JP2014116577A - 太陽電池の製造方法、及び太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザエッチングやエッチング薬液などを用いることなく透明導電膜のパターニングを行うことによって、a‐Si層の劣化を抑制し、発電効率の低下を抑制する製造方法を提供する。
【解決手段】第2の領域20Bに対応する部分は、酸素イオンが注入されることにより過酸化状態となり、導電性を有さない絶縁部12Bとなる。a‐Si層は、透明導電膜12のうち導電部12Aとして機能しない部分も絶縁部12Bで覆われた状態となる。
【選択図】図6
【解決手段】第2の領域20Bに対応する部分は、酸素イオンが注入されることにより過酸化状態となり、導電性を有さない絶縁部12Bとなる。a‐Si層は、透明導電膜12のうち導電部12Aとして機能しない部分も絶縁部12Bで覆われた状態となる。
【選択図】図6
Description
本発明は、太陽電池の製造方法、及び太陽電池に関する。
太陽電池として、基板上に所定パターンの透明導電膜を形成するものが知られている。例えば、特許文献1に示す太陽電池の製造方法では、ガラス基板上に透明電極を成膜し、当該透明電極はレーザエッチングにより短冊状に分離される。そして、透明電極が成膜されたガラス基板上にアモルファスシリコン膜が成膜される。
しかしながら、特許文献1の製造方法によって製造された太陽電池では、レーザエッチングにより透明電極のパターンを形成しているが、エッチングにより透明電極が除去された部分では、アモルファスシリコン膜がガラス基板に直接触れる構造となってしまう。アモルファスシリコン膜は水分に弱いため、ガラス基板との隙間から水分や水蒸気が浸入するとアモルファスシリコン膜が劣化し、発電効率が低下するという問題が生じる。
そこで、本発明は、発電効率の低下を抑制できる太陽電池、及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る太陽電池の製造方法は、a‐Si層を含む基板と、基板のa‐Si層上に形成された透明導電膜とを備える太陽電池の製造方法であって、透明導電膜がa‐Si層側の表面に形成された基板を準備する工程と、透明導電膜を覆う第1の領域、及び透明導電膜を露出させる第2の領域が形成されたパターンを有するパターンニング部材を透明導電膜上に設ける工程と、第2の領域に対応する部分における透明導電膜に酸素、酸素イオン、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、及び窒素酸化物イオンのうち少なくともいずれか一つを注入することで絶縁部を形成し、第1の領域で覆われる部分における透明導電膜を導電部としてパターンニングする工程と、パターンニング部材を透明導電膜上から除去する工程と、を備える。
本発明に係る太陽電池の製造方法によれば、パターンニング部材の第2の領域に対応する部分では、透明導電膜が露出した状態となる。従って、当該部分は、酸素又は酸素イオンが注入されることにより過酸化状態となり、導電性を有さない絶縁部となる。また、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、又は窒素酸化物イオンが注入されることにより、当該部分に絶縁性を有する窒素化合物が形成されるため、導電性を有さない絶縁部となる。一方、パターンニング部材の第1の領域に対応する部分では、透明導電膜がパターンニング部材に覆われた状態となる。従って、当該部分は、酸素、酸素イオン、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、及び窒素酸化物イオンが注入されることなく、導電性を有したままの導電部として、パターンニング部材の第1の領域に対応するパターンにてパターンニングされる。これによって、透明導電膜に電気的なパターンニングがなされる。一方、a‐Si層は、透明導電膜のうち導電部として機能しない部分も絶縁部で覆われた状態となる。このように、レーザエッチングやエッチング薬液などを用いることなく透明導電膜のパターニングを行うことによって、透明導電膜の導電部及び絶縁部で覆うことでa‐Si層の劣化を抑制し、発電効率の低下を抑制できる。
本発明に係る太陽電池の製造方法では、透明導電膜上にレジストを形成し、第1の領域に対応する部分のレジストを残存させると共に、第2の領域に対応する部分のレジストを透明導電膜上から除去することによって、透明導電膜上にパターンニング部材が設けられてよい。このような方法によれば、一の太陽電池ごとにパターンニング部材を設けることができるため、導電部及び絶縁部を精度良く形成することができる。
本発明に係る太陽電池の製造方法では、予め第1の領域及び第2の領域が形成されたパターンニング部材を準備すると共に透明導電膜上に配置することによって、透明導電膜上にパターンニング部材が設けられてもよい。このような方法によれば、パターンニング部材を複数回流用することが可能であるため、コストを抑えることができる。
本発明に係る太陽電池は、a‐Si層を含む基板と、基板のa‐Si層上に形成された透明導電膜と、を備え、透明導電膜は、所定のパターンを有する導電部、及び当該導電部よりも酸素量、窒素量、及び窒素酸化物量のうち少なくともいずれか一つが多い絶縁部を有する。
本発明に係る太陽電池によれば、上述の太陽電池の製造方法と同様な効果を得ることができる。
本発明によれば、発電効率の低下を抑制できる。
以下、添付図面を参照しながら本発明による太陽電池の製造方法、及び太陽電池の一実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本発明の太陽電池10を製造するための製造装置100の一実施形態を示すブロック構成図である。図2は、本実施形態に係る太陽電池10の構成を示す図である。
(太陽電池)
まず、図2を参照して、太陽電池10について説明する。太陽電池10は、太陽光Lが入射されることによって発電を行うものである。本実施形態に係る太陽電池10は、ヘテロジャンクションバックコンタクト型の太陽電池である。太陽電池10は、基板11と、透明導電膜(TCO:Transparent Conductive Oxide)12と、を備えている。このうち、透明導電膜12は、導電部12A及び絶縁部12Bを有している。図2に示すように、透明導電膜12の導電部12Aのパターンニングにより、基板11上に複数のp型電極及7及びn型電極8が所定のパターンとなるように設けられる。
まず、図2を参照して、太陽電池10について説明する。太陽電池10は、太陽光Lが入射されることによって発電を行うものである。本実施形態に係る太陽電池10は、ヘテロジャンクションバックコンタクト型の太陽電池である。太陽電池10は、基板11と、透明導電膜(TCO:Transparent Conductive Oxide)12と、を備えている。このうち、透明導電膜12は、導電部12A及び絶縁部12Bを有している。図2に示すように、透明導電膜12の導電部12Aのパターンニングにより、基板11上に複数のp型電極及7及びn型電極8が所定のパターンとなるように設けられる。
太陽電池10の基板11は、結晶系半導体基板であるn型Si基板1を有する。n型Si基板1の受光面側には、i型a‐Si(アモルファスシリコン)層2と反射防止膜3とが設けられている。n型Si基板1の受光面と反対の面(裏面)側には、i型a‐Si層4と、p型a‐Si層5と、n型a‐Si層6と、p型電極7と、n型電極8とが設けられている。
この太陽電池10においては反射防止膜3側が受光面とされ、太陽光Lが入射される。太陽電池10は、p型電極7およびn型電極8が、太陽電池10の裏面側にのみ配されたヘテロジャンクションバックコンタクト型太陽電池である。これにより、太陽電池10は、光電変換効率の向上が図られている。
i型a‐Si層4は、n型Si基板1の裏面の一部領域を被覆して積層形成されており、n型Si基板1の裏面の基板表面におけるキャリア再結合を抑制する裏面パッシベーション層として働く。p型a‐Si層5は、i型a‐Si層4上に形成されており、i型a‐Si層4を介してn型Si基板1とpn接合を形成する。n型a‐Si層6は、p型a‐Si層5が形成されていないi型a‐Si層4上に形成されており、n型Si基板1よりもn型のドーパント(例えばP)を高濃度に含有する。
p型電極7は、発電された電力を外部に取り出すための取り出し電極であり、p型a‐Si層5上に形成されている。n型電極8は、発電された電力を外部に取り出すための取り出し電極であり、n型a‐Si層6上に形成されている。透明導電膜12のうち、p型電極7及びn型電極8以外の部分は絶縁部12Bとなっている。
透明導電膜12は、基板11のうちa‐Si層上(ここでは、p型a‐Si層5上及びn型a‐Si層6上)において当該a‐Si層を覆うように形成されている。透明導電膜12は、所定のパターンとなるように形成された導電部12A、及び当該導電部12Aよりも酸素量が多い絶縁部12Bを有している。透明導電膜12は、導電部12Aに対応する位置を、導電部12Aの形状・位置と同様にパターンニングされたレジストで覆った状態で酸素を注入することで、当該レジストで覆われていない部分に絶縁部12Bが形成される。透明導電膜12に酸素を注入することで過酸化状態にし、ドナー準位を無くすことによって、絶縁部12Bが形成される。なお、ここでの「酸素」という語は、酸素イオン、酸素ラジカル、酸素原子を含んでいる。
図2に示すように、電極7,8のパターンが、導電部12Aで構成され(図2では、透明導電膜12のうち、ドット模様が付されていない部分に対応する)、導電部12Aを除く当該導電部12Aの周辺部分が、絶縁部12Bで構成される(図2では、透明導電膜12のうち、ドット模様が付されている部分に対応する)。透明導電膜12の材料として、例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物が用いられる。これらの金属酸化物が2種以上複合されてもよい。また、透明導電膜12の厚みは、当該数値に限定されないが、例えば100nm程度に設定してよい。
(太陽電池の製造装置)
図1に示すように、太陽電池10を製造するための製造装置100は、基板11上に透明導電膜12を形成するための成膜部101と、フォトリソグラフィ工程によって透明導電膜12に導電部12Aをパターンニングするためのパターンニング部材準備工程実行部102と、透明導電膜12に酸素を注入して絶縁部12Bを形成する酸素注入部103と、を備える。
図1に示すように、太陽電池10を製造するための製造装置100は、基板11上に透明導電膜12を形成するための成膜部101と、フォトリソグラフィ工程によって透明導電膜12に導電部12Aをパターンニングするためのパターンニング部材準備工程実行部102と、透明導電膜12に酸素を注入して絶縁部12Bを形成する酸素注入部103と、を備える。
成膜部101は、基板11に対して透明導電膜12を形成する成膜装置によって構成される。成膜部101で採用される成膜方法は特に限定されず、あらゆる成膜方法を採用してよい。例えば、成膜材料からなるターゲットに電圧を印加して基板11上に透明導電膜12を成膜するDCスパッタリング法、RFスパッタリング法、ACスパッタリング法などを採用してよい。または、プラズマを用いて成膜材料をイオン化して基板11に付着させて透明導電膜12の成膜を行うイオンプレーティング法を採用してよい。または、真空蒸着法、印刷法、スピンコート法、その他のコーティング法(塗布法)などを採用してよい。なお、製造装置100の外部で透明導電膜12が予め形成された基板11を用いてもよく、この場合、製造装置100から成膜部101が省略されていてもよい。
パターンニング部材準備工程実行部102は、パターンニング部材を準備する工程を実行するために、各工程で用いられる装置の組み合わせによって構成される。パターンニング部材は、酸素注入部103が透明導電膜12に酸素を注入するときに、当該透明導電膜12上に設けられているものである。パターンニング部材は、透明導電膜12を覆う第1の領域、及び透明導電膜12を露出させる第2の領域(貫通穴)が形成されたパターンを有するものである。パターンニング部材は、フォトリソグラフィ工程によってパターンニングされたフォトレジストによって構成されてもよく、マスキング法(予め第1の領域及び第2の領域が形成されているマスクを、透明導電膜12上に配置する方法)で用いられるマスクによって構成されていてもよい。フォトリソグラフィ工程によってパターンニング部材を形成する場合、パターンニング部材準備工程実行部102は、当該フォトリソグラフィ工程を実行するために、各工程で用いられる装置の組み合わせによって構成される。パターンニング部材準備工程実行部102は、フォトレジストを塗布する装置、フォトレジストにパターンを露光する装置、フォトレジストを現像する装置、酸素イオン注入後にフォトレジストを剥離する装置などによって構成されている。マスキング法を採用する場合、パターンニング部材準備工程実行部102は、パターンニング部材を作成する装置(あるいは、製造装置100の外部で作成されたものを用いてよい)、パターンニング部材を透明導電膜12上に配置し回収する装置などによって構成されている。
酸素注入部103は、基板11上の透明導電膜12に酸素を注入する装置によって構成される。本実施形態では、酸素注入部103は、酸素イオンを注入する装置によって構成される。酸素注入部103で採用される方法は特に限定されず、あらゆる方法を採用してよい。例えば、イオンビームを、静電電界による偏向走査及び静電電界による平行化をした後、基板11にイオン注入を行うイオン注入装置を適用してよい。または、高周波放電を利用して酸素をイオン化して、基板11にドーピングするプラズマドーピング装置を適用してよい。または、リニアイオンソースを採用してもよい。または、ニュートライザーを用いて酸素イオンを中性化した酸素ラジカルとして注入する方法を採用してよい。
(太陽電池の製造方法)
次に、図4〜図6を参照して、太陽電池10の製造方法について説明する。図4は、本実施形態に係る太陽電池10の製造方法の内容を示すフローチャートである。図5及び図6は、図4に示す各工程の内容を説明するための模式図である。図4に示すように、まず、基板11を準備する工程から処理が開始される(ステップS10)。図5(a)に示すように、S10の工程では、所定の大きさに設定された基板11が準備され、成膜部101へ搬送される。次に、基板11に透明導電膜12を形成する工程が実行される(ステップS12)。図5(b)に示すように、基板11の一面11a(図2に示すp型a‐Si層5の表面及びn型a‐Si層6の表面に対応する)に透明導電膜12が成膜される。S12の処理は、成膜部101にて実行される。S10及びS12が完了することにより、透明導電膜12が表面に形成された基板11を準備する工程が完了する。なお、製造装置100の外部で予め透明導電膜12が表面に形成された基板11を準備してもよい。
次に、図4〜図6を参照して、太陽電池10の製造方法について説明する。図4は、本実施形態に係る太陽電池10の製造方法の内容を示すフローチャートである。図5及び図6は、図4に示す各工程の内容を説明するための模式図である。図4に示すように、まず、基板11を準備する工程から処理が開始される(ステップS10)。図5(a)に示すように、S10の工程では、所定の大きさに設定された基板11が準備され、成膜部101へ搬送される。次に、基板11に透明導電膜12を形成する工程が実行される(ステップS12)。図5(b)に示すように、基板11の一面11a(図2に示すp型a‐Si層5の表面及びn型a‐Si層6の表面に対応する)に透明導電膜12が成膜される。S12の処理は、成膜部101にて実行される。S10及びS12が完了することにより、透明導電膜12が表面に形成された基板11を準備する工程が完了する。なお、製造装置100の外部で予め透明導電膜12が表面に形成された基板11を準備してもよい。
次に、透明導電膜12上にレジスト材料を塗布することによってレジスト20を形成する工程が実行される(ステップS14)。レジスト材料として、例えばノボラック型フェノール樹脂やエポキシ樹脂などを適用してよい。図5(c)に示すように、S14では、透明導電膜12の全面にレジスト20が形成される。レジスト20は、現像時に透明導電膜12上に残存する第1の領域20Aと、現像時に除去されて貫通穴となる第2の領域20Bと、に区画される。第1の領域20Aは、導電部12Aと対応する所定のパターンを有しており、酸素イオン注入時に透明導電膜12を覆っておくことで、当該覆われた部分を導電部12Aとしてパターンニングする。第2の領域20Bは、絶縁部12Bに対応する位置に形成されており、透明導電膜12を露出させておくことで、当該露出部分に酸素イオンが注入されるようにし、絶縁部12Bを形成する。
次に、レジスト20にパターンを露光すると共に現像を行う工程が実行される(ステップS16)。まず、図示されないフォトマスクをレジスト20の上方に配置する。当該フォトマスクには、導電部12Aのパターンが形成されている。当該フォトマスクを介してレジスト20に光を照射してパターンを露光する。その後、現像を行うことによって、図6(a)に示すように、レジスト20のうち、導電部12Aに対応する第1の領域20Aは透明導電膜12上に残存し、絶縁部12Bに対応する第2の領域20Bは除去される。なお、S14〜S16の工程は、パターンニング部材準備工程実行部102で実行される。
次に、レジスト20を介して透明導電膜12に酸素イオンを注入する工程が実行される(ステップS18)。図6(b)に示すように、透明導電膜12のうち、レジスト20で覆われていない部分(第2の領域20Bに対応する部分)には酸素イオンFが照射されて酸素イオンが注入される。当該部分に係る透明導電膜12は酸化過剰となり絶縁部12Bとなる。一方、透明導電膜12のうち、レジスト20で覆われている部分(第1の領域20Aに対応する部分)には酸素イオンFが照射されないので酸素イオンが注入されず、導電部12Aとしてパターンニングされる。S18の工程は、酸素注入部103で実行される。次に、レジスト20を除去する工程を実行する(ステップS20)。図6(c)に示すように、残存しているレジスト20の第1の領域20Aに該当する部分も、透明導電膜12上から除去する。S20の処理は、パターンニング部材準備工程実行部102で実行される。これによって、透明導電膜12の電気的なパターンニングが完了し、図4に示す工程が終了する。なお、ステップS18では、基板11の表面、すなわちa‐Si層の表面が酸素イオンの注入によって劣化しないように、酸素イオンの注入の深さが制御される。
なお、上述のようなフォトリソグラフィ工程に代えて、マスキング法を採用する場合、S14及びS16の工程に代えて、予め第1の領域20A及び第2の領域20Bが形成されたパターンニング部材を準備する工程と、透明導電膜12上にパターンニング部材を配置する工程が実行される。また、S20の工程に代えて、透明導電膜12上からパターンニング部材を回収する工程が実行される。また、上述のような酸素イオンを注入する工程に代えて、酸素(中性化した酸素ラジカル)を注入する場合、透明導電膜12のうち、レジスト20で覆われていない部分(第2の領域20Bに対応する部分)には酸素フラックスが照射されて酸素(中性化した酸素ラジカル)が注入される。
図4に示すようなフォトリソグラフィ工程を実行することでパターンニング部材を透明導電膜12上に設ける方法によれば、一の太陽電池ごとにパターンニング部材を設けることができるため、導電部12A及び絶縁部12Bを精度良く形成することができる。一方、マスキング法を採用した方法によれば、パターンニング部材を複数回流用することが可能であるため、コストを抑えることができる。特に、太陽電池10においては、導電部12Aのパターンが(例えば、タッチパネルや有機ELなどの透明導電膜のパターンに比して)シンプルであり、マスクを形成し易いため、マスキング法を採用することによるコスト低減の効果が一層顕著となる。
次に、本実施形態に係る太陽電池10及びその製造方法の作用・効果について説明する。
まず、比較例に係る太陽電池50の構成について説明する。図3に示すように、太陽電池50では、電極7,8に該当する位置に透明導電膜12がパターンニングされている。一方、その他の部分に関しては、空間15が形成されており、基板11の表面、すなわちa‐Si層5,6が空間15において透明導電膜12で覆われていない状態となっている。比較例に係る太陽電池50においては、このような透明導電膜12のパターンがレーザエッチングやエッチング薬液によって形成される。しかしながら、a‐Si層5,6は水分に弱いため、水分や水蒸気が浸入するとa‐Si層5,6が劣化し、発電効率が低下するという問題が生じる。透明導電膜12上にガラス基板などのカバーが配置されていたとしても、当該カバーは衝撃等から太陽電池50を保護することが目的であるため、水や水蒸気の浸入を完全に防ぐことは目的としておらず、カバーと膜との間から水や水蒸気が浸入し、空間15を介してa‐Si層5,6へ水や水蒸気が到達する可能性がある。
一方、本実施形態に係る太陽電池10の製造方法によれば、第2の領域20Bに対応する部分ではレジスト20が除去されているため、透明導電膜12が露出した状態となる。従って、当該部分は、酸素イオンが注入されることにより過酸化状態となり、導電性を有さない絶縁部12Bとなる。一方、第1の領域20Aではレジスト20が残存しているため、透明導電膜12がレジスト20に覆われた状態となる。従って、当該部分は、酸素イオンが注入されることなく、導電性を有したままの導電部12Aとして、レジスト20の第1の領域20Aに対応するパターンにてパターンニングされる。これによって、透明導電膜12に電気的なパターンニングがなされる。例えば、図2に示すように、太陽電池10の電極7,8は、絶縁部12B中に所定パターンとなるように形成される導電部12Aによって構成されているため、図3の比較例に係る太陽電池50の電極7,8と同様の機能を発揮することができる。一方、a‐Si層5,6は、透明導電膜12のうち導電部12Aとして機能しない部分も絶縁部12Bで覆われた状態となる。このように、レーザエッチングやエッチング薬液などを用いることなく透明導電膜12のパターニングを行うことによって、透明導電膜12の導電部12A及び絶縁部12Bで覆うことでa‐Si層5,6の劣化を抑制できる。以上によって、発電効率の低下を抑制できる。
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態で示した導電部12Aのパターンは一例に過ぎず、あらゆるパターンを採用してもよい。また、上述の実施形態で示した製造装置や製造方法も一例に過ぎず、導電部12A及び絶縁部12Bを有する透明導電膜12を形成できる限り、あらゆる製造装置や製造方法を採用してよい。
上述の実施形態では、透明導電膜に酸素イオンを注入することによって絶縁部を形成したが、これに限定されない。すなわち、酸素、酸素イオン、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、及び窒素酸化物イオンのうち少なくともいずれか一つを透明導電膜に注入することによって、絶縁部を形成してよい。例えば、N2O+、N2O*、O3 +、O3 *、O2 +、O2 *、O+、O*、N+、N*、N2 +、N2 *などを注入してもよい。絶縁部は、導電部よりも酸素量、窒素量、及び窒素酸化物量のうち少なくともいずれか一つが多くなる。透明導電膜に酸素が注入された場合、酸素が注入された部分は過酸化状態となり、導電性を有さない絶縁部となる。また、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、又は窒素酸化物イオンが注入された場合、これらが注入された部分には絶縁性を有する窒素化合物が生成されるため、導電性を有さない絶縁部となる。なお、酸素又は酸素イオンが注入された場合の方が、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、又は窒素酸化物イオンが注入された場合と比較して、注入部分の光の屈折率が導電部に近くなるため、導電部と絶縁部との境界を目視しづらくすることができる。
また、酸素又は酸素イオンを注入するのに代えて、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、又は窒素酸化物イオンを注入する場合、図1に示す酸素注入部103は窒素注入部となり、図4に示す酸素イオンを注入する工程(ステップS18)は窒素を注入する工程となる。
10…太陽電池、11…基板、12…透明導電膜、12A…導電部、12B…絶縁部、20…レジスト、20A…第1の領域、20B…第2の領域、100…製造装置、101…成膜部、102…パターンニング部材準備工程実行部、103…酸素注入部。
Claims (4)
- a‐Si層を含む基板と、前記基板の前記a‐Si層上に形成された透明導電膜とを備える太陽電池の製造方法であって、
前記透明導電膜が前記a‐Si層側の表面に形成された前記基板を準備する工程と、
前記透明導電膜を覆う第1の領域、及び前記透明導電膜を露出させる第2の領域が形成されたパターンを有するパターンニング部材を前記透明導電膜上に設ける工程と、
前記第2の領域に対応する部分における前記透明導電膜に酸素、酸素イオン、窒素、窒素イオン、窒素酸化物、及び窒素酸化物イオンのうち少なくともいずれか一つを注入することで絶縁部を形成し、前記第1の領域で覆われる部分における前記透明導電膜を導電部としてパターンニングする工程と、
前記パターンニング部材を前記透明導電膜上から除去する工程と、を備える太陽電池の製造方法。 - 前記透明導電膜上にレジストを形成し、
前記第1の領域に対応する部分の前記レジストを残存させると共に、前記第2の領域に対応する部分の前記レジストを前記透明導電膜上から除去することによって、前記透明導電膜上に前記パターンニング部材が設けられる、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。 - 予め前記第1の領域及び前記第2の領域が形成された前記パターンニング部材を準備すると共に前記透明導電膜上に配置することによって、前記透明導電膜上に前記パターンニング部材が設けられる、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- a‐Si層を含む基板と、
前記基板の前記a‐Si層上に形成された透明導電膜と、を備え、
前記透明導電膜は、所定のパターンを有する導電部、及び当該導電部よりも酸素量、窒素量、及び窒素酸化物量のうち少なくともいずれか一つが多い絶縁部を有する太陽電池。
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