲げ加工等を行っても性能の低下を抑えることができるうえ、柱状部材に複数の連絡通路を設けているので、連絡通路と液相空間とを高い精度で位置決めしなくとも確実に両者を連通させることができ、製造作業の容易化を図ることが可能となる。

図１は、本発明の一実施の形態であるベーパチャンバの分解斜視図である。 図２は、図１に示したベーパチャンバの要部を示す断面斜視図である。 図３は、図１に示したベーパチャンバの縦断面図である。 図４は、図１に示した内層板の凸部およびその周辺部を示す拡大図である。 図５は、図１に示したベーパチャンバの柱状部材と一方の内層板および外層板とを拡大して示す平面図である。 図６は、図１に示したベーパチャンバに適用する柱状部材に設けられた連絡通路の拡大図である。 図７は、図１に示したベーパチャンバにおいて冷媒の循環経路を示す図である。 図８は、柱状部材の変形例を示したもので、（ａ）は第１変形例の端面拡大図、（ｂ）は第２変形例の端面拡大図である。 図９は、変形例に係る連絡通路の拡大図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明に係るベーパチャンバの好適な実施の形態について詳細に説明する。

図１〜図３は、本発明の一実施の形態であるベーパチャンバ１を示したものである。ここで例示するベーパチャンバ１は、それぞれ外層板１１０と内層板１２０とから成る一対の表面層部材１０と、これら表面層部材１０の間に介在させた複数の柱状部材２０とを備えて構成してある。

一対の表面層部材１０は、それぞれ外層板１１０と内層板１２０とを積層して構成したものである。

外層板１１０は、平板状を成す金属製の薄板状部材であり、少なくとも内層板１２０側の面（内面）が平坦に形成されるが、本実施の形態では、両面を平坦面で形成した外層板１１０を用いている。つまり、外層板１１０は、両面に凹凸のない平板である。本実施の形態では、外層板１１０として銅製で板厚が０．２ｍｍの金属板（金属平板）を適用している。

内層板１２０は、外層板１１０と同様、金属製の平板状を成す薄板状部材である。内層板１２０は、柱状部材２０側の面（内面）が平坦に形成される一方、外層板１１０側の面（外面）には複数の凸部１２２が設けてある（図４も参照）。各凸部１２２は、平面視矩形の四角柱状であり、内層板１２０の一面の前後左右方向に渡って等間隔に形成されて網目状を成している。内層板１２０において、互いに隣接する所定の４個の凸部１２２で囲まれた部分には、当該内層板１２０を板厚方向に貫通する貫通孔である連通孔１２４が形成されている。等間隔で配置された４個の凸部１２２で囲まれることにより、連通孔１２４は平面視十字形状に形成される。本実施の形態では、内層板１２０として銅製で板厚が０．２ｍｍの金属板を適用し、その一面に、例えば高さ０．１ｍｍの凸部１２２を突出させている。凸部１２２は、円柱状等としてもよい。

これらの外層板１１０および内層板１２０は、内層板１２０の凸部１２２が形成された側の面（外面）を外層板１１０の平坦な面（内面）に対向させ、凸部１２２の頂部（頂面）を外層板１１０の平坦な面に着地させて接合させることにより、表面層部材１０を構成する。さらに、内層板１２０の凸部１２２側の裏側の平坦な面（内面）を互いに向き合わせ、かつ相互間に気相空間Ａを確保した状態で一対の表面層部材１０が対向配置され、ベーパチャンバ１の外形が構成される。一方、互いに積層された内層板１２０の凸部１２２側の面と外層板１１０の一面との間には、凸部１２２を柱とし、その高さ分の空間（液相空間Ｂ）が確保される。気相空間Ａと液相空間Ｂは、内層板１２０で互いに仕切られるとともに、連通孔１２４によって互いに連通している。表面層部材１０の外層板１１０、内層板１２０及び気相空間Ａは、図３に示すように、各層の外周縁部がそのまま接合されることでフレームＦとして封止されており、これにより気相空間Ａおよび液相空間Ｂが外部から封止され、その内部に水等の冷媒を封入することができる。

柱状部材２０は、図１〜図５に示すように、金属製の円柱状を成すもので、複数の連絡通路２１を有する。連絡通路２１は、それぞれ柱状部材２０の軸心に沿って延在し、柱状部材２０の両端面に開口する貫通孔であり、本実施の形態では、等間隔で格子状に４個設けてある。図６に拡大して示すように、個々の連絡通路２１は、５つの細径円孔（細径孔）２１ａを結合した異形の横断面形状に形成してある。この異形の横断面形状を有した連絡通路２１は、同じ横断面積の連絡通路を単純に円形で構成したものと比較した場合、空間の幅を小さく設定することができ、より大きな毛細管力を得ることが可能となる。なお、本実施の形態では、連絡通路２１として５つの細径円孔２１ａを結合した形状を例示したが、連絡通路は円形状以外のものであっても勿論よく、例えば、小さな三角形孔２１ａ′を３つ結合した形状の横断面形状を有する連絡通路２３等としてもよく（図９参照）、三角形孔以外の多角形孔を結合したものとしても勿論よい。

柱状部材２０の相互間には、連結部２２が設けてある。連結部２２は、隣接する柱状部材２０の周面間を連結するものであり、柱状部材２０の一方の端面（図１では上端面）と面一または略面一となる位置で一体に成形してある。連結部２２は、柱状部材２０に対して軸方向に沿った寸法が小さく形成してあり、気相空間Ａを分断することはない。また、連結部２２は、柱状部材２０から一方向に沿って延在し、隣接する連通孔１２４の間を通る位置に設けられており、連通孔１２４を塞ぐこともない。１つの柱状部材２０から左右に突出している連結部２２の一方を他方の端面（図１の下他面）と面一となる位置に設け、各柱状部材２０の各連結部２２の平面位置が互い違いになるように構成してもよい。本実施の形態では、外径が３ｍｍの柱状部材２０を適用し、前後左右方向に等間隔で配置してある。柱状部材２０の軸方向に沿った寸法は０．４ｍｍであり、連結部２２の同方向寸法は０．１ｍｍである。

図５に示すように、ベーパチャンバ１では、各柱状部材２０は、各連絡通路２１がそれぞれ表面層部材１０の連通孔１２４に一致する位置、具体的には両者の軸心同士が同軸上に配置されている。これにより、一対の表面層部材１０の液相空間Ｂ同士が、連通孔１２４および連絡通路２１を介して一直線上に連通され、各液相空間Ｂの液体を流通させることができる。連絡通路２１は、連通孔１２４に対して必ずしも同心で一致させる必要はなく、互いに多少ずれていても少なくとも一部同士が連通していれば１本の流路として構築できる。すなわち、一対の表面層部材１０の積層方向（上下方向）で、連絡通路２１と連通孔１２４との少なくとも一部が重なるように柱状部材２０が配置されればよい。本実施の形態では、連絡通路２１と連通孔１２４を同心で一致させるため、各連絡通路２１のピッチは、各連通孔１２４のピッチと同一ピッチに設定してある。

一対の表面層部材１０および柱状部材２０を適用してベーパチャンバ１を構成する場合には、予め外層板１１０と内層板１２０とによって表面層部材１０を成形した後、互いの間に柱状部材２０を配設してもよいし、外層板１１０、内層板１２０、柱状部材２０、内層板１２０、外層板１１０を順次積層し、この状態から例えば拡散接合を用いて互いの間を一時に接合させてもよい。この際、柱状部材２０に複数の連絡通路２１を設けているので、連絡通路２１と連通孔１２４（液相空間Ｂ）とを高い精度で位置決めしなくとも確実に両者を連通させることができ、製造作業の容易化を図ることが可能となる。尚、図示しない位置決め手段、例えば位置決めピン等を用いて連絡通路２１と連通孔１２４とを位置決めするようにしても勿論よい。

上記のように構成されたベーパチャンバ１では、表面層部材１０に温度差がない場合、表面層部材１０の凸部１２２を介して積層された外層板１１０と内層板１２０との間の液相空間Ｂに液相状態の冷媒が、各凸部１２２によって形成される毛細管力によって全面に広がった状態で存在し、さらに一対の液相空間Ｂ間を連通する柱状部材２０の連絡通路２１にも液相状態の冷媒が存在している。柱状部材２０によって表面層部材１０の間に確保された気相空間Ａには、気相状態の冷媒が全体に広がった状態で存在する。

この状態から、例えば、図７に示すように、下方の表面層部材１０の外表面に発熱体Ｈを接触させると、この近傍の液相空間Ｂに存在する冷媒が蒸発し、連通孔１２４を経て順次面方向に沿って気相空間Ａの内部に拡散する（図７中の矢印Ｘ）。このとき、本実施の形態に係るベーパチャンバ１によれば、気相空間Ａに設けた柱状部材２０の間を連結する連結部２２として、柱状部材２０に対して軸方向に沿った寸法を小さく形成したものを適用し、さらに連結部２２が連通孔１２４を塞がない位置に設けられているため、気相冷媒の拡散が妨げられたり、気相冷媒の拡散方向が一方向に偏いたりするような事態を招来することがない。したがって、被冷却体を任意の位置に取り付けても、熱輸送性能に差異が生じることなく、良好に熱を輸送することができる。

発熱体Ｈから離隔する位置に到達した気相冷媒は、温度の低い表面層部材１０に接触すると熱を奪われて凝縮し、液相となって表面層部材１０の液相空間Ｂに戻る（図７中の矢印Ｙ）。液相空間Ｂに戻った液相冷媒は、毛細管力によって全面に広がるため、再び発熱体Ｈの発熱範囲に還流し（図７中の矢印Ｚ）、そこで蒸発する。尚、発熱体Ｈに接触していない上方の表面層部材１０の液相空間Ｂに戻った液相冷媒は、毛細管力によって全面に広がる際に連絡通路２１の毛細管力により、下方に向けて浸透し、連絡通路２１を通じて発熱体Ｈに接触した下方の表面層部材１０の液相空間Ｂに還流する（図７中の矢印Ｖ）。この際、柱状部材２０の連絡通路２１としては、異形の横断面形状を有したものを適用しているため、より大きな毛細管力により、表面層部材１０の液相空間Ｂで液相冷媒を効率よく移動させることが可能となる。以降、上述の動作を繰り返すことにより、発熱体Ｈの熱が冷媒によって低温部に運ばれることになり、発熱体Ｈを効率よく冷却することができるようになる。

以上のように、本実施の形態に係るベーパチャンバ１によれば、互いの間に確保した気相空間Ａに冷媒を封入した状態で相互に対向配置された一対の表面層部材１０を備え、それぞれの表面層部材１０には、液相冷媒を面方向に沿って流通させる液相空間Ｂを形成するとともに、一対の表面層部材１０の間の気相空間Ａには、それぞれの表面層部材１０の液相空間Ｂを互いに連絡する連絡通路２１を設け、一方の表面層部材１０に設けた液相空間Ｂの気相冷媒を、気相空間Ａを経て拡散させるとともに、他方の表面層部材１０に設けた液相空間Ｂの液相冷媒を連絡通路２１から一方の表面層部材１０の液相空間Ｂに移動させるようにした構成において、一対の表面層部材１０の間に複数の柱状部材２０を介在させ、各柱状部材２０の内部に連絡通路２１を複数設けるとともに、各表面層部材１０には液相空間Ｂと気相空間Ａとの間を連通する連通孔１２４を形成し、各連絡通路２１は、それぞれ連通孔１２４に連通する位置に配置される。

このように、ベーパチャンバ１では、各表面層部材１０に液相空間Ｂと気相空間Ａとの間を連通する連通孔１２４を形成し、気相空間Ａがベーパチャンバ１全体に渡って貫通、解放されているため、気相冷媒の拡散、移動が妨げられることがなく、被冷却体の取り付け位置による性能差が生じることを防止できる。また、各柱状部材２０の各連絡通路２１を、それぞれ表面層部材１０の連通孔１２４に連通する位置に配置させているため、各液相空間Ｂ間での液相冷媒の移動を効率的にかつ円滑にすることができ、発熱体Ｈが接触する表面層部材１０において冷媒が枯渇する事態を未然に防ぐことができる。さらに、液相空間Ｂを有した一対の表面層部材１０の間に柱状部材２０を介在させることで、表面層部材１０の間に気相空間Ａを確実に確保することができるとともに、表面層部材１０の液相空間Ｂを連絡させる連絡通路２１を構成することができるようになり、気相冷媒と液相冷媒の流れを分離する冷媒のループ回路ができ熱輸送量の低減を防ぐことができる。しかも、柱状部材２０が気相空間Ａ全体に渡り配置されているため強度的に有利となり、曲げ加工等を行っても性能の低下を抑えることができるうえ、柱状部材２０に複数の連絡通路２１を設けているので、連絡通路２１と液相空間Ｂとを高い精度で位置決めしなくとも確実に両者を連通させることができ、製造作業の容易化を図ることが可能となる。

また、本実施の形態のベーパチャンバ１によれば、平板状を成す外層板１１０と、平板状を成し、一方の面に複数の凸部１２２が形成されるとともに、各凸部１２２に隣接して貫通孔である連通孔１２４が開口した内層板１２０とを備え、外層板１１０の一方の面に内層板１２０の一方の面を対向させてこれら外層板１１０と内層板１２０とを積層することにより、凸部１２２の頂部を外層板１１０の平坦な面に着地させてその周囲に液相空間Ｂを形成している。これにより、表面層部材１０を構成する一方の板である外層板１１０を両面平坦な平板状部材で形成しても、液相冷媒の高い輸送力等を備えた液相空間Ｂを構成できるため、簡素な構成で高い熱輸送力を確保することができ、コストも低減できる。

なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で自由に変更できることは勿論である。

例えば、外層板１１０の一方の面（内面）は必ずしも平坦に形成する必要はなく、図３中に破線で示すような断面Ｖ字状や断面Ｕ字状等の溝部１１２を外層板１１０の内面の前後左右方向に延在するように、具体的には柱状部材２０がない部分に形成し、この溝部１１２によって冷媒液の流れを調整・促進する構成とすることもできる。

また、上述した実施の形態では、凸部１２２を内層板１２０に設けた構成を例示したが、例えば、外層板１１０の内層板１２０に対向配置される一方の面（内面）に凸部１２２と同様な形状等からなる凸部（図示せず）を設け、内層板１２０には連通孔１２４と同様な形状の連通孔（図示せず）を外層板１１０の前記凸部に隣接する位置に貫通形成した構成とし、外層板１１０の前記凸部を内層板１２０の平坦な面に着地させてその周囲に液相空間Ｂを形成する構成としてもよい。換言すれば、平板状を成し、一方の面に複数の凸部（例えば、凸部１２２と同形状のもの）が形成された外層板１１０と、平板状を成し、外層板１１０の前記凸部に隣接した位置に貫通孔である連通孔１２４が開口した内層板１２０とを備え、外層板１１０の一方の面に内層板１２０の一方の面を対向させてこれら外層板１１０と内層板１２０とを積層することにより、前記凸部の頂部を内層板１２０の平坦な面に着地させてその周囲に液相空間Ｂを形成させた構成としてもよい。なお、この構成の場合、上記の溝部１１２は内層板１２０側に形成するとよい。

上述した実施の形態では、連絡通路２１として柱状部材２０の内部にのみ開口するものを例示したが、例えば、図８の（ａ）の第１変形例に示すように、柱状部材２０′の内部にのみ開口する連絡通路２１と、柱状部材２０′の外周面に開口する連絡通路２１′とを含むように構成しても構わない。この第１変形例を適用したベーパチャンバ１によれば、気相空間Ａの容積を減少させることなく、連絡通路２１，２１′の横断面積、つまり液相冷媒の通過領域を大きく確保することができるようになり、冷却効率の向上を図ることが可能となる。

上述した実施の形態では、柱状部材２０として横断面が円形状のものを例示したが、必ずしも円形である必要はなく、横断面が多角形状、例えば、図８の（ｂ）に示すように、六角形状の柱状部材２０″を適用してもよい。この場合においても、第１変形例と同様に、柱状部材２０″が内部にのみ開口する連絡通路２１と、外周面に開口する連絡通路２１″とを含むように構成すれば、冷却効率の向上を図ることが可能となる。

１ ベーパチャンバ
１０ 表面層部材
２０，２０′，２０″ 柱状部材
２１，２１′，２１″ 連絡通路
２２ 連結部
１１０ 外層板
１２０ 内層板
１２２ 凸部
１２４ 連通孔
Ａ 気相空間
Ｂ 液相空間

Claims (6)

1. 互いの間に確保した気相空間に冷媒を封入した状態で相互に対向配置された一対の表面層部材を備え、
   それぞれの表面層部材には、液相冷媒を面方向に沿って流通させる液相空間を形成するとともに、一対の表面層部材の間の気相空間には、それぞれの表面層部材の液相空間を互いに連絡する連絡通路を設け、
   一方の表面層部材に設けた液相空間の気相冷媒を、前記気相空間を経て拡散させるとともに、他方の表面層部材に設けた液相空間の液相冷媒を前記連絡通路から一方の表面層部材の液相空間に移動させるようにしたベーパチャンバにおいて、
   前記一対の表面層部材の間に複数の柱状部材を介在させ、各柱状部材の内部に前記連絡通路を複数設けるとともに、各表面層部材には前記液相空間と前記気相空間との間を連通する連通孔を形成し、
   各連絡通路は、前記連通孔に連通する位置に配置されることを特徴とするベーパチャンバ。
2. 請求項１記載のベーパチャンバにおいて、
   前記一対の表面層部材の積層方向で、各連絡通路が前記連通孔に重なる位置に配置されることを特徴とするベーパチャンバ。
3. 請求項１または２記載のベーパチャンバにおいて、
   それぞれの表面層部材は、
   平板状を成す外層板と、
   平板状を成し、貫通孔が開口形成された内層板と、
   を備え、
   前記外層板の一方の面又は前記内層板の一方の面には、複数の凸部が形成され、
   前記外層板の一方の面に前記内層板の一方の面を対向させてこれら外層板と内層板とを積層することにより、前記外層板及び前記内層板のいずれか一方に形成された凸部の頂部を、前記外層板及び前記内層板のいずれか他方に着地させてその周囲に前記液相空間を形成するとともに、前記貫通孔を前記連通孔として機能させることを特徴とするベーパチャンバ。
4. 請求項３記載のベーパチャンバにおいて、
   前記複数の凸部は、前記内層板に形成されるとともに、該内層板では、各凸部に隣接して前記貫通孔が開口形成されていることを特徴とするベーパチャンバ。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のベーパチャンバにおいて、
   隣接する柱状部材の周面間には互いの間を連結する連結部を設け、
   前記連結部は、前記柱状部材に対して軸方向に沿った寸法を小さく形成したものであることを特徴とするベーパチャンバ。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のバーパチャンバにおいて、
   前記柱状部材に形成する連絡通路は、複数の細径孔または多角形を結合した横断面形状を有することを特徴とするベーパチャンバ。

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