JP2014126823A - 感光性樹脂捲回体の梱包物 - Google Patents

Abstract

【課題】感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体全体に対する異物付着を防止しながら、感光性樹脂捲回体をコアホルダーで支えたまま運搬することを可能にする、感光性樹脂捲回体の梱包物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂捲回体と、コアホルダーと、包装材とを有する梱包物であって、該感光性樹脂捲回体がコアと該コアに捲回された感光性樹脂積層体とを含み、該コアホルダーが該感光性樹脂捲回体を軸方向両端で支えるように該感光性樹脂捲回体に取り付けられており、該感光性樹脂捲回体及び該コアホルダーが該包装材内に収容されている、感光性樹脂捲回体の梱包物。
【選択図】図３

Description

本発明は、感光性樹脂捲回体の梱包物に関する。

ドライフィルムレジスト等の分野において、従来、感光性樹脂層、支持体及び任意に保護層を含む感光性樹脂積層体が用いられている。感光性樹脂積層体は通常コア上に巻き取られ、捲回体の形態で運搬される。その際、捲回体を袋詰めしたのちコアホルダーで狭持し、更にハードケースに入れて運搬する方法が一般に用いられてきた。

コアホルダーは、捲回体を軸方向両端で支持できる部材であり、捲回体をハードケース内にて宙吊り状態で保持したまま運搬できるようにするために用いられる。これにより運搬中の捲回体の損傷（例えば傷、打痕等）が防止される。

特許文献１には、感光性エレメントをロール状にした感光性エレメントロールを容器に入れ、密封してなる梱包物が記載されている。特許文献１には、長期保存後の感度、密着性、耐色抜け性、イメージング性及び膜厚精度が優れ、感光性エレメントの経時変化を防ぎ、エッジフュージョン及び巻きずれの発生を長期間防ぐことができ、保証期間が長く、長期間品質を保持できる梱包物及び梱包方法を提供することが記載されている。

特許文献２には、感光性エレメントを、出し入れ口にジッパ−を付与した包装袋で包装してなる感光性エレメント梱包物が記載されている。特許文献２には、感光性エレメント（支持体、感光性樹脂層、保護フィルムからなる三層構造の感光性エレメント）を保護し、且つ包装袋の再利用（リサイクル）が可能になり、ゴミを減らすことができる感光性エレメント梱包物を提供することが記載されている。

特開２００２−９９０７９号公報 特開２００３−３１２７３５号公報

しかしながら近年、回路パターンの微細化に応じて、ドライフィルムレジストに対する異物付着の低減が厳しく求められつつある。また、ドライフィルムレジストを用いた回路パターン形成時の生産性向上の観点からドライフィルムレジストの捲回長さが長尺化する場合もある。これにより、捲回体が大型化し、捲回体をコアホルダーで支えたままクリーンルームに運搬することが求められつつある。従って、感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体全体に対する異物付着を防止しながら、感光性樹脂捲回体をコアホルダーで支えたまま運搬できるような運搬手段の必要性が存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体全体に対する異物付着を防止しながら、感光性樹脂捲回体をコアホルダーで支えたまま運搬することを可能にする、感光性樹脂捲回体の梱包物を提供することを目的とする。

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討し、以下の特定の梱包物によって上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち本発明は以下の構成を有する。
［１］ 感光性樹脂捲回体と、コアホルダーと、包装材とを有する梱包物であって、
該感光性樹脂捲回体がコアと該コアに捲回された感光性樹脂積層体とを含み、
該コアホルダーが該感光性樹脂捲回体を軸方向両端で支えるように該感光性樹脂捲回体に取り付けられており、
該感光性樹脂捲回体及び該コアホルダーが該包装材内に収容されている、感光性樹脂捲回体の梱包物。
［２］ 前記包装材が、平膜、袋、又はチューブである、上記［１］に記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。
［３］ 前記袋又は前記チューブが、開口部から延びる舌片部を有する、上記［２］に記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。
［４］ 前記包装材の材質が、樹脂製フィルム又はアルミニウム蒸着フィルムである、上記［１］〜［３］のいずれかに記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。
［５］ 前記感光性樹脂捲回体、前記コアホルダー及び前記包装材を収容するハードケースを更に有する、上記［１］〜［４］のいずれかに記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。

本発明によれば、感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体全体に対する異物付着を防止しながら、感光性樹脂捲回体をコアホルダーで支えたまま運搬することを可能にする、感光性樹脂捲回体の梱包物を提供できる。

感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体の例を示す図である。 包装材の例としての、舌片部を有する袋を示す図である。 舌片部を有する袋である包装材を用いて構成体を梱包する方法について説明する図である。

以下、本発明の実施形態の例を説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載される発明の範囲内で種々の変形が可能であることが当業者に理解される。

本発明の一態様は、感光性樹脂捲回体（本開示で、単に捲回体ということもある）と、コアホルダーと、包装材とを有する梱包物であって、
該感光性樹脂捲回体がコアと該コアに捲回された感光性樹脂積層体とを含み、
該コアホルダーが該感光性樹脂捲回体を軸方向両端で支えるように該感光性樹脂捲回体に取り付けられており、
該感光性樹脂捲回体及び該コアホルダーが該包装材内に収容されている、感光性樹脂捲回体の梱包物を提供する。

本実施形態に係る運搬物は、ドライフィルムレジスト等の用途で用いる種々の感光性樹脂層を含む感光性樹脂捲回体の運搬に際して好適に適用できる。本実施形態に係る梱包物は、感光性樹脂捲回体が大型である場合に特に有利である。大型の感光性樹脂捲回体は、運搬容易性の観点から、コアホルダーで支持された状態での運搬が求められるからである。なお大型の感光性樹脂捲回体とは、より具体的には、例えば、製品巻き長が３００ｍを超えるような捲回体である。以下各構成要素の典型的な例を以下に説明する。

（１）感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体
図１は、感光性樹脂捲回体とコアホルダーとを含む構成体の例を示す図である。構成体１において、感光性樹脂積層体１２がコア１１に捲回されてなる感光性樹脂捲回体は、軸方向両端にてコアホルダー１３で挟持されている。構成体は、感光性樹脂捲回体及びコアホルダーのみを有していてもよいし、例えば、捲回体の端面を保護するサイドパッド、感光性樹脂積層体の乾燥状態を維持する乾燥剤、等のうち１つ以上を更に有してもよい。

＜感光性樹脂捲回体＞
感光性樹脂捲回体は、コアと、該コアに捲回された感光性樹脂積層体とを含み、典型的にはコアと感光性樹脂積層体とからなる。

［感光性樹脂積層体］
感光性樹脂積層体は、感光性樹脂層を含み、典型的には、支持体、感光性樹脂層及び保護層がこの順に積層されてなる積層体である。

感光性樹脂積層体は目的に応じて任意に選択される。市販品としては、例えば、商品名サンフォート（旭化成イーマテリアルズ(株)製）、商品名フォテック（日立化成工業(株)製）、商品名アルフォ、ラミナー、ダイナマスク、及びコンフォマスク（以上、ニチゴー・モートン(株)製）、並びに商品名リストン（デュポン社製）、商品名オーディル（東京応化工業（株）製）、等を例示できる。又は、例えば以下に例示する支持体、以下に例示する感光性樹脂層、及び以下に例示する保護層をこの順で従来公知の方法で積層して感光性樹脂積層体を形成できる。

（感光性樹脂層）
感光性樹脂層は、例えば、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの光重合性基（例えばエチレン性不飽和基）を有する光重合性モノマー、及び（Ｃ）光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物の層であることができる。

（Ａ）バインダーポリマー
（Ａ）バインダーポリマーとしては、アルカリ可溶性高分子を好ましく例示できる。具体的には、アルカリ可溶性に寄与する官能基（例えばカルボキシル基）を、所望のアルカリ物質に溶解するのに十分な量で有する高分子を例示できる。典型的には、アルカリ可溶性高分子に含まれるカルボキシル基の量は、酸当量で１００〜６００であり、好ましくは２５０〜４５０である。酸当量とは、その分子中に１当量のカルボキシル基を有する線状重合体の質量(単位：グラム）を言う。アルカリ可溶性高分子の重量平均分子量は、好ましくは５，０００〜５００，０００であり、３００，０００以下にすることがより好ましく、２００，０００以下にすることが更に好ましく、また５，０００以上が好ましく、１０，０００以上にすることがより好ましく、２０，０００以上にすることが更に好ましい。

（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、後述する第一の単量体の少なくとも１種及び後述する第二の単量体の少なくとも１種から得られる共重合体であることが好ましい。

第一の単量体は、分子中に重合性不飽和基を１個有するカルボン酸又は酸無水物である。第一の単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等が挙げられる。特に（メタ）アクリル酸が好ましい。本明細書では、（メタ）アクリルとは、アクリル及び／又はメタクリルを示す。以下同様である。

第二の単量体は、非酸性であり、かつ分子中に重合性不飽和基を少なくとも１個有する単量体である。第二の単量体としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ビニルアルコールのエステル類、例えば、酢酸ビニル、（メタ）アクリロニトリル、スチレン、及びスチレン誘導体が挙げられる。中でも、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、スチレン、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、及びベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。レジストパターンの解像性及び密着性を向上させる観点からは、スチレン及びベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。

第一の単量体及び第二の単量体の共重合割合は、アルカリ可溶性高分子のアルカリ溶解性の調整の観点から、第一の単量体が１０〜６０質量％であり、かつ第二の単量体が４０〜９０質量％であることが好ましく、より好ましくは第一の単量体が１５〜３５質量％であり、かつ第二の単量体が６５〜８５質量％である。

（Ｂ）光重合性モノマー
（Ｂ）光重合性モノマーとしては、分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物を例示できる。例えば、分子内にアクリロイル基を有する化合物が好ましい。分子内にアクリロイル基を有する化合物としては、例えば、ポリアルキレンオキシドの片方の末端に（メタ）アクリル酸を付加した化合物、又は、片方の末端に（メタ）アクリル酸を付加し、他方の末端をアルキルエーテル化又はアリルエーテル化した化合物、アルキレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物、又はエチレンオキシド鎖とプロピレンオキシド鎖とがランダム若しくはブロックで結合したアルキレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物、ビスフェノールＡをアルキレンオキシド変性し、両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物等が挙げられる。

（Ｃ）光重合開始剤
（Ｃ）光重合開始剤としては、活性光線（例えば紫外線等）により活性化されて重合反応を開始させる化合物として一般に知られている光重合開始剤を使用でき、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、Ｎ−アリール−α−アミノ酸化合物、キノン類、芳香族ケトン類、アセトフェノン類、アシルフォスフィンオキサイド類、ベンゾイン又はベンゾインエーテル類、ジアルキルケタール類、チオキサントン類、ジアルキルアミノ安息香酸エステル類、オキシムエステル類、アクリジン類、ピラゾリン誘導体、Ｎ−アリールアミノ酸のエステル化合物、及びハロゲン化合物等が挙げられる。好ましくは、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体とｐ−アミノフェニルケトンとの併用系を例示できる。

感光性樹脂組成物は、（Ａ）バインダーポリマーを、例えば１０〜９０質量％、好ましくは２０〜９０質量％、より好ましくは３０〜７０質量％、（Ｂ）光重合性モノマーを、例えば５〜７０質量％、好ましくは１０〜６０質量％、及び（Ｃ）光重合開始剤を、例えば０．０１〜２０質量％、好ましくは０．０５〜１０質量％含有できる。

なお感光性樹脂組成物は、上記の各成分に加え、着色物質、発色系染料、安定剤、可塑剤等の各種添加剤を含有してもよい。

感光性樹脂層の厚みは、用途において異なるが、好ましくは、３〜１００μｍ、より好ましくは、３〜５０μｍであり、薄いほど解像度は向上し、また、厚いほど膜強度が向上する。

（支持体）
支持体としては、露光光源から放射される活性光線を透過する透明なものが好ましく例示される。例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルム等が挙げられる。これらのフィルムとしては、必要に応じ延伸されたものも使用可能である。支持体（特にフィルム）のヘーズは５以下であることが好ましい。支持体（特にフィルム）の厚みは、薄い方が画像形成性及び経済性の面で有利であるが、強度を維持する必要等から、１０〜３０μｍが好ましい。

（保護層）
保護層の重要な特性は、感光性樹脂層との密着力について、支持体よりも保護層の方が充分小さく、保護層を感光性樹脂層から容易に剥離できることである。例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等が保護層として好ましく使用できる。また、例えば特開昭５９−２０２４５７号公報に示された剥離性の優れたフィルムを用いることができる。保護層の膜厚は１０〜１００μｍが好ましく、１０〜５０μｍがより好ましい。

［コア］
コアは、感光性樹脂捲回体において従来一般的に用いられている任意のコアであることができ、典型的には円筒コアである。コアの材質及び寸法は所望の目的に応じて適宜選択される。好適例としては、内径３インチのＡＢＳ樹脂製コアが挙げられる。

＜コアホルダー＞
コアホルダーは、感光性樹脂捲回体の運搬において従来一般的に用いられている任意のコアホルダーであることができる。コアホルダーの材質及び寸法は所望の目的に応じて適宜選択される。好適例としては、例えば、ポリプロピレン製のコアホルダーが挙げられる。

（２）包装材
包装材は、感光性樹脂捲回体及びコアホルダーを収容している。本開示で、包装材が感光性樹脂捲回体及びコアホルダーを収容しているとは、感光性樹脂捲回体及びコアホルダーが目視で視認されない程度に包装材によって覆われ、防塵機能がある程度発揮されている状態を意味する。包装材は、例えばジッパー開閉式容器、或いは密封後にヒートシールした容器等、内容物を密封しうるものでもよいし、平膜、袋、又はチューブ状の樹脂フィルムで構成体を被覆しうるものでもよい。包装材は、内容物を密封するための脱気口を有してもよい。感光性樹脂捲回体及びコアホルダーを含む構成体全体を容易かつ良好に包装する観点から、包装材は可撓性であり、特に、平膜、袋、又はチューブであることが好ましい。ここで袋は典型的には開口部を１つ有し、そしてチューブは開口部を２つ以上（典型的には２つ）有する。

好ましい態様において、包装材は、袋又はチューブであって開口部から延びる舌片部を有する。舌片部とは、包装材の構成材料が、開口部から袋形状又はチューブ形状の外側に向かってフラップ状に延びている部分である。図２は、包装材の例としての、舌片部を有する袋を示す図である。包装材２は、袋状部２１と、該袋状部の開口部Ｏから延びる舌片部２２とを有する。舌片部を有する包装材は、例えば、短辺長さが等しく長辺長さが相異なる２枚の長方形シートを用い、対向する２つの長辺のみで２枚をヒートシールして、舌片部を１つ又は２つ有するチューブを形成する方法、又は、１枚の長方形シートを、短辺に平行な折り返し線にて２つの短辺が重ならないように折り返した後、長辺のうち２枚のシートが重なっている部分をヒートシールして、舌片部を１つ有する袋を形成する方法、等により作製できる。舌片部を有する包装材は、内部に捲回体を収容しやすい点で有利である。

包装材の材質としては例えば樹脂、金属、紙等が好ましく例示される。樹脂の好ましい例は、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ナイロン、ポリカーボネート、ポリエチレンセルローストリアセテート、塩化ビニルと塩化ビニリデンの共重合体等から選択される１種又は２種以上のプラスチックである。金属の好ましい例は、鉄、ステンレス、及びアルミニウム等の非鉄金属、等である。

包装材は、樹脂製フィルム又はアルミニウム蒸着フィルムであることが好ましく、また、よりクリーン度の高いクリーンルームに搬入可能な感光性樹脂捲回体の梱包物を実現する観点から、包装材は、好ましくは、エアブロー等、前処理を施した樹脂製フィルム又はアルミニウム蒸着フィルムである。アルミニウム蒸着フィルムは、例えば、ポリエステルフィルム等にアルミニウムを蒸着して得られるフィルムであることができる。同様の観点で、コア、コアホルダー、サイドパッド、黒チューブ等、包装材に収容され得る部材については同様の前処理を施すことが好ましい。

無機粉末等の吸水能又は吸湿能を有する物質を包装材の表面及び／又は内部に含有させてもよい。無機粉末としては、例えば、活性アルミナ、シリカゲル、水酸化カリウム、塩化カルシウム、酸化カルシウム、臭化カルシウム、硫酸カルシウム、アスベスト、亜鉛、塩化亜鉛、臭化亜鉛、酸化マグネシウム、塩素酸マグネシウム、硫酸銅、酸化バリウム、ゼオライト、モンモリロナイト、活性炭、粘度、グラスウール、ケイソウ土、モレキュラーシーブ等が挙げられ、中でもゼオライト、シリカゲル、モンモリロナイト等が好ましい。これらの無機粉末は単独で又は２種類以上を組み合わせて使用できる。

包装材は遮光性を有していても、有していなくとも良い。遮光性を有しない包装材を用いる場合、例えば市販で入手可能な、黒色ポリエチレン袋（黒チューブ）、アルミ蒸着フィルム等を併用することが好ましい。

包装材は、作業性の観点から、表面平滑性が高いことが好ましい。

感光性樹脂捲回体及びコアホルダーを含む構成体を包装材で梱包する方法は特に限定されない。例えば包装材が図２に示すような舌片部を有する袋である場合は以下の方法で梱包を行うことができる。図３は、舌片部を有する袋である包装材を用いて構成体を梱包する方法について説明する図である。台の上に載置した構成体に、舌片部を下に向けた包装材の袋状部２１を上方から被せる。次いで構成体を持ち上げて舌片部２２を構成体の下側に沿ってくぐらせてから引出し、構成体に該構成体上部まで巻き付ける。このようにして梱包物を形成できる。また、包装材がチューブである場合には、チューブ内に構成体を収容した後にチューブ端部を縛る等の方法で梱包物を形成できる。一方、包装材が平膜である場合には、平膜をふろしきの様に用いて端部を縛る等の方法で梱包物を形成できる。

（３）ハードケース
好ましい態様において、梱包物は、前述の感光性樹脂捲回体、前述のコアホルダー及び前述の包装容器を収容するハードケースを更に有する。すなわちこの態様においては、構成体は包装材内に収容され、更に包装材ごとハードケース内に収容されている。ハードケースは捲回体を損傷なく運搬するのに好適である。ハードケースは感光性樹脂捲回体の運搬において従来公知の任意のハードケースであることができ、またその材質、形状及び寸法は目的に応じて適宜選択できる。好適例としては、例えばプラスチック製段ボールケースや紙製段ボールケースが挙げられる。

本実施形態に係る梱包物においては、構成体全体が包装材内に収容されているため、感光性樹脂捲回体のみならずコアホルダーに対しても異物の付着を防止できる。よってこのような梱包物によれば、構成体全体の異物付着防止という効果が得られる。典型的には、感光性樹脂捲回体及びコアホルダーは、目視で検出される異物が、捲回体の両側端面について観察されないことが好ましい。

以下、実施例及び比較例によって本発明を更に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。評価方法は以下の通りである。

（１）異物検査
目視で、捲回体の両側端面を観察する。

［実施例１］
感光性樹脂積層体（旭化成イーマテリアルズ（株）製、商品名サンフォートＡＫ−４０２１を、外径８８ｍｍの、エアブローしたＡＢＳ製中空コアに巻き、感光性樹脂捲回体を作製した。この捲回体を、エアブローしたコアホルダーで軸方向両端から挟み込み、捲回体とコアホルダーとからなる構成体を作製した。
包装材として、図２に示す形状の舌片部付袋（高密度ポリエチレン袋）を用い、梱包物を作製した。クリーンルーム搬入して開梱後に、捲回体両側端面に観察された異物は０個であった。

［比較例１］
包装材を用いなかった以外は、実施例１と同様にして梱包物を作製した。クリーンルーム搬入して開梱後に、捲回体両側端面に観察された異物は合計で４０個であった。

実施例１及び比較例１から分かるように、本発明に係る梱包物によれば、感光性樹脂捲回体及びコアホルダーに対する異物付着を防止することができた。

本発明に係る梱包物は、ドライフィルムレジスト等の用途における感光性樹脂捲回体の運搬に好適である。

１ 構成体
１１ コア
１２ 感光性樹脂積層体
１３ コアホルダー
２ 包装材
２１ 袋状部
２２ 舌片部

Claims (5)

1. 感光性樹脂捲回体と、コアホルダーと、包装材とを有する梱包物であって、
   該感光性樹脂捲回体がコアと該コアに捲回された感光性樹脂積層体とを含み、
   該コアホルダーが該感光性樹脂捲回体を軸方向両端で支えるように該感光性樹脂捲回体に取り付けられており、
   該感光性樹脂捲回体及び該コアホルダーが該包装材内に収容されている、感光性樹脂捲回体の梱包物。
2. 前記包装材が、平膜、袋、又はチューブである、請求項１に記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。
3. 前記袋又は前記チューブが、開口部から延びる舌片部を有する、請求項２に記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。
4. 前記包装材の材質が、樹脂製フィルム又はアルミニウム蒸着フィルムである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。
5. 前記感光性樹脂捲回体、前記コアホルダー及び前記包装材を収容するハードケースを更に有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂捲回体の梱包物。

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