JP2014081050A - 回転機械 - Google Patents

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Abstract

【課題】リーク流量のさらなる低減を図ることが可能な回転機械を提供する。
【解決手段】軸線に沿って流体が流通する蒸気タービン1Aにおいて、軸線を中心に延びる軸体に設けられた動翼50のチップシュラウド51と、チップシュラウド51に径方向に対向して、軸線回りにチップシュラウド51に対して相対回転可能に設けられたケーシングに設けられた仕切板外輪11と、仕切板外輪11から径方向内側に延出して、チップシュラウド51との間に微小隙間Hを形成するシールフィン15と、シールフィン15の下流側に形成されて微小隙間Hを通過するリーク流に基づく主渦Y1が生成されるキャビティC内にシールフィン15に対向するように設けられ、主渦Y1に基づく流れを微小隙間Hに向かって導く蒸気導入面70aと、を備えることを特徴とする。
【選択図】図2

Description

本発明は、タービン、圧縮機等の回転機械のシール構造に関する。
周知のように、回転機械の一種として、ケーシングと、ケーシングの内部に回転自在に設けられた回転軸と、ケーシングの内周部に固定配置された複数の静翼と、これら複数の静翼の下流側において回転軸に放射状に設けられた複数の動翼とを備えた軸流式のタービンがある。タービンにおいては、流体の圧力エネルギーを回転エネルギーに変換することで動力を得ている。なお、タービンが衝動タービンである場合には、流体の圧力エネルギーを静翼によって速度エネルギーに変換し、この速度エネルギーを動翼によって回転エネルギーに変換している。また、反動タービンである場合には、動翼内でも圧力エネルギーが速度エネルギーに変換され、流体が噴出する反動力により速度エネルギーを回転エネルギーに変換する。
このようなタービンでは、回転体(ロータ)である動翼の先端部と、静止体(ステータ)であるケーシングとの間には径方向に間隙が形成され、また、静止体である静翼の先端部と回転体である回転軸との間にも径方向の間隙が形成されている。このため流体の一部が、動翼先端部とケーシングとの間隙を下流側に向かって漏洩してしまうが、この漏洩流体は、動翼に対して回転力を付与しない。また、静翼の先端部と回転軸との間隙を下流側に通過する漏洩流体は、その圧力エネルギーが静翼によって速度エネルギーに変換されないため、下流側の動翼に対して回転力をほとんど付与しない。したがって、タービンの性能向上のためには、上記間隙を通過する流体の流量(リーク流量)を低減することが重要となる。
ここで、例えば特許文献1では、動翼の先端部に、軸方向上流側から下流側に向かって高さが次第に高くなる複数のステップ部を設け、ケーシングに、各ステップ部に向けて延出する複数のシールフィンを設け、各ステップ部と各シールフィンの先端との間に微小隙間を形成した構造のタービンが提案されている。
このタービンでは、上流側から上記間隙に入り込んだ流体がステップ部の段差面に衝突することで、段差面の上流側に主渦が発生し、また段差面の下流側(前記微小隙間の上流側近傍)に主渦に起因する剥離渦が発生する。そしてこの剥離渦によって、微小隙間を通り抜けるリーク流を縮流することでリーク流量の低減が図られている。
特開2011−080452号公報
しかしながら、特許文献1に開示されたステップ部によって生じる主渦に関し、上記微小隙間の下流側近傍において主渦を形成する流体の流通方向は径方向を向いておらず、下流に向かって径方向に対して傾斜した方向となっている。このため、上記微小隙間の下流側近傍には死水領域が形成されることとなる。即ち、この死水領域では、主渦の流体は微小隙間を通過する流体に対して直接的に影響を及ぼすことができず、リーク流の縮流効果が弱くなってしまう。
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、リーク流量のさらなる低減を図ることが可能な回転機械を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を採用している。
即ち、本発明に係る回転機械は、軸線に沿って流体が流通する回転機械において、前記軸線を中心に延びるロータと、前記ロータの径方向に対向して、前記軸線回りに該ロータに対して相対回転可能に設けられたステータと、前記ロータと前記ステータとのうちの一方から他方に延出して、該他方との間に隙間を形成するシールフィンと、前記シールフィンの下流側に形成されて前記隙間を通過するリーク流に基づく渦が生成されるキャビティ内に前記シールフィンに対向するように設けられ、前記渦に基づく流れを前記隙間に向かって導く流体導入面と、を備えることを特徴とする。
このような回転機械によると、キャビティ内のリーク流による渦中における流体をシールフィンと流体導入面との間を通じて上記隙間に導くことで、隙間を通過したリーク流をシールフィンの下流側で、他方に向かって押し付けることができる。従ってリーク流の縮流効果を向上できる。
また、前記流体導入面は、前記一方側から前記他方側に向かうに従って、下流側から上流側に向かうように傾斜して設けられていてもよい。
このように流体導入面が設けられていることで、渦中の流体をより多くシールフィンと流体導入面との間に導くことができる。さらに、シールフィンと流体導入面との間の空間が隙間に向かうに従って狭くなっていくため、隙間に向かって導かれる流れの流速を増大できる。このため、リーク流の縮流効果をさらに向上し、さらなるリーク流量の低減が可能となる。
さらに、前記流体導入面は、前記シールフィンに沿って設けられた仕切り板の上流側を向く表面であり、前記仕切り板における前記一方側には、該仕切り板と前記シールフィンとの間に画成される空間と、前記キャビティにおける前記仕切り板の下流側の空間とを連通する連通部が形成されていてもよい。
このような仕切り板によって、連通部からシールフィンと流体導入面との間の空間に向かって、渦中の流体を確実に導くことができ、リーク流の縮流効果をさらに向上し、さらなるリーク流量の低減が可能となる。
本発明に係る回転機械は、前記ロータと前記ステータとのうちの前記他方において前記シールフィンの下流側となる位置で、前記隙間に対向する位置に設けられて、上流側を向いて前記リーク流を前記キャビティ内における前記一方側に導く段差面をさらに備えていてもよい。
このような段差面にリーク流が衝突することで、キャビティ内に渦を確実に生成でき、この結果、より多くの流体をシールフィンと流体導入面との間に導くことができるため、さらなるリーク流量の低減が可能となる。
本発明の回転機械によると、流体導入面との間に渦中の流体を導くことで、隙間を通過するリーク流をシールフィンの下流側で押し付け、リーク流量のさらなる低減を図ることが可能である。
本発明の第一実施形態に係る蒸気タービンを示す概略断面図である。 本発明の第一実施形態に係る蒸気タービンを示す図であって、図1における要部Iを示す拡大断面図である。また、(a)は要部Iを示し、(b)は(a)の要部Jを示す。 本発明の第二実施形態に係る蒸気タービンを示す図であって、図1における要部Iと同じ位置で、上流側のキャビティ周辺について示す拡大断面図である。 本発明の第二実施形態の変形例に係る蒸気タービンを示す図であって、図1における要部Iと同じ位置で、上流側のキャビティ周辺について示す拡大断面図である。 本発明の第三実施形態に係る蒸気タービンを示す図であって、図1における要部Iと同じ位置で、上流側のキャビティ周辺について示す拡大断面図である。 本発明の第三実施形態の変形例に係る蒸気タービンを示す図であって、図1における要部Iと同じ位置で、上流側のキャビティ周辺について示す拡大断面図である。また(a)は第一変形例を示し、(b)は第二変形例を示す。 本発明の蒸気タービンにおいて、ステップ部が設けられていない場合を示す図であって、図1における要部Iと同じ位置を示す拡大断面図である。
〔第一実施形態〕
以下、本発明の実施形態に係る蒸気タービン1について説明する。
蒸気タービン1は、蒸気Sのエネルギーを回転動力として取り出す外燃機関であって、発電所における発電機等に用いられるものである。
図1に示すように、蒸気タービン1は、ケーシング10と、ケーシング10に流入する蒸気Sの量と圧力を調整する調整弁20と、ケーシング10の内側に回転自在に設けられ、図示しない発電機等の機械に動力を伝達する軸体30と、ケーシング10に保持された静翼40と、軸体30に設けられた動翼50と、軸体30を軸回りに回転可能に支持する軸受部60とを主たる構成としている。
ケーシング10は、内部空間が気密に封止されているとともに、蒸気Sの流路とされている。このケーシング10の内壁面には、軸体30が挿通されたリング状の仕切板外輪(ステータ)11が強固に固定されている。
調整弁20は、ケーシング10の内部に複数個取り付けられており、それぞれ図示しないボイラから蒸気Sが流入する調整弁室21と、弁体22と、弁座23とを備えており、弁体22が弁座23から離れると蒸気流路が開いて、蒸気室24を介して蒸気Sがケーシング10の内部空間に流入するようになっている。
軸体30は、軸本体31と、この軸本体31の外周から径方向に延出した複数のディスク32とを備えている。この軸体30は、回転エネルギーを、図示しない発電機等の機械に伝達するようになっている。
軸受部60は、ジャーナル軸受装置61及びスラスト軸受装置62を備えており、軸体30を回転可能に支持している。
静翼40は、軸体30を囲繞するように放射状に多数配置されて環状静翼群を構成しており、それぞれ前述した仕切板外輪11に保持されている。これら静翼40の径方向における内側は、軸体30が挿通されたリング状のハブシュラウド41で連結され、その先端部が軸体30に対して径方向に隙間をあけて配設されている。
これら複数の静翼40からなる環状静翼群は、軸方向に間隔をあけて六つ形成されており、蒸気Sの圧力エネルギーを速度エネルギーに変換して、下流側に隣接する動翼50側に案内するようになっている。
動翼50は、軸体30が有するディスク32の外周部に強固に取り付けられている。この動翼50は、各環状静翼群の下流側において、放射状に多数配置されて環状動翼群を構成している。
これら環状静翼群と環状動翼群とは、一組一段とされている。即ち、蒸気タービン1は、六段に構成されている。このうち、最終段における動翼50の先端部は、周方向に延びたチップシュラウド(ロータ)51とされており、このチップシュラウド51が、ケーシング10の径方向において仕切板外輪11と間隙を介して対向して配置されている。そして、チップシュラウド51は、仕切板外輪11のチップシュラウド51に対応する部位に形成された環状溝11a内に収容されている。
ここで、図2に示すように、蒸気タービン1は、チップシュラウド51に設けられたステップ部52と、仕切板外輪11からステップ部52に向かって延びるシールフィン15と、シールフィン15の下流側に対向して設けられた仕切り板70とを備えている。
ステップ部52は、最終段の動翼50の先端部となるチップシュラウド51に設けられ、段差面53を有して仕切板外輪11側に突出している。
本実施形態では、チップシュラウド51には三つのステップ部52(52A〜52C)が設けられており、これら三つのステップ部52(52A〜52C)は、軸体30の軸線O方向の上流側から下流側に向かって、動翼50からの突出高さが次第に高くなるように配設されている。即ち、ステップ部52(52A〜52C)には、段差を形成する三つの段差面53(53A〜53C)が、軸方向上流側を向いて形成されている。
ここで、本実施形態では、仕切板外輪11の環状溝11aにおける溝底面11bについても、軸線O方向において、各ステップ部52に対応するように、軸線O方向に向かってステップ形状に形成されている。
シールフィン15(15A〜15C)は、仕切板外輪11の溝底面11bから延出して設けられたもので、それぞれのステップ部52(52A〜52C)に1:1で対応して、対応するステップ部52(52A〜52C)との間に、微小隙間Hを径方向に形成したものである。この微小隙間H(H1〜H3)の各寸法は、ケーシング10や動翼50の熱伸び量、動翼50の遠心伸び量等を考慮した上で、両者が接触することがない安全な範囲内で、最小のものに設定されている。
ここで、本実施形態では、段差面53Bはシールフィン15Aの下流側に、段差面53Cはシールフィン15Bの下流側に位置しており、段差面53Aはシールフィン15Aの上流側に位置している。そして、段差面53Aによって後述するキャビティC1内の径方向外側に、段差面53Bによって後述するキャビティC2内の径方向外側に、段差面53Cによって後述するキャビティC3内の径方向外側に蒸気Sが導かれるようになっている。
このような構成のもとに、チップシュラウド51側と仕切板外輪11との間には、前記環状溝11a内において、各ステップ部52(52A〜52C)に対応してキャビティC(C1〜C3)が形成されている。
キャビティC(C1〜C3)は、各ステップ部52(52A〜52C)に対応したシールフィン15(15A〜15C)と、このシールフィン15(15A〜15C)に対して、軸線O方向の上流側で対向する隔壁との間に形成されている。
より具体的には、軸線O方向の最上流側に位置する第1段目のステップ部52Aに対応する第1のキャビティC1では、前記隔壁は、前記環状溝11aの、軸方向上流側の内壁面54によって形成されている。従って、この内壁面54と第1段目のステップ部52Aに対応するシールフィン15Aとの間で、さらにチップシュラウド51側と仕切板外輪11との間に、第1のキャビティC1が形成されている。
また、第2段目のステップ部52Bに対応する第2のキャビティC2では、前記隔壁は、軸方向上流側に位置するステップ部52Aに対応するシールフィン15Aによって形成されている。従って、シールフィン15Aとシールフィン15Bとの間で、さらにチップシュラウド51と仕切板外輪11との間に、第2のキャビティC2が形成されている。
同様に、シールフィン15Bとシールフィン15Cとの間で、さらにチップシュラウド51と仕切板外輪11との間に、第3のキャビティC3が形成されている。
次に、仕切り板70について説明する。
仕切り板70は、各シールフィン15の下流側で、各シールフィン15(本実施形態ではシールフィン15Aとシールフィン15B)に対向するように、そして各シールフィン15(15A、15B)に平行に、仕切板外輪11の溝底面11bから径方向内側に延出して設けられた環状をなす部材である。さらに、この仕切り板70においては、対応するシールフィン15(15A、15B)との間で蒸気Sを導入する蒸気流路FCを画成するとともに、この径方向外側の位置では、各キャビティC(C1、C2)における仕切り板70の下流側の空間と蒸気流路FCとを連通する連通部70bが形成されている。
この連通部70bは、軸線O方向に仕切り板70を貫通する複数の孔であってもよいし、周方向に互いに間隔をあけて形成されるスリットであってもよく、周方向のいずれかの位置で仕切り板70を貫通するものであれば形状はどのようなものであってもよい。
また、仕切り板70は、対向するシールフィン15にリブ等によって支持されることで、各シールフィン15の下流側に設けられていてもよく、この場合の連通部70bは、周方向全域に開口して形成されることとなる。
そして、この仕切り板70における径方向内側の端縁部は、シールフィン15(15A、15B)よりも径方向外側に位置して、延出寸法がシールフィン15(15A、15B)よりも小さくなっているが、少なくともシールフィン15(15A、15B)の延出寸法以下の寸法であることが好ましい。
このようにして、仕切り板70は、対応するシールフィン15(15A、15B)に対向する上流側を向く表面である蒸気導入面(流体導入面)70aに沿って、蒸気流路FC内で蒸気Sを径方向内側に向かって流通させて、上記微小隙間H(H1〜H3)へ蒸気Sを導く。
このような蒸気タービン1においては、まず、調整弁20(図1参照)を開状態とすると、図示しないボイラから蒸気Sがケーシング10の内部空間に流入する。
ケーシング10の内部空間に流入した蒸気Sは、各段における環状静翼群と環状動翼群とを順次通過する。この際には、圧力エネルギーが静翼40によって速度エネルギーに変換され、静翼40を経た蒸気Sのうちの大部分が同一の段を構成する動翼50間に流入し、動翼50により蒸気Sの速度エネルギーが回転エネルギーに変換されて、軸体30に回転が付与される。一方、蒸気Sのうちの一部(例えば、数%)は、静翼40から流出した後、環状溝11a内に流入する、いわゆる、リーク流となる。
ここで、図2に示すように環状溝11a内に流入した蒸気Sは、まず、第1のキャビティC1に流入し、ステップ部52Aの段差面53Aに衝突し、上流側に戻るようにして、図2の紙面上にて反時計回りに回る主渦Y1を生じる。そしてこのように、ステップ部52Aを設けたことで確実に主渦Y1を生成可能となる。
そしてこの際、特にステップ部52Aの上記端縁部55において、上記主渦Y1から一部の流れが剥離されることにより、この主渦Y1と反対方向、本例では図2の紙面上にて時計回りに回るように、カウンタ渦Y2を生じる。このカウンタ渦Y2は、シールフィン15Aとステップ部52Aとの間の微小隙間H1を通り抜けるリーク流を径方向内側に押し付けて、流量を低減する縮流効果を発揮する。
またシールフィン15Bの上流側においてもシールフィン15Aの上流側と同様に、主渦Y1及びカウンタ渦Y2が形成され、リーク流の流量を低減する縮流効果を発揮する。
ここで、主渦Y1を形成する蒸気Sの一部は、径方向外側の連通部70bから蒸気流路FCへ導入されて、蒸気導入面70aに沿って径方向内側に流通し、上記微小隙間H(H1、H2)に向かって導かれる。従って、主渦Y1における蒸気Sの流通方向をシールフィン15(15A、15B)の下流側で径方向内側に向かう方向に変えることができる。よって、図2(b)の破線に示す流れから実線で示す流れとなるように、微小隙間H(H1、H2)を通過したリーク流を径方向内側に向かって押し付けることができる。換言すると、微小隙間H(H1、H2)のクリアランスを擬似的に小さくすることとなる。
本実施形態の蒸気タービン1によると、仕切り板70を各シールフィン15(15A、15B)の下流側に設けたことで、微小隙間H(H1、H2)を通過したリーク流を径方向内側に向かって押し付けて、リーク流の縮流効果をさらに向上できる。
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態に係る蒸気タービン100について説明する。
なお、第一実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、仕切り板103の形状が第一実施形態とは異なっている。
図3に示すように、仕切り板103は、径方向外側から内側に向かうに従って、軸線Oの周方向断面が直線状をなして上流側に傾斜して設けられている。換言すると、仕切り板103は蒸気流路FCが径方向内側に向かって徐々に軸線O方向に狭くなっていくように設けられている。
このような蒸気タービン100によると、仕切り板103が径方向外側で下流側に向かって傾斜していることで、主渦Y1からの蒸気Sをより多く蒸気流路FCに導入することができる。さらに、傾斜した仕切り板103によって、径方向内側に向かって蒸気流路FCが徐々に狭くなっていくため、蒸気流路FCに導入された蒸気Sは、蒸気導入面103aに沿って流通しながら流速を増大していく。
従って、微小隙間H(H1、H2)を通過したリーク流を径方向内側に押し付ける力をさらに増大でき、リーク流の縮流効果を向上し、さらなるリーク流量の低減が可能となる。
ここで、図4に示すように、仕切り板103Aは、軸線Oの周方向断面が曲線状をなして設けられていてもよい。即ち、径方向外側から内側に向かうに従って上流側に湾曲して、周方向断面が上流側に膨らむような曲線状となっており、径方向の内側では、シールフィン15(15A、15B)に略平行となるように設けられている。このような形状によって径方向外側でより多くの蒸気Sを主渦Y1から蒸気流路FCに導入できるとともに、径方向内側では蒸気流路FC内の蒸気Sの流通方向を径方向に向かう方向として、蒸気導入面103Aaに沿って蒸気Sを流通させることができる。よって、リーク流の縮流効果をさらに高めることができる。
〔第三実施形態〕
次に、本発明の第三実施形態に係る蒸気タービン110について説明する。
なお、第一実施形態及び第二実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、蒸気導入面110aを形成する部材が仕切り板70(103、103A)に代えて、ブロック状部材113である点で第一実施形態及び第二実施形態とは異なっている。
図5に示すように、ブロック状部材113は、主渦Y1の内側にちょうど位置するように、環状をなすとともに軸線O方向にある程度の厚みを有している。また、このブロック状部材113の周方向断面は略四角形状をなしている。即ち蒸気導入面113aは、各々のブロック状部材113が、対応するシールフィン15(15A、15B)に対向する表面となっている。また、径方向外側の位置では、各キャビティC(C1、C2)と蒸気流路FCとを連通する連通部113bが第一実施形態及び第二実施形態同様に形成されている。
このような蒸気タービン110によると、主渦Y1をブロック状部材113の表面に沿って流通させることができ、主渦Y1を形成する蒸気Sの全てを蒸気流路FC内へ導くことができる。従って、より多くの蒸気Sを微小隙間H(H1、H2)に向かって流通させることができ、微小隙間H(H1、H2)を通過したリーク流の縮流効果をさらに得ることができる。なお、ブロック状部材113は、周方向断面が完全な四角形状をなしていてもよいが、図5に示すように角部がR形状となって丸みを持った形状であることが好ましい。
なお、本実施形態では、ブロック状部材113の周方向断面は四角形状をなしているが、これに限定されず、少なくとも蒸気流路FCを流通する蒸気Sが微小隙間H(H1、H2)を通過したリーク流を縮流可能であればよい。
例えば、図6(a)に示すように、ブロック状部材113Aにおける蒸気導入面113Aaが径方向外側から内側に向かって上流側に傾斜するように形成されていてもよい。この場合には、第二実施形態で説明したように、リーク流の縮流効果をさらに向上可能である。なお、ブロック状部材113Aは、図6(a)に示すように角部がR形状となって丸みを持った形状であることが好ましい。
また、図6(b)に示すように、ブロック状部材113Bにおける蒸気導入面113Ba以外の表面が、主渦Y1に沿うように周方向断面で曲線状をなしていてもよい。この場合には、ブロック状部材113Bが主渦Y1の流れを妨げることがないので、リーク流の縮流効果を向上できる。
以上、本発明の実施形態について詳細を説明したが、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内において、多少の設計変更も可能である。
例えば、図7に示すように、最終段の動翼50の先端部となるチップシュラウド51には、ステップ部52は必ずしも設けられていなくともよい。このような場合であっても、主渦Y1は蒸気Sの粘性によって生成されるものであるため、蒸気導入面70a(103a、103Aa、113Aa、113Ba)によるリーク流の縮流効果を得ることが可能である。なお、図7では仕切板外輪11の環状溝11aにおける溝底面11bについてもステップ状に形成されていないが、第一実施形態から第三実施形態と同様にステップ状であってもよい。
さらに、上述の実施形態では、動翼50と仕切板外輪11との間におけるリーク流の流量低減について説明したが、例えば静翼40と軸体30との間においても同様の手法を適用できる。また、実施形態では動翼50の先端部となるチップシュラウド51にステップ部52(52A〜52C)を形成し、仕切板外輪11にシールフィン15(15A〜15C)を設けたが、例えば逆に、仕切板外輪11にステップ部52を形成し、チップシュラウド51にシールフィン15を設けてもよい。
また、上述の実施形態では、回転機械の一例として蒸気タービン1(100、110)について説明したが、ガスタービンや圧縮機等の回転機械であってもよく、軸体30に設けられるシール構造に適用することも可能である。
1…蒸気タービン(回転機械) 10…ケーシング 11…仕切板外輪(ステータ) 11a…環状溝 11b…溝底面 20…調整弁 21…調整弁室 22…弁体 23…弁座 30…軸体 31…軸本体 32…ディスク 40…静翼 41…ハブシュラウド 50…動翼 51…チップシュラウド(ロータ) 52…ステップ部 53…段差面 54…内壁面 55…端縁部 60…軸受部 61…ジャーナル軸受装置 62…スラスト軸受装置 70…仕切り板 70a…蒸気導入面(流体導入面) 70b…連通部 FC…蒸気流路(空間) S…蒸気 O…軸線 Y1…主渦 Y2…カウンタ渦 H…微小隙間 C…キャビティ 100…蒸気タービン 103…仕切り板 103a…蒸気導入面 103A…仕切り板 110…蒸気タービン 113…ブロック状部材 113a…蒸気導入面(流体導入面) 113b…連通部 113A…ブロック状部材 113Aa…蒸気導入面(流体導入面) 113B…ブロック状部材 113Ba…蒸気導入面(流体導入面)

Claims (4)

  1. 軸線に沿って流体が流通する回転機械において、
    前記軸線を中心に延びるロータと、
    前記ロータの径方向に対向して、前記軸線回りに該ロータに対して相対回転可能に設けられたステータと、
    前記ロータと前記ステータとのうちの一方から他方に延出して、該他方との間に隙間を形成するシールフィンと、
    前記シールフィンの下流側に形成されて前記隙間を通過するリーク流に基づく渦が生成されるキャビティ内に前記シールフィンに対向するように設けられ、前記渦に基づく流れを前記隙間に向かって導く流体導入面と、
    を備えることを特徴とする回転機械。
  2. 前記流体導入面は、前記一方側から前記他方側に向かうに従って、下流側から上流側に向かうように傾斜して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の回転機械。
  3. 前記流体導入面は、前記シールフィンに沿って設けられた仕切り板の上流側を向く表面であり、
    前記仕切り板における前記一方側には、該仕切り板と前記シールフィンとの間に画成される空間と、前記キャビティにおける前記仕切り板の下流側の空間とを連通する連通部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の回転機械。
  4. 前記ロータと前記ステータとのうちの前記他方において前記シールフィンの下流側となる位置で、前記隙間に対向する位置に設けられて、上流側を向いて前記リーク流を前記キャビティ内における前記一方側に導く段差面をさらに備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の回転機械。

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