JP2014086729A - 発光素子および発光素子パッケージ - Google Patents

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Abstract

【課題】正孔の注入を増やして発光効率を向上させることができる発光素子を提供すること。
【解決手段】本発明の発光素子は、第1導電型ドーパントを含む第1半導体層と、前記第1半導体層上に配置された活性層と、前記活性層上に配置された電子遮断層と、前記活性層と電子遮断層との間に配置されたキャリア注入層と、前記電子遮断層上に配置され、第2導電型ドーパントを含む半導体層と、を含む。前記キャリア注入層は、第1導電型ドーパントと第2導電型ドーパントを含み、前記キャリア注入層の第1導電型ドーパントは少なくとも第2導電型ドーパントの濃度より低いドーパント濃度を有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、発光素子および発光素子パッケージに関するものである。
発光素子を備えた発光素子パッケージに対する研究が活発に行われている。発光素子は、例えば、半導体物質で形成され、電気エネルギーを光に変換する半導体発光素子または半導体発光ダイオードである。
半導体発光素子は、蛍光灯、白熱灯などの既存の光源に比べて、低消費電力、半永久的な寿命、速い応答速度、安全性、環境親和性などで優れている。これに、既存の光源を半導体発光素子で代替するための研究が多く行われている。
半導体発光素子は、室内外で用いられる各種ランプ、液晶表示装置、電光掲示板、街灯などの照明装置の光源として、その使用が増加する傾向である。
本発明の様々な実施形態は、正孔の注入を増やして発光効率を向上させることができる発光素子を提供しようとする。
本発明の様々な実施形態は、正孔の濃度を増やして発光効率を向上させることができる発光素子を提供しようとする。
本発明の一態様に係る発光素子は、第1導電型ドーパントを含む第1半導体層と、前記第1半導体層上に配置された活性層と、前記活性層上に配置された電子遮断層と、前記活性層と前記電子遮断層との間に配置されたキャリア注入層と、前記電子遮断層上に配置され、第2導電型ドーパントを含む半導体層と、を含む。前記キャリア注入層は、前記第1導電型ドーパントと前記第2導電型ドーパントを含み、前記キャリア注入層の前記第1導電型ドーパントは、少なくとも前記第2導電型ドーパントの濃度より低い。
また、本発明の一態様に係る発光素子は、第1導電型ドーパントを含む第1半導体層と、前記第1半導体層上に配置された活性層と、前記活性層上に配置された電子遮断層と、前記活性層と前記電子遮断層との間に配置されたキャリア注入層と、前記電子遮断層上に配置され、第2導電型ドーパントを含む第2半導体層と、を含む。前記キャリア注入層は、前記第2導電型ドーパントを含む第3半導体層と、前記第3半導体層上に配置され、アンドープされた第4半導体層と、前記第4半導体層上に配置され、前記第2導電型ドーパントを含む第5半導体層と、を含む。
また、本発明の一態様に係る発光素子パッケージは、本体と、前記本体上に配置された第1および第2リード電極と、前記本体、前記第1および第2リード電極のいずれか一つの上に配置される発光素子と、前記発光素子を取り囲むモールディング部材と、を含む。
本発明の様々なによれば、活性層と電子遮断層の間にp型ドーパントとn型ドーパントを含むキャリア注入層が形成され、n型ドーパントがp型ドーパントを束縛して正孔が活性層に容易に注入されるようにすることで、発光効率を向上させることができる。
また、本発明の様々なによれば、活性層と電子遮断層の間に正孔を生成するキャリア注入層が形成され、第2導電型半導体層だけでなく、キャリア注入層でも正孔を生成して全体的に正孔の濃度を増加さることで、発光効率を向上させることができる。
また、本発明の様々なによれば、活性層と電子遮断層の間に正孔を生成する少なくとも一つ以上の半導体層と、膜質を向上させるためのアンドープ半導体層からなるキャリア注入層を形成することで、より多くの正孔を生成できるだけでなく、キャリア注入層以後に成長する半導体層、例えば第2導電型半導体層の膜質が向上され、発光効率を向上させることができる。
第1実施形態に係る発光素子を示す断面図である。 図1の発光素子における電子遮断層を示す断面図である。 図1の発光素子のエネルギーバンドダイヤグラムを示す図面である。 図1の発光素子のキャリア注入層におけるキャリア注入を示す図面である。 第2実施形態に係る発光素子を示す断面図である。 図5の発光素子のエネルギーバンドダイヤグラムを示す図面である。 図5の発光素子のキャリア注入層におけるキャリア注入を示す図面である。 実施形態に係る発光素子パッケージを示す断面図である。
本発明の実施形態の説明において、各構成要素の「上または下」に形成されると記載される場合、上または下は、二つの構成要素が相互直接接触するものと、一つ以上の他の構成要素が二つの構成要素の間に配置されて形成されるものを全部含む。また「上または下」と表現される場合、一つの構成要素を基準として上側方向だけでなく下側方向の意味も含むことができる。
図1は、第1実施形態に係る発光素子を示す断面図である。
図1に示すように、第1実施形態に係る発光素子1は、基板10、第1導電型半導体層12、活性層14、スペーサー層16、キャリア注入層18、電子遮断層20および第2導電型半導体層22を含むことができるが、これに限定されるものではない。
前記第1導電型半導体層12、前記活性層14、前記スペーサー層16、前記キャリア注入層18、前記電子遮断層20および前記第2導電型半導体層22により発光構造物が形成される。
実施形態に係る発光素子1は、前記基板10と前記第1導電型半導体層12の間に配置されたバッファ層(図示されない)をさらに含むことができる。
実施形態に係る発光素子1は、前記第1導電型半導体層12の下及び/又は前記第2導電型半導体層22の上に配置された半導体層(図示されない)をさらに含むことができる。
実施形態に係る発光素子1は、前記バッファ層と前記第1導電型半導体層12の間に配置されたアンドープ半導体層(図示されない)をさらに含むことができる。
前記基板10は、前記発光構造物を容易に成長させる役割をするが、これに限定されるものではない。
前記発光構造物を安定的に成長させるために、前記基板10は、前記発光構造物との格子定数の差ができるだけ小さい物質で形成することが好ましい。
前記基板10は、サファイア(AlO)、SiC、Si、GaAs、GaN、ZnO、Si、GaP、InPおよびGeからなるグループから選択された少なくとも一つで形成することができる。
前記基板10と前記発光構造物の間に前記バッファ層22を配置することができる。前記バッファ層は、前記基板10と前記発光構造物の格子定数の差を緩和することができる。
前記バッファ層、前記アンドープ半導体層、前記第1導電型半導体層12、前記活性層14、前記スペーサー16、前記キャリア注入層18、前記電子遮断層20および前記第2導電型半導体層22は、II〜VI族化合物半導体材質で形成することができる。
前記第1導電型半導体層12は、前記基板10上に形成することができる。
前記第1導電型半導体層12は、例えば、n型ドーパントを含むn型半導体層からなることができる。前記第1導電型半導体層12は、InxAlyGa1-x-yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)の組成式を有する半導体材質、例えばInAlGaN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN、InNおよびAlInNからなるグループから選択された少なくとも一つを含むことができ、Si、Ge、Snなどのn型ドーパントをドーピングすることができる。
前記第1導電型半導体層12上には前記活性層14を形成することができる。
前記活性層14は、前記第1導電型半導体層12を介して注入される第1キャリア、例えば電子と前記第2導電型半導体層22を介して注入される第2キャリア、例えば正孔が相互結合され、前記活性層14の形成物質によるエネルギーバンドのバンドギャップに相応する波長を有する光を放出する層である。
前記活性層14は、多重量子井戸構造(MQW)、量子点構造または量子線構造のいずれか一つを含むことができる。前記活性層14は、II族〜VI族化合物半導体からなる井戸層と障壁層の周期で反復形成される。
前記活性層14は、例えばInGaN井戸層/GaN障壁層の周期、InGaN井戸層/AlGaN障壁層の周期、InGaN井戸層/InGaN障壁層の周期などで形成することができる。前記障壁層は、前記井戸層より大きいバンドギャップを有することができる。
前記活性層14上にスペーサー層16を形成することができる。
前記スペーサー層16は、InGaN、AlGaNおよびAlInGaNの少なくとも一つを含むことができる。前記スペーサー層16は、単一層であるバルク構造や多数の層である超格子構造を有することができるが、これに限定されるものではない。前記スペーサー層16は、InGaNまたはAlInGaNで形成され、インジウム(In)の含有量は0.01%〜5%であるが、これに限定されるものではない。前記スペーサー層16は、AlGaNまたはAlInGaNで形成され、アルミニウム(Al)の含有量は0.01%〜10%であるが、これに限定されるものではない。
前記スペーサー層16は、前記活性層14と前記電子遮断層20の間にかかるエネルギーバンドのバンド屈曲(band bending)を最小化することができる。前記スペーサー層16は、いかなるドーパントも含まれないが、これに限定されるものではない。前記スペーサー層16は、前記活性層14の障壁層と連結され、前記活性層14の障壁層とキャリア注入層18の間に配置されることができる。前記スペーサー層16のエネルギーバンドギャップは、前記障壁層のエネルギーバンドギャップより広く形成される。
前記スペーサー層16上にキャリア注入層18が形成される。前記キャリア注入層18は、キャリア、例えば正孔の生成を増加させると共に、正孔を前記活性層14に容易に注入されるようにする役割をすることができる。前記キャリア注入層18は、Mg、Zn、Ca、Sr、Baなどのp型ドーパントを含むことができるが、これに限定されるものではない。また、前記キャリア注入層18は、Si、Ge、Snなどのn型ドーパントを含むことができるが、これに限定されるものではない。
前記キャリア注入層18がp型特性を有するように、前記キャリア注入層18でのp型ドーパントの濃度は少なくともn型ドーパントの濃度より大きい。例えば、前記p型ドーパントの濃度は1E19〜5E20であるが、これに限定されるものではない。例えば、前記n型ドーパントの濃度は1E16〜1E20であるが、これに限定されるものではない。
前記キャリア注入層18は、InxAlyGa1-x-yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)の組成式を有する半導体材質、例えばInAlGaN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN、InNおよびAlInNからなるグループから選択された少なくとも一つを含むことができる。
図4に示すように、前記キャリア注入層18にはp型ドーパントであるマグネシウム(Mg)原子とn型ドーパントであるシリコン(Si)原子を含むことができる。このような場合、シリコン(Si)原子はマグネシウム(Mg)原子と構造的に結合されることができる。よって、前記キャリア注入層18の正孔18aがマグネシウム(Mg)原子の妨害によって前記活性層14に注入され難いことを防止することができる。
ここで、シリコン(Si)原子がないと、前記キャリア注入層18の正孔18aはマグネシウム(Mg)原子に妨害されて、前記活性層14への注入が不容易となることがある。そこで、シリコン(Si)原子は、マグネシウム(Mg)原子を束縛して、前記キャリア注入層18への正孔18aの通過を円滑にさせる。
前記マグネシウム(Mg)原子とシリコン(Si)原子は、コドーピング(co-doping)法によって、前記キャリア注入層18にドーピングすることができるが、これに限定されるものではない。前記キャリア注入層18は、前記障壁層と同一または広いエネルギーバンドギャップを有し、前記スペーサー層16よりは狭いエネルギーバンドギャップを有することができる。
前記キャリア注入層18上に電子遮断層20が形成される。前記電子遮断層20は、前記第1導電型半導体層12で生成されて前記活性層14に供給された電子が、前記活性層14を離脱して前記第2導電型半導体層22に移動することを防止することができる。
前記スペーサー層16とキャリア注入層18は、前記活性層14と電子遮断層20の間に配置される。
図2に示すように、前記電子遮断層20は、第1電子遮断層51と第2電子遮断層53を含む少なくとも2つ以上の層を含むことができるが、これに限定されるものではない。
ここで、前記第1電子遮断層51はp-InAlGaN層からなり、前記第2電子遮断層53はp-AlGaN層からなることができる。このような場合、前記第2電子遮断層53は前記第1電子遮断層51より大きいエネルギーバンドギャップを有することができる(図3参照)。
このように、前記活性層14から前記第2導電型半導体層22にいくほど、第1電子遮断層51のエネルギーバンドギャップより大きい第2電子遮断層53のエネルギーバンドギャップを有することで、前記活性層14から離脱した電子が前記第1電子遮断層51により一次的に遮断される。前記第1電子遮断層51を通過する一部電子は、前記第1電子遮断層51より大きいエネルギーバンドギャップを有する第2電子遮断層53により2次的に遮断される。
従って、前記電子遮断層20が相互異なるエネルギーバンドギャップを有する多数の層を有するようにして、前記活性層14から離脱した電子の前記第2導電型半導体層22への移動を最小化することができる。前記第1および第2電子遮断層51、53のエネルギーバンドギャップは、前記スペーサー層16および前記キャリア注入層18のエネルギーバンドギャップより広く配置される。これによって、前記第2導電型半導体層22への電子の移動を最小化することができる。
前記電子遮断層20上に前記第2導電型半導体層22が形成される。前記第2導電型半導体層22は、例えば、p型ドーパントを含むp型半導体層からなることができる。前記第2導電型半導体層22は、InxAlyGa1-x-yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)の組成式を有する半導体材質、例えばInAlGaN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN、InNおよびAlInNからなるグループから選択された少なくとも一つを含むことができ、Mg、Zn、Ca、Sr、Baなどのp型ドーパントをドーピングすることができる。前記第2導電型半導体層22は前記電子遮断層20のバンドギャップより低いバンドギャップで形成される。
前記第2導電型半導体層22は正孔を生成して、前記電子遮断層20を経由して前記活性層14に供給することができる。
このような場合、前記キャリア注入層18は、前記第2導電型半導体層22で生成された正孔が前記活性層14に容易に注入されるようにする。また、前記キャリア注入層18も正孔を生成して前記活性層14に注入することができる。
一方、前記第2導電型半導体層22で生成された正孔は、前記電子遮断層20によって前記活性層14に供給され難くなることがある。
前記キャリア注入層18は正孔を生成することができるので、前記キャリア注入層18で生成された正孔が活性層14に容易に供給されることになる。
よって、前記キャリア注入層18は、前記第2導電型半導体層22で生成された正孔が前記活性層14に供給されないことを補充することができ、発光素子の発光効率を向上させることができる。
また、前記キャリア注入層18は、p型ドーパントであるマグネシウム(Mg)原子をn型ドーパントであるシリコン(Si)原子で束縛して、前記第2導電型半導体層22で生成された正孔または前記キャリア注入層18自体で生成された正孔を容易に活性層14に注入させることで、発光素子の発光効率を向上させることができる。
一方、図3に示すように、前記第1導電型半導体層12、前記活性層14、前記スペーサー層16、前記キャリア注入層18、前記電子遮断層20および前記第2導電型半導体層22は、相互異なるエネルギーバンドギャップを有することができる。
例えば、前記第1導電型半導体層12、前記スペーサー層16、前記キャリア注入層18および前記第2導電型半導体層22は、前記活性層14の障壁層と同一またはより大きいバンドギャップを有することができ、前記活性層14の井戸層より大きいバンドギャップを有することができる。
例えば、前記第1導電型半導体層12、前記スペーサー層16、前記キャリア注入層18および前記第2導電型半導体層22は、GaN系半導体からなることができるが、これに限定されるものではない。
従って、第1導電型半導体層12で生成された電子と前記第2導電型半導体層22で生成された正孔が前記活性層14に供給され、前記活性層14で光が生成されることになる。
前記スペーサー層16は、前記活性層14の障壁層と同一またはより大きいエネルギーバンドギャップを有することができる。前記スペーサー層16は、前記活性層14の障壁層のバンドギャップと前記電子遮断層20のバンドギャップの間のバンドギャップを有することができる。例えば、前記スペーサー層16は、AlInGaNまたはAlGaNからなることができるが、これに限定されるものではない。
従って、前記スペーサー層16は、前記活性層14と前記電子遮断層20の間にかかるエネルギーバンドのバンド屈曲を最小化することができる。前記電子遮断層20は、前記スペーサー層16または前記キャリア注入層18より大きいエネルギーバンドギャップを有することができる。
例えば、前記電子遮断層20は、AlInGaNまたはAlGaNからなることができるが、これに限定されるものではない。従って、前記電子遮断層20は、前記活性層14から離脱した電子が前記第2導電型半導体層22に移動することを防止することができる。前記キャリア注入層18は、前記スペーサー層16および前記電子遮断層20のバンドギャップより小さいバンドギャップを有するので、正孔が容易に注入できるようにする。
図5は、第2実施形態に係る発光素子を示す断面図である。
第2実施形態は、キャリア注入層18を除いては第1実施形態と実質的に同一である。従って、第2実施形態では、第1実施形態と同一構造または機能を有する構成要素に対しては同一図面符号を付与し、その詳細な説明は省略することにする。
図5に示すように、第2実施形態に係る発光素子1Aは、基板10、第1導電型半導体層、活性層14、スペイソツン16、キャリア注入層18、電子遮断層20および第2導電型半導体層22を含むことができるが、これに限定されるものではない。
第1実施形態とは違い、第2実施形態のキャリア注入層18は、第1半導体層61、前記第1半導体層61の上にアンドープ半導体層63、前記アンドープ半導体層63の上に第2半導体層65を含む。
前記第1半導体層61、アンドープ半導体層63および第2半導体層61、63、65は、同じ半導体材質、例えばGaN系半導体で形成することができる。
前記第1半導体層61、アンドープ半導体層63および第2半導体層61、63、65は、同一バンドギャップを有することができ、前記スペーサー層16および電子遮断層20のバンドギャップより低いバンドギャップを有することができる。
前記第1および第2半導体層61、63、65は、p型半導体層、例えばp-GaN系半導体で形成することができる。前記アンドープ半導体層63は、いかなる種類のドーパントをドーピングしない層であり、例えばアンドープGaN系半導体で形成することができる。
第1半導体層61、アンドープ半導体層63および第2半導体層65を含むことができるが、これに限定されるものではない。
前記第1半導体層61と前記第2半導体層65のそれぞれの厚さは、前記第2導電型半導体層22の厚さの5%〜50%であるが、これに限定されるものではない。
前記アンドープ半導体層63の厚さは第1および第2半導体層61、65のそれぞれの厚さより薄く形成される。例えば、前記アンドープ半導体層63の厚さは、前記第1および第2半導体層61、65のそれぞれの厚さの5%〜30%であるが、これに限定されるものではない。
ここで、第1半導体層61と第2半導体層65は、Mg、Zn、Ca、Sr、Baなどのp型ドーパントを含むことができる。例えば、前記p型ドーパントの濃度は1E19〜5E20であるが、これに限定されるものではない。例えば、アンドープ半導体層63は、いかなるドーパントもドーピングされないが、これに限定されるものではない。
前記第1半導体層61と前記第2半導体層65は、第2キャリア、すなわち正孔を生成する役割をすることができる。
前記アンドープ半導体層63は、以後に成長する半導体層、例えば、前記第2半導体層65、前記電子遮断層20および前記第2導電型半導体層22に欠陥がないようにし、これら半導体層の膜質を向上させる役割をすることができる。
また、図7に示すように、前記アンドープGaN層63は、トンネル効果(tunneling effect)を発生させるために、多数の層からなる超格子構造を有することができる。前記アンドープ半導体層63は、第2半導体層65で生成された正孔18aをトンネル効果によって容易に第1半導体層61に供給することができる。
一方、前記第2導電型半導体層22で生成された正孔18aは、前記電子遮断層20によって、前記活性層14に容易に供給されないこともある。
前記第1および第2半導体層61、65はいずれも正孔18aを生成することがあるので、前記第1および第2半導体層61、65で生成された正孔18aが活性層14に容易に供給されることになる。従って、前記第1および第2半導体層61、65は、前記第2導電型半導体層22で生成された正孔18aが前記活性層14に供給されないことを補充することができ、発光素子の発光効率を向上させることができる。
図6に示すように、前記第1導電型半導体層12、前記活性層14、前記スペーサー層16、前記キャリア注入層18、前記電子遮断層20および前記第2導電型半導体層22は、相互異なるエネルギーバンドギャップを有することができる。
前記第1半導体層層61、前記アンドープ半導体層63および前記第2半導体層65は相互同じエネルギーバンドギャップを有することができる。
前記第1半導体層61、前記アンドープ半導体層63および前記第2半導体層65は、前記第1導電型半導体層12、前記スペーサー16および前記第2導電型半導体層22と同一または相異異なるエネルギーバンドギャップを有することができるが、これに限定されるものではない。
例えば、前記第1半導体層61、前記アンドープ半導体層63および前記第2半導体層65は、GaN系半導体、例えばGaNで形成することができるが、これに限定されるものではない。
従って、第1導電型半導体層12で生成された電子と前記第2導電型半導体層22で生成された正孔が前記活性層14に供給され、前記活性層14で光が生成されることになる。
一方、第1および第2実施形態に係る発光素子は、水平型発光素子、フリップ型発光素子および垂直型発光素子として製品化されることができる。
前記水平型発光素子では、前記第1および第2実施形態に係る発光素子で、前記第2導電型半導体層22上に透明導電層が形成され、前記第1導電型半導体層12上に第1電極が形成され、前記透明導電層上に第2電極が形成される。
前記透明導電層は、光を透過させる優れた透光性と電気的伝導度を有する導電性物質で形成されるが、例えばITO、IZO(In-ZnO)、GZO(Ga-ZnO)、AZO(Al-ZnO)、AGZO(Al-Ga ZnO)、IGZO(In-Ga ZnO)、IrOx、RuOx、RuOx/ITO、Ni/IrOx/AuおよびNi/IrOx/Au/ITOからなるグループから選択された少なくとも一つを含むことができる。
このような場合、前記活性層14で生成された光は、前記基板を介するよりは、前記透明導電層を介した方が容易に外部に出射されることになる。
前記フリップ型発光素子では、前記第1および第2実施形態に係る発光素子で、前記第2導電型半導体層22上に反射層が形成され、前記第1導電型半導体層12上に第1電極が形成され、前記反射層上に第2電極が形成される。このような場合、前記活性層14で生成されて光は、前記反射層によって反射され、前記基板を介して外部に出射されることになる。
前記垂直型発光素子では、前記第1および第2実施形態に係る発光素子で、前記基板が除去され、前記第2導電型半導体層22上に電極役割をする反射層と支持基板が形成され、前記第1導電型半導体層12上に電極が形成される。このような場合、電流が反射層と電極の間で垂直で流れるので、前記水平型発光素子に比べて発光効率がより向上することになる。また、前記活性層14で生成された光は、前記反射層によって反射され、前記第1導電型半導体層12を介して外部に出射されることになる。
前記水平型発光素子と前記フリップ型発光素子での第1および第2電極、そして前記垂直型発光素子での電極は、同じ電極物質または異なる電極物質で形成することができる。
前記水平型発光素子と前記フリップ型発光素子での第1および第2電極、そして前記垂直型発光素子での電極は、不透明な金属材質、例えばアルミニウム(Al)、チタニウム(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、金(Au)、タングステン(W)、銅(Cu)およびモリブデン(Mo)からなるグループから選択された一つまたはこれらの合金を含むことができるが、これに限定されるものではない。
前記フリップ型発光素子での反射層と前記垂直型発光素子での反射層は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、AuおよびHfからなるグループから選択された少なくとも一つまたは二以上の合金を含むことができるが、これに限定されるものではない。
実施形態は、活性層と電子遮断層の間にp型ドーパントとn型ドーパントを含むキャリア注入層が形成され、n型ドーパントがp型ドーパントを束縛して正孔が活性層に容易に注入されるようにすることで、発光効率を向上させることができる。
実施形態は、活性層と電子遮断層の間に正孔を生成するキャリア注入層が形成され、第2導電型半導体層だけでなく、キャリア注入層でも正孔を生成して全体的に正孔の濃度を増加さることで、発光効率を向上させることができる。
実施形態は、活性層と電子遮断層の間に正孔を生成する少なくとも一つ以上の半導体層と膜質を向上させるためのアンドープ半導体層からなるキャリア注入層を形成することで、より多くの正孔を生成できるだけでなく、キャリア注入層以後に成長する半導体層、例えば第2導電型半導体層の膜質が向上され、発光効率を向上させることができる。
図8は、実施形態に係る発光素子パッケージを示す断面図である。
図8に示すように、実施形態に係る発光素子パッケージは、本体101と、前記本体101に設置された第1リード電極103および第2リード電極105と、前記本体101に設置されて前記第1リード電極103および第2リード電極105から電源が供給される第1実施形態および第2実施形態に係る発光素子1と、前記発光素子1を取り囲むモールディング部材113と、を含む。
前記本体101は、シリコン材質、合成樹脂材質、または金属材質からなることができ、前記発光素子1の周囲に傾斜面を形成することができる。
前記第1リード電極103および第2リード電極105は相互電気的に分離され、前記発光素子1に電源を提供する。
また、前記第1および第2リード電極103、105は、前記発光素子1で発生した光を反射させて光効率を増加させることができ、前記発光素子1で発生した熱を外部に排出する役割をすることもできる。
前記発光素子1は、前記第1リード電極103、第2リード電極105および前記本体101中のいずれか一つの上に設置され、ワイヤー方式、ダイボンディング方式などによって前記第1および第2リード電極103、105に電気的に連結されるが、これに限定されるものではない。
実施形態では、一つのワイヤー109を介して発光素子1を前記第1および第2リード電極103、105のいずれか一つに電気的に連結させるものが例示されているが、これに限定されるものではなく、2つのワイヤーを用いて発光素子1を前記第1および第2リード電極103、15に電気的に連結させるか、ワイヤーなしに発光素子1を前記第1および第2リード電極103、105に電気的に連結させることもできる。
前記モールディング部材113は、前記発光素子1を取り囲んで前記発光素子1を保護することができる。また、前記モールディング部材113には蛍光体が含まれ、前記発光素子1から放出された光の波長を変化させることができる。
実施形態に係る発光素子パッケージ200はCOB(Chip On Board)タイプを含み、前記本体101の表面は平坦であり、前記本体101には複数の発光素子を設置することもできる。
実施形態に係る発光素子や発光素子パッケージは、ライトユニットに適用することができる。前記ライトユニットは、表示装置と照明装置、例えば照明灯、信号灯、車両前照灯、電光掲示板、指示などのようなユニットに適用することができる。

Claims (19)

  1. 第1導電型ドーパントを含む第1半導体層と、
    前記第1半導体層上に配置された活性層と、
    前記活性層上に配置された電子遮断層と、
    前記活性層と前記電子遮断層との間に配置されたキャリア注入層と、
    前記電子遮断層上に配置され、第2導電型ドーパントを含む第2半導体層と、を含み、
    前記キャリア注入層は、前記第1導電型ドーパントと前記第2導電型ドーパントを含み、
    前記キャリア注入層の前記第1導電型ドーパントは、少なくとも前記第2導電型ドーパントの濃度より低いドーパント濃度を有する発光素子。
  2. 前記第1導電型ドーパントはn型ドーパントを含み、前記第2導電型ドーパントはp型ドーパントを含む請求項1に記載の発光素子。
  3. 前記活性層と前記キャリア注入層との間に配置されるスペーサー層をさらに含む請求項1または2に記載の発光素子。
  4. 前記スペーサー層は、InGaN、AlGaNおよびInAlGaN中の一つを含む請求項3に記載の発光素子。
  5. 前記スペーサー層は、InGaNまたはInAlGaNで形成され、インジウム(In)の含有量は0.01%〜5%である請求項3または4に記載の発光素子。
  6. 前記スペーサーは、AlGaNまたはInAlGaNで形成され、アルミニウム(Al)の含有量は0.01%〜10%である請求項3または4に記載の発光素子。
  7. 前記電子遮断層は、前記キャリア注入層上に配置された第1電子遮断層と、前記第1電子遮断層上に配置され、前記第1電子遮断層のバンドギャップより大きいバンドギャップを有する第2電子遮断層とを含む請求項3乃至6のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  8. 前記第1電子遮断層はInAlGaNを含み、前記第2電子遮断層はAlGaNを含む請求項7に記載の発光素子。
  9. 前記キャリア注入層のp型ドーパントの濃度は1E19〜5E20である請求項3乃至8のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  10. 前記スペーサー層は、前記活性層の障壁層と連結され、前記障壁層のバンドギャップより広いバンドギャップを有する請求項3乃至9のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  11. 前記キャリア注入層は、前記スペーサー層のバンドギャップより低いバンドギャップを有する請求項3乃至10のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  12. 前記キャリア注入層は、前記活性層の障壁層と同一バンドギャップを有する請求項11に記載の発光素子。
  13. 前記キャリア注入層は、
    前記p型ドーパントを含む第3半導体層と、
    前記第3半導体層上に配置され、アンドープ(undoped)された第4半導体層と、
    前記第4半導体層上に配置され、前記p型ドーパントを含む第5半導体層と、を含む請求項3乃至12のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  14. 前記第3半導体層と第5半導体層のp型ドーパントは相互同一ドーピング濃度を有する請求項13に記載の発光素子。
  15. 前記第3半導体層と前記第5半導体層のそれぞれの厚さは、前記第2導電型半導体層の厚さの5%〜50%である請求項14に記載の発光素子。
  16. 前記第4半導体層は、前記第3半導体層と前記第5半導体層のそれぞれの厚さより薄い厚さを有する請求項14または15に記載の発光素子。
  17. 前記第3〜第5半導体層は、相互同一半導体で形成され、同一エネルギーバンドギャップを有する請求項13乃至16のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  18. 前記第4半導体層は、多数の層からなる超格子構造を有する請求項13乃至17のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  19. 前記キャリア注入層のn型ドーパントの濃度は1E16〜1E20である 請求項13乃至18のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160107441A (ko) * 2015-03-04 2016-09-19 엘지이노텍 주식회사 자외선 발광소자 및 조명시스템
WO2017057149A1 (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 日亜化学工業株式会社 窒化物半導体発光素子
JP2019530228A (ja) * 2016-09-13 2019-10-17 エルジー イノテック カンパニー リミテッド 半導体素子およびこれを含む半導体素子パッケージ
KR20200094790A (ko) * 2017-12-28 2020-08-07 알레디아 3차원 발광 다이오드를 갖는 광전자 장치
JP2021027194A (ja) * 2019-08-06 2021-02-22 日機装株式会社 窒化物半導体発光素子

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150243845A1 (en) * 2014-02-26 2015-08-27 Epistar Corporation Light-emitting device
DE102015113670A1 (de) * 2014-08-19 2016-02-25 Seoul Viosys Co., Ltd Leuchtvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
KR102227772B1 (ko) 2014-08-19 2021-03-16 삼성전자주식회사 반도체 발광소자
KR102359824B1 (ko) 2015-07-24 2022-02-08 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 자외선 발광소자 및 발광소자 패키지
KR102392779B1 (ko) * 2015-09-02 2022-04-29 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 발광 소자 및 이를 구비한 발광 소자 패키지
DE102016111929A1 (de) 2016-06-29 2018-01-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronischer Halbleiterkörper und Leuchtdiode
CN106384764A (zh) * 2016-10-26 2017-02-08 湘能华磊光电股份有限公司 一种led外延结构及其生长方法
CN107394019B (zh) * 2017-07-31 2019-07-12 安徽三安光电有限公司 一种半导体发光元件及其制备方法
US10693038B2 (en) * 2017-11-22 2020-06-23 Epistar Corporation Semiconductor device
CN108574027B (zh) * 2018-05-07 2020-02-07 福建兆元光电有限公司 氮化镓基led芯片及制造方法
FR3091622B1 (fr) * 2019-01-09 2021-09-17 Soitec Silicon On Insulator Structure semi-conductrice optoélectronique comprenant une couche d’injection de type p à base d’InGaN
DE102019106419A1 (de) * 2019-03-13 2020-09-17 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronischer halbleiterchip und verfahren zum herstellen eines optoelektronischen halbleiterchips
CN111863599A (zh) * 2020-07-31 2020-10-30 佛山紫熙慧众科技有限公司 基于Si衬底的N极性面富Al组分氮化物材料生长方法
CN116632138A (zh) * 2023-07-24 2023-08-22 江西乾照光电有限公司 一种深紫外led外延片、外延生长方法及led芯片

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11251687A (ja) * 1998-03-06 1999-09-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体の製造方法及び半導体装置
JP2012018963A (ja) * 2010-07-06 2012-01-26 Sony Corp 半導体レーザ
JP2012019068A (ja) * 2010-07-08 2012-01-26 Toshiba Corp 半導体発光素子

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0886326A3 (en) * 1997-06-06 1999-11-24 Hewlett-Packard Company Separate hole injection structure for improved reliability light emitting semiconductor devices
US7298595B2 (en) * 2003-09-26 2007-11-20 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Differential GMR sensor with multi-layer bias structure between free layers of first and second self-pinned GMR sensors
US7326963B2 (en) * 2004-12-06 2008-02-05 Sensor Electronic Technology, Inc. Nitride-based light emitting heterostructure
US7342753B2 (en) * 2005-01-20 2008-03-11 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. In-stack biasing of the free layer of a magnetoresistive read element
WO2007037617A1 (en) * 2005-09-30 2007-04-05 Seoul Opto Device Co., Ltd. Light emitting device having vertically stacked light emitting diodes
KR101990095B1 (ko) * 2011-07-11 2019-06-18 엘지이노텍 주식회사 발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지
US8648384B2 (en) * 2011-07-25 2014-02-11 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device
KR101836122B1 (ko) * 2011-08-24 2018-04-19 엘지이노텍 주식회사 발광소자

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11251687A (ja) * 1998-03-06 1999-09-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体の製造方法及び半導体装置
JP2012018963A (ja) * 2010-07-06 2012-01-26 Sony Corp 半導体レーザ
JP2012019068A (ja) * 2010-07-08 2012-01-26 Toshiba Corp 半導体発光素子

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160107441A (ko) * 2015-03-04 2016-09-19 엘지이노텍 주식회사 자외선 발광소자 및 조명시스템
KR102308701B1 (ko) * 2015-03-04 2021-10-06 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 자외선 발광소자 및 조명시스템
WO2017057149A1 (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 日亜化学工業株式会社 窒化物半導体発光素子
JPWO2017057149A1 (ja) * 2015-09-28 2018-07-26 日亜化学工業株式会社 窒化物半導体発光素子
US10505074B2 (en) 2015-09-28 2019-12-10 Nichia Corporation Nitride semiconductor light emitting element including electron blocking structure layer
US10686098B2 (en) 2015-09-28 2020-06-16 Nichia Corporation Nitride semiconductor light emitting element including electron blocking structure layer
JP2019530228A (ja) * 2016-09-13 2019-10-17 エルジー イノテック カンパニー リミテッド 半導体素子およびこれを含む半導体素子パッケージ
JP7403797B2 (ja) 2016-09-13 2023-12-25 スージョウ レキン セミコンダクター カンパニー リミテッド 半導体素子およびこれを含む半導体素子パッケージ
KR20200094790A (ko) * 2017-12-28 2020-08-07 알레디아 3차원 발광 다이오드를 갖는 광전자 장치
KR102572289B1 (ko) * 2017-12-28 2023-08-28 알레디아 3차원 발광 다이오드를 갖는 광전자 장치
JP2021027194A (ja) * 2019-08-06 2021-02-22 日機装株式会社 窒化物半導体発光素子

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Publication number Publication date
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