JP2014067935A - 基板保持装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハステージWSTは、ウエハWを支持する多数の突起部54が設けられたウエハホルダWH上面の凹部56の内部底面56aとウエハホルダWH裏面とを貫通する複数の通気孔58を有するウエハホルダWH、ウエハWをウエハホルダWHを介して支持するセンターアップCT、該センターアップCTを支持する板状部材92、板状部材92及びウエハホルダWHとともに空気室80を区画する円筒状部材91、及び板状部材92を上下方向(Z軸方向)に駆動する駆動装置94を、備えている。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- 基板を保持する基板保持装置であって、
前記基板が載置される載置面と、前記載置面から突出する第1位置と前記載置面から突出しない第2位置との間で移動する複数の突出部材と、前記載置面に対する裏面とを有し、前記載置面側と前記裏面側との間で気体を流通させる流通部を有する基板保持部材と、
前記基板保持部材の裏面側に配置され、前記複数の突出部材の移動に連動して前記流通部を介して気体を出入りさせるとともにその容積を変化させる気体室を有する可変気体室装置と、を備える基板保持装置。 - 前記可変気体室装置は、前記突出部材がその上面に設けられたピストン部と、
該ピストン部がその内周面にほぼ密着状態で挿入され、前記基板保持部材及び前記ピストン部とともに前記気体室を、前記基板保持部材の前記裏面側に形成するシリンダ部と、
前記ピストン部を前記シリンダ部に沿って上下方向に駆動する駆動系と、を有する請求項1に記載の基板保持装置。 - 前記ピストン部は、前記突出部材と一体的に上下方向に駆動される板状部材から成る請求項2に記載の基板保持装置。
- 前記ピストン部は、前記突出部材がその上面に設けられた第1部分と、該第1部分とは独立に上下動可能な第2部分とを含む複数の部分から成る請求項2に記載の基板保持装置。
- 前記ピストン部は、前記第1部分と、該第1部分の周囲を取り囲む第2部分とから成る請求項2又は4に記載の基板保持装置。
- 前記駆動系は、前記第1部分と前記第2部分とを、前記気体室の気密状態が解除されない範囲内で位置をずらして上下方向に個別に駆動する請求項4又は5に記載の基板保持装置。
- 前記気体室には、配管を介して真空装置が接続されている請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- 前記気体室には、前記配管又は別の配管を介して空気供給装置がさらに接続されている請求項7に記載の基板保持装置。
- 前記気体室には、配管を介して空気供給装置が接続されている請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- エネルギビームにより基板を露光する露光装置であって、
前記基板が前記基板保持部材の前記載置面に載置される請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板保持装置と、
前記基板上に前記エネルギビームを照射して前記基板上にパターンを形成するパターン生成装置と、を備える露光装置。
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