JP4721412B2 - 冷却器およびその製造方法 - Google Patents
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Description
第1に、矩形プレート形状を有する冷却器であってその表面または表裏の両面に発熱体を取り付け、吸熱・放熱作用で当該発熱体を冷却する冷却器において、冷却器を2段構えの積層構造で形成し、エッチング等で形成した微小な流路幅と狭いピッチの流路を必要な長さまで積層・接合して作ることができる。このため、さらに、板状の液冷式マイクロチャンネル型の冷却器で、冷却液のマイクロチャンネル(微小流路)の目的に応じて自由な流路設計を行うことができる。
第2に、マイクロチャンネルを形成するスリットの長さ寸法および幅寸法を制限なく作ることができ、製造コストを低減することができる。
第3に、蛇行流路構造を利用して微小渦流を作り熱交換能力を高めることができ、さらに乱流になることを防止して冷却液の圧力損失を低減しながら冷却能力を高めることができる。
第4に、蛇行流路構造を多段で形成するようにしたため、断面積の変化が少なくなり、圧力損失をさらに低減することができる。
12 表面
13A 発熱体
13B 発熱体
14 冷却液供給口
15 冷却液排出口
21 冷却液供給通路
22 冷却液排出通路
23 マイクロチャンネル領域
23a マイクロチャンネル
23a−1 スリット
23a−2 スリット
27 マイクロチャンネル層
31 表面層部
32 流路上側層部
33 スリット層部
34 スリット層部
35 流路下側層部
40 冷却器
50 冷却器
60 冷却器
Claims (13)
- 金属箔を重ねて形成されるプレート状積層体を厚み方向の部位ごとに複数形成し、さらにこれらの複数のプレート状積層体を重ねて積層構造体を形成し、
前記積層構造体は内部に冷却液が流通する平行な複数のマイクロチャンネルを有する冷却器において、
前記複数のマイクロチャンネルの各々は、
重ねられた少なくとも第1および第2の前記プレート状積層体によって形成され、前記第1のプレート状積層体のマイクロチャンネル用流路部分と前記第2のプレート状積層体のマイクロチャンネル用流路部分とは前記冷却液の流通方向にて連続通路を作るように位置をずらして形成されるとともに、
前記第1のプレート状積層体と前記第2プレート状積層体とで形成される層内で、前記積層構造体の厚み方向に2段階で蛇行する流路形状を有することを特徴とする冷却器。 - 前記第1のプレート状積層体は不連続な少なくとも2つのスリットを前記冷却液の流通方向に有し、
前記第2のプレート状積層体は、前記第1のプレート状積層体の不連続な少なくとも2つの前記スリットを連通させるための少なくとも1つのスリットを前記冷却液の流通方向に有し、
前記複数のマイクロチャンネルの各々について、前記第1のプレート状積層体の前記マイクロチャンネル用流路部分は前記第1のプレート状積層体の少なくとも2つの前記スリットで形成され、前記第2のプレート状積層体の前記マイクロチャンネル用流路部分は前記第2のプレート状積層体の少なくとも1つの前記スリットで形成される、
ことを特徴とする請求項1記載の冷却器。 - 前記複数のマイクロチャンネルの各々は重ねられた3つ以上の前記プレート状積層体で形成され、3以上の前記プレート状積層体の各々のマイクロチャネル用流路部分は前記冷却液の流通方向にて連続通路を作るように段階的に位置をずらして形成されることを特徴とする請求項1記載の冷却器。
- 3つ以上の前記プレート状積層体の各々に不連続な少なくとも2つのスリットを前記冷却液の流通方向に形成し、
3つ以上の前記プレート状積層体の各々は、不連続な少なくとも2つの前記スリットの形成位置を少しずつずらすことにより前記マイクロチャンネル用流路部分が形成され、
前記複数のマイクロチャンネルの各々は、3つ以上の前記プレート状積層体の各々の前記マイクロチャンネル用流路部分によってその厚み方向に段階状に蛇行して形成される、
ことを特徴とする請求項3記載の冷却器。 - 前記積層構造体は前記冷却液を供給する供給流路と前記冷却液を排出する排出流路とを備え、前記複数のマイクロチャンネルは前記供給流路と前記排出流路との間に設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の冷却器。
- 前記積層構造体は矩形プレート形状を有し、前記積層構造体の表裏の面の一方に発熱体が実装されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の冷却器。
- 前記積層構造体は矩形プレート形状を有し、前記積層構造体の表裏の面の両方に発熱体が実装されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の冷却器。
- 前記積層構造体の表裏の面のそれぞれに対応して個別に前記複数のマイクロチャンネルを含む流路層が設けられることを特徴とする請求項7記載の冷却器。
- 前記発熱体はパワー半導体素子であることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の冷却器。
- 金属箔を重ねて形成されるプレート状積層体を厚み方向の部位ごとに複数形成し、さらにこれらの複数のプレート状積層体を重ねて積層構造体を形成して成る冷却器の製造方法であって、
前記金属箔に前記部位に応じた孔を加工する第1工程と、
前記金属箔を重ねて前記部位に応じた前記孔によるスリットを有する前記複数のプレート状積層体を形成する第2工程と、
前記複数のプレート状積層体を重ねて前記積層構造体を形成すると共に、前記スリットを重ねることによりマイクロチャンネルを形成する第3工程と、
からなり、
前記複数のプレート状積層体の各々の前記スリットは、冷却液の流通方向に不連続な少なくとも2つのスリットとして形成され、かつ前記プレート状積層体ごとに前記スリットの形成位置が前記冷却液の前記流通方向にずらされ、前記マイクロチャンネルは前記積層構造体の厚み方向に段階状に蛇行して形成されることを特徴とする冷却器の製造方法。 - 前記金属箔の前記孔はエッチング加工または切削加工によって形成されることを特徴とする請求項10記載の冷却器の製造方法。
- 前記金属箔および前記プレート状積層体は拡散接合によって接合されることを特徴とする請求項10記載の冷却器の製造方法。
- 前記金属箔および前記プレート状積層体は銀ろう付けで接合されることを特徴とする請求項10記載の冷却器の製造方法。
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