JP2014070895A - 半導体装置の検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置の制御端子に信号を伝達し、所定の定電圧を印加して半導体装置の全体が発熱しない所定期間だけ半導体装置を駆動させる半導体装置駆動工程(ステップS12〜S14)と、半導体装置駆動工程の後に、半導体装置の入力端子と出力端子との間に所定の定電流Ifを流し、入力端子と出力端子との間に生ずる端子間電圧Vf2を測定する第2端子間電圧測定工程(ステップS15,S16)と、第2端子間電圧測定工程によって測定された端子間電圧Vf2に基づいて、半導体装置に異常発熱するセルがあるか否かを判別する異常発熱判別工程(ステップS17〜S19)とを有する。この構成によれば、短時間の通電で異常発熱するセルを顕在化し、スクリーニングできる。
【選択図】図3
Description
以上では本発明を実施するための形態について説明したが、本発明は当該形態に何ら限定されるものではない。言い換えれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施することもできる。例えば、次に示す各形態を実現してもよい。
G ゲート端子(制御端子)
D ドレイン端子(入力端子)
S ソース端子(出力端子)
20 電圧センサ
30 定電流源
40 定電圧源
50 半導体検査装置
51 第1端子間電圧測定手段
52 半導体装置駆動手段
53 第2端子間電圧測定手段
54 異常発熱判別手段
Claims (5)
- 半導体チップ上に形成された多数のセルによって回路が構成される半導体装置の検査方法において、
前記半導体装置の制御端子に信号を伝達し、所定の定電圧(Vc)を印加して前記半導体装置の全体が発熱しない所定期間だけ前記半導体装置を駆動させる半導体装置駆動工程と、
前記半導体装置駆動工程の後に、前記半導体装置の入力端子と出力端子との間に所定の定電流(If)を流し、前記入力端子と前記出力端子との間に生ずる端子間電圧(Vf2)を測定する第2端子間電圧測定工程と、
前記第2端子間電圧測定工程によって測定された前記端子間電圧に基づいて、前記半導体装置に異常発熱する前記セルがあるか否かを判別する異常発熱判別工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の検査方法。 - 前記半導体装置駆動工程よりも前に、前記半導体装置の入力端子と出力端子との間に所定の定電流(If)を流し、前記入力端子と前記出力端子との間に生ずる端子間電圧(Vf1)を測定する第1端子間電圧測定工程を有し、
前記異常発熱判別工程は、前記第1端子間電圧測定工程および前記第2端子間電圧測定工程によって測定された前記端子間電圧(Vf1,Vf2)に基づいて、前記半導体装置に異常発熱する前記セルがあるか否かを判別することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の検査方法。 - 前記異常発熱判別工程は、前記第1端子間電圧測定工程と前記第2端子間電圧測定工程とによって測定された前記端子間電圧の差分値(|Vf1−Vf2|)が所定電圧(ΔVf)以上であるか否かで判別することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の検査方法。
- 前記第1端子間電圧測定工程および前記第2端子間電圧測定工程のうちで一方または双方は、第1温度における前記半導体装置の前記端子間電圧と前記定電流との第1特性と、記第1温度よりも高い第2温度における前記半導体装置の前記端子間電圧と前記定電流との特性を、前記半導体装置のセル数で除算した電流に変換して得られる第2特性との交点よりも小さい前記定電流を流すことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体装置の検査方法。
- 半導体チップ上に形成された多数のセルによって回路が構成される半導体装置の検査を行う半導体検査装置において、
前記半導体装置の制御端子に信号を伝達し、所定の定電圧(Vc)を印加して前記半導体装置の全体が発熱しない所定期間だけ前記半導体装置を駆動させる半導体装置駆動手段と、
前記半導体装置駆動手段による前記半導体装置の駆動後に、前記半導体装置の入力端子と出力端子との間に所定の定電流(If)を流し、前記入力端子と前記出力端子との間に生ずる端子間電圧(Vf2)を測定する第2端子間電圧測定手段と、
前記第2端子間電圧測定手段によって測定された前記端子間電圧に基づいて、前記半導体装置に異常発熱する前記セルがあるか否かを判別する異常発熱判別手段と、
を有することを特徴とする半導体検査装置。
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