JP2008529065A - トラッキングオートフォーカスシステム - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
この技術は、FQC曲線を獲得するために必要な計算量を減らすが、FQC曲線は画像ごとにサンプリングされる必要があるので、DIP技術と同じ欠点が生じてしまう。これらの技術を用いて成し得るオートフォーカス時間は、ほぼ1秒である。
既に知られているように、限られた真空チャックの平坦さ、および、ガラスの厚みの小さな変動は、顕微鏡がガラスプレート全体にわたり焦点を維持する妨げとなる。このような変動を補正すべく、設定値は、ギャップセンサ542、ADC544、および、信号処理ブロック546により測定されたときの距離Dを反映させるよう動的にアップデートされる。
Sa>Sb (2)
それによって、以下を得る。
Yab>0 (3)
Sa<Sb (4)
それによって、以下を得る。
Yab<0 (5)
Claims (26)
- 装置であって、
ヘッドと、該ヘッドと相対運動するプレートとの間の距離を継続的に測定するよう適合される非接触センサと、
サーボ制御システムであって、
前記測定された距離により定義された第1の信号と、第1の予め定義された値とを生成するよう適合される制御回路、および、
前記ヘッドと前記プレートとの間の距離が予め定義された範囲内に継続的に維持されるよう、前記第1の信号に従い前記ヘッドの位置を変更するよう適合されるアクチュエータを含むサーボ制御システムと、
を備える装置。 - 前記非接触センサにより生成される関連アナログ信号をデジタル信号に変換するよう適合されるアナログデジタルコンバータをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記測定された距離を表す線形信号を生成すべく、前記変換されたデジタル信号を線形にするよう適合される信号調整ブロックをさらに含む、請求項2に記載の装置。
- 前記アクチュエータは、
増幅器と、
リニアモータと、
リニアエンコーダと、
を含む、請求項3に記載の装置。 - 前記ヘッドは、前記プレートを検査するよう適合される、請求項4に記載の装置。
- 前記ヘッドは、前記プレートを修復するよう適合される、請求項4に記載の装置。
- 前記ヘッドは、前記プレートに焦点を合わされた顕微鏡の対物レンズを含む、請求項4に記載の装置。
- 光ビームの第1の画像に応答して第2の信号を生成するよう適合される第1の検出器と、
前記光ビームの第2の画像に応答して第3の信号を生成するよう適合される第2の検出器とをさらに含み、
前記第1の信号は、前記第2および第3の信号により定義され、
前記第1の信号が前記予め定義された範囲により特徴付けられる第2の予め定義された値以下である値を有する場合、前記顕微鏡は、前記プレートに対し焦点を合わせていると検出される、
請求項7に記載の装置。 - 物体平面が最適な焦点平面の上に位置することにより照射スポットが顕微鏡の主光軸の第1の側に現れる場合、前記第2の信号は、前記第3の信号より大きくなる、請求項8に記載の装置。
- 前記第2の信号が前記第3の信号より大きいことに応答し、前記第1の検出器上に画像が形成される、請求項9に記載の装置。
- 物体平面が最適な焦点平面の下に位置することにより照射スポットが顕微鏡の主光軸の第2の側に現れる場合、前記第2の信号は、前記第3の信号より小さくなる、請求項10に記載の装置。
- 前記第3の信号より小さい前記第2の信号に応答し、前記第2の検出器上に画像が形成される、請求項11に記載の装置。
- 前記第1の予め定義された値は、複数の外部条件を考慮して動的にアップデートされる、請求項12に記載の装置。
- 前記外部条件は、前記プレートを受け入れるよう適合されるチャックの平坦度の偏差を表す、請求項12に記載の装置。
- 前記外部条件は、プレートの厚みにおける偏差を表す、請求項12に記載のトラッキングオートフォーカスシステム。
- 前記第1の予め定義された値はゼロである、請求項15に記載のトラッキングオートフォーカスシステム。
- プレートの予め定義された範囲内にヘッドを継続的に維持する方法であって、
前記ヘッドと前記プレートとの間の距離を非接触で継続的に測定する工程と、
前記測定された距離と予め定義された距離との差を検出する工程と、
前記プレートに関するヘッドの位置を変更することにより、前記プレートの予め定義された範囲内で前記ヘッドを維持するよう、前記検出された差を既知の値より小さく維持する工程と、
を含む方法。 - 前記測定された距離を表すアナログ信号をデジタル信号に変換する工程をさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記変換されたデジタル信号を線形化する工程をさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 前記ヘッドを用いて前記プレートを検査する工程をさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記ヘッドを用いて前記プレートを修復する工程をさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記ヘッドに光学系の対物レンズを配置する工程をさらに含み、前記対物レンズは、前記プレートに継続的に合焦されるよう、該プレートの予め定義された範囲内に維持される、請求項17に記載の方法。
- 前記対物レンズの新たな位置を表す信号伝達情報を符号化する工程と、
リニアモータを用い、かつ、前記符号化信号に従い、前記対物レンズの位置を変更する工程と、
をさらに含む、請求項22に記載の方法。 - 光ビームの第1の画像に応答して第1の信号を生成する工程と、
前記光ビームの第2の画像に応答して第2の信号を生成する工程と、
前記第1および第2の信号により定義される第3の信号を生成する工程とをさらに含み、前記第3の信号が第2の予め定義された値以下の値を有する場合、焦点の合った状態が検出される、請求項23に記載の方法。 - 物体平面が最適な焦平面の上に位置する場合、前記第2の信号を前記1の信号より大きくする工程と、
前記第2の信号が前記第1の信号より大きい場合、前記対物レンズの光軸の第1の側に照射スポットが現れるようにする工程と、
をさらに含む、請求項24に記載の方法。 - 対象平面が最適な焦平面の下に位置する場合、前記第2の信号を前記1の信号より小さくする工程と、
前記第2の信号が前記第1の信号より小さい場合、前記光軸の第2の側に照射スポットが現れるようにする工程と、
をさらに含む、請求項25に記載の方法。
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