JPH11316194A - 物体の表面を走査するための装置および方法 - Google Patents
物体の表面を走査するための装置および方法Info
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- JPH11316194A JPH11316194A JP10350678A JP35067898A JPH11316194A JP H11316194 A JPH11316194 A JP H11316194A JP 10350678 A JP10350678 A JP 10350678A JP 35067898 A JP35067898 A JP 35067898A JP H11316194 A JPH11316194 A JP H11316194A
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 印画紙、被覆されたベース材料等のような物
体の表面のより信頼性のある誤り検出を達成する。 【解決手段】 光線を使用して物体の表面を走査する装
置である。この装置は、互いに隣り合って配置されたラ
イン部分のパターンにしたがって物体を走査し、各ライ
ン部分はそのライン部分の始めからそのライン部分の終
わりまで走査される。レシーバ装置は検出された光線を
表すレシーバ信号を生成する。この装置は、さらに、レ
シーバ信号を連続的に処理する処理装置及びサンプリン
グ及び保持回路を含み、前記サンプリング及び保持回路
は、ライン部分の第１のライン部分が走査されるときに
有効なレシーバ信号値をサンプリング及び保持し、第２
のライン部分の始めの走査中に保持値を処理装置に送出
し、保持されたレシーバ信号は第２のライン部分の始め
に隣接する第１のライン部分の参照部分に関連する。
体の表面のより信頼性のある誤り検出を達成する。 【解決手段】 光線を使用して物体の表面を走査する装
置である。この装置は、互いに隣り合って配置されたラ
イン部分のパターンにしたがって物体を走査し、各ライ
ン部分はそのライン部分の始めからそのライン部分の終
わりまで走査される。レシーバ装置は検出された光線を
表すレシーバ信号を生成する。この装置は、さらに、レ
シーバ信号を連続的に処理する処理装置及びサンプリン
グ及び保持回路を含み、前記サンプリング及び保持回路
は、ライン部分の第１のライン部分が走査されるときに
有効なレシーバ信号値をサンプリング及び保持し、第２
のライン部分の始めの走査中に保持値を処理装置に送出
し、保持されたレシーバ信号は第２のライン部分の始め
に隣接する第１のライン部分の参照部分に関連する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも一つの
光線を使用して、物体の表面、例えば、紙又は被覆され
たキャリヤ材料の表面を走査する装置及び方法に関す
る。
光線を使用して、物体の表面、例えば、紙又は被覆され
たキャリヤ材料の表面を走査する装置及び方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】このような装置及び方法は公知であり、
典型的には、連続的に移動するシート、例えば印画紙、
被覆されたベース材料等を走査するために使用される。
シートはシートの移動方向に垂直な方向に走査されてシ
ートの欠陥を検出する。光線は表面を介して反射される
か又はシートを介して透過する。処理装置はレシーバ信
号を処理して許容不可能な欠陥、例えば、シートの表面
の突出物、又はくぼみ、シートの含有物、表面の被覆の
欠陥又はシートに付着するほこり粒子をシートが示して
いるか評価する。レシーバ信号が、例えば時間単位で不
適当な変化をした場合、欠陥があると結論付けることが
できる。
典型的には、連続的に移動するシート、例えば印画紙、
被覆されたベース材料等を走査するために使用される。
シートはシートの移動方向に垂直な方向に走査されてシ
ートの欠陥を検出する。光線は表面を介して反射される
か又はシートを介して透過する。処理装置はレシーバ信
号を処理して許容不可能な欠陥、例えば、シートの表面
の突出物、又はくぼみ、シートの含有物、表面の被覆の
欠陥又はシートに付着するほこり粒子をシートが示して
いるか評価する。レシーバ信号が、例えば時間単位で不
適当な変化をした場合、欠陥があると結論付けることが
できる。
【０００３】公知の装置及び方法では、レシーバ信号が
サンプリングされ保持されたときに、第１のライン部分
の終わりが走査される。これは、次の第２のライン部分
の始めが走査される第２の周期中に、同時レシーバ信号
が、第１のライン部分の終わりに関連するレシーバ信号
のサンプリング値と共に、処理装置に入力されることを
意味する。この理由は、エレクトロニクスは処理装置の
信号をより早く安定させることができるためであり、そ
の結果、誤り検出はレシーバ信号の変化に基づくため、
第２のライン部分の走査中に誤り検出をより早く開始す
ることができ、第２のライン部分の始めの走査に、第１
のライン部分の終わりのレシーバ信号の値を利用するこ
とによって、第２のライン部分の走査が開始した直後に
誤り検出を開始することができる。
サンプリングされ保持されたときに、第１のライン部分
の終わりが走査される。これは、次の第２のライン部分
の始めが走査される第２の周期中に、同時レシーバ信号
が、第１のライン部分の終わりに関連するレシーバ信号
のサンプリング値と共に、処理装置に入力されることを
意味する。この理由は、エレクトロニクスは処理装置の
信号をより早く安定させることができるためであり、そ
の結果、誤り検出はレシーバ信号の変化に基づくため、
第２のライン部分の走査中に誤り検出をより早く開始す
ることができ、第２のライン部分の始めの走査に、第１
のライン部分の終わりのレシーバ信号の値を利用するこ
とによって、第２のライン部分の走査が開始した直後に
誤り検出を開始することができる。
【０００４】公知の装置及び方法の欠点は、第２のライ
ン部分の始めに、疑似欠陥が度々レポートされることで
ある。処理装置は物体に欠陥を検出していると思われる
が、さらなる分析では欠陥は存在しないことが示され
る。
ン部分の始めに、疑似欠陥が度々レポートされることで
ある。処理装置は物体に欠陥を検出していると思われる
が、さらなる分析では欠陥は存在しないことが示され
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
問題に対する解決策を提供することであり、そのため
に、本発明は、装置に関して、保持されたレシーバ信号
が第２のライン部分の始めに隣接して配置された第１の
ライン部分の参照部分に関連することを特徴とする。
問題に対する解決策を提供することであり、そのため
に、本発明は、装置に関して、保持されたレシーバ信号
が第２のライン部分の始めに隣接して配置された第１の
ライン部分の参照部分に関連することを特徴とする。
【０００６】本発明は、第１のライン部分の参照部分が
第２のライン部分の始めに隣接して配置される場合によ
り信頼性のある誤り検出が実行され得るという見解に基
づく。事実そうでないならば、参照部分は、第２のライ
ン部分の始めに関するレシーバ信号からかなり外れたレ
シーバ信号を得る可能性が高くなる。これらの偏差は、
例えば、物体の横方向の断面のゆるやかな変動の結果と
して生じる。このようなゆるやかな変動はキャリヤ材料
及び／又は被覆層の欠陥を含まないが、第１のラインの
部分の終わりに実際の欠陥信号を得るかもしれない。こ
れは、処理装置が参照部分に関するレシーバ信号と第２
のライン部分の始めに関するレシーバ信号との差が大き
すぎると評価するため、依然として欠陥として検出され
る。実際、処理装置は通常しきい値回路を含み、そのし
きい値はしきい値回路に既に入力されたレシーバ信号の
レベルによって決定される。しきい値回路のしきい値
が、第２のライン部分の始めが走査されるときに第２の
ライン部分の始めに隣接して配置される第１のライン部
分の参照部分によって（部分的に）決定される場合、通
常、実際の欠陥のみが検出される。
第２のライン部分の始めに隣接して配置される場合によ
り信頼性のある誤り検出が実行され得るという見解に基
づく。事実そうでないならば、参照部分は、第２のライ
ン部分の始めに関するレシーバ信号からかなり外れたレ
シーバ信号を得る可能性が高くなる。これらの偏差は、
例えば、物体の横方向の断面のゆるやかな変動の結果と
して生じる。このようなゆるやかな変動はキャリヤ材料
及び／又は被覆層の欠陥を含まないが、第１のラインの
部分の終わりに実際の欠陥信号を得るかもしれない。こ
れは、処理装置が参照部分に関するレシーバ信号と第２
のライン部分の始めに関するレシーバ信号との差が大き
すぎると評価するため、依然として欠陥として検出され
る。実際、処理装置は通常しきい値回路を含み、そのし
きい値はしきい値回路に既に入力されたレシーバ信号の
レベルによって決定される。しきい値回路のしきい値
が、第２のライン部分の始めが走査されるときに第２の
ライン部分の始めに隣接して配置される第１のライン部
分の参照部分によって（部分的に）決定される場合、通
常、実際の欠陥のみが検出される。
【０００７】本発明のさらなる利点は、走査されている
ライン部分のより大きい部分を誤り検出を実行するため
に使用することができることである。換言すると、検査
幅が、公知の装置で使用される検査幅よりも拡大され
る。
ライン部分のより大きい部分を誤り検出を実行するため
に使用することができることである。換言すると、検査
幅が、公知の装置で使用される検査幅よりも拡大され
る。
【０００８】特に、第１の及び第２のライン部分は同じ
方向に走査され、第１のライン部分の参照部分は第１の
ライン部分の始めにある。別の実施の形態によると、第
１の及び第２のライン部分は互いに反対方向に走査され
る。この場合も、第１のライン部分の参照部分は第１の
ライン部分の終わりにあるため、第１のライン部分の参
照部分が第２のライン部分の始めに隣接することが確実
となる。
方向に走査され、第１のライン部分の参照部分は第１の
ライン部分の始めにある。別の実施の形態によると、第
１の及び第２のライン部分は互いに反対方向に走査され
る。この場合も、第１のライン部分の参照部分は第１の
ライン部分の終わりにあるため、第１のライン部分の参
照部分が第２のライン部分の始めに隣接することが確実
となる。
【０００９】本発明のさらなる利点は、サンプリング及
び保持回路では比較的大きなキャパシタンスのコンデン
サが使用されるため、レシーバ信号のノイズが処理装置
の動作に影響を与えないことである。このコンデンサは
このようなノイズをフィルタリングする。さらに、レシ
ーバ装置は小さな欠陥に対する感度が高い。
び保持回路では比較的大きなキャパシタンスのコンデン
サが使用されるため、レシーバ信号のノイズが処理装置
の動作に影響を与えないことである。このコンデンサは
このようなノイズをフィルタリングする。さらに、レシ
ーバ装置は小さな欠陥に対する感度が高い。
【００１０】本発明による方法は、保持されたレシーバ
信号が、第２のライン部分の始めに隣接して配置される
第１のライン部分の参照部分に関連することを特徴とす
る。
信号が、第２のライン部分の始めに隣接して配置される
第１のライン部分の参照部分に関連することを特徴とす
る。
【００１１】これら全ては図面を参照してさらに説明さ
れる。
れる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】少なくとも一つの光線を
使用して紙又は被覆されたキャリヤ材料のような物体の
表面を走査する装置が提供され、この装置は、光線を使
用して互いに隣り合って配置されたライン部分のパター
ンにしたがって物体を走査するための光源を有し、各ラ
イン部分はそのライン部分の始めからそのライン部分の
終わりまで走査され、物体によって反射されたか物体を
透過した光線を検出するレシーバ装置を有し、該レシー
バ装置は検出された光線を表すレシーバ信号を生成し、
レシーバ信号を処理する処理装置を有し、さらにサンプ
リング及び保持回路を有し、該サンプリング及び保持回
路は、ライン部分のうちの第１のライン部分が走査され
るときに有効なレシーバ信号値をサンプリング及び保持
し、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始め
が走査される初期周期中に、保持されたレシーバ信号値
を処理装置に送出する。
使用して紙又は被覆されたキャリヤ材料のような物体の
表面を走査する装置が提供され、この装置は、光線を使
用して互いに隣り合って配置されたライン部分のパター
ンにしたがって物体を走査するための光源を有し、各ラ
イン部分はそのライン部分の始めからそのライン部分の
終わりまで走査され、物体によって反射されたか物体を
透過した光線を検出するレシーバ装置を有し、該レシー
バ装置は検出された光線を表すレシーバ信号を生成し、
レシーバ信号を処理する処理装置を有し、さらにサンプ
リング及び保持回路を有し、該サンプリング及び保持回
路は、ライン部分のうちの第１のライン部分が走査され
るときに有効なレシーバ信号値をサンプリング及び保持
し、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始め
が走査される初期周期中に、保持されたレシーバ信号値
を処理装置に送出する。
【００１３】少なくとも一つの光線を使用して紙又は被
覆されたキャリヤ材料のような物体の表面を走査する方
法がさらに提供され、物体は、光線を使用して互いに隣
り合って配置されたライン部分のパターンにしたがって
走査され、各ライン部分はそのライン部分の始めからそ
のライン部分の終わりまで走査され、物体によって反射
されたか物体を透過した光線が検出され、検出された光
線を表すレシーバ信号が生成され、レシーバ信号を処理
する処理装置をさらに利用し、ライン部分のうちの第１
のライン部分が走査される時に有効なレシーバ信号値が
サンプリング及び保持され、保持されたレシーバ信号値
は、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始め
が走査される初期周期中に処理装置に送出される。
覆されたキャリヤ材料のような物体の表面を走査する方
法がさらに提供され、物体は、光線を使用して互いに隣
り合って配置されたライン部分のパターンにしたがって
走査され、各ライン部分はそのライン部分の始めからそ
のライン部分の終わりまで走査され、物体によって反射
されたか物体を透過した光線が検出され、検出された光
線を表すレシーバ信号が生成され、レシーバ信号を処理
する処理装置をさらに利用し、ライン部分のうちの第１
のライン部分が走査される時に有効なレシーバ信号値が
サンプリング及び保持され、保持されたレシーバ信号値
は、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始め
が走査される初期周期中に処理装置に送出される。
【００１４】
【発明の実施の形態】最初に、図１〜４を参照して、光
線を使用して物体の表面を走査する公知の装置について
説明する。物体は、紙、被覆物が施されたキャリヤ材料
等からなる。
線を使用して物体の表面を走査する公知の装置について
説明する。物体は、紙、被覆物が施されたキャリヤ材料
等からなる。
【００１５】シートとして前進し、図１に表される装置
を使用して検査される材料の形態の物体１が支持され、
支持ローラ４によって曲げられ、矢印６で示される長手
方向に連続的に前進される。この装置２は、光ビーム１
０を射出するレーザ光源８を含む。レーザ光ビーム１０
は回転ポリゴンミラー１２によって反射され、該回転ポ
リゴンミラーは、この例では反射ファセット１２ａを有
する１２面体プリズムの形状を有する。
を使用して検査される材料の形態の物体１が支持され、
支持ローラ４によって曲げられ、矢印６で示される長手
方向に連続的に前進される。この装置２は、光ビーム１
０を射出するレーザ光源８を含む。レーザ光ビーム１０
は回転ポリゴンミラー１２によって反射され、該回転ポ
リゴンミラーは、この例では反射ファセット１２ａを有
する１２面体プリズムの形状を有する。
【００１６】ポリゴンミラー１２は入射レーザ光ビーム
１０ａを受け取り、物体１をライン部分１４に沿って走
査するための走査ビーム１０ｂを方向付ける。走査ビー
ムは物体１によって反射される。その反射の際に物体１
によって変調される走査ビームは線状光受容装置１６に
当たり、該線状光受容装置は光の反射量を検出し、検出
光線を表すレシーバ信号Ｏを生成する。レシーバ信号は
ライン１８、１９、サンプリング及び保持回路２０を介
して処理装置２２へ送出され、レシーバ信号を処理す
る。
１０ａを受け取り、物体１をライン部分１４に沿って走
査するための走査ビーム１０ｂを方向付ける。走査ビー
ムは物体１によって反射される。その反射の際に物体１
によって変調される走査ビームは線状光受容装置１６に
当たり、該線状光受容装置は光の反射量を検出し、検出
光線を表すレシーバ信号Ｏを生成する。レシーバ信号は
ライン１８、１９、サンプリング及び保持回路２０を介
して処理装置２２へ送出され、レシーバ信号を処理す
る。
【００１７】ポリゴンミラー１２が時計回りに駆動され
物体１が矢印６の方向に前進されると、物体は、図３に
概略的に示されるように、互いに隣り合って配置される
ライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．）のパタ
ーンにしたがって走査される。各ライン部分２４．ｉは
ライン部分の始めからライン部分の終わりまで走査され
る。この例では、ライン部分２４．ｉはそれぞれ同じ方
向、即ち左から右へ矢印８の方向に走査される。さら
に、この例では、ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さで
あり、ライン部分はそれぞれ少なくともほぼ直線であ
る。しかし、ライン部分は折り曲げられ、互いに異なる
長さを有し得る。さらに、この例では、ライン部分は少
なくとも互いにほぼ平行に向けられる。しかし、これは
本発明にとって必須ではない。
物体１が矢印６の方向に前進されると、物体は、図３に
概略的に示されるように、互いに隣り合って配置される
ライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．）のパタ
ーンにしたがって走査される。各ライン部分２４．ｉは
ライン部分の始めからライン部分の終わりまで走査され
る。この例では、ライン部分２４．ｉはそれぞれ同じ方
向、即ち左から右へ矢印８の方向に走査される。さら
に、この例では、ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さで
あり、ライン部分はそれぞれ少なくともほぼ直線であ
る。しかし、ライン部分は折り曲げられ、互いに異なる
長さを有し得る。さらに、この例では、ライン部分は少
なくとも互いにほぼ平行に向けられる。しかし、これは
本発明にとって必須ではない。
【００１８】図２は、図１のサンプリング及び保持装置
２０の可能なさらなる詳細を概略的に示す。サンプリン
グ及び保持回路２０は切り換え手段２６、コンデンサ２
８及びタイミング回路３０を含む。切り換え手段は、こ
の例では、レシーバ装置１６の出力信号がライン１８を
介して入力される単一のスイッチ２６からなる。スイッ
チ２６はタイミング回路３０によって制御される。スイ
ッチ２６の出力３２はコンデンサ２８を介してアースに
接続される。コンデンサ２８と出力３２との接合部はラ
イン１９を介して処理ユニット２２に接続される。コン
デンサ２８は５０ｐＦの値を有する。
２０の可能なさらなる詳細を概略的に示す。サンプリン
グ及び保持回路２０は切り換え手段２６、コンデンサ２
８及びタイミング回路３０を含む。切り換え手段は、こ
の例では、レシーバ装置１６の出力信号がライン１８を
介して入力される単一のスイッチ２６からなる。スイッ
チ２６はタイミング回路３０によって制御される。スイ
ッチ２６の出力３２はコンデンサ２８を介してアースに
接続される。コンデンサ２８と出力３２との接合部はラ
イン１９を介して処理ユニット２２に接続される。コン
デンサ２８は５０ｐＦの値を有する。
【００１９】図１〜４による装置の動作は以下の通りで
ある。
ある。
【００２０】述べたように、物体は図３のパターンにし
たがって走査される。この点に関して、時間ｔ＝０と
は、各ライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．，
ｎ）の走査が開始される時間として定義される。さら
に、時間ｔ＝ｔ1 は、時間ｔ＝０に対してライン２４．
ｉの走査が終了した時間として定義される。さらに、時
間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６はライン部分２４．ｉの走査
中に閉じられる（Ｓ26＝１、図４参照）。スイッチ２６
は、時間ｔ＝ｔ3 に到達するまで、閉じられたままであ
る。これは、時間ｔ＝ｔ3 にスイッチが再び開くことを
意味する（Ｓ26＝０、図４参照）。さらに、時間ｔ＝ｔ
4 で、処理ユニット２２は、検出した光線を表す信号の
処理を開始し、該信号はライン部分２４．ｉの走査で得
られ物体１の誤り検出のためにライン１９を介して処理
ユニット２２へ入力される（Ｖ＝１、図４参照）。時間
ｔ＝ｔ5 （Ｖ＝０、図４参照）で、処理装置２２は、ラ
イン部分２４．ｉの走査で得られたレシーバ信号Ｏのさ
らなる処理を終える。この例において、ｔ3 ＝ｔ5 であ
る。
たがって走査される。この点に関して、時間ｔ＝０と
は、各ライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．，
ｎ）の走査が開始される時間として定義される。さら
に、時間ｔ＝ｔ1 は、時間ｔ＝０に対してライン２４．
ｉの走査が終了した時間として定義される。さらに、時
間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６はライン部分２４．ｉの走査
中に閉じられる（Ｓ26＝１、図４参照）。スイッチ２６
は、時間ｔ＝ｔ3 に到達するまで、閉じられたままであ
る。これは、時間ｔ＝ｔ3 にスイッチが再び開くことを
意味する（Ｓ26＝０、図４参照）。さらに、時間ｔ＝ｔ
4 で、処理ユニット２２は、検出した光線を表す信号の
処理を開始し、該信号はライン部分２４．ｉの走査で得
られ物体１の誤り検出のためにライン１９を介して処理
ユニット２２へ入力される（Ｖ＝１、図４参照）。時間
ｔ＝ｔ5 （Ｖ＝０、図４参照）で、処理装置２２は、ラ
イン部分２４．ｉの走査で得られたレシーバ信号Ｏのさ
らなる処理を終える。この例において、ｔ3 ＝ｔ5 であ
る。
【００２１】タイミング回路３０は制御信号Ｓを生成
し、該制御信号はスイッチ２６及び処理装置２２に入力
されてスイッチ２６を開閉し、処理装置２２による信号
処理を開始したり終了したりする。ポリゴンミラー１２
は、タイミング回路３０の同期信号を生成する固有のジ
ェネレータ１２’を有する。
し、該制御信号はスイッチ２６及び処理装置２２に入力
されてスイッチ２６を開閉し、処理装置２２による信号
処理を開始したり終了したりする。ポリゴンミラー１２
は、タイミング回路３０の同期信号を生成する固有のジ
ェネレータ１２’を有する。
【００２２】ライン部分２４．ｉが走査されていると
き、レシーバ信号は周期ｔ2 〜ｔ3 中にコンデンサ２８
に入力される。したがってコンデンサは入力されたレシ
ーバ信号のレベルまで帯電し、レシーバ信号の変化にな
らう。また、ライン２４．ｉに関する周期ｔ4 〜ｔ5 中
に、関連レシーバ信号は誤り検出のために処理装置２２
によって処理される。時間ｔ＝ｔ3 でスイッチ２６が開
かれ、処理装置２２によるレシーバ信号の処理が終了す
る。結果として、コンデンサ２８は、レシーバ信号がラ
イン２４．ｉの走査の際におよそ時間ｔ＝ｔ3 で生成さ
れるようにこれを保持する。ライン部分２４．ｉの最後
の部分が走査される周期に関する時間ｔ＝ｔ3 と時間ｔ
＝ｔ1 との間、レシーバ信号はスイッチ２６が開かれる
まで処理されない。しかし、ライン部分２４．ｉに関す
る時間ｔ＝ｔ3 からライン部分２４．（ｉ＋１）に関す
る時間ｔ＝ｔ2 まで、コンデンサ２８によって保持され
た信号が処理装置２２に与えられる。続いて、ライン部
分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 で、スイッチ
２６は再び閉じられる。これは、そのときから、レシー
バ信号がコンデンサ２８によって保持されるレシーバ信
号の値Ｓ／Ｈ（図４の点線で示される）と共に処理装置
２２に入力されることを意味する。ライン部分２４．
（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ4 から、処理装置が誤り
検出のために入力された信号をさらに処理するように起
動される。ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 か
らライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 ま
での周期中、コンデンサ２８によって保持された信号は
処理装置２２に入力されるため、これは、新しいライン
部分２４．（ｉ＋１）の始めの走査に、処理装置２２が
レシーバ信号のさらなる処理のためにすぐに起動される
ことができるという効果を有する。公知の処理装置２２
はすぐに安定される。
き、レシーバ信号は周期ｔ2 〜ｔ3 中にコンデンサ２８
に入力される。したがってコンデンサは入力されたレシ
ーバ信号のレベルまで帯電し、レシーバ信号の変化にな
らう。また、ライン２４．ｉに関する周期ｔ4 〜ｔ5 中
に、関連レシーバ信号は誤り検出のために処理装置２２
によって処理される。時間ｔ＝ｔ3 でスイッチ２６が開
かれ、処理装置２２によるレシーバ信号の処理が終了す
る。結果として、コンデンサ２８は、レシーバ信号がラ
イン２４．ｉの走査の際におよそ時間ｔ＝ｔ3 で生成さ
れるようにこれを保持する。ライン部分２４．ｉの最後
の部分が走査される周期に関する時間ｔ＝ｔ3 と時間ｔ
＝ｔ1 との間、レシーバ信号はスイッチ２６が開かれる
まで処理されない。しかし、ライン部分２４．ｉに関す
る時間ｔ＝ｔ3 からライン部分２４．（ｉ＋１）に関す
る時間ｔ＝ｔ2 まで、コンデンサ２８によって保持され
た信号が処理装置２２に与えられる。続いて、ライン部
分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 で、スイッチ
２６は再び閉じられる。これは、そのときから、レシー
バ信号がコンデンサ２８によって保持されるレシーバ信
号の値Ｓ／Ｈ（図４の点線で示される）と共に処理装置
２２に入力されることを意味する。ライン部分２４．
（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ4 から、処理装置が誤り
検出のために入力された信号をさらに処理するように起
動される。ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 か
らライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 ま
での周期中、コンデンサ２８によって保持された信号は
処理装置２２に入力されるため、これは、新しいライン
部分２４．（ｉ＋１）の始めの走査に、処理装置２２が
レシーバ信号のさらなる処理のためにすぐに起動される
ことができるという効果を有する。公知の処理装置２２
はすぐに安定される。
【００２３】述べたように、処理装置２２は、処理装置
２２に入力された信号に起こる変化に基づいて欠陥を検
出する。上述の公知の装置に現れる問題は、処理装置２
２が、特に時間ｔ＝ｔ4 の直後に、欠陥を知らせること
であり、この欠陥はさらなる検査によって物体に存在し
ないことが判明する。本発明の見解によると、これは、
ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 のレシーバ信
号、即ち、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の走査中に
処理装置２２にライン部分２４．（ｉ＋１）に関する同
時レシーバ信号と共に、入力されるように保持されるレ
シーバ信号の値が、ライン部分２４．（ｉ＋１）に関す
るこの同時レシーバ信号からかなりの程度外れている状
況によることが分かる。換言すると、時間ｔ＝ｔ3 に走
査されるライン部分２４．ｉの領域の表面構造は、時間
ｔ＝ｔ2 に走査されるライン部分２４．（ｉ＋１）の領
域の表面構造から外れている。これらの差は大きいた
め、いわゆる疑似誤りが処理装置２２によって検出され
る。
２２に入力された信号に起こる変化に基づいて欠陥を検
出する。上述の公知の装置に現れる問題は、処理装置２
２が、特に時間ｔ＝ｔ4 の直後に、欠陥を知らせること
であり、この欠陥はさらなる検査によって物体に存在し
ないことが判明する。本発明の見解によると、これは、
ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 のレシーバ信
号、即ち、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の走査中に
処理装置２２にライン部分２４．（ｉ＋１）に関する同
時レシーバ信号と共に、入力されるように保持されるレ
シーバ信号の値が、ライン部分２４．（ｉ＋１）に関す
るこの同時レシーバ信号からかなりの程度外れている状
況によることが分かる。換言すると、時間ｔ＝ｔ3 に走
査されるライン部分２４．ｉの領域の表面構造は、時間
ｔ＝ｔ2 に走査されるライン部分２４．（ｉ＋１）の領
域の表面構造から外れている。これらの差は大きいた
め、いわゆる疑似誤りが処理装置２２によって検出され
る。
【００２４】図１及び図５〜７を参照して、上述の欠点
を満たす本発明による装置の第１の可能な実施の形態を
説明する。
を満たす本発明による装置の第１の可能な実施の形態を
説明する。
【００２５】図５では、図２に対応する要素が同じ参照
番号で提供される。図５のサンプリング及び保持回路に
はコンデンサ２８’が設けられており、該コンデンサは
一方の側が出力３２に接続され、他方の側がスイッチ３
８を介してアースに接続される。スイッチ３８はタイミ
ング回路３０’によって同様に制御される。さらに、抵
抗器３４が加えられた。コンデンサ２８’の値は、この
例では１５００ｐＦであり、抵抗器３４の値は２２ＭΩ
である。
番号で提供される。図５のサンプリング及び保持回路に
はコンデンサ２８’が設けられており、該コンデンサは
一方の側が出力３２に接続され、他方の側がスイッチ３
８を介してアースに接続される。スイッチ３８はタイミ
ング回路３０’によって同様に制御される。さらに、抵
抗器３４が加えられた。コンデンサ２８’の値は、この
例では１５００ｐＦであり、抵抗器３４の値は２２ＭΩ
である。
【００２６】この装置の動作は以下の通りである。この
装置を使用して、物体は図６に示されるライン部分のパ
ターンにしたがって走査され、これから、ライン部分は
それぞれ同じ方向に走査されることが分かる。図７は、
第１のライン部分２４．ｉ及び第２のライン部分２４．
（ｉ＋１）に関するスイッチ２６及び３８の種々の位置
を概略的に示す。
装置を使用して、物体は図６に示されるライン部分のパ
ターンにしたがって走査され、これから、ライン部分は
それぞれ同じ方向に走査されることが分かる。図７は、
第１のライン部分２４．ｉ及び第２のライン部分２４．
（ｉ＋１）に関するスイッチ２６及び３８の種々の位置
を概略的に示す。
【００２７】図７では、時間ｔ＝０はライン部分２４．
ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．ｎ）の走査が開始される時
間として定義される。時間ｔ＝ｔ1 は各ライン部分２
４．ｉの走査が終了する時間である。さらに、図７か
ら、時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６は閉じられ時間ｔ＝ｔ
3 で再び開かれることが各ラインに当てはまることが分
かる。さらに、時間ｔ＝ｔ4 の各ライン部分２４．ｉの
走査中に、処理装置２２が起動されてライン１９を介し
て入力された信号を処理する。これらの信号の処理は時
間ｔ＝ｔ5 に終わる。この例では、時間ｔ＝ｔ3 は時間
ｔ＝ｔ5 に等しい。さらに、図７から、スイッチ３８は
ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ6 （Ｓ38＝１、
図７参照）で閉じられ、このスイッチは次のライン部分
２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ7 （Ｓ38＝０、図
７参照）で再び開かれることが各ライン部分に当てはま
ることが分かる。この例では、各ライン部分を保持し、
時間ｔ 6 は時間ｔ3 及びｔ5 に一致することが各ライン
部分に当てはまる。また、ライン部分２４．ｉに関する
時間ｔ＝ｔ7 はライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ
4 に先行することも当てはまる（ｉ＝１，２，
３，．．．，ｎ）。
ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．ｎ）の走査が開始される時
間として定義される。時間ｔ＝ｔ1 は各ライン部分２
４．ｉの走査が終了する時間である。さらに、図７か
ら、時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６は閉じられ時間ｔ＝ｔ
3 で再び開かれることが各ラインに当てはまることが分
かる。さらに、時間ｔ＝ｔ4 の各ライン部分２４．ｉの
走査中に、処理装置２２が起動されてライン１９を介し
て入力された信号を処理する。これらの信号の処理は時
間ｔ＝ｔ5 に終わる。この例では、時間ｔ＝ｔ3 は時間
ｔ＝ｔ5 に等しい。さらに、図７から、スイッチ３８は
ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ6 （Ｓ38＝１、
図７参照）で閉じられ、このスイッチは次のライン部分
２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ7 （Ｓ38＝０、図
７参照）で再び開かれることが各ライン部分に当てはま
ることが分かる。この例では、各ライン部分を保持し、
時間ｔ 6 は時間ｔ3 及びｔ5 に一致することが各ライン
部分に当てはまる。また、ライン部分２４．ｉに関する
時間ｔ＝ｔ7 はライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ
4 に先行することも当てはまる（ｉ＝１，２，
３，．．．，ｎ）。
【００２８】２４．ｉの走査において、周期ｔ2 〜ｔ7
中に、レシーバ信号がライン１９に入力される。同時に
スイッチ３８が閉じられているため、コンデンサ２８’
はレシーバ信号の値を受け取る。コンデンサ２８’はレ
シーバ信号の変化にならう。同時に、コンデンサ２８’
は、比較的高いキャパシタンス値によるノイズをレシー
バ信号からフィルタリングする。続いて時間ｔ7 でスイ
ッチ３８が開かれると、コンデンサ２８’はレシーバ信
号のノイズの平均値で同時値を保持する。換言すると、
ライン部分２４．ｉが走査される時間ｔ＝ｔ7 で有効な
レシーバ信号値がサンプリングされ保持される。保持さ
れたレシーバ信号は、次のライン部分２４．（ｉ＋１）
の始め４６に隣接するライン部分２４．ｉの参照部分４
４に関連する（図６参照）。その後、ライン部分２４．
ｉに関する時間ｔ＝ｔ7 からライン部分２４．ｉに関す
る時間ｔ＝ｔ6 まで、レシーバ信号は直接レシーバ装置
２２に入力される。スイッチ３８はこの周期中に開いて
いるため、レシーバ信号はその全帯域幅にわたって処理
装置２２に入力される。レシーバ信号はフィルタリング
されずに処理装置２２に入力されるため、処理装置は比
較的高精度でレシーバ信号を分析することができる。こ
れは、レシーバ信号がコンデンサ２８によってフィルタ
リングされる図２による装置と対照的である。
中に、レシーバ信号がライン１９に入力される。同時に
スイッチ３８が閉じられているため、コンデンサ２８’
はレシーバ信号の値を受け取る。コンデンサ２８’はレ
シーバ信号の変化にならう。同時に、コンデンサ２８’
は、比較的高いキャパシタンス値によるノイズをレシー
バ信号からフィルタリングする。続いて時間ｔ7 でスイ
ッチ３８が開かれると、コンデンサ２８’はレシーバ信
号のノイズの平均値で同時値を保持する。換言すると、
ライン部分２４．ｉが走査される時間ｔ＝ｔ7 で有効な
レシーバ信号値がサンプリングされ保持される。保持さ
れたレシーバ信号は、次のライン部分２４．（ｉ＋１）
の始め４６に隣接するライン部分２４．ｉの参照部分４
４に関連する（図６参照）。その後、ライン部分２４．
ｉに関する時間ｔ＝ｔ7 からライン部分２４．ｉに関す
る時間ｔ＝ｔ6 まで、レシーバ信号は直接レシーバ装置
２２に入力される。スイッチ３８はこの周期中に開いて
いるため、レシーバ信号はその全帯域幅にわたって処理
装置２２に入力される。レシーバ信号はフィルタリング
されずに処理装置２２に入力されるため、処理装置は比
較的高精度でレシーバ信号を分析することができる。こ
れは、レシーバ信号がコンデンサ２８によってフィルタ
リングされる図２による装置と対照的である。
【００２９】ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ4
から、処理装置２２は入力されたレシーバ信号の処理を
事実上開始する。時間ｔ＝ｔ4 はライン部分２４．ｉの
位置４８に対応する。ライン部分２４．ｉのレシーバ信
号の処理は時間ｔ3 ＝ｔ5 ＝ｔ6 に終わる。この位置は
図６の参照番号５０で示される。ライン部分２４．ｉに
関する時間ｔ＝ｔ6 から、スイッチ２６が開かれ、スイ
ッチ３８が閉じられる。これは、コンデンサ２８’が処
理装置２２に接続されるという効果を有する。したがっ
て、このときから、サンプリングされ保持された信号は
処理装置に入力される。抵抗器３４の機能は、周期ｔ2
〜ｔ3 におけるコンデンサ２８’の漏れのロスを補償す
ることである。そこで、ライン部分２４．ｉ（ｉ＋１）
の走査中に時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６が再び閉じられ
る。これは、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始めが
走査される初期周期ｔ2 〜ｔ7 中に、レシーバ信号の保
持値Ｓ／Ｈ（図７に点線で示される）が処理装置２２に
入力されることを意味する。この初期周期において、さ
らに、レシーバ信号は処理装置２２に送出される。次
に、処理装置２２は、レシーバ信号をさらに分析するた
めに上述のしきい値を比較的迅速に決定する。保持され
たレシーバ信号は、ライン部分２４．（ｉ＋１）の始め
に隣接するライン部分２４．ｉの参照部分４４に関連す
るため、エッジに隣接する物体１の不均一な表面構造に
よっても処理装置２２は疑似誤りを検出せず、これは物
体の不均一なエッジは、例えば正面図では、ライン部分
２４．ｉの参照部分４４及びライン部分２４．（ｉ＋
１）の始め４６の両方にあるためである。図２による装
置の場合と対照的に、物体１のエッジに隣接する不均一
な表面は、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始めが走
査される初期周期中に、保持信号とレシーバ信号との間
に差を生じさせない。この例では、スイッチ２６が開か
れるとスイッチ３８は閉じられることもさらに当てはま
る。結果的に、この周期では、保持された信号は処理装
置２２にも入力される。処理装置２２の迅速な安定化が
達成され、その結果、処理装置は図２による装置の場合
よりも迅速に起動されて誤りを検出する。換言すると、
時間ｔ＝ｔ4 は、図２による装置よりも本発明による装
置のｔ＝０に近い。
から、処理装置２２は入力されたレシーバ信号の処理を
事実上開始する。時間ｔ＝ｔ4 はライン部分２４．ｉの
位置４８に対応する。ライン部分２４．ｉのレシーバ信
号の処理は時間ｔ3 ＝ｔ5 ＝ｔ6 に終わる。この位置は
図６の参照番号５０で示される。ライン部分２４．ｉに
関する時間ｔ＝ｔ6 から、スイッチ２６が開かれ、スイ
ッチ３８が閉じられる。これは、コンデンサ２８’が処
理装置２２に接続されるという効果を有する。したがっ
て、このときから、サンプリングされ保持された信号は
処理装置に入力される。抵抗器３４の機能は、周期ｔ2
〜ｔ3 におけるコンデンサ２８’の漏れのロスを補償す
ることである。そこで、ライン部分２４．ｉ（ｉ＋１）
の走査中に時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６が再び閉じられ
る。これは、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始めが
走査される初期周期ｔ2 〜ｔ7 中に、レシーバ信号の保
持値Ｓ／Ｈ（図７に点線で示される）が処理装置２２に
入力されることを意味する。この初期周期において、さ
らに、レシーバ信号は処理装置２２に送出される。次
に、処理装置２２は、レシーバ信号をさらに分析するた
めに上述のしきい値を比較的迅速に決定する。保持され
たレシーバ信号は、ライン部分２４．（ｉ＋１）の始め
に隣接するライン部分２４．ｉの参照部分４４に関連す
るため、エッジに隣接する物体１の不均一な表面構造に
よっても処理装置２２は疑似誤りを検出せず、これは物
体の不均一なエッジは、例えば正面図では、ライン部分
２４．ｉの参照部分４４及びライン部分２４．（ｉ＋
１）の始め４６の両方にあるためである。図２による装
置の場合と対照的に、物体１のエッジに隣接する不均一
な表面は、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始めが走
査される初期周期中に、保持信号とレシーバ信号との間
に差を生じさせない。この例では、スイッチ２６が開か
れるとスイッチ３８は閉じられることもさらに当てはま
る。結果的に、この周期では、保持された信号は処理装
置２２にも入力される。処理装置２２の迅速な安定化が
達成され、その結果、処理装置は図２による装置の場合
よりも迅速に起動されて誤りを検出する。換言すると、
時間ｔ＝ｔ4 は、図２による装置よりも本発明による装
置のｔ＝０に近い。
【００３０】したがって、上記から、タイミング回路３
０はスイッチ２６及びスイッチ３８を以下のように制御
する。初期周期中、コンデンサ及びレシーバ装置は処理
装置に並列に接続される。初期周期後の周期中、レシー
バ装置は処理装置に接続され、コンデンサはレシーバ装
置及び処理装置からの接続を外される。第１のライン部
分が走査される周期と第２のライン部分が走査される周
期の間の周期中、コンデンサは処理装置に接続され、レ
シーバ装置はコンデンサ及び処理装置からの接続を外さ
れる。
０はスイッチ２６及びスイッチ３８を以下のように制御
する。初期周期中、コンデンサ及びレシーバ装置は処理
装置に並列に接続される。初期周期後の周期中、レシー
バ装置は処理装置に接続され、コンデンサはレシーバ装
置及び処理装置からの接続を外される。第１のライン部
分が走査される周期と第２のライン部分が走査される周
期の間の周期中、コンデンサは処理装置に接続され、レ
シーバ装置はコンデンサ及び処理装置からの接続を外さ
れる。
【００３１】さらに言えることは、タイミング回路は、
第１のライン部分の始めが走査される周期中、コンデン
サ及びレシーバ装置が処理装置に並列に接続されるよう
に、切り換え手段を制御することである。
第１のライン部分の始めが走査される周期中、コンデン
サ及びレシーバ装置が処理装置に並列に接続されるよう
に、切り換え手段を制御することである。
【００３２】さらに言えることは、タイミング回路は、
レシーバ装置がコンデンサ及び処理装置からの接続を外
される少なくとも周期中、コンデンサが処理装置に接続
されるように、切り換え手段を制御することである。
レシーバ装置がコンデンサ及び処理装置からの接続を外
される少なくとも周期中、コンデンサが処理装置に接続
されるように、切り換え手段を制御することである。
【００３３】さらに言えることは、タイミング回路は、
処理装置が、初期周期に続いて開始する信号処理周期に
おいて、第２のライン部分の走査に関して処理装置に送
出される信号を処理するように、切り換え手段を制御す
ることである。
処理装置が、初期周期に続いて開始する信号処理周期に
おいて、第２のライン部分の走査に関して処理装置に送
出される信号を処理するように、切り換え手段を制御す
ることである。
【００３４】さらに言えることは、第１のサブ周期（ｔ
＝ｔ7 ）の終わりと処理周期の始め（ｔ＝ｔ4 ）との間
の時間経過ｔ4 〜ｔ7 は、この例では、ｔ2 〜ｔ7 の第
１のサブ周期の持続時間よりも短い。しかし、第１のサ
ブ周期の持続時間を、必要ならば、他の要素の使用によ
って早めることができる。
＝ｔ7 ）の終わりと処理周期の始め（ｔ＝ｔ4 ）との間
の時間経過ｔ4 〜ｔ7 は、この例では、ｔ2 〜ｔ7 の第
１のサブ周期の持続時間よりも短い。しかし、第１のサ
ブ周期の持続時間を、必要ならば、他の要素の使用によ
って早めることができる。
【００３５】初期周期の持続時間は、初期周期の終わり
と処理周期の開始ｔ4 との間の時間経過よりも短いこと
も考えられる。
と処理周期の開始ｔ4 との間の時間経過よりも短いこと
も考えられる。
【００３６】この例では、ライン部分２４．（ｉ＋１）
の信号処理周期は、このライン部分に関するレシーバ信
号が処理装置に入力される周期の終了時に終了する。換
言すると、ｔ3 ＝ｔ5 である。しかし、時間ｔ5 を時間
ｔ3 より前にすることも可能である。
の信号処理周期は、このライン部分に関するレシーバ信
号が処理装置に入力される周期の終了時に終了する。換
言すると、ｔ3 ＝ｔ5 である。しかし、時間ｔ5 を時間
ｔ3 より前にすることも可能である。
【００３７】図１、５〜７による装置の例では、ライン
部分はそれぞれ同じ方向に走査される。以下に述べられ
る図１、５、８及び９による装置の例では、ライン部分
は反対方向に交互に走査される。
部分はそれぞれ同じ方向に走査される。以下に述べられ
る図１、５、８及び９による装置の例では、ライン部分
は反対方向に交互に走査される。
【００３８】図８及び９では、図６及び７に対応する部
分には同じ参照番号が施されている。重要な違いは、時
間ｔ＝ｔ5 が時間ｔ＝ｔ3 より先に起こることが各ライ
ン部分に当てはまることである。また、各ライン部分に
言えることは、時間ｔ＝ｔ6は時間ｔ＝ｔ3 と時間ｔ＝
ｔ5 との間にあることである。結果として、例えば、ラ
イン部分２４．ｉの周期ｔ＝ｔ6 〜ｔ＝ｔ3 中、コンデ
ンサ２８’はレシーバ信号の値を受け取る。ライン部分
２４．ｉの時間ｔ＝ｔ3 にスイッチ２６が開かれると、
結果的に、コンデンサはレシーバ信号の同時値を保持す
る。この保持されたレシーバ信号は、周期ｔ2 〜ｔ7 の
次のライン部分２４．（ｉ＋１）の走査中に、レシーバ
信号と共に処理装置に入力される。したがって、この周
期中、ライン２４．（ｉ＋１）の走査のための処理装置
の安定化に関して、図６及び７に関して述べたのと同じ
ことが起こる。しかし、この例で言えることは、ライン
部分２４．ｉの参照部分４４がライン部分の終わり５２
に配置されることである（図８参照）。ライン部分２
４．ｉ及び２４．（ｉ＋１）は反対方向に走査されるた
め、ライン部分２４．ｉの終わり５２はライン部分２
４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接することが言える。結
果的に、ライン部分２４．ｉの参照部分４４はライン部
分２４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接する。この例で
も、疑似欠陥レポートは少なくとも実質的になくなるこ
とが言える。もちろん、全体的に類似した方法で、この
保持された信号をスタートで、即ちライン部分２４．
（ｉ＋２）の走査の始めで使用するために、レシーバ信
号の関連値をライン部分２４．（ｉ＋１）の終わりに隣
接させて保持する。時間ｔ1 〜ｔ7 及び本発明による装
置の関連する動作は、それぞれ走査されたライン部分２
４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．，ｎ）に対して同一で
ある。タイミング回路は、第１のライン部分の始めが走
査される周期中及び第２のライン部分の終わりが走査さ
れる周期中、コンデンサ及びレシーバ装置が処理装置に
並列に接続されるように、切り換え手段を制御すること
が言える。
分には同じ参照番号が施されている。重要な違いは、時
間ｔ＝ｔ5 が時間ｔ＝ｔ3 より先に起こることが各ライ
ン部分に当てはまることである。また、各ライン部分に
言えることは、時間ｔ＝ｔ6は時間ｔ＝ｔ3 と時間ｔ＝
ｔ5 との間にあることである。結果として、例えば、ラ
イン部分２４．ｉの周期ｔ＝ｔ6 〜ｔ＝ｔ3 中、コンデ
ンサ２８’はレシーバ信号の値を受け取る。ライン部分
２４．ｉの時間ｔ＝ｔ3 にスイッチ２６が開かれると、
結果的に、コンデンサはレシーバ信号の同時値を保持す
る。この保持されたレシーバ信号は、周期ｔ2 〜ｔ7 の
次のライン部分２４．（ｉ＋１）の走査中に、レシーバ
信号と共に処理装置に入力される。したがって、この周
期中、ライン２４．（ｉ＋１）の走査のための処理装置
の安定化に関して、図６及び７に関して述べたのと同じ
ことが起こる。しかし、この例で言えることは、ライン
部分２４．ｉの参照部分４４がライン部分の終わり５２
に配置されることである（図８参照）。ライン部分２
４．ｉ及び２４．（ｉ＋１）は反対方向に走査されるた
め、ライン部分２４．ｉの終わり５２はライン部分２
４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接することが言える。結
果的に、ライン部分２４．ｉの参照部分４４はライン部
分２４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接する。この例で
も、疑似欠陥レポートは少なくとも実質的になくなるこ
とが言える。もちろん、全体的に類似した方法で、この
保持された信号をスタートで、即ちライン部分２４．
（ｉ＋２）の走査の始めで使用するために、レシーバ信
号の関連値をライン部分２４．（ｉ＋１）の終わりに隣
接させて保持する。時間ｔ1 〜ｔ7 及び本発明による装
置の関連する動作は、それぞれ走査されたライン部分２
４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．，ｎ）に対して同一で
ある。タイミング回路は、第１のライン部分の始めが走
査される周期中及び第２のライン部分の終わりが走査さ
れる周期中、コンデンサ及びレシーバ装置が処理装置に
並列に接続されるように、切り換え手段を制御すること
が言える。
【００３９】本発明は、決して上述の実施の形態に限定
されない。したがって、ライン部分は互いに異なる長さ
であり得る。また、ライン部分は直線でなく円周の一部
にならうことも可能である。このような変更は全て本発
明の範囲内にあることが理解される。
されない。したがって、ライン部分は互いに異なる長さ
であり得る。また、ライン部分は直線でなく円周の一部
にならうことも可能である。このような変更は全て本発
明の範囲内にあることが理解される。
【図１】光線を使用して物体の表面を走査する装置の図
的表示である。
的表示である。
【図２】図１の装置で用いられ得る公知のサンプリング
及び保持回路を示す図である。
及び保持回路を示す図である。
【図３】パターンによって図１及び２による装置が物体
を走査することができる、互いに隣り合って配置される
ライン部分のパターンを表示する図である。
を走査することができる、互いに隣り合って配置される
ライン部分のパターンを表示する図である。
【図４】図２によるサンプリング及び保持回路の動作の
図的表示である。
図的表示である。
【図５】図１による装置で使用できる本発明によるサン
プリング及び保持回路を示す図である。
プリング及び保持回路を示す図である。
【図６】パターンによって図１及び５による装置が物体
を走査できる、互いに隣り合って配置されたライン部分
のパターンを表示する図である。
を走査できる、互いに隣り合って配置されたライン部分
のパターンを表示する図である。
【図７】物体が図６によって走査された場合の図１及び
５によるサンプリング及び保持回路の動作の概略的な例
示である。
５によるサンプリング及び保持回路の動作の概略的な例
示である。
【図８】パターンによって図１及び５による装置が物体
を走査できる、別のパターンを表示する図である。
を走査できる、別のパターンを表示する図である。
【図９】物体が図８のパターンによって走査された場合
の図１及び５による装置の動作の概略的な表示である。
の図１及び５による装置の動作の概略的な表示である。
２ 走査装置 １２ 回転ポリゴンミラー ８ レーザ光源 １６ 線状光受容体 ２０ サンプリング及び保持回路 ２２ 処理装置 ３０ タイミング回路 整理番号 ＩＶＥ９８０１
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 598169815 Ｏｕｄｅｎｓｔａａｒｔ １ 5047 ＴＫ Ｔｉｌｂｕｒｇ Ｔｈｅ Ｎｅｔｈｅｒ ｌａｎｄｓ
Claims (23)
- 【請求項１】 少なくとも一つの光線を使用して紙又は
被覆されたキャリヤ材料のような物体の表面を走査する
装置であって、光線を使用して互いに隣り合って配置さ
れたライン部分のパターンにしたがって物体を走査する
ための光源を有し、各ライン部分はそのライン部分の始
めからそのライン部分の終わりまで走査され、物体によ
って反射されたか物体を透過した光線を検出するレシー
バ装置を有し、前記レシーバ装置は検出された光線を表
すレシーバ信号を生成し、レシーバ信号を処理する処理
装置を有し、さらにサンプリング及び保持回路を有し、
前記サンプリング及び保持回路は、 ライン部分のうちの第１のライン部分が走査されるとき
に有効なレシーバ信号値をサンプリング及び保持し、 第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始めが走
査される初期周期中に、保持されたレシーバ信号値を処
理装置に送出し、 保持されたレシーバ信号は第２のライン部分の始めに隣
接する第１のライン部分の参照部分に関連することを特
徴とする、 物体の表面を走査する装置。 - 【請求項２】 第１の及び第２のライン部分は同じ方向
に走査され、第１のライン部分の参照部分は第１のライ
ン部分の始めに配置されることを特徴とする、請求項１
記載の装置。 - 【請求項３】 第１の及び第２のライン部分は互いに反
対方向に走査され、第１のライン部分の参照部分は第１
のライン部分の終わりに配置されることを特徴とする、
請求項１記載の装置。 - 【請求項４】 ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さであ
ることを特徴とする、前述の請求項のいずれか１項記載
の装置。 - 【請求項５】 ライン部分はそれぞれ少なくとも実質的
に直線であることを特徴とする、前述の請求項のいずれ
か１項記載の装置。 - 【請求項６】 ライン部分は少なくとも実質的に互いに
平行に向けられることを特徴とする、前述の請求項のい
ずれか１項記載の装置。 - 【請求項７】 初期周期中に、レシーバ信号の保持値が
レシーバ信号と共に処理装置に送出されることを特徴と
する、前述の請求項のいずれか１項記載の装置。 - 【請求項８】 サンプリング及び保持回路は、切り換え
手段と、少なくとも一つのコンデンサと、タイミング回
路と、を有し、レシーバ装置、処理装置及びコンデンサ
は切り換え手段に接続され、タイミング回路は切り換え
手段を以下のように制御し、 初期周期中、コンデンサ及びレシーバ装置は処理装置に
並列に接続され、 初期周期後の周期中、レシーバ装置は処理装置に接続さ
れ、コンデンサはレシーバ装置及び処理装置からの接続
を外され、 第１のライン部分が走査される周期と第２のライン部分
が走査される周期との間、コンデンサは処理装置に接続
され、レシーバ装置はコンデンサ及び処理装置からの接
続を外されることを特徴とする、 前述の請求項のいずれか１項記載の装置。 - 【請求項９】 タイミング回路は、第１のライン部分の
始めが走査される周期中、コンデンサ及びレシーバ装置
が処理装置に並列に接続されるように、切り換え手段を
制御することを特徴とする、請求項２及び８記載の装
置。 - 【請求項１０】 タイミング回路は、第１のライン部分
の始めが走査される周期中、及び第２のライン部分の終
わりが走査される周期中、コンデンサ及びレシーバ装置
が処理装置に並列に接続されるように、切り換え手段を
制御することを特徴とする、請求項３及び８記載の装
置。 - 【請求項１１】 タイミング回路は、レシーバ装置がコ
ンデンサ及び処理装置からの接続を外される少なくとも
周期中、コンデンサが処理装置に接続されるように切り
換え手段を制御することを特徴とする、請求項８記載の
装置。 - 【請求項１２】 タイミング回路は、初期周期の終了時
に開始する信号処理周期に、処理装置が第２のライン部
分の走査に関して処理装置に送出される信号を処理する
ように、切り換え手段を制御することを特徴とする、請
求項８乃至１１のいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１３】 初期周期の終わりと処理周期の始めと
の間の時間経過は、初期周期の持続時間よりも短いこと
を特徴とする、請求項１２記載の装置。 - 【請求項１４】 信号処理周期は、第２のライン部分に
関するレシーバ信号が処理装置に入力される周期の終了
前に終了することを特徴とする、請求項１２又は１３記
載の装置。 - 【請求項１５】 第２のライン部分に関する信号処理周
期は、第２のライン部分に関するレシーバ信号が処理装
置に入力される周期の終了時に終了することを特徴とす
る、請求項１２又は１３記載の装置。 - 【請求項１６】 前述の請求項のいずれか１項による装
置で使用するために設計されたサンプリング及び保持回
路。 - 【請求項１７】 少なくとも一つの光線を使用して紙又
は被覆されたキャリヤ材料のような物体の表面を走査す
る方法であって、物体は、光線を使用して互いに隣り合
って配置されたライン部分のパターンにしたがって走査
され、各ライン部分はそのライン部分の始めからそのラ
イン部分の終わりまで走査され、物体によって反射され
たか物体によって透過した光線が検出され、検出された
光線を表すレシーバ信号が生成され、レシーバ信号を処
理する処理装置をさらに利用し、 ライン部分のうちの第１のライン部分が走査される時に
有効なレシーバ信号値がサンプリング及び保持され、 保持されたレシーバ信号値は、第１のライン部分に続い
て第２のライン部分の始めが走査される初期周期中に処
理装置に送出され、保持されたレシーバ信号は第２のラ
イン部分の始めに隣接する第１のライン部分の参照部分
に関連することを特徴とする、 物体の表面を走査する方法。 - 【請求項１８】 第１の及び第２のライン部分は同じ方
向に走査され、第１のライン部分の参照部分は第１のラ
イン部分の始めに配置されることを特徴とする、請求項
１７記載の方法。 - 【請求項１９】 第１の及び第２のライン部分は互いに
反対の方向に走査され、第１のライン部分の参照部分は
第１のライン部分の終わりに配置されることを特徴とす
る、請求項１７記載の方法。 - 【請求項２０】 ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さを
有することを特徴とする、請求項１７乃至１９のいずれ
か１項記載の方法。 - 【請求項２１】 ライン部分はそれぞれ少なくとも実質
的に直線であることを特徴とする、請求項１７乃至２０
のいずれか１項記載の方法。 - 【請求項２２】 ライン部分は少なくとも実質的に互い
に平行に向けられることを特徴とする、請求項２１記載
の方法。 - 【請求項２３】 初期周期中、レシーバ信号の保持値は
レシーバ信号と共に処理装置に送出されることを特徴と
する、請求項１７乃至２２のいずれか１項記載の方法。
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