JP2014115336A - 焦点制御装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の焦点制御装置は、光学系に対する観察対象の焦点位置からの誤差を示す焦点誤差信号に対して補正を行う誤差信号補正部と、観察対象領域及び観察対象領域と異なる高さの非観察対象領域の間において、光学系の観察する領域が切り替わる際、観察対象領域及び非観察対象領域の各々に対応する領域信号を出力する領域切り替わり検出部とを備え、誤差信号補正部が、領域信号が非観察対象領域を示す場合、焦点誤差信号に対して観察対象領域における焦点位置からの誤差に対応する数値となる補正を行う。
【選択図】図1
Description
そして、焦点位置制御部106は、焦点位置に対するずれ量を示す焦点誤差信号を、半導体ウェハ105が搭載されているXYZステージ104のX軸、Y軸及びZ軸方向に対する3次元調整を行うステージ制御機構107にフィードバックする。
これにより、ステージ制御機構107は、フィードバックされた焦点誤差信号によって、半導体ウェハ105の表面が顕微鏡の光学系102の焦点位置に合うように、XYZステージ104のZ軸方向における位置制御を行う。
図10に示すように、実際には半導体ウェハ105の厚さが部分的に異なり、表面的なうねりが存在している。このため、焦点誤差信号には、このうねりの角度θによる高さ変化の成分が含まれることになる。
このとき、半導体ウェハ105の表面のうねりのみに追従するため、ペリフェラル領域105P(Peri)とセル領域105C(Cell)との境界の様に段差に対しては、すでに述べたように高精度な追従が行われない。このため、すでに述べたように、境界近傍の焦点位置制御の精度が低下するため、境界近傍における外観検査の精度も低くなる。
しかしながら、ペリフェラル領域105Pとセル領域105Cとの一方から他方に対しれ領域が切り替わる際、段差部分で急激に信号強度が変化することにより、焦点誤差信号に対して過渡応答が発生する。このため、領域が切り替わってからしばらくの間、焦点誤差信号が実際の焦点位置の誤差に追従できず、境界近傍の焦点位置制御の精度が低下するため、境界近傍における外観検査の精度も低くなる。
以下、図面を参照して、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態による焦点制御装置の構成例を示す概略ブロック図である。以下、図8で示す半導体ウェハ105の表面の外観検査を行う、顕微鏡を有する半導体検査装置におけるこの顕微鏡の焦点位置制御部106と置き換える構成として、本実施形態の焦点制御装置を説明する。
本実施形態の焦点制御装置は、焦点誤差検出部1、誤差信号補正部2、領域切り替わり検出部3、ドライバ4、Z方向ステージ制御部5、XY方向ステージ制御部6を備えている。
誤差信号補正部2は、焦点誤差検出部1から供給される焦点誤差信号に対して、領域信号(後述)が非観察対象領域を示す場合、観察対象領域における焦点位置からの誤差に対応する数値となる補正を行う。
XY方向ステージ制御部6は、ステージ制御機構107を所定の速度によって、駆動させ、XYZステージ104をX軸及びY軸の2次元平面上において移動させる。
ウェハマップ記憶部32には、半導体ウェハ105の表面(2次元座標)におけるチップ105T各々のチップ位置座標と、このチップ105Tにおけるセル領域105C及びペリフェラル領域105Pとを判別する領域位置座標とを示すウェハマップが予め書き込まれて記憶されている。
一方、スイッチ21は、マップ照合部31から供給される領域信号が非観察対象を示す場合(例えば、領域信号の信号レベルが「L」の場合)、オフ状態(非導通状態)となり、コンデンサ22に観察対象における焦点誤差信号の電圧レベルを保持させる。
また、必要に応じて、撮像装置が撮像する検査領域(外観検査を行う領域)を微調整することにより、すなわちこの検査領域を狭めることにより、微少に残った過渡応答を避けることが可能となる。
誤差信号補正部2は、領域切り替わり検出部3から観察対象であるセル領域105Cであることを示す領域信号が供給されている場合、焦点誤差検出部1から供給される元の焦点誤差信号をそのままの電圧レベルでドライバ4に対して供給するとともに、コンデンサ22にこの電圧レベルを蓄積させる。
これにより、Z方向ステージ制御部5に対して供給される焦点誤差信号において、セル領域105Cからペリフェラル領域105Pへの切り替わりの境界における過渡応答が無くなる。また、ペリフェラル領域105Pからセル領域105Cへの切り替わりの境界における過渡応答は、コンデンサ22が蓄積されたウェハ位置における厚さが保持されるため、焦点誤差検出部1から異なるウェハ位置のセル領域105Cの電圧レベルの焦点誤差信号が供給されるので、半導体ウェハ105の厚さのうねり分の誤差が過渡応答となる。
以下、図面を参照して、本発明の第2の実施形態について説明する。図3は、本発明の第2の実施形態による焦点制御装置の構成例を示す概略ブロック図である。以下、図8で示す半導体ウェハ105の表面の外観検査を行う半導体検査装置における焦点位置制御部106と置き換える構成として、本実施形態の焦点制御装置を説明する。
本実施形態の焦点制御装置は、焦点誤差検出部1、誤差信号補正部2A、領域切り替わり検出部3、ドライバ4、Z方向ステージ制御部5、XY方向ステージ制御部6を備えている。第2の実施形態において、第1の実施形態と異なる点は、誤差信号補正部2が誤差信号補正部2Aに替わったのみである。第2の実施形態は、他の構成について、第1の実施形態と同様である。以下、第1の実施形態と異なる誤差信号補正部2Aの構成および動作について説明する。
一方、スイッチ27は、マップ照合部31から供給される領域信号が非観察対象を示す場合(例えば、領域信号の信号レベルが「L」の場合)、2入力の他方がドライバ4の入力とが接続状態(導通状態)となり、加算器26から供給される補正された(オフセット電圧が加算された)焦点誤差信号をドライバ4に対して出力する。
誤差信号補正部2Aは、領域切り替わり検出部3から観察対象であるセル領域105Cであることを示す領域信号が供給されている場合、焦点誤差検出部1から供給される元の焦点誤差信号をそのままの電圧レベルでドライバ4に対して供給する。
これにより、Z方向ステージ制御部5に対して供給される焦点誤差信号において、セル領域105Cからペリフェラル領域105Pへの切り替わりの境界における過渡応答と、ペリフェラル領域105Pからセル領域105Cへの切り替わりの境界における過渡応答との双方をなくすことができる。
したがって、本実施形態によれば、従来に比較して、過渡応答における電圧変動が減少し、より高精度な焦点位置の制御が行えるため、半導体ウェハ105の表面の外観検査における欠陥の発見の精度を上げることができる。
次に、本実施形態における焦点誤差信号を得るための焦点誤差検出について説明する。図5は、PSD(Position Sensitive Detector:光位置検出器)を用いた焦点誤差検出部1による焦点誤差検出を説明するための図である。この図5において、破線で示されているXYZステージ104と半導体ウェハ105とは焦点位置がずれているZ方向の位置にある場合を示している。また、実線で示されているXYZステージ104と半導体ウェハ105とは焦点位置が合っているZ方向の位置にある場合を示している。
コリメートレンズ(Collimator Lens)202は、半導体レーザ201の出射した検出光を平行光に変換する。
ミラー203は、平行光となった検出光を透過し、対物レンズ204に対して出射する。
対物レンズ204は、検出光を半導体ウェハ105の表面に出射し、半導体ウェハ105の表面で反射した反射光をミラー203に対して出射する。
ミラー203は、半導体ウェハ105の表面からの反射光を、PSD205に対して出射する。
次に、本実施形態における焦点誤差信号を得るための他の焦点誤差検出について説明する。図6は、ナイフエッジ(Knife Edge)を用いた焦点誤差検出部1による焦点誤差検出を説明するための図である。この図6において、破線で示されているXYZステージ104と半導体ウェハ105とは焦点位置がずれているZ方向の位置にある場合を示している。また、実線で示されているXYZステージ104と半導体ウェハ105とは焦点位置が合っているZ方向の位置にある場合を示している。
コリメートレンズ(Collimator Lens)302は、半導体レーザ301の出射した検出光を平行光に変換する。
ミラー303は、平行光となった検出光を反射し、ミラー304に対して出射する。
ミラー304は、ミラー303からの検出光を透過し、対物レンズ305に対して出射する。
対物レンズ305は、検出光を半導体ウェハ105の表面にて集光するように出射し、半導体ウェハ105の表面で反射した反射光をミラー304に対して出射する。
ナイフエッジ307は、集光レンズ306と光検出器(Photo Detector)308との間に配置され、集光レンズ306から光検出器308に入射される光の一部を遮光する。このナイフエッジ307は、XYZステージ104がZ軸において合焦の位置にある場合、集光レンズ306からの反射光が集光する位置に配置されている。すなわち、集光レンズ306は、半導体ウェハ105表面からの反射光を、ナイフエッジ307の先端近傍の空間において集光させる。
光検出器308は、光検出部が光検出部308Aと光検出部308Bとに2分割されており、集光レンズ306から入射される反射光を、光検出部308Aと光検出部308Bとの受光量の差分により、検出信号を出力する。
図7(a)は、XYZステージ104がZ軸において合焦の位置にある場合に、集光レンズ306から光検出器308に入射する反射光の状態を示している。この場合、XYZステージ104がZ方向において合焦の位置にあり、ナイフエッジ307の歯の上部において反射光が集光しているため、反射光に遮光される部分は無く、全てが光検出器308に対して入射することになる。これにより、光検出器308においては、光検出部308Aと光検出部308Bとが受光する反射光の光量が同様である。このため、差動アンプ309は、非反転入力端子と反転入力端子とに同一の電圧が供給されるため、焦点誤差信号としては「0V」を出力する。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
2,2A…誤差信号補正部
3…領域切り替わり検出部
4…ドライバ
5…Z方向ステージ制御部
6…XY方向ステージ制御部
21,27…スイッチ
22…コンデンサ
23…オペアンプ
25…加算器
26…定電圧部
31…マップ照合部
32…ウェハマップ記憶部
Claims (5)
- 光学系に対する観察対象の焦点位置からの誤差を示す焦点誤差信号に対して補正を行う誤差信号補正部と、
観察対象領域及び当該観察対象領域と異なる高さの非観察対象領域の間において、前記光学系の観察する領域が切り替わる際、観察対象領域及び非観察対象領域の各々に対応する領域信号を出力する領域切り替わり検出部と
を備え、
前記誤差信号補正部が、前記領域信号が前記非観察対象領域を示す場合、前記焦点誤差信号に対して前記観察対象領域における焦点位置からの誤差に対応する数値となる補正を行うことを特徴とする焦点制御装置。 - 前記誤差信号補正部が、スイッチとコンデンサとを有しており、
前記スイッチの一方が前記焦点誤差信号が入力される端子に接続され、当該スイッチの他方がコンデンサの一端に接続され、当該コンデンサの他端が接地されており、前記領域信号が観察対象領域を示す場合に前記スイッチをオン状態とし、前記領域信号が非観察対象を示す場合に前記スイッチをオフ状態として前記焦点誤差信号の補正を行う
ことを特徴とする請求項1に記載の焦点制御装置。 - 前記誤差信号補正部が、加算器と定電圧部と2入力1出力のスイッチとを有しており、
前記定電圧部が所定のオフセット電圧を出力し、前記加算器が前記焦点誤差信号に対して前記オフセット電圧を加算して補正焦点誤差信号を生成し、前記スイッチの2入力の一方の入力に前記焦点誤差信号が供給され、前記スイッチの2入力の他方の入力に前記補正焦点誤差信号が供給され、前記領域切り替わり検出部が前記領域信号が観察対象領域を示す場合に前記スイッチの2入力の一方、すなわち前記焦点誤差信号が前記スイッチの出力と接続状態となり、前記領域信号が非観察対象を示す場合に前記スイッチの2入力の他方、すなわち前記補正焦点誤差信号が前記スイッチの出力と接続状態となって前記焦点誤差信号の補正を行うことを特徴とする請求項1に記載の焦点制御装置。 - 前記領域切り替わり検出部が、
前記観察対象領域及び前記非観察対象領域の位置座標を記憶したウェハマップ記憶部と、
光学系の現在の観察対象が前記観察対象領域あるいは前記非観察対象領域のいずれかであるかを、前記ウェハマップ記憶部を参照して前記領域信号を前記誤差信号補正部に対して出力する前記マップ照合部と
を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の焦点制御装置。 - 誤差信号補正部が、光学系に対する観察対象の焦点位置からの誤差を示す焦点誤差信号に対して補正を行う誤差信号補正過程と、
領域切り替わり検出部が、観察対象領域及び当該観察対象領域と異なる高さの非観察対象領域の間において、前記光学系の観察する領域が切り替わる際、観察対象領域及び非観察対象領域の各々に対応する領域信号を出力する領域切り替わり検出過程と
を含み、
前記誤差信号補正部が、前記領域信号が前記非観察対象領域を示す場合、前記焦点誤差信号に対して前記観察対象領域における焦点位置からの誤差に対応する数値となる補正を行うことを特徴とする焦点制御方法。
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