JP2014085261A

JP2014085261A - 溶液の調製装置および溶液の調製方法

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Publication number: JP2014085261A
Application number: JP2012235264A
Authority: JP
Inventors: Fumio Osada; 文夫長田
Original assignee: Nikkiso Co Ltd
Current assignee: Nikkiso Co Ltd
Priority date: 2012-10-25
Filing date: 2012-10-25
Publication date: 2014-05-12
Anticipated expiration: 2032-10-25
Also published as: JP5642137B2

Abstract

【課題】混合溶液の性状の変化に基づいて吸引吐出手段を制御することが可能な溶液の調製装置を提供する。
【解決手段】溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度のうちの少なくとも一つが異なる第１の液体と第２の液体とを個別にそれぞれ貯留する第１貯留タンク１０および第２貯留タンク１２と、第１貯留タンク内の第１の液体および第２貯留タンク内の第２の液体をそれぞれ独立した流路を介して同期させた状態で吸引するとともに吐出する第１ポンプ１４および第２ポンプ１６と、第１の液体と第２の液体とを混合する混合カラム２６と、第１の液体と第２の液体とが混合された混合溶液を貯留する溶液貯留タンク３０と、第１ポンプおよび第２ポンプの吐出流量、吐出圧力、および混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つを検出する検出手段と、検出手段による検出値に基づいて第１ポンプおよび第２ポンプを制御する制御手段と、を備える溶液の調製装置である。
【選択図】図１

Description

本発明は、溶液の調製装置および調製方法に関し、特に、イオンクロマトグラフ分析装置における分離カラムに流す溶離液の調製に利用可能な溶液の調製装置および調製方法に関する。

例えば、沸騰水型動力炉における原子炉の炉水中に存在するイオン種の検出や、半導体製造工場等で使用される超純水中に存在するイオン種の検出等には、一般にイオンクロマトグラフ分析装置が用いられる。このイオンクロマトグラフ分析装置の稼働時には、その分離カラムに、所定の試薬を純水等で希釈することにより所定の濃度に調製して得られる溶離液を流し続けることが要求される。

従来は、予め試薬の原液に純水等を混合させて所定の濃度に希釈した溶離液を大型の貯留タンクに大量に溜め、この貯留タンクから直接ポンプを介して分離カラムに溶離液を流すようにしている。あるいは、試薬の原液および純水等をそれぞれ個別に比較的小型の貯留タンクに溜め、それら２液を各貯留タンクから別々のポンプを介して一旦希釈タンクに貯留して混合することにより溶離液を調製し、その希釈タンクからさらに別のポンプを介して分離カラムに溶離液を流すようにしている。

しかし、上述した２例は、貯留タンクが大型であったり、希釈タンクおよび多数のポンプを必要とする等、いずれもタンクやポンプの設置に広大なスペースが必要であるため、狭いスペースへの設置には適さない。

そこで、試薬の原液を純水等で希釈して溶離液を調製しながらその溶離液を分離カラムに流す装置について、限られたスペース内に設置可能であるとともに、さらに各貯留タンクへの試薬の原液や純水等の補給が長期間にわたり不要となるような小型の装置の開発が望まれている。

本発明者は、試薬の原液を貯留する比較的小容量の試薬タンクと、希釈に使用する純水等を貯留する溶媒タンクとに、試薬の原液および純水等を同期させた状態で吸引吐出するダブルプランジャポンプ等のポンプを連結し、そのポンプにコイル状、蛇行状、渦巻状等の混合配管を連結してなる試薬の希釈装置について先に提案した。この装置によれば、イオンクロマトグラフィ分析装置等に組み込むことが可能な程度の十分な小型化を達成することができた。

特許文献１には、貯留タンクに貯留させる試薬等を長期間にわたり補給せずに済むようにするために、溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度等の少なくとも一つが異なる第１の液体と第２の液体とを個別に夫々貯留する第１の貯留タンクおよび第２の貯留タンクに、夫々独立した流路を介して、それら各タンク内の第１の液体および第２の液体を同期させた状態で吸引するとともに吐出する吸引吐出手段が連結され、該吸引吐出手段に第１の液体と第２の液体とを混合する混合流路が連結され、該混合流路に、第１の液体と第２の液体とが混合されてなる溶液を貯留する溶液貯留タンクが連結されているとともに、該溶液貯留タンクの水位に応じて前記吸引吐出手段の作動および停止を行う作動停止手段が設けられていて、前記第１の貯留タンクまたは前記第２の貯留タンクに、同タンクの水位に応じて作動および停止が行われる純水製造装置が連結されている構成とした溶液の調製装置が提案されている。

しかし、特許文献１に記載の溶液の調製装置では、溶液を調製する際に貯留タンクの液レベルで検出を行うだけであるため、接続されている配管等から溶液が漏洩したり、ポンプに問題が発生して吐出される溶液、希釈水の流量等が予め設定した流量を維持できない場合、目標とする溶液濃度に到達していないことを検出して、ポンプを制御することができない。

特許第３２４３２９９号公報

本発明の目的は、混合溶液の性状の変化に基づいて吸引吐出手段を制御することが可能な溶液の調製装置および溶液の調製方法を提供することにある。

本発明は、溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度のうちの少なくとも一つが異なる第１の液体と第２の液体とを個別にそれぞれ貯留する第１の貯留タンクおよび第２の貯留タンクと、前記第１の貯留タンクおよび第２の貯留タンクにそれぞれ独立した流路を介して連結された、前記第１の貯留タンク内の第１の液体および前記第２の貯留タンク内の第２の液体を同期させた状態で吸引するとともに吐出する吸引吐出手段と、前記吸引吐出手段に連結された第１の液体と第２の液体とを混合する混合流路と、前記混合流路に連結された、第１の液体と第２の液体とが混合された混合溶液を貯留する溶液貯留タンクと、前記吸引吐出手段の吐出流量、吐出圧力、および前記混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つを検出する検出手段と、前記検出手段による検出値に基づいて前記吸引吐出手段を制御する制御手段と、を備える溶液の調製装置である。

また、前記溶液の調製装置において、前記混合溶液の特性値が、溶液の導電率、示差屈折率、吸光度、質量、質量分析値のうちの少なくとも１つであることが好ましい。

また、本発明は、溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度のうちの少なくとも一つが異なる第１の液体と第２の液体とをそれぞれ独立した流路を介して、吸引吐出手段により同期させた状態で吸引するとともに吐出させ、前記吸引吐出手段により吐出された第１の液体と第２の液体とを混合して混合溶液を調製する混合溶液調製工程を含み、前記吸引吐出手段の吐出流量、吐出圧力、および前記混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つを検出し、その検出値に基づいて前記吸引吐出手段を制御する溶液の調製方法である。

また、前記溶液の調製方法において、前記混合溶液の特性値が、溶液の導電率、示差屈折率、吸光度、質量、質量分析値のうちの少なくとも１つであることが好ましい。

本発明では、吸引吐出手段の吐出流量、吐出圧力、および混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つを検出する検出手段による検出値に基づいて吸引吐出手段を制御することにより、混合溶液の性状の変化に基づいて吸引吐出手段を制御することができる。

本発明の実施形態に係る溶液の調製装置の一例を示す概略構成図である。本発明の実施形態に係る溶液の調製装置をイオンクロマトグラフ分析装置に接続した例を示す概略構成図である。実施例において、希釈ポンプ（水酸化ナトリウム側）による流量を変化させて希釈した際の溶離液の導電率の推移を示す図である。実施例において、希釈ポンプ（メタンスルホン酸側）による流量を変化させて希釈した際の溶離液の導電率の推移を示す図である。

本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。

本発明の実施形態に係る溶液の調製装置の一例の概略を図１に示し、その構成について説明する。

図１に示す溶液調製装置１は、第１の液体を貯留する第１貯留タンク１０と、第２の液体を貯留する第２貯留タンク１２と、第１貯留タンク１０内の第１の液体を吸引するとともに吐出する吸引吐出手段として第１ポンプ１４と、第２貯留タンク１２内の第２の液体を吸引するとともに吐出する吸引吐出手段として第２ポンプ１６と、第１の液体と第２の液体とを混合する混合流路として混合カラム２６と、第１の液体と第２の液体とが混合された混合溶液を貯留する溶液貯留タンク３０と、検出手段として混合溶液の導電率を検出する導電率検出部２８と、を備える。

溶液調製装置１において、第１貯留タンク１０の出口と第１ポンプ１４の吸引側には第１溶液流路３６が接続され、第１ポンプ１４の吐出側には逆止弁１８を介して第１溶液流路４０が接続され、第２貯留タンク１２の出口と第２ポンプ１６の吸引側には第２溶液流路３８が接続され、第２ポンプ１６の吐出側には逆止弁２０を介して第２溶液流路４２が接続されている。第１溶液流路４０および第２溶液流路４２は合流して混合カラム２６の入口に接続され、混合カラム２６の出口と溶液貯留タンク３０の入口とが混合溶液流路４４により接続されている。溶液貯留タンク３０の出口には、混合溶液の送液手段としての送液ポンプ４８を介して混合溶液送液流路４６が接続されている。混合溶液流路４４における混合カラム２６の後流側で溶液貯留タンク３０の前流側には導電率検出部２８が設置されている。また、検出手段として、第１溶液流路４０における逆止弁１８の後流側で第２溶液流路４２との合流点の前流側に、第１ポンプ１４の吐出圧力を検出する第１圧力検出部２２が設置され、第２溶液流路４２における逆止弁２０の後流側で第１溶液流路４０との合流点の前流側に、第２ポンプ１６の吐出圧力を検出する第２圧力検出部２４が設置されていてもよい。導電率検出部２８、第１圧力検出部２２、第２圧力検出部２４、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６は、図示しない制御手段に電気的接続等により接続されている。

図１を参照して溶液調製装置１の動作について説明する。

第１貯留タンク１０に貯留された第１の液体は、第１ポンプ１４の吸引、吐出により逆止弁１８を介して第１溶液流路３６，４０を通して、第２貯留タンク１２に貯留された第２の液体は、第２ポンプ１６の吸引、吐出により逆止弁２０を介して第２溶液流路３８，４２を通して、第１ポンプ１４と第２ポンプ１６とが同期された状態で、混合カラム２６へ送液される。混合カラム２６は、例えばカラム内にガラスビーズ等が封入されたものであり、その混合カラム２６内を第１の液体および第２の液体が通過することにより混合されて所定の濃度の混合溶液が調製される（混合溶液調製工程）。

混合カラム２６を経た溶液は、混合溶液として混合溶液流路４４を通して溶液貯留タンク３０に流入し、貯留される。溶液貯留タンク３０に貯留された混合溶液は、混合溶液送液流路４６を通して送液ポンプ４８により、混合溶液を使用する装置、例えばイオンクロマトグラフ分析装置へ送液される。

溶液調製装置１では、第１圧力検出部２２、第２圧力検出部２４および導電率検出部２８等の検出手段によって、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の吐出流量、吐出圧力、および混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つが検出され、その検出値に基づいて第１ポンプ１４および第２ポンプ１６が制御される。検出手段によって、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６による吐出の際の吐出圧力、吐出流量や、混合溶液の特性値等を監視することにより、混合溶液の性状の変化に基づいて第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の健全性、混合溶液の希釈濃度の健全性等を判断し、異常を検知した際には、例えば、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６を停止したり、警報を発信して溶液の調製を停止することができる。

例えば、導電率検出部２８により、混合カラム２６で得られた混合溶液の導電率が検出される。混合溶液の導電率を監視することにより、混合溶液の性状の変化を検出することができる。そして、例えば、接続されている配管等から溶液が漏洩したり、溶液中の溶存ガスの発泡等により引き起こされるポンプの作動不良、すなわちエアロック現象の発生等、ポンプに問題が発生して吐出される溶液、希釈水の流量等が予め設定した流量を維持できない場合に、混合溶液の導電率の変化、すなわち混合溶液の性状の変化が検出されると、図示しない制御手段によって、例えば、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６を停止したり、警報を発信して溶液の調製を停止することができる。また、必要に応じて、この導電率検出部２８による混合溶液の導電率の検出と、第１圧力検出部２２および第２圧力検出部２４による第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の吐出圧力の検出とを組み合わせて、混合溶液の性状の変化を検出し、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６を制御してもよい。

監視する混合溶液の特性値としては、特に制限はないが、例えば、溶液の導電率、示差屈折率、紫外光、可視光等の吸光度、質量、および質量分析値等が挙げられる。

監視するのは、吸引吐出手段の吐出流量、吐出圧力、ならびに、溶液の導電率、示差屈折率、吸光度、質量および質量分析値等の混合溶液の特性値のうちの１つであってもよいし、これらのうち２つ以上であってもよい。

これらの中でも、混合溶液の性状変化による値の変化率が大きい等の観点から、導電率を検出し、監視することが好ましい。導電率を監視することにより、混合溶液の性状のわずかな変化をも検出することができる。

検出手段による監視は、連続的であってもよいし、間欠的であってもよい。

検出手段による検出値に基づく制御手段による第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の制御は、通常は第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の停止、または警報の発信であればよい。必要に応じて、検出手段による検出値に基づいて第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の吐出量等を制御して、混合溶液の組成、濃度等を制御してもよい。

第１の液体および第２の液体は、溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度のうちの少なくとも一つが異なるものである。第１の液体と第２の液体は、例えば、純水および試薬の原液であり、本実施形態に係る溶液調製装置を試薬の原液を純水で希釈するために用いることができるが、これに限定されるものではなく、第２の液体が試薬を希釈して得られる適当な濃度の溶液でもよいし、また第１の液体も試薬の原液やそれを希釈して得られる適当な濃度の溶液でもよく、本実施形態に係る溶液調製装置を、それら２液を混合してなる溶液を調製するために用いてもよい。また、３種以上の液体を使用して、３種以上の液体を混合してもよい。

また、第１の液体および第２の液体は水溶液に限らず、例えば油等の有機溶剤等、液体であれば特に制限はない。

溶液調製装置１の各構成要素は、上記例示のものに限らず、同等の機能を有するものであればよく、特に制限はない。

検出手段としては、流量計、圧力検出計、導電率計、示差屈折率検出器、分光吸光度計、精密天秤、質量分析装置等を用いればよい。

吸引吐出手段としては、第１の液体および第２の液体を同期させて吸引吐出することができればよく、どのような形式のポンプを用いてもよい。シングルプランジャ式の第１ポンプ１４、第２ポンプ１６を同期させて吸引吐出する代わりにダブルプランジャ式のポンプを用いてもよいし、プランジャの数を３個以上として、３種類以上の液体を混合させてもよい。

ダブルプランジャポンプとしては、同期させた状態で、２個のプランジャをモータおよびカムを用いて駆動させる形式、２個のプランジャを流体圧により駆動させる形式、または、２個のプランジャを電磁力により駆動させる形式のもの等が挙げられ、いずれを用いてもよい。また、ダブルプランジャポンプは、２個のプランジャによる第１の液体および第２の液体の吐出量を別々に調整することができるようになっている。すなわち、２個のプランジャの径を異ならせることにより、一方の液体を多く吐出させる一方、他方の液体の吐出量を少なくすることができる。このように吐出量を調整することによって、得られる混合溶液の濃度を任意に設定することができる。

逆止弁１８，２０は、混合カラム２６からの混合溶液の逆流を防ぐためのものである。逆止弁１８，２０は、ポンプ１４，１６の吐出口から逆止弁１８，２０にそれぞれ至る流路の圧力を、混合カラム２６から溶液貯留タンク３０に至る流路の圧力（例えば、大気圧）よりも高めて所定の圧力とすることにより、ポンプ１４，１６からの第１の液体および第２の液体の各吐出量をできるだけ正確に保つ保圧弁を兼ねていてもよい。

混合流路としては、耐薬品性に優れるフッ素樹脂等の樹脂から構成される筒体、すなわちカラム内にガラスビーズ、セラミック、化学的不活性樹脂等が封入された混合カラム２６の代わりに、コイル状や蛇行状や渦巻状等の混合配管を用いてもよい。

第１溶液流路３６，４０、第２溶液流路３８，４２等の各流路としては、例えば、耐圧性および耐薬品性に優れるフッ素樹脂等の樹脂等から構成されるチューブ等を用いればよい。

溶液貯留タンク３０には、タンク内の溶液の水位を検出する水位検出手段が設けられていてもよい。例えば、溶液貯留タンク３０の上部に高水位センサ３２が、下部に低水位センサ３４が設けられ、高水位センサ３２により液面が高水位に達したことが検出されると、図示しない制御手段により第１ポンプ１４および第２ポンプ１６が停止されて、溶液貯留タンク３０から混合溶液が溢れるのが防止されてもよい。一方、低水位センサ３４により液面が低水位まで下がったことが検出されると、図示しない制御手段により第１ポンプ１４および第２ポンプ１６が作動されて、溶液貯留タンク３０に溶液が補給されてもよい。

溶液貯留タンク３０の水位に応じて第１ポンプ１４および第２ポンプ１６の作動および停止を行うことにより、第１ポンプ１４および第２ポンプ１６ならびに混合カラム２６により吸引吐出、混合されて調製された混合溶液が溶液貯留タンク３０に溜り、その水位に応じて適宜第１ポンプ１４および第２ポンプ１６が作動および停止されるので、第１の液体および第２の液体の浪費等が抑制され、装置の大型化を招くことなく、それら液体の補給を長期間にわたり行わずに済む。

水位検出手段としては、溶液貯留タンク３０内の溶液の水位を検出することができるものであればよく、特に制限はないが、例えば液面検出センサ等が使用される。

第１貯留タンク１０および第２貯留タンク１２には、タンク内に塵埃等が混入したり、溶液の蒸発や大気中のガスの吸収等を抑制するために、フィルタ等により大気から遮断されていてもよい。これにより、大気から第１の液体および第２の液体中に塵埃等が混入するのを防ぐことができるとともに、第１の液体および第２の液体から大気中へ蒸気が放散されることによる液体の濃度変化や、大気中の炭酸ガス等を吸収することによる水素イオン濃度の変化等が生じるのを防ぐことができる。

また、第１貯留タンク１０および第２貯留タンク１２に、タンクが空であることを検出する低水位センサ等の図示しない水位検出手段が設けられていてもよい。

第１貯留タンク１０および第２貯留タンク１２の少なくとも１つの後段側に、液体中に溶存しているガスを除去するための溶存ガス除去としての溶存ガス除去装置を設置してもよい。例えば、イオンクロマトグラフ分析装置と組み合わせて溶離液の調製を行う場合、純水製造装置等からの純水を貯留および供給する貯留タンクの後段側に溶存ガス除去装置を設置し、この溶存ガス除去装置により、純水中に溶け込んでいる溶存酸素等の気体成分が除去されることにより、溶液中の溶存ガスの発泡により引き起こされるポンプの作動不良、すなわちエアロック現象の発生が抑制される。

本実施形態に係る溶液調製装置は、単独で使用してもよいし、例えばイオンクロマトグラフ分析装置と組み合わせて溶離液の調製に適用してもよいし、分光分析装置等と組み合わせてもよいし、電解研磨装置や放電加工装置や湿式鍍金装置等と組み合わせてそれら装置に使用される電解液等の組成の管理等に適用してもよい。

本実施形態に係る溶液の調製装置および溶液の調製方法は、例えば、沸騰水型動力炉における原子炉の炉水中に存在するイオン種の検出や、半導体製造工場等で使用される超純水中に存在するイオン種の検出等に用いるイオンクロマトグラフ分析装置における、溶離液の調製に好適に適用することができる。これらの用途に用いられるイオンクロマトグラフ分析装置は、連続運転が必要な常時運転が要求され、溶離液の自動供給が要求される。特に、試料のサンプリング、希釈、溶離液の調製およびイオンクロマトグラフ分析をオンラインで一括して処理することが可能なオンライン型イオンクロマトグラフ分析装置の好適に適用することができる。

イオンクロマトグラフ分析装置における溶離液の調製に適用する場合、例えば、第１の液体として純水、第２の液体として炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ溶液を用いて、陰イオンを分析し、または、例えば、第１の液体として純水、第２の液体としてメタンスルホン酸水溶液等の酸溶液を用いて、陽イオンを分析すればよい。この場合、第１ポンプおよび第２ポンプを含むポンプユニット４９を２つ組み合わせて、１つのポンプユニットとして用いればよい。

図２に本発明の実施形態に係る溶液の調製装置をイオンクロマトグラフ分析装置に接続した例を示す概略構成図を示す。イオンクロマトグラフ分析装置５０は、サンプル液を送液するサンプル液ポンプ６２と、溶離液を送液する溶離液ポンプ６４と、再生液を送液する再生液ポンプ６６と、サンプル液と溶離液の流路を切り替える六方バルブである切替バルブ６０と、サンプル液中のイオン成分をトラップして所定の倍率に濃縮する濃縮カラム５２と、濃縮後の各種のイオン成分を分離する分離カラム５６と、分離カラム５６を保護するためのガードカラム５４と、溶離液の導電率を低下させるサプレッサ（除去カラム）５８と、分離されたイオン成分を導電率により検出する導電率測定装置６８とを備える。

このイオンクロマトグラフ分析装置５０において、例えば切替バルブ６０の開口部１−２，３−４，５−６が連通している状態で、サンプル液ポンプ６２により所定量のサンプル液が切替バルブ６０を経由して濃縮カラム５２に通液され、濃縮カラム５２においてサンプル液中のイオン成分が濃縮される。このとき溶液調製装置１により調製された溶離液は、溶離液ポンプ６４により切替バルブ６０を経由して分離カラム５６の方向に送液されている。次に、例えば図２に示すように、切替バルブ６０が開口部６−１，２−３，４−５が連通するように切り替わると、サンプル液はドレインに排出されるが、溶液調製装置１により調製された溶離液が濃縮カラム５２内の濃縮イオン成分を分離カラム５６の方向に押し出す。このようにして濃縮イオン成分が溶離液と共に分離カラム５６に送り込まれると、濃縮イオン成分は分離カラム５６において各イオン成分に分離される。各イオン成分の分離は、分離カラム５６に充填されたイオン交換樹脂への各イオン成分の親和力の差等を利用して行われる。分離カラム５６を出た分離イオン成分は、溶離液と共にサプレッサ５８に送り込まれ、サプレッサ５８においてイオン交換樹脂により溶離液の導電率が低下される。目的の測定対象成分を含む分離イオン成分について導電率測定装置６８において導電率が測定され、これにより測定対象成分が検出される。このように、サンプル液に含まれるイオン成分の分析が行われる。

以下、実施例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。

＜実施例１＞
図１に示すような溶液調製装置において、第１ポンプおよび第２ポンプを含むポンプユニットを２つ組み合わせて１つのポンプユニットとして用い、アルカリ希釈溶液および酸希釈溶液の調製を行った。ポンプユニットにアルカリ希釈溶液調製用として、アルカリ溶液として水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液、希釈水として超純水を供給し、酸希釈溶液調製用として、酸溶液としてメタンスルホン酸水溶液、希釈水として超純水を供給した。流量設定は、ポンプに組み込まれているスイッチにより変化させ、吐出されてくる希釈後の混合溶液を１００ｍＬビーカに貯めて、その導電率を卓上型導電率計（堀場製作所製、ＬＡＱＵＡ、型式ＤＳ−７２）を用いて測定した。

希釈水を供給するポンプによる希釈水の流量を一定として、アルカリ溶液または酸溶液を供給するポンプの流量の設定を変化させた際の混合溶液の導電率の測定結果を図３に示す。溶液としてアルカリ溶液（水酸化ナトリウム水溶液）、酸溶液（メタンスルホン酸水溶液）を用いて、その流量設定を変化させた際、その混合溶液の導電率と流量の関係をグラフ化すると、相関関数０．９９以上の直線性の関係が得られた。これにより、アルカリ溶液もしくは酸溶液、または希釈水の流量が変化すると、希釈後の混合溶液の導電率が明確に変化するため、アルカリ溶液または酸溶液と希釈水とがポンプにより正しく混合されているかどうかの健全性を判断することが可能である。

１溶液調製装置、１０第１貯留タンク、１２第２貯留タンク、１４第１ポンプ、１６第２ポンプ、１８，２０逆止弁、２２第１圧力検出部、２４第２圧力検出部、２６混合カラム、２８導電率検出部、３０溶液貯留タンク、３２高水位センサ、３４低水位センサ、３６，４０第１溶液流路、３８，４２第２溶液流路、４４混合溶液流路、４６混合溶液送液流路、４８送液ポンプ、４９ポンプユニット、５０イオンクロマトグラフ分析装置、５２濃縮カラム、５４ガードカラム、５６分離カラム、５８サプレッサ（除去カラム）、６０切替バルブ、６２サンプル液ポンプ、６４溶離液ポンプ、６６再生液ポンプ、６８導電率測定装置。

Claims

溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度のうちの少なくとも一つが異なる第１の液体と第２の液体とを個別にそれぞれ貯留する第１の貯留タンクおよび第２の貯留タンクと、
前記第１の貯留タンクおよび第２の貯留タンクにそれぞれ独立した流路を介して連結された、前記第１の貯留タンク内の第１の液体および前記第２の貯留タンク内の第２の液体を同期させた状態で吸引するとともに吐出する吸引吐出手段と、
前記吸引吐出手段に連結された第１の液体と第２の液体とを混合する混合流路と、
前記混合流路に連結された、第１の液体と第２の液体とが混合された混合溶液を貯留する溶液貯留タンクと、
前記吸引吐出手段の吐出流量、吐出圧力、および前記混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つを検出する検出手段と、
前記検出手段による検出値に基づいて前記吸引吐出手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする溶液の調製装置。
請求項１に記載の溶液の調製装置であって、
前記混合溶液の特性値が、溶液の導電率、示差屈折率、吸光度、質量、質量分析値のうちの少なくとも１つであることを特徴とする溶液の調製装置。
溶質、溶媒、濃度および水素イオン濃度のうちの少なくとも一つが異なる第１の液体と第２の液体とをそれぞれ独立した流路を介して、吸引吐出手段により同期させた状態で吸引するとともに吐出させ、前記吸引吐出手段により吐出された第１の液体と第２の液体とを混合して混合溶液を調製する混合溶液調製工程を含み、
前記吸引吐出手段の吐出流量、吐出圧力、および前記混合溶液の特性値のうちの少なくとも１つを検出し、その検出値に基づいて前記吸引吐出手段を制御することを特徴とする溶液の調製方法。
請求項３に記載の溶液の調製方法であって、
前記混合溶液の特性値が、溶液の導電率、示差屈折率、吸光度、質量、質量分析値のうちの少なくとも１つであることを特徴とする溶液の調製方法。