DE69837515D1 - Vorrichtung und Verfahren zur optischen Abtastung einer Oberfläche - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur optischen Abtastung einer Oberfläche

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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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