JP2014122153A - 多結晶シリコンの包装 - Google Patents

多結晶シリコンの包装 Download PDF

Info

Publication number
JP2014122153A
JP2014122153A JP2013225121A JP2013225121A JP2014122153A JP 2014122153 A JP2014122153 A JP 2014122153A JP 2013225121 A JP2013225121 A JP 2013225121A JP 2013225121 A JP2013225121 A JP 2013225121A JP 2014122153 A JP2014122153 A JP 2014122153A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bag
plastic
plastic bag
mass
double
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013225121A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5726984B2 (ja
Inventor
Matthias Vietz
マティアス、フィーツ
Bruno Lichtenegger
ブルーノ、リヒテネッガー
Pech Reiner
ライナー、ペヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wacker Chemie AG
Original Assignee
Wacker Chemie AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wacker Chemie AG filed Critical Wacker Chemie AG
Publication of JP2014122153A publication Critical patent/JP2014122153A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5726984B2 publication Critical patent/JP5726984B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D29/00Sacks or like containers made of fabrics; Flexible containers of open-work, e.g. net-like construction
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B1/00Packaging fluent solid material, e.g. powders, granular or loose fibrous material, loose masses of small articles, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B1/00Packaging fluent solid material, e.g. powders, granular or loose fibrous material, loose masses of small articles, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
    • B65B1/28Controlling escape of air or dust from containers or receptacles during filling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B25/00Packaging other articles presenting special problems
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B29/00Packaging of materials presenting special problems
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B31/00Packaging articles or materials under special atmospheric or gaseous conditions; Adding propellants to aerosol containers
    • B65B31/04Evacuating, pressurising or gasifying filled containers or wrappers by means of nozzles through which air or other gas, e.g. an inert gas, is withdrawn or supplied
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B5/00Packaging individual articles in containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, jars
    • B65B5/06Packaging groups of articles, the groups being treated as single articles
    • B65B5/067Packaging groups of articles, the groups being treated as single articles in bags
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B51/00Devices for, or methods of, sealing or securing package folds or closures; Devices for gathering or twisting wrappers, or necks of bags
    • B65B51/10Applying or generating heat or pressure or combinations thereof
    • B65B51/14Applying or generating heat or pressure or combinations thereof by reciprocating or oscillating members
    • B65B51/146Closing bags

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Packages (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Vacuum Packaging (AREA)

Abstract

【課題】鋭い角を持つ塊状のポリシリコンをプラスチックバッグで包装した場合に、プラスチックバッグの貫通及びそれに伴う汚染が生じることのない、包装方法の提供。
【解決手段】ポリシリコン塊を第一プラスチックバッグに導入し、前記塊を導入した後、前記第一プラスチックバッグを第二プラスチックバッグに導入するか、又は前記第一プラスチックバッグへの前記塊の導入より前に前記第一プラスチックバッグを前記第二プラスチックバッグの中にすでに挿入し、その結果、前記塊を密封される二重バッグの中に存在させ、前記塊を導入した後、前記二重バッグ中の、前記2つのプラスチックバッグ中に存在する空気を、前記二重バッグの密封前に、前記二重バッグの総体積が前記塊の体積に対して2.4〜3.0の割合になるように除去する。
【選択図】なし

Description

本発明は、多結晶シリコンの包装方法に関する。
多結晶シリコン(ポリシリコン)は、主としてハロシラン、例えばトリクロロシラン、からシーメンス法により堆積させ、次いで汚染を最小に抑えながら多結晶シリコン塊(チャンク)に粉砕する。
半導体及びソーラー工業における用途には、汚染が最小レベルである塊状ポリシリコンが望ましい。従って、材料は、顧客に搬送する前に、やはり低汚染レベルで包装する必要がある。
典型的には、塊状ポリシリコンはプラスチックバッグに包装する。
塊状ポリシリコンは、鋭い角を持つ、自由に流れないバルク材料である。従って、包装の際には、詰める時に材料が通常のプラスチックバッグを貫通しないようにする必要があり、さもなくば、最悪の場合には、バッグが完全に破れてしまう。これを避けるために、先行技術は、様々な対策を提案している。例えば、米国特許出願公開第2010/154357A1号は、プラスチックバッグ中にエネルギー吸収手段を意図している。
しかし、そのようなバッグの貫通は、包装中のみならず、顧客への搬送の際にも起こり得る。塊状ポリシリコンは、鋭い角を持ち、従って、バッグ中の塊の向きが好ましくない場合、塊とバッグフィルムの相対的な運動により、塊がフィルムを切断するか、又はバッグフィルムに対する塊の圧力により、塊がフィルムを貫通する。
バッグ包装から突き出た塊状ポリシリコンは、周囲の物質により直接、及び周囲空気が流れ込むために内側にある塊が、許容できない程度に汚染されることがある。
その上、包装した塊を輸送する時、好ましくない後粉砕が起こる。
後粉砕は、特に形成される微粉画分が顧客にとって劣った操作性能につながることが分かっているので、好ましくない。そのため、微粉画分は、顧客が、さらに処理する前に、再び篩にかけて除去しなければならず、これは不利である。
この問題は、粉砕し、分類した、及び清浄にした、及び清浄にしていないシリコンに、包装のサイズ(典型的には、5又は10kgのポリシリコンを含むバッグ)に関係なく、等しく適用される。
米国特許出願公開第2010/154357A1号は、密封する際に、10〜700mbarの真空が生じるまで、空気を吸引することを提案している。
米国特許出願公開第2012/198793A1号は、低空気含有量を含む平らなバッグが得られるまで、溶接前に、空気をバッグから外に吸引することを開示している。
これらの対策は、貫通を防止するのには不適当である。
このことが、本発明の目的を生じたのである。
本発明の目的は、塊の形態にあるポリシリコンを包装するための方法であって、前記塊を第一プラスチックバッグに導入し、前記塊を導入した後、前記第一プラスチックバッグを第二プラスチックバッグに導入するか、又は前記第一プラスチックバッグへの前記塊の導入より前に前記第一プラスチックバッグを前記第二プラスチックバッグの中にすでに挿入し、その結果、前記塊を密封される二重バッグの中に存在させ、前記塊を導入した後、前記二重バッグ中の、前記2つのプラスチックバッグ中に存在する空気を、前記二重バッグの密封前に、前記二重バッグの総体積が前記塊の体積に対して2.4〜3.0の割合になるように除去する、方法により達成される。
好ましくは、二重バッグにおける2つのプラスチックバッグのそれぞれを、空気を除去した後、溶接により個別に密封する。
二重バッグ中の2つのプラスチックバッグを溶接により、共通の溶接継目により密封するのも等しく好ましい。
好ましくは、塊を第一プラスチックバッグの中に導入し、続いて第一プラスチックバッグから空気を除去し、第一プラスチックバッグを密封し、第二プラスチックバッグの中に導入し、二重バッグを形成し、次いで第二プラスチックバッグから空気を除去し、そのバッグを密封する。
この目的は、第一及び第二プラスチックバッグ及び第一プラスチックバッグ中に存在する塊の形態にあるポリシリコンを備えてなる二重バッグであって、第一プラスチックバッグが第二プラスチックバッグの中に挿入されており、両方のプラスチックバッグが密封されており、二重バッグの総体積が、塊の体積に対して2.4〜3.0の割合である、二重バッグによっても達成される。
好ましくは、第一バッグの総体積は、塊の体積に対して2.0〜2.7の割合である。
好ましくは、第一バッグの寸法は、プラスチックフィルムがシリコン塊に密接に適合するような寸法である。その結果、塊同士の間で相対的な運動を回避することができる。
プラスチックバッグは、好ましくは高純度プラスチックからなる。プラスチックは、好ましくはポリエチレン(PE)、ポリエチレンテレフタレート(PET)又はポリプロピレン(PP)もしくは複合材料フィルムである。複合材料フィルムは、たわみ性包装物が作られる多層包装フィルムである。個々のフィルム層は、典型的には押出し又はラミネート加工されている。
プラスチックバッグは、好ましくは厚さが10〜1000μmである。
プラスチックバッグは、例えば溶接、接着、裁縫又はポジティブロッキングにより密封される。プラスチックバッグの密封は好ましくは溶接により行う。
包装したバッグの体積を測定するには、バッグを水盤の中に浸漬する。
排除された水は、バッグの総体積(Vtot)に相当する。
シリコンの重量を、超純粋シリコンの一定密度(2.336g/cm)と共に使用し、シリコンの体積(Vsi)を決定する。
あるいは、シリコンの体積は、浸漬方法によっても同様に測定できる。
表1は、空気の吸引を行わない包装、米国特許出願公開第2010/154357A1号による先行技術の包装及び簡単な方法で包装した2種類のバッグに関する、比Vtot/Vsi及び貫通及び微粉生成に関する定性結果を示す。
包装フィルムの貫通及び好ましくない微粉の形成は、標準的な輸送シミュレーション(トラック/列車/船)後に測定した。
バッグ1は、サイズ4〜15mmの塊で満たした。
バッグ2は、サイズ45〜120mmの塊で満たした。
サイズ区分は、シリコン塊の表面上の2点間の最長距離として定義する(最大長さ)。
Figure 2014122153
バッグ1及び2は、さらなる試験(二重バッグ)で第二バッグに溶接した。
表2は、空気吸引を行わない二重バッグ包装に関する、及び2種類の本発明の例に関する、比Vtot/Vsi及び貫通及び微粉の生成に対する定性結果を示す。
Figure 2014122153
主要バッグに関して、目的は、2.0〜2.7、好ましくは2.0〜2.4の比Vtot/Vsiを得ることである。
従って、驚くべきことに、微粉及び貫通の無い包装を製造することができる。
内側及び外側バッグ中に包装したシリコンに関して、2.40〜3.0のVtot/Vsiが不可欠である。
空気は、シリコンを詰めたプラスチックバッグから、様々な方法により除去できる。
−手作業で圧迫し、続いて溶接
−クランプ又はラム装置、続いて溶接
−吸引装置、続いて溶接
−真空チャンバ、続いて溶接
包装の際における周囲条件は、好ましくは温度18〜25℃である。相対空気湿度は、好ましくは30〜70%である。
その結果、凝縮水の形成を回避できることが分かった。
好ましくは、さらに空気を濾過した環境中で包装を行う。

Claims (11)

  1. 塊の形態にあるポリシリコンを包装するための方法であって、
    前記塊を第一プラスチックバッグに導入し、前記塊を導入した後、前記第一プラスチックバッグを第二プラスチックバッグに導入するか、又は前記第一プラスチックバッグへの前記塊の導入より前に前記第一プラスチックバッグを前記第二プラスチックバッグの中にすでに挿入し、その結果、前記塊を密封される二重バッグの中に存在させ、前記塊を導入した後、前記二重バッグ中の、前記2つのプラスチックバッグ中に存在する空気を、前記二重バッグの密封前に、前記二重バッグの総体積が前記塊の体積に対して2.4〜3.0の割合になるように除去する、方法。
  2. 前記第一プラスチックバッグの前記総体積が前記塊の前記体積に対して2.0〜2.7の割合である、請求項1に記載の方法。
  3. 前記第一プラスチックバッグの寸法が、前記第一プラスチックバッグを形成するプラスチックフィルムが前記塊に密接に適合するような寸法である、請求項1又は2に記載の方法。
  4. クランプ又はラム装置により、吸引装置により、又は真空チャンバにより、前記プラスチックバッグを圧縮することによって、空気を前記プラスチックバッグから除去する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記包装操作の際における相対空気湿度が30〜70%である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記二重バッグにおける前記2つのプラスチックバッグのそれぞれを、空気を除去した後、溶接により個別に密封する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 前記二重バッグ中の前記2つのプラスチックバッグを、溶接により、共通の溶接継目により密封する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記塊を前記第一プラスチックバッグの中に導入し、続いて前記第一プラスチックバッグから空気を除去し、前記第一プラスチックバッグを密封し、前記第二プラスチックバッグの中に導入し、前記二重バッグを形成し、次いで前記第二プラスチックバッグから空気を除去し、前記第二プラスチックバッグを密封する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
  9. 第一及び第二プラスチックバッグ及び前記第一プラスチックバッグ中に存在する塊の形態にあるポリシリコンを備える二重バッグであって、前記第一プラスチックバッグが前記第二プラスチックバッグの中に挿入されており、両方のプラスチックバッグが密封されており、前記二重バッグの総体積が、前記塊の体積に対して2.4〜3.0の割合である、二重バッグ。
  10. 前記第一バッグの総体積が、前記塊の体積に対して2.0〜2.7の割合である、請求項9に記載の二重バッグ。
  11. 前記第一及び前記第二プラスチックバッグが溶接により密封され、かつ共通の溶接継目を有する、請求項9又は10記載の二重バッグ。
JP2013225121A 2012-12-14 2013-10-30 多結晶シリコンの包装 Active JP5726984B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012223192.7 2012-12-14
DE102012223192.7A DE102012223192A1 (de) 2012-12-14 2012-12-14 Verpackung von polykristallinem Silicium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014122153A true JP2014122153A (ja) 2014-07-03
JP5726984B2 JP5726984B2 (ja) 2015-06-03

Family

ID=49724995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013225121A Active JP5726984B2 (ja) 2012-12-14 2013-10-30 多結晶シリコンの包装

Country Status (10)

Country Link
US (1) US9550607B2 (ja)
EP (1) EP2743190B1 (ja)
JP (1) JP5726984B2 (ja)
KR (1) KR101575933B1 (ja)
CN (1) CN103863586B (ja)
CA (1) CA2836208C (ja)
DE (1) DE102012223192A1 (ja)
ES (1) ES2562018T3 (ja)
MY (1) MY171014A (ja)
TW (1) TWI548567B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019203316A1 (ja) * 2018-04-18 2019-10-24 三菱マテリアル株式会社 多結晶シリコンの包装方法、多結晶シリコンの二重包装方法及び単結晶シリコン用原料製造方法
US11230796B2 (en) 2015-09-15 2022-01-25 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Resin material, vinyl bag, polycrystalline silicon rod, polycrystalline silicon mass

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012220422A1 (de) * 2012-11-09 2014-05-15 Wacker Chemie Ag Verpackung von polykristallinem Silicium
WO2016047574A1 (ja) * 2014-09-26 2016-03-31 株式会社トクヤマ ポリシリコンパッケージ
DE102015207466A1 (de) * 2015-04-23 2016-10-27 Wacker Chemie Ag Verpackung von Polysilicium
CN109094861A (zh) * 2017-06-21 2018-12-28 新特能源股份有限公司 一种块状多晶硅的包装方法
CN110015453B (zh) * 2018-01-08 2021-08-20 新特能源股份有限公司 成品多晶硅棒的包装方法
KR102138122B1 (ko) 2019-01-09 2020-07-27 에스케이실트론 주식회사 웨이퍼 카세트의 포장 장치
CN113348149A (zh) * 2019-01-25 2021-09-03 株式会社德山 多晶硅块状物、其包装体及其制造方法
WO2021251095A1 (ja) 2020-06-09 2021-12-16 株式会社トクヤマ ポリシリコン破砕物およびその製造方法
EP4149858B1 (de) 2021-03-24 2023-09-06 Wacker Chemie AG Transportbehälter für siliciumbruchstücke
CN113291530B (zh) * 2021-06-25 2023-06-09 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种用于硅片的真空包装设备及方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010528955A (ja) * 2007-06-13 2010-08-26 ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト 多結晶シリコン破砕物を包装する方法及び装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8500076A (nl) * 1985-01-14 1986-08-01 Leer Koninklijke Emballage Verpakking gevuld met een in water oplosbaar giftig poeder- of korrelproduct.
US4964259A (en) * 1989-08-02 1990-10-23 Borden, Inc. Form-fill-seal deflation method and apparatus
JP3555309B2 (ja) * 1996-02-27 2004-08-18 信越半導体株式会社 粒状物の自動計量供給装置
DE10204176A1 (de) * 2002-02-01 2003-08-14 Wacker Chemie Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur kontaminationsarmen automatischen Verpackung von Polysiliciumbruch
DE102005024584A1 (de) * 2005-05-25 2006-11-30 Lang, Robert Evakuierbares Behältnis und Verfahren zu seiner Evakuierung
JP5239624B2 (ja) * 2007-08-27 2013-07-17 三菱マテリアル株式会社 シリコンの梱包方法及び梱包体
GB2475720A (en) * 2009-11-27 2011-06-01 Ashwell Packaging Supplies Ltd Inner pack suspended within pressurized outer pack
DE102011003875A1 (de) * 2011-02-09 2012-08-09 Wacker Chemie Ag Verfahren und Vorrichtung zum Dosieren und Verpacken von Polysiliciumbruchstücken sowie Dosier- und Verpackungseinheit

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010528955A (ja) * 2007-06-13 2010-08-26 ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト 多結晶シリコン破砕物を包装する方法及び装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11230796B2 (en) 2015-09-15 2022-01-25 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Resin material, vinyl bag, polycrystalline silicon rod, polycrystalline silicon mass
WO2019203316A1 (ja) * 2018-04-18 2019-10-24 三菱マテリアル株式会社 多結晶シリコンの包装方法、多結晶シリコンの二重包装方法及び単結晶シリコン用原料製造方法
CN111989267A (zh) * 2018-04-18 2020-11-24 三菱综合材料株式会社 多晶硅的包装方法、多晶硅的双重包装方法及单晶硅用原料制造方法
KR20200144105A (ko) * 2018-04-18 2020-12-28 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 다결정 실리콘의 포장 방법, 다결정 실리콘의 이중 포장 방법 및 단결정 실리콘용 원료 제조 방법
JPWO2019203316A1 (ja) * 2018-04-18 2021-02-18 三菱マテリアル株式会社 多結晶シリコンの包装方法、多結晶シリコンの二重包装方法及び単結晶シリコン用原料製造方法
CN111989267B (zh) * 2018-04-18 2022-06-03 三菱综合材料株式会社 多晶硅的包装方法、多晶硅的双重包装方法及单晶硅用原料制造方法
JP7131608B2 (ja) 2018-04-18 2022-09-06 三菱マテリアル株式会社 多結晶シリコンの包装方法、多結晶シリコンの二重包装方法及び単結晶シリコン用原料製造方法
KR102656754B1 (ko) * 2018-04-18 2024-04-11 고쥰도 실리콘 가부시키가이샤 다결정 실리콘의 포장 방법, 다결정 실리콘의 이중 포장 방법 및 단결정 실리콘용 원료 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20140165503A1 (en) 2014-06-19
KR20140077822A (ko) 2014-06-24
CA2836208C (en) 2015-06-23
KR101575933B1 (ko) 2015-12-08
CN103863586A (zh) 2014-06-18
EP2743190B1 (de) 2015-12-02
TWI548567B (zh) 2016-09-11
CA2836208A1 (en) 2014-06-14
US9550607B2 (en) 2017-01-24
ES2562018T3 (es) 2016-03-02
JP5726984B2 (ja) 2015-06-03
MY171014A (en) 2019-09-23
TW201422490A (zh) 2014-06-16
EP2743190A1 (de) 2014-06-18
CN103863586B (zh) 2016-03-23
DE102012223192A1 (de) 2014-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5726984B2 (ja) 多結晶シリコンの包装
JP6321161B2 (ja) 多結晶シリコンの包装
TWI656068B (zh) 多晶矽包裝袋
CN109094861A (zh) 一种块状多晶硅的包装方法
EP3782917B1 (en) Packaging method for polycrystalline silicon, double-packaging method for polycrystalline silicon, and production method for raw material for monocrystalline silicon
CN103723313A (zh) 多晶硅快速分类包装工艺
KR101875300B1 (ko) 다결정 실리콘의 제조 방법
TWI498257B (zh) 防塵薄膜組件之氣密袋的密閉式封閉方法
JP5428184B2 (ja) 包装材及びそれを用いた包装袋
JP6203959B2 (ja) 多結晶シリコンを作製するための方法
WO2022190945A1 (ja) ポリシリコン破砕物充填用包装袋及びポリシリコン包装体
JPWO2022190945A5 (ja)
JP2000236049A (ja) 半導体封止用成形材料包装体、その製造方法及び半導体装置
JP2018177286A (ja) 無塵包装袋
JPS627045B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20141024

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141121

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150303

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150401

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5726984

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250