JP2014106311A - 異物除去装置、異物除去方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フォトマスク等の対象物上の個々の異物をより確実に除去できる異物除去装置等を提供する。
【解決手段】異物除去装置1は、レーザーアブレーションによりフォトマスク20上の異物30の除去を行う。異物除去装置1は、液滴供給部40から液滴41を滴下し、異物30を液滴41で覆ったうえで、液滴41下の異物30にパルスレーザー10を照射して異物30を昇華させる。その後、昇華した異物30が浮遊する液滴41を液滴吸引部42で吸引することで、異物30のフォトマスク20への再付着を防いで異物30をより確実に除去することができる。
【選択図】図1
【解決手段】異物除去装置1は、レーザーアブレーションによりフォトマスク20上の異物30の除去を行う。異物除去装置1は、液滴供給部40から液滴41を滴下し、異物30を液滴41で覆ったうえで、液滴41下の異物30にパルスレーザー10を照射して異物30を昇華させる。その後、昇華した異物30が浮遊する液滴41を液滴吸引部42で吸引することで、異物30のフォトマスク20への再付着を防いで異物30をより確実に除去することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、レーザー照射により異物除去を行う異物除去装置等に関する。
フォトマスクは、半導体集積回路やカラーフィルタ等の製造時に、露光によるパターンを形成するために用いられる。フォトマスクは、エッチングの手法を用いて基板上にクロム等からなる遮光膜のパターンを形成することで製造できる。
フォトマスクに異物が付着すると、半導体集積回路やカラーフィルタの製造時に不良品等が発生する原因になる。従って、フォトマスクの製造時には、工程中で適宜ウエット洗浄による全面洗浄が行われる。しかしながら、ウエット洗浄にて異物が除去できない場合もある。また、ウエット洗浄後に埃などが異物として付着することもある。
従って、フォトマスクの製造時には、最終的な検査工程にて異物が残っていないか検査し、異物が残っていた場合には再洗浄を行い、その後異物が残っていないか再検査して異物が残っていない場合に出荷するようにしている。
しかしながら、最終的な工程として上記のような再洗浄と再検査を行うと、フォトマスクの製造に要する時間が長くなるので、その工程短縮が望まれる。
上記の工程を短縮する方法の一つとしては、最終的な検査工程で発見された異物を、再洗浄時に個々に確実に除去し、再検査の工程を省略することが考えられる。このような方法の例として、特許文献1には、基板表面の異物に液滴を滴下し、液滴をレーザーで蒸発させ、その蒸発とともに異物を基板上から分離させて除去することが記載されている。
しかしながら、特許文献1の例では、液滴の蒸発に伴って基板表面から一旦離れた異物が雰囲気中に浮遊し、基板上に再付着する恐れがあった。
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、フォトマスク等の対象物上の個々の異物をより確実に除去できる異物除去装置等を提供することを目的とする。
前述した目的を達成するための第1の発明は、レーザーアブレーションにより対象物上の異物の除去を行う異物除去装置であって、前記異物に対して液滴を供給し、前記異物を液滴で覆う液滴供給部と、レーザー照射条件の設定を行う制御部と、パルスレーザーを照射するレーザー照射部と、前記パルスレーザーを集光し、前記異物に照射する光学系と、レーザーアブレーションにより昇華した前記異物を含む前記液滴を吸引する液滴吸引部と、を備えることを特徴とする異物除去装置である。
第1の発明によれば、異物を液滴で覆ったうえで、液滴下の異物にパルスレーザーを照射してレーザーアブレーションを行う。レーザーアブレーションは、超短パルスレーザーを無機物、有機物等に照射し、そのエネルギーにより高速で昇華させるものである。このようにして昇華した異物は液滴中を浮遊するので、この液滴を吸引して異物を対象物上から除去することができる。これにより、異物が雰囲気中に飛散せず、対象物への異物の再付着を防ぐことができる。従って、対象物上の異物をより確実に除去できる。
また、レーザーアブレーションにより異物を高速で昇華させ、熱の発生を低減してフォトマスク等の対象物に与えるダメージを抑えることができる。さらに、最終的な検査工程で検出された数箇所の異物のそれぞれに対し局所的なパルスレーザー照射を行い除去することで、再検査の必要が無く、対象物の製造に要する時間の短縮も図れる。
また、第1の発明の異物除去装置は、前記対象物の温度を制御する温度制御部を更に備えることが望ましい。
これにより、対象物上の液滴の蒸発や揮発などの状態変化を抑制して異物の除去を好適に行うことができる。
これにより、対象物上の液滴の蒸発や揮発などの状態変化を抑制して異物の除去を好適に行うことができる。
また、前記制御部は、前記異物が前記パルスレーザーの多光子吸収過程により除去できるようにレーザー照射条件を設定することが望ましい。
多光子吸収過程は、レーザーを照射したときに、通常のレーザーアブレーション時には光子が1個ずつ異物に吸収されるが、そのパルス幅やレーザー強度、波長などが所定の条件を満たす時、光子が複数個同時に異物に吸収されるものである。これにより、異物を瞬時に昇華させ、熱による対象物へのダメージをより低減できる。
多光子吸収過程は、レーザーを照射したときに、通常のレーザーアブレーション時には光子が1個ずつ異物に吸収されるが、そのパルス幅やレーザー強度、波長などが所定の条件を満たす時、光子が複数個同時に異物に吸収されるものである。これにより、異物を瞬時に昇華させ、熱による対象物へのダメージをより低減できる。
また、前記制御部は、前記対象物と前記パルスレーザーの焦点との離間距離を調整し、前記対象物上のパルスレーザーの強度分布の最大値が、前記異物を除去できる強度以上かつ前記対象物に対する許容強度以下となるように設定することが望ましい。
このように、対象物とパルスレーザーの焦点との離間距離を調整することで、対象物上のレーザー強度分布を、対象物に限度を超えるダメージを与えることなく異物を除去するように設定できる。また、レーザー強度分布において異物を除去できる強度以上となる範囲も可変となるので、比較的大きなものを含め、様々なサイズの異物を、対象物に限度を超えるダメージを与えることなく簡単に除去できるようになる。
このように、対象物とパルスレーザーの焦点との離間距離を調整することで、対象物上のレーザー強度分布を、対象物に限度を超えるダメージを与えることなく異物を除去するように設定できる。また、レーザー強度分布において異物を除去できる強度以上となる範囲も可変となるので、比較的大きなものを含め、様々なサイズの異物を、対象物に限度を超えるダメージを与えることなく簡単に除去できるようになる。
第2の発明は、レーザーアブレーションにより対象物上の異物の除去を行う異物除去方法であって、前記異物に対して液滴を供給し、前記異物を液滴で覆うステップと、レーザー照射条件の設定を行うステップと、レーザー照射部から照射したパルスレーザーを、光学系により集光して前記異物に照射し、レーザーアブレーションにより昇華させるステップと、レーザーアブレーションにより昇華した前記異物を含む前記液滴を吸引するステップと、を備えることを特徴とする異物除去方法である。
本発明によれば、フォトマスク等の対象物上の個々の異物をより確実に除去できる異物除去装置等を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
[1.異物除去装置1の構成]
図1は、本発明の実施形態に係る異物除去装置1の構成を示す図である。図に示すように、異物除去装置1は、コントローラ11、パラメータDB12、レーザー照射部13、光学系15、ステージ17、温度制御部18、液滴供給部40、液滴吸引部42を備える。
図1は、本発明の実施形態に係る異物除去装置1の構成を示す図である。図に示すように、異物除去装置1は、コントローラ11、パラメータDB12、レーザー照射部13、光学系15、ステージ17、温度制御部18、液滴供給部40、液滴吸引部42を備える。
この異物除去装置1は、フォトマスク20上の異物30をレーザーアブレーションにより除去するものである。レーザーアブレーションは、超短パルスレーザーを無機物、有機物等に照射し、そのエネルギーにより高速で昇華させるものである。レーザーアブレーションにより異物30は高速に昇華され、熱の発生が抑えられて周辺への熱の影響がほとんどないので、フォトマスク20のパターンに与えるダメージを抑えることができる。
特に本実施形態の異物除去装置1は、図2(a)に示すように異物30を液滴41で覆ったうえで、図2(b)に示すように液滴41下の異物30にパルスレーザー10を照射し、レーザーアブレーションによって異物30を昇華させる。その後、図2(c)に示すように昇華した異物30が浮遊する液滴41を吸引することで、異物30のフォトマスク20への再付着を防いでより確実に除去する。
異物30の除去を行う対象物であるフォトマスク20は、透明の基板上にクロム等からなる遮光膜のパターンを形成したものである。ただし、異物30を除去する対象物はこれに限らず、半導体集積回路やカラーフィルタなどであってもよい。
異物30は、フォトマスク20の製造時にウエット洗浄による全面洗浄処理で除去できなかったものや、ウエット洗浄後に付着したものである。その例としては、レジストの残渣、鉄粉、繊維、タンパク質などがある。ただし、パルスレーザー10を吸収できるものであればこれらに限らない。なお、本実施形態では、異物30の平面上のサイズ(以下、単に「サイズ」という)は、直径0.1〜0.5μm程度、あるいはそれ以下の微小なものとする。
図1に示すレーザー照射部13は、コントローラ11による制御に従ってパルスレーザー10を照射する。パルスレーザー10は、パルス幅(レーザー照射時間)が1ピコ秒以下である超短パルスレーザーである。パルスレーザー10としては、YAGレーザー等を使用することができる。
光学系15では、レーザー照射部13から照射されたパルスレーザー10がミラー151で反射され、レンズ153に到達する。パルスレーザー10はレンズ153により集光され、フォトマスク20上の異物30へ照射される。
液滴供給部40は、フォトマスク20上の異物30に液滴41を供給して異物30を液滴41で覆うものであり、例えば液滴41の滴下を行うエアシリンジ等が用いられる。
液滴41としては、純水や、フォトマスク20の洗浄時に用いるアンモニア添加水素水等の機能水などを利用することができる。機能水は、異物30とフォトマスク20表面との界面活性作用を促進し、結合状態を緩和させる。
なお、純水では500nm付近の波長の光の吸収効率が低くなるので、例えば液滴41として純水を用いる場合、パルスレーザー10の波長をこのような波長としておけば、異物30のレーザーアブレーション時に液滴41の蒸発を防ぐことができる。機能水の場合も同様にして波長を定め蒸発を防ぐことができる。
液滴吸引部42は、レーザーアブレーションにより昇華した異物30が浮遊する液滴41を吸引するものであり、例えば真空吸引装置等が用いられる。
ステージ17は、フォトマスク20の詳細な位置決めを行うものである。ステージ17は、コントローラ11による制御に基づき、平面上で直交するx方向とy方向、およびこれと直交する高さ方向であるz方向を高精度に移動可能である。
本実施形態では、ステージ17に温度制御部18が設けられる。温度制御部18は、フォトマスク20上の液滴41の蒸発や揮発などの状態変化を抑制するために、フォトマスク20の温度を制御するもので、各種の温度制御装置を用いることができる。フォトマスク20の温度は、例えば液滴41の種類や量、液滴41の滴下からレーザー照射までの時間等に合わせて制御し、例えば液滴41の沸点以下とする。
コントローラ11は、パラメータDB12に登録した情報等をもとに、レーザー照射部13、ステージ17、液滴供給部40、液滴吸引部42などの制御を行う制御部である。
パラメータDB12に登録される情報には、例えば、出射するパルスレーザー10の波長、パルスエネルギー(パルスレーザー10の単位面積あたりエネルギー)、パルス幅、パルス数、およびスポット径などのレーザー照射条件がある。
これらのデータは、異物30の除去方法(後述する多光子吸収アブレーションや調整アブレーションなど)、異物30のサイズや材料特性、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅、液滴41の材料特性などに応じて予め定められ、登録されている。
なお、上記のスポット径は、フォトマスク20上からパルスレーザー10の焦点までの離間距離に対応する。コントローラ11は、ステージ17のz方向の位置制御を行うことで離間距離を調整し、パルスエネルギーの調整と合わせて、スポット径やレーザー強度などフォトマスク20上のレーザー強度分布の設定が可能である。
図3はこれを示す図である。図3(a)は、パルスレーザー10の焦点101の位置をフォトマスク20上に合わせた場合を示す。図3(b)は、焦点101の位置をフォトマスク20上から離間距離Dだけ離間させた場合を示す。また、図3(c)は、図3(b)の状態からパルスレーザー10のパルスエネルギーを大きくした場合を示す図である。各図において、上図はフォトマスク20へのパルスレーザー10の照射状態、下図はフォトマスク20上のレーザー強度分布21とスポット24を模式的に示す図である。
図に示すように、フォトマスク20上のレーザー強度分布21は、スポット中心部を最大強度として周囲で低下する。焦点101の位置をフォトマスク20上に合わせた場合では、図3(a)に示すように、パルスレーザー10の最大強度は大きくスポット径は小さい。また、パルスレーザー10の強度は、スポット中心部から周囲にゆくに従って急に低下する。
一方、焦点101をフォトマスク20上から離間させた場合では、図3(b)に示すように、パルスレーザー10の最大強度は小さくスポット径は大きい。また、パルスレーザー10の強度は、スポット中心部から周囲にゆくに従って緩やかに低下する。焦点101をフォトマスク20上から離間させる場合、離間距離Dが大きくなるに従って、パルスレーザー10の最大強度はより小さく、スポット径はより大きくなる。また、レーザー強度分布21はより緩やかになる。
さらに、出射するパルスレーザー10のパルスエネルギーを大きくすると、図3(c)の矢印に示すように、レーザー強度分布21の強度が全体的に大きくなる。
このように、フォトマスク20上のレーザー強度分布21は離間距離Dやパルスエネルギーを調整することで変化し、後述する多光子吸収アブレーションや調整アブレーション時に、レーザー照射条件に応じて適切な値に調整される。
[2.異物除去装置1による異物除去]
次に、異物除去装置1による異物除去について説明する。図4は、異物除去装置1による異物除去の手順を示すフローチャートである。
次に、異物除去装置1による異物除去について説明する。図4は、異物除去装置1による異物除去の手順を示すフローチャートである。
本実施形態では、例えばフォトマスク製造時の最終的な検査工程により、フォトマスク20上の異物30が検出され、その位置やサイズが特定されているものとする。異物除去に際しては、これら異物30の位置やサイズが、異物除去装置1のコントローラ11に入力される。また、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅、異物30、液滴41の材料特性なども、選択、設定されコントローラ11に入力される。
(S201:液滴41の滴下)
異物除去時には、まず、コントローラ11が、液滴供給部40を制御して、液滴41を異物30の位置に滴下させる。コントローラ11はピコリットル単位で滴下量を制御し、例えば異物30を覆ったときの液滴41の平面上のサイズが直径数10μm〜500μm程度になる所定の滴下量で液滴を滴下する。
異物除去時には、まず、コントローラ11が、液滴供給部40を制御して、液滴41を異物30の位置に滴下させる。コントローラ11はピコリットル単位で滴下量を制御し、例えば異物30を覆ったときの液滴41の平面上のサイズが直径数10μm〜500μm程度になる所定の滴下量で液滴を滴下する。
なお、滴下時の液滴供給部40とフォトマスク20上の異物30との位置合わせは、ステージ17の駆動によりフォトマスク20上の異物30を液滴供給部40の位置に移動させるか、あるいはフォトマスク20上の異物30の位置に液滴供給部40を移動させて行う。
(S202:レーザー照射条件の設定)
次に、コントローラ11は、異物除去に際して予めコントローラ11に入力された前記の情報に応じて、パラメータDB12に登録されたレーザー照射条件を取得し、これによりレーザー照射条件の設定を行う。
次に、コントローラ11は、異物除去に際して予めコントローラ11に入力された前記の情報に応じて、パラメータDB12に登録されたレーザー照射条件を取得し、これによりレーザー照射条件の設定を行う。
(S203:レーザー照射)
その後、コントローラ11は、レーザー照射部13を制御してパルスレーザー10を出射させる。パルスレーザー10は、光学系15のミラー151で反射され、レンズ153で集光されてフォトマスク20上の異物30に照射される。
その後、コントローラ11は、レーザー照射部13を制御してパルスレーザー10を出射させる。パルスレーザー10は、光学系15のミラー151で反射され、レンズ153で集光されてフォトマスク20上の異物30に照射される。
こうしてパルスレーザー10を照射することで、レーザーアブレーションにより液滴41下の異物30を昇華させる。昇華した異物30は液滴41内に浮遊した状態になる。
(S204:液滴41の吸引)
続いて、コントローラ11は、液滴吸引部42を制御し、異物30の浮遊する液滴41を吸引させる。液滴吸引時の液滴吸引部42と液滴41の位置合わせは、前記と同様、ステージ17の駆動によりフォトマスク20上の液滴41を液滴吸引部42の位置まで移動させるか、あるいは液滴吸引部42をフォトマスク20上の液滴41の位置まで移動させて行う。なお、この後不図示のフィルター装置などにより液滴41から異物30を分離し、液滴41の再利用を行うことも可能である。
続いて、コントローラ11は、液滴吸引部42を制御し、異物30の浮遊する液滴41を吸引させる。液滴吸引時の液滴吸引部42と液滴41の位置合わせは、前記と同様、ステージ17の駆動によりフォトマスク20上の液滴41を液滴吸引部42の位置まで移動させるか、あるいは液滴吸引部42をフォトマスク20上の液滴41の位置まで移動させて行う。なお、この後不図示のフィルター装置などにより液滴41から異物30を分離し、液滴41の再利用を行うことも可能である。
[3.レーザーアブレーションの例]
次に、S203における異物30のレーザーアブレーションの例について説明する。ここでは、レーザーアブレーション時に多光子吸収過程を発生させて異物30を瞬時に昇華させる例(以下、「多光子吸収アブレーション」と称する)と、異物30のサイズ等に応じたレーザー強度分布21でレーザーを照射し、異物30を昇華させる例(以下、「調整アブレーション」と称する)を説明する。
次に、S203における異物30のレーザーアブレーションの例について説明する。ここでは、レーザーアブレーション時に多光子吸収過程を発生させて異物30を瞬時に昇華させる例(以下、「多光子吸収アブレーション」と称する)と、異物30のサイズ等に応じたレーザー強度分布21でレーザーを照射し、異物30を昇華させる例(以下、「調整アブレーション」と称する)を説明する。
[3−1.多光子吸収アブレーション]
多光子吸収アブレーションは、レーザーアブレーション時に、フォトマスク20上のパルスレーザー10のスポット中心部にて多光子吸収過程を発生させて瞬時に異物30を昇華させ、レーザーアブレーション時の熱の発生をより低減するものである。
多光子吸収アブレーションは、レーザーアブレーション時に、フォトマスク20上のパルスレーザー10のスポット中心部にて多光子吸収過程を発生させて瞬時に異物30を昇華させ、レーザーアブレーション時の熱の発生をより低減するものである。
多光子吸収過程は、パルスレーザー10を照射したときに、通常のレーザーアブレーション時には光子が1個ずつ異物30に吸収されるが、そのパルス幅やレーザー強度、波長などが所定の条件を満たす時、パルスレーザー10の光子が複数個同時に異物30に吸収されるものである。すなわち、パルス幅が短く、レーザー強度が大きいときに多光子吸収過程は発生し、異物30が瞬時に昇華する。この際、異物30で吸収されるパルスレーザー10の波長は、元のパルスレーザー10の波長を、異物30に同時に吸収される光子の個数で割ったものになる。
この時、パラメータDB12には、例えば、
(1)多光子吸収時の異物30での吸収効率が高く、フォトマスク20のパターンや液滴41での吸収効率が低い波長
(2)フォトマスク20上のパルスレーザー10のスポット中心部が、異物30を多光子吸収過程により除去できる強度以上となり、また、この強度以上となる範囲が異物30のサイズ程度となるスポット径とパルスエネルギー
(3)多光子吸収過程を発生させるためのパルス幅やパルス数
などが、異物30のサイズや材料特性、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅、液滴41の材料特性などに応じて登録される。ここでは、異物除去に際し予めコントローラ11に入力されるこれらの情報に対応する上記の(1)〜(3)の値を、前記のS202においてパラメータDB12から取得してレーザー照射条件の設定を行う。
(1)多光子吸収時の異物30での吸収効率が高く、フォトマスク20のパターンや液滴41での吸収効率が低い波長
(2)フォトマスク20上のパルスレーザー10のスポット中心部が、異物30を多光子吸収過程により除去できる強度以上となり、また、この強度以上となる範囲が異物30のサイズ程度となるスポット径とパルスエネルギー
(3)多光子吸収過程を発生させるためのパルス幅やパルス数
などが、異物30のサイズや材料特性、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅、液滴41の材料特性などに応じて登録される。ここでは、異物除去に際し予めコントローラ11に入力されるこれらの情報に対応する上記の(1)〜(3)の値を、前記のS202においてパラメータDB12から取得してレーザー照射条件の設定を行う。
図5(a)は、この時のフォトマスク20上のレーザー強度分布21の例を示す図である。なお、図5(a)において、22はレーザーアブレーション時に多光子吸収過程を発生させて異物30を除去できるパルスレーザー10の強度を示し、異物30の材料特性等により定まる。
図に示すように、多光子吸収アブレーションでは、パラメータDB12に基づくレーザー照射条件の設定により、スポット中心部のパルスレーザー10の強度は多光子吸収過程により異物30を除去できる強度22以上となり、上記の強度22以上となる範囲が、異物30のサイズ程度となる。
なお、図5(b)の10’に示すように、パルスレーザー10は液滴41により屈折するので、コントローラ11がスポット径を設定する際は、液滴41によるパルスレーザー10の屈折を見込んで、液滴41の材料特性や前記した所定の滴下量に応じて離間距離の制御を行う(図5(b)の離間距離D’参照)。
また、前記した通り、多光子吸収過程において異物30で吸収されるパルスレーザー10の波長は、元のパルスレーザー10の波長を、異物30に同時に吸収される光子の個数で割ったものになる。従って、パラメータDB12にレーザー照射条件として登録されている波長は、異物30での吸収効率が高い波長を、多光子吸収過程の発生時に同時に吸収される光子の個数分、整数倍したものである。
例えば多光子吸収過程にて2個の光子が異物30に同時に吸収される場合、パルスレーザー10の波長は、異物30での吸収効率が高い波長の2倍程度の波長とする。なお、この波長は、同時に液滴41やフォトマスク20のパターンでの吸収効率が低い波長でもある。
これにより、前記のS203では異物30がレーザーアブレーション時の多光子吸収過程により昇華して液滴41内に浮遊し、S204にて液滴41とともに回収される。このように、レーザーアブレーション時に多光子吸収過程を発生させて瞬時に異物30を昇華させることで、レーザーアブレーション時の熱の発生をより低減できる。
例えば、具体的な例として、異物30が、直径0.1μm程度のサイズ(図5(a)参照)の有機物系のものであり、多光子吸収過程において波長257nm程度のパルスレーザー10を吸収するという特性を持つ場合、レーザー照射条件を、出射するパルスレーザー10のパルスエネルギーを0.2J/cm2、波長を515nm程度、パルス幅を0.7psecとし、フォトマスク20上のスポット径が直径0.5μm(図5(a)参照)となるようにパルスレーザー10を照射する。すると、前記の強度22を超える範囲がスポット中心部を中心とする直径0.1μmの範囲となり、レーザーアブレーション時に多光子吸収過程を生じさせて異物30を瞬時に昇華させることができた。なお、上記の波長のパルスレーザー10はフォトマスク20のパターンや液滴41の吸収効率が低く、フォトマスク20のダメージや液滴41の蒸発も抑えることができた。
[3−2.調整アブレーション]
調整アブレーションは、前記の図3(b)で示すようにフォトマスク20とパルスレーザー10の焦点101を離間させ、その離間距離を調整し、パルスエネルギーの調整と合わせてフォトマスク20上のレーザー強度分布21を設定することで、異物30を除去できる強度以上となる範囲を異物30のサイズ等に応じて設定し、様々なサイズの異物30を、フォトマスクに限度を超えるダメージを与えることなく簡単に除去するものである。
調整アブレーションは、前記の図3(b)で示すようにフォトマスク20とパルスレーザー10の焦点101を離間させ、その離間距離を調整し、パルスエネルギーの調整と合わせてフォトマスク20上のレーザー強度分布21を設定することで、異物30を除去できる強度以上となる範囲を異物30のサイズ等に応じて設定し、様々なサイズの異物30を、フォトマスクに限度を超えるダメージを与えることなく簡単に除去するものである。
この時、パラメータDB12には、例えば、
(1)異物30での吸収効率が高く、フォトマスク20のパターンや液滴41での吸収効率が低い波長
(2)フォトマスク20上のレーザー強度分布21の最大値が、異物30を除去できる強度以上、フォトマスク20に対する許容強度以下となり、かつ、レーザー強度分布21において、異物30を除去できる強度以上となる範囲が異物30のサイズ以上となるスポット径とパルスエネルギー
(3)レーザーアブレーションを好適に行うためのパルス幅、パルス数
などが、前記と同様、異物30のサイズや材料特性、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅、液滴41の材料特性などに応じて登録される。この場合でも、異物除去に際し予めコントローラ11に入力されるこれらの情報に対応する上記の(1)〜(3)の値を、前記のS202においてパラメータDB12から取得してレーザー照射条件の設定を行う。
(1)異物30での吸収効率が高く、フォトマスク20のパターンや液滴41での吸収効率が低い波長
(2)フォトマスク20上のレーザー強度分布21の最大値が、異物30を除去できる強度以上、フォトマスク20に対する許容強度以下となり、かつ、レーザー強度分布21において、異物30を除去できる強度以上となる範囲が異物30のサイズ以上となるスポット径とパルスエネルギー
(3)レーザーアブレーションを好適に行うためのパルス幅、パルス数
などが、前記と同様、異物30のサイズや材料特性、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅、液滴41の材料特性などに応じて登録される。この場合でも、異物除去に際し予めコントローラ11に入力されるこれらの情報に対応する上記の(1)〜(3)の値を、前記のS202においてパラメータDB12から取得してレーザー照射条件の設定を行う。
ここで、フォトマスク20に対するパルスレーザー10の許容強度とは、フォトマスク20においてパルスレーザー10によるダメージを許容できる強度、すなわち、パルスレーザー10によりダメージが与えられた後でも、フォトマスク20が所定の遮光性能を維持できるような強度をいう。例えば、パルスレーザー10により遮光膜の一部が除去され薄くなった後でも、該遮光膜の遮光率が許容値以上となっているような場合である。上記の許容強度は、フォトマスク20が最終的に満たすべき遮光性能(遮光膜の遮光率)を考慮して定めることができる。
また、パルスレーザー10の許容強度は、上記のフォトマスク20の他、前述したカラーフィルタや半導体集積回路など、異物を除去する対象物によっても異なる。各対象物に対する許容強度は、対象物が最終的に満たすべき性能に応じて定めることができる。
図6は、調整アブレーション時のフォトマスク20上のレーザー強度分布21を示す図である。図において25は、異物30をレーザーアブレーションにより昇華させて除去できるパルスレーザー10の強度であり、異物30の材料特性等により定まる。26は、フォトマスク20に対するパルスレーザー10の許容強度であり、フォトマスク20のパターンの材料特性や線幅等により定まる。
調整アブレーションでは、上記のパラメータDB12に基づくレーザー照射条件の設定により、図6に示すように、フォトマスク20上のレーザー強度分布21の最大値が、異物30を除去できる強度25以上、フォトマスク20に対する許容強度26以下となり、かつ、レーザー強度分布21において、異物30を除去できる強度25以上となる範囲が異物30のサイズ以上となる。なお、前記と同様、コントローラ11によりスポット径を設定する際は、液滴41によるパルスレーザー10の屈折を見込んで離間距離の制御を行う。
これにより、前記のS203では異物30がレーザーアブレーションにより昇華して液滴41内に浮遊し、S204にて液滴41とともに回収される。このように、フォトマスク20とパルスレーザー10の焦点101を離間させ、その離間距離等によりレーザー強度分布21を設定することで、前記の強度25以上となる範囲を異物30の種類やサイズに応じて設定し、比較的大きなものも含め、様々なサイズの異物30をフォトマスク20に限度を超えるダメージを与えることなく簡単に一度で除去できる。
以上説明したように、本実施形態の異物除去装置1は、異物30を液滴41で覆ったうえで、液滴41下の異物30にパルスレーザー10を照射してレーザーアブレーションによって昇華させた後、昇華した異物30の浮遊する液滴41を吸引して、異物30をフォトマスク20上から除去する。これにより、異物30が雰囲気中に飛散せずに液滴41内にとどまり、フォトマスク20への再付着を防ぐことができる。従って、フォトマスク20上の異物30をより確実に除去することができる。
また、レーザーアブレーションにより異物30を高速で昇華させ、熱の発生を低減してフォトマスク20等の対象物に与えるダメージを抑えることができる。さらに、フォトマスク20の製造時における最終的な検査工程で検出された数箇所の異物30のそれぞれに対し局所的なパルスレーザー照射を行い除去することで、再検査の必要が無く、フォトマスク20の製造に要する時間の短縮が図れる。
さらに、温度制御部18でフォトマスク20の温度を制御することにより、フォトマスク20上の液滴41の蒸発や揮発などの状態変化を抑制して異物30の除去を好適に行うことができる。
レーザーアブレーションによる異物除去方法の例としては、前記したように、レーザーアブレーション時に多光子吸収過程を発生させる方法や、フォトマスク20とパルスレーザー10の焦点101との離間距離等を調整し、レーザー強度分布21を異物30のサイズ等に応じて設定する方法がある。前者の場合は、瞬時に異物30を昇華させ、熱によるフォトマスク20へのダメージをより低減できる利点がある。後者の場合は、比較的大きなものを含め、様々なサイズの異物30を、フォトマスク20に限度を超えるダメージを与えることなく簡単に除去できる利点がある。各方法において前記したようにレーザー照射条件を適宜設定することで好適に異物30を除去できる。
なお、本発明は上記で説明したものに限らない。例えば、本実施形態では、レーザー照射条件をパラメータDB12に予め登録しておき、前記のS202において、コントローラ11がこれらのレーザー照射条件を取得して条件設定を行っているが、これに限ることはない。
例えば、S202では、異物除去の際に予めコントローラ11に入力された前記の情報に応じて、コントローラ11が、適切なレーザー強度分布を満たすスポット径やパルスエネルギーなどレーザー照射条件を算出するようにしてもよい。この場合、処理時間は長くなるが、より適切な条件設定を行うことも可能になる。さらに、コントローラ11は、オペレーターの指示操作に応じてレーザー照射条件を設定するようにしてもよい。
また、本実施形態ではステージ17のz方向の位置制御によりフォトマスク20とパルスレーザー10の焦点101との離間距離を制御したが、光学系15の制御を行うことにより離間距離を制御することも可能である。
その他、例えば異物30のサイズが大きい場合などでは、スポット径の設定として、フォトマスク20上のレーザー強度分布21において、前記の強度22(図5(a)参照)あるいは強度25(図6参照)以上となる異物30の除去可能範囲が異物30のサイズより小さくなっていてもよい。ただし、この場合では複数回にわけてレーザー照射し異物30を除去する必要がある。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
1:異物除去装置
10:パルスレーザー
11:コントローラ
12:パラメータDB
13:レーザー照射部
15:光学系
17:ステージ
18:温度制御部
20:フォトマスク
30:異物
40:液滴供給部
41:液滴
42:液滴吸引部
101:焦点
10:パルスレーザー
11:コントローラ
12:パラメータDB
13:レーザー照射部
15:光学系
17:ステージ
18:温度制御部
20:フォトマスク
30:異物
40:液滴供給部
41:液滴
42:液滴吸引部
101:焦点
Claims (5)
- レーザーアブレーションにより対象物上の異物の除去を行う異物除去装置であって、
前記異物に対して液滴を供給し、前記異物を液滴で覆う液滴供給部と、
レーザー照射条件の設定を行う制御部と、
パルスレーザーを照射するレーザー照射部と、
前記パルスレーザーを集光し、前記異物に照射する光学系と、
レーザーアブレーションにより昇華した前記異物を含む前記液滴を吸引する液滴吸引部と、
を備えることを特徴とする異物除去装置。 - 前記対象物の温度を制御する温度制御部を更に備えることを特徴とする請求項1記載の異物除去装置。
- 前記制御部は、前記異物が前記パルスレーザーの多光子吸収過程により除去できるようにレーザー照射条件を設定することを特徴とする請求項1または請求項2記載の異物除去装置。
- 前記制御部は、前記対象物と前記パルスレーザーの焦点との離間距離を調整し、前記対象物上のパルスレーザーの強度分布の最大値が、前記異物を除去できる強度以上かつ前記対象物に対する許容強度以下となるように設定することを特徴とする請求項1または請求項2記載の異物除去装置。
- レーザーアブレーションにより対象物上の異物の除去を行う異物除去方法であって、
前記異物に対して液滴を供給し、前記異物を液滴で覆うステップと、
レーザー照射条件の設定を行うステップと、
レーザー照射部から照射したパルスレーザーを、光学系により集光して前記異物に照射し、レーザーアブレーションにより昇華させるステップと、
レーザーアブレーションにより昇華した前記異物を含む前記液滴を吸引するステップと、
を備えることを特徴とする異物除去方法。
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- 2012-11-27 JP JP2012258171A patent/JP2014106311A/ja active Pending
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