JP2014066544A - 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、走査による検査時間の短縮し、効率よく磁気ヘッドを検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、先端に磁性探針を備えた磁気力顕微鏡のカンチレバーを所定周波数で励振し、
前記磁性探針を前記磁気ヘッドの書込みヘッドの上を浮上させて、探索範囲を２次元スキャン中に検出された前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの探索２次元磁界強度に基づいて前記書込みヘッドの特定位置を検出し、前記特定位置に基づいて前記探索範囲をより狭い前記書込みヘッドの形状を検出ための形状検出範囲を設定し、前記磁性探針を前記書込みヘッドの上を浮上させて、前記形状検出範囲を２次元スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの検出２次元磁界強度を検出して前記書込みヘッドの形状を検出する。
【選択図】図７

Description

本発明は、薄膜磁気ヘッドを検査する磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に係り、特に光学顕微鏡で検査不可能な薄膜磁気ヘッドの検査を効率よくできる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に関する。

薄膜磁気ヘッドのトラック幅の検査を行う技術としては、特許文献１がある。特許文献１では、ローバー状態の薄膜磁気ヘッド(以下、単に磁気ヘッドという)にボンディングパッドより記録信号（励磁用信号）を入力し、磁気ヘッドに含まれる書込みヘッド素子より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分の位置でスキャン移動させる。そして、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）にて直接観察することで、書込みヘッド素子の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定し、磁気的な実効トラック幅の形状検査を非破壊で実施可能とした。

即ち、スピンスタンドを用いてＨＧＡ状態又は擬似ＨＧＡ状態でしか検査できなかった実効トラック幅の測定を、磁気力顕微鏡を用いることによってローバー状態で行えるようにした。

特開２００９‐２３０８４５号公報

１００ｎｍ以下の大きさの磁気ヘッド素子の形状を正確に測定するためには、所定の検査範囲、例えば現状の1μｍ角以下の範囲を走査できるように位置決めをする必要がある。そのために、光学顕微鏡で広範囲を目視で探索し、磁気ヘッド素子の位置を見つけた後、走査範囲を狭くして行くという手順が必要である。例えば、特許文献１のような従来技術では、目視である程度の第１の探索範囲に絞り、その後、当該第１の探索範囲の中心位置(粗位置決め位置)から１０μｍ角程度の部分探索範囲を順次設定し、ＡＦＭ(Atomic Force Microscope：原子間力顕微鏡)で探索する。見つかったら、探索範囲を狭めた第２の探索範囲、例えば４μｍ角乃至５μｍ角の範囲を設定し、ＭＦＭで再探索する。探索した結果、測定対象があれば、現状の所定の形状検査範囲である１μｍ角の範囲を走査して、磁気ヘッド素子の形状を把握していた。このような従来技術では、走査による検査時間に多くの時間がかりる。特にＡＦＭによる検査時間の短縮が望まれる。

本発明の目的は、走査による検査時間の短縮し、効率よく磁気ヘッドを検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供することにある。

本発明は、上記の目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。

本発明は、先端に磁性探針を備えた磁気力顕微鏡のカンチレバーを所定周波数で励振し、
前記磁性探針を前記磁気ヘッドの書込みヘッドの上を浮上させて、探索範囲を２次元スキャンし、前記２次元スキャン中に検出された前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの探索２次元磁界強度に基づいて前記書込みヘッドの特定位置を検出し、前記特定位置に基づいて前記探索範囲をより狭い前記書込みヘッドの形状を検出ための形状検出範囲を設定し、前記磁性探針を前記書込みヘッドの上を浮上させて、前記形状検出範囲を２次元スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの検出２次元磁界強度を検出して前記書込みヘッドの形状を検出する。

また、本発明は、前記特定位置は、前記探索２次元磁界強度のうち最大磁界強度を示す位置であってもよい。

さらに、本発明は、前記磁気ヘッドを撮像し、前記探索範囲は前記撮像結果に基づいて設定してもよい。

また、本発明は、光学顕微鏡で前記磁気ヘッドを目視し、前記探索範囲は前記目視情報に基づいて前記ローバーを載置する検査ステージを移動させて得てもよい。

さらに、本発明は、前記形状検出範囲に基づいて、前記カンチレバー手段を用いて原子力間顕微鏡による前記書込みヘッドの形状検査を行ってもよい。

本発明によれば、効率よく磁気ヘッドを検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供できる。

本発明の実施例１に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。 図１の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図である。 磁気ヘッド素子の形状と探索範囲を示す図である。 磁気ヘッドの書込みヘッドの含む所定の範囲を全面スキャンした時の磁界強度を等高線で示した画像である。 図４に示す全面スキャンしたときの各ラインスキャンにおける磁界強度プロファイルを模式的に示した図である。 図４において、磁気ヘッドをラインスキャンして得られるライン磁界強度プロファイルのうち尤も書込みヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す可能性の高い実効ライン磁界強度プロファイルをグラフ化して示した図である。 制御部により実施例１における書込みヘッドの形状測定手順を示す図である。 本発明の実施例２に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。

(実施例１)
図１は、本発明の実施例１に係る磁気ヘッド検査装置１００の概略構成を示す図である。磁気ヘッド検査装置１００は、スライダ単体（チップ）を切り出す前工程のローバー（ヘッドスライダが配列されたブロック）の状態でＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド、ＴＭＲヘッドなど（以磁気ヘッドＨと呼ぶ。）の書込みヘッドＨＷの磁気的な実効トラック幅を測定することが可能なものである。

通常、３ｃｍ〜７ｃｍ程度の細長いブロック体としてウエハから切り出されたローバーは、４０個〜６０個程度のヘッドスライダが配列された構成となっている。この実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置は、このローバー１をワークとして所定の検査を行うように構成されている。ローバー１は、通常、図示していないトレイ内に２０〜３０本程度、短軸方向に所定間隔で配列収納されている。図示していないハンドリングロボットは、ローバー１を図示していないトレイから一本ずつ取り出して、検査ステージ１０に搬送する。検査ステージ１０に搬送設置されたローバー１は、後述のように検査される。

検査ステージ１０は、ローバー１をＸ，Ｙ方向に移動可能なＸステージ１１、Ｙステージ１２から構成されている。ローバー１は、その長軸方向の片側面がＹステージ１２の基準面に一旦突き当てられることによって位置決めされる。Ｙステージ１２の上面には、ローバー１の位置決め用の載置部１２１が設けられている。この載置部１２１の上面側縁部には、ローバー１の形状にほぼ合致した段差部が設けられている。ローバー１は、この段差部の底面と側面にそれぞれ当接されることによって、所定位置に設置されるようになっている。段差部の後面には、ローバー１の後側面（磁気ヘッドの各接続端子のある面の反対面）が当接される。各当接面は、Ｘステージ１１の移動方向（Ｘ軸）及びＺステージ１３の移動方向（Ｚ軸）にそれぞれ平行で、かつ、直交した位置関係となる基準面を備えているので、ローバー１がＹステージ１２の段差部の底面と側面に当接設置されることによって、Ｘ方向とＺ方向の位置決めが実行されるようになっている。

図示していないが、Ｙステージ１２の上方には位置ずれ量測定用のカメラが設けられている。Ｚステージ１３は、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー部７をＺ方向に移動させるものである。検査ステージ１０のＸステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３は、それぞれピエゾステージで構成されている。所定の位置決めが終了すると、ローバー１は、載置部１２１に吸着保持され、図示していないプローブカードのプローブ先端がローバー１の前側面の端子にコンタクトされる。これによって、ローバー１の磁気ヘッドの書込みヘッド用コイルは励磁可能な状態となる。

ピエゾドライバ２０は、この検査ステージ１０の各Ｘステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３（ピエゾステージ）を駆動制御するものである。制御部３０は、モニタを含むパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を基本構成とする制御用コンピュータで構成されており、ピエゾドライバ２０を制御する。図に示すように、検査ステージ１０のＹステージ１２上に載置されたローバー１の上方の対向する位置には、先端の尖った磁性探針を自由端とするカンチレバー部７が配置されている。カンチレバー部７は、Ｚステージ１３の下側に設けられた励振部材に取り付けられている。励振部材はピエゾ素子で構成され、ピエゾドライバ２０からの励振電圧によって機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧が印加され、磁性探針は上下方向に振動される。

変位検出部は、半導体レーザ素子４１と、反射ミラー４２，４３と、２分割光ディテクタ素子からなる変位センサ４４とから構成される。半導体レーザ素子４１から出射した光は反射ミラー４２によって反射され、カンチレバー部７上に照射され、そこで反射ミラー４３に向かって反射される。カンチレバー部７で反射された反射光は、反射ミラー４３によってさらに反射されて変位センサ４４に導かれる。差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分信号に所定の演算処理を施して、ＤＣコンバータ６０に出力する。すなわち、差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分に対応した変位信号をＤＣコンバータ６０に出力する。ＤＣコンバータ６０は、差動アンプ５０から出力される変位信号を実効値の直流信号に変換するＲＭＳ−ＤＣコンバータ（Root Mean Squared value to Direct Current converter）で構成される。

差動アンプ５０から出力される変位信号は、カンチレバー部７の変位に応じた信号であり、カンチレバー部７は振動しているので交流信号となる。ＤＣコンバータ６０から出力される信号は、フィードバックコントローラ７０に出力される。フィードバックコントローラ７０は、カンチレバー部７の現在の振動の大きさをモニタするための信号として制御部３０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力すると共に、カンチレバー部７の励振の大きさを調整するためのＺステージ１３の制御用信号としてピエゾドライバ２０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力する。

制御部３０は、この信号をモニタし、その値に応じて、ピエゾドライバ２０のＺステージ１３を制御することによって、測定開始前に、カンチレバー部７の初期位置を調整するようしている。この実施の形態では、ハードディスクドライブのヘッド浮上高さをカンチレバー部７の初期位置として設定する。また、制御部は、フィードバックコントローラ７０から得られたデータに基づいて、磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を得る処理を行う。カンチレバーの浮上高さは、ヘッド浮上高さにすることは好ましいが、異なっていてもよい。異なる場合は、得られた磁気的な実効トラック幅を高さに基づいて補正する。

発振機８０は、カンチレバー部７を励振するための発振信号をピエゾドライバ２０に供給するものである。ピエゾドライバ２０は、この発振機８０からの発振信号に基づいてカンチレバー部７を所定の周波数で振動させる。

光学顕微鏡９０は、検査ステージ１０にセットされたローバー１に存在する磁気ヘッドの位置を検出する。

図２は、図１の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、図２(Ａ)は、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す図であり、図２(Ｂ)は、カンチレバー部の変位信号の一例を示す図である。図２に示すように、カンチレバー部７は、ローバー１に形成された磁気ヘッドの表面からヘッド浮上高さＨｆに相当する高さにカンチレバー部７の磁性探針の先端部が位置するように、Ｚステージ１３によって位置決めされる。カンチレバー部７は、ローバー１（磁気ヘッド）に対して相対的にスキャン方向７１にスキャンされる。この実施の形態では、Ｘステージ１１及びＹステージ１２によってローバー１が移動される。

このとき、磁気ヘッドの書込みヘッドはＡＣ励磁されているので、カンチレバー部７はＡＣ励磁に同期して変位する。カンチレバー部７の変位状態は、図２(Ｂ)に示す変位信号のようになるので、この変位信号を検出することによって、磁気ヘッドの実効トラック幅を検出することができる。また、書込みヘッドをＡＣ励磁することなく、通常のＭＦＭとして検査することによって、磁気ヘッド素子のポール幅を実測することが可能となる。

このような構成によって、カンチレバー部７が有する所定の周波数での振動は、磁気ヘッドが発生する磁界の強度に比例した位相差が生じ、その位相差の大きさに応じて２分割光ディテクタを有する変位センサ４４から出力される２つの信号に差分が生じる。それ故、２つの信号の差分から磁気ヘッドから磁界の強度が分かる。この様な状態で、磁気ヘッドの書込みヘッドをＡＣ励磁しながら、以下に述べるように磁気ヘッドをスキャンさせることで、磁気ヘッドの実効トラック幅を得ることができる。また、書込みヘッドをＡＣ励磁することなく、通常のＭＦＭとして検査することによって、磁気ヘッドのポール幅(構造的な磁極幅)を実測することが可能となる。本発明では、ＭＦＭとは、通常のＭＦＭではなく、書込みヘッドをＡＣ励磁して検査するもの示す。

図３は、磁気ヘッド素子ＨＳの形状と探索範囲を示す図である。磁気ヘッドＨの大きさは、図３における幅Ｗ、長さＬは１００ｎｍ以下である。

図４は、磁気ヘッドＨの書込みヘッドＨＷの含む所定の範囲を全面スキャンした時の磁界強度を等高線で示した画像である。２次元スキャンは、後述する図５に示すように、ローバー１の短辺に平行方向に、磁気ヘッドを横断するＹ方向のラインスキャンを行ない。スキャン後、ローバー１の長辺であるＸ方向に所定の間隔でシフトするシフトスキャンする。これら動作を繰り返して行なわれる。図３において、周りの白い部分が書込みヘッドＨＷのＡＣ励磁磁界の影響を受けない領域であり、等高線の部分がＡＣ励磁磁界の影響を受ける領域であり、中心に行く程強い影響、即ち書込みヘッドＨＷの磁界が強いことを示している。３次元的には、側面が外側になだらかな膨らみを有する円錐状をしている。

図５は、図４に示す全面スキャンしたときの各ラインスキャンのライン磁界強度プロファイルを模式的に示した図である。図５(ａ)は各ライン磁界強度プロファイルを示し、図５(ｂ)は各ライン磁界強度プロファイルの最大値が形成する最大値磁界強度プロファイルを示した図である。図５(ａ)の縦方向に示す数字は、ラインスキャン番号を示す。ＳＬは形状検出範囲又は探索範囲のローバーの長辺(Ｘ)方向の幅を示す。ＳＷは形状検出範囲又は検索範囲のローバーの短辺(Ｙ)方向の幅を示す。

図５(ａ）に示すように、各ライン磁界強度プロファイルは、図面上部側において書込みヘッドＨＷの磁界の影響ないほぼ平坦な曲線であり、その後徐々に影響力を受ける領域が拡大する。そして、図４に示す書込みヘッドＨＷによる磁界が最大となるラインスキャンを得、その後は、減少していき、再び磁気ヘッドの磁界の影響ないところでは平坦となる。また、図５(ｂ)は、各ライン磁界強度プロファイルにおける最大値が形成する最大値磁界強度プロファイルを示す。最大値磁界強度プロファイルは、書込みヘッドＨＷによる磁界が最大となるスキャンを中心になだらかの山形形状を有するプロファイルを示す。

図６は、図４において、磁気ヘッドを横(Ｙ)方向にスキャンして得られるラインスキャン画像をライン磁界強度プロファイルとしてグラフ化したもので、ライン磁界強度プロファイルのうち磁気ヘッドの磁界の影響が最大幅を有する、即ち尤も書込みヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す可能性の高い実効ライン磁界強度プロファイルを示したものである。横軸がスキャン位置を示し、縦軸が当該各位置における磁気ヘッドの磁界強度に対応するに対応するＤＣコンバータ６０の出力電圧値(Ｖ)を示す。

本実施形態では、図６に示すように、一定の磁界強度以上有するレベル幅を磁気的な実効トラック幅ＴＷと定義して、書込みヘッドの磁気的形状を検出する。図６に示す実効トラック幅ＴＷは、ローバー１の短辺(Ｙ)方向の実効トラック幅ＴＷｙであり、図５（ｂ）実効トラック幅ＴＷは、ローバー１の短辺(Ｘ)方向の実効トラック幅ＴＷｘである。なお、ＤＣコンバータ６０の出力電圧値(Ｖ)の符号は、測定条件によって逆になることがある。

しかしながら、課題のところで説明したように、書込みヘッドＨＷの位置を所定の形状検出範囲（例えば、図４に示す幅(ＳＷ)＝長さ(ＳＬ)＝１μｍ）内に特定するのに時間がかかる。

実施例１では、ＡＦＭの替わりにＭＦＭで探索を行う。そして、ＭＦＭの探索では、図５に示す、書込みヘッドＨＷの磁気的な実効トラック幅を齎す可能性の高い実効ライン磁界強度プロファイルの最大値を示す最大磁界感知位置(Ｘｓ，Ｙｓ)を検出し、その最大値位置に基づいて、走査範囲を狭めて行く。なお、(Ｘｏ，Ｙｏ)は、ライン走査の開始位置を示す。

図７、制御部３０により実施例１における書込みヘッドＨＷの形状測定手順を示す。まず、ローバー１を位置決め用の載置部１２１にセットする（Ｓ１）。ローバー１内の書込みヘッドＨＷへ給電し（Ｓ２）、光学顕微鏡３０による目視し、検査ステージ１０を手動で制御し、探索範囲の中心位置となる書込みヘッドの粗位置決め位置を得る（Ｓ３）。

次に、粗位置決め位置を中心とした探索を目的として探索範囲を設定する（Ｓ４）。ＭＦＭによる探索時間は、ＡＦＭの探索より探索時間に比べ非常に短い。従って、ＡＦＭではなるべく早く検出するために、先ず、粗位置決め位置を中心として探索範囲を１０μｍ角程度の初期部分探索範囲を設定し、その後、初期部分探索範囲の周囲に順次部分探索範囲を設定、検査対象が見つかるまで探索してした。ＭＦＭでは、例えば探索範囲を２０μｍ角程度に設定し、一度に当該探索範囲を探索し、最大磁界検出検知位置、即ち詳細位置決め位置を検出する(Ｓ５）。

次に、詳細位置決め位置を中心として書込みヘッドの形状を検査する形状検出範囲、例えば１μｍ角の範囲を設定する(Ｓ６)。ＭＦＭで形状検出範囲を走査し、形状検出範囲における実効ライン磁界強度プロファイル、最大値磁界強度プロファイルを得る(Ｓ７)。その後、実効ライン磁界強度プロファイル、最大値磁界強度プロファイルにより図６に示す実効トラック幅ＴＷｙ、ＴＷｘを得、書込みヘッドの形状を算出する(Ｓ８)。

次に、得られた実効トラック幅ＴＷｙ、ＴＷｘの値が正常範囲内かを判定する(Ｓ９)。正常でない場合はＳ３に戻りやり直す。正常ならばローバー１内の全書込みヘッドの検査を終了したかを判断し(Ｓ１０)し、終わっていれば処理を終了する。一方、終わっていなければ、所定の間隔に存在する次の書込みヘッドＨＷの粗位置決め位置を算出し(Ｓ１１)、Ｓ４から処理を継続する。

以上説明した実施例１によれば、ＡＦＭで実施していた処理時間３分以上から５秒以内に短縮でき、処理時間を大幅に短縮できる。
また、以上説明した実施例１によれば、探索処理回数を従来の２段階から１段階への減らすことができ、処理を簡略できる。

(実施例２)
実施例２は、実施例１では光学顕微鏡による目視により決定していた粗位置決め位置を、磁気ヘッドＨを撮像カメラ９１による撮像結果から検出する。図８は、本発明の実施例２の形態に係る磁気ヘッド検査装置２００の概略構成を示す図である。磁気ヘッド検査装置２００の実施例１の磁気ヘッド検査装置１００と異なる点は、撮像カメラ９１の他、制御部３０に、撮像カメラ９１の撮像結果に基づいて書込みヘッドＨＷを有する磁気ヘッドＨの位置を検出するデータ処理部を備えている点である。

実施例２の書込みヘッドＨＷの形状測定手順の実施例１と異なる点は、図７のＳ３の“光学顕微鏡による目視により”が“撮像カメラによる撮像結果に基づいて”書込みヘッドの粗位置決め位置を決定する、に代わる点である。その他の点は、処理上の変化はない。

しかしながら、実施例２の書込みヘッドＨＷの形状測定手順は、内容的には実施例１と異なる。第１に、撮像カメラ９１による検出された粗位置決め位置の検出精度が向上するために、Ｓ４に示す探索範囲を狭くすることができる。その結果、探索処理時間を短縮することができる。

更に、当該粗位置決め位置の検出精度が向上により、Ｓ９のデータ異常率が大幅に低減し、磁気ヘッドＨ(書込みヘッドＨＷ)の検査信頼性を向上できる。

また、実施例２によれば、検査処理の全自動化を実現でき、磁気ヘッドＨ(書込みヘッドＨＷ)の検査信頼性を向上できる。

さらに、実施例２では、撮像カメラ９１による検出された粗位置決め位置の検出精度が向上するので、図７のＳ１１に対応する処理を行わずにおいて、直接Ｓ３に行き、各磁気ヘッドに対し粗位置決め位置を検出してもよい。

以上実施例１，２では、粗位置決め位置や詳細位置決め位置を、書込みヘッドの最大磁界検知位置としたが、これらに限らず、例えば、書込みヘッドの中央値、書込みヘッドの端部を表す位置などの他の位置としてもよい。

また、実施例１、２において、ＭＦＭによる検査後、カンチレバー部の制御方法を変えてＡＦＭ検査を行う時は、ＭＦＭで得られた詳細位置決め位置(最大磁界検知位置)等のデータを用いて行うことより、検査範囲を狭めることができ、ＡＦＭの検査時間を短縮できる。

１：ローバー ７：カンチレバー部
１０：検査ステージ １１：Ｘステージ
１２：Ｙステージ １２１：載置部
１３：Ｚステージ ２０：ピエゾドライバ
３０：制御部 ４１：半導体レーザ素子
４２，４３：反射ミラー ４４：変位センサ
５０：差動アンプ ６０：ＤＣコンバータ
７０：フィードバックコントローラ ８０：発振機
９０：光学顕微鏡 ９１：撮像カメラ
１００、２００：磁気ヘッド検査装置 Ｌ：磁気ヘッドの長さ
Ｈ：磁気ヘッド ＨＷ：書込みヘッド
ＳＷ：形状検出範囲又は検索範囲のローバーの短辺方向に幅
ＳＬ：形状検出範囲又は探索範囲のローバーの長辺方向の幅
ＴＷｘ：ローバー１の短辺(Ｘ)方向の実効トラック幅
ＴＷｙ：ローバー１の短辺(Ｙ)方向の実効トラック幅
Ｖ：磁界強度 Ｗ：磁気ヘッドの幅

Claims (10)

1. 先端に磁性探針を備え、所定周波数で励振される磁気力顕微鏡のカンチレバー手段と、
   前記磁性探針を前記書込みヘッドの上を浮上させて、前記磁気ヘッドの書込みヘッドの一辺に平行に探索範囲を探索２次元スキャンさせる探索スキャン制御手段と、
   前記探索２次元スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの探索２次元磁界強度を検出する探索検出手段と、
   前記探索２次元磁界強度に基づいて前記書込みヘッドの特定位置を検出する位置検出手段と、
   前記特定位置に基づいて、前記探索範囲をより狭い前記書込みヘッドの形状を検出ための形状検出範囲を設定する形状検出範囲設定手段と、
   前記磁性探針を前記書込みヘッドの上を浮上させて、前記磁気ヘッドの一辺に平行に前記形状検出範囲を検出形状２次元スキャンさせる検出スキャン制御手段と、
   前記検出形状２次元スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの検出２次元磁界強度を検出する検出形状検出手段と、
   前記検出２次元磁界強度を用いて前記書込みヘッドの形状を検出する形状検出手段と、
   を備えることを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
2. 請求項１記載の磁気ヘッド検査装置において、
   前記特定位置は、前記探索２次元磁界強度のうち最大磁界強度を示す位置であることを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
3. 請求項１又は２に記載の磁気ヘッド検査装置において、
   前記磁気ヘッドを撮像する撮像手段を備え、
   前記探索範囲は、前記撮像結果に基づいて設定すること、
   を特徴とする磁気ヘッド検査装置。
4. 請求項１又は２に記載の磁気ヘッド検査装置において、
   前記磁気ヘッドを目視する光学顕微鏡と、前記ローバーを載置し移動させる検査ステージとを備え、
   前記探索範囲は、前記目視情報に基づいて前記移動ステージを移動させて得られることを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気ヘッド検査装置において、
   前記形状検出範囲に基づいて、前記カンチレバー手段を用いて原子力間顕微鏡による前記書込みヘッドの形状検査を行うことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
6. 先端に磁性探針を備えた磁気力顕微鏡のカンチレバーを所定周波数で励振し、
   前記磁性探針を前記磁気ヘッドの書込みヘッドの上を浮上させて、前記書込みヘッドの一辺に平行に探索範囲を探索２次元スキャンさせ、
   前記探索２次元スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの探索２次元磁界強度を検出し、
   前記探索２次元磁界強度に基づいて前記書込みヘッドの特定位置を検出し、
   前記特定位置に基づいて、前記探索範囲をより狭い前記書込みヘッドの形状を検出ための形状検出範囲を設定し、
   前記磁性探針を前記書込みヘッドの上を浮上させて、前記書込みヘッドの一辺に平行に前記形状検出範囲を検出形状２次元スキャンさせ、
   前記検出形状２次元スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッドの検出２次元磁界強度を検出し、
   前記検出２次元磁界強度を用いて前記書込みヘッドの形状を検出する、
   ことを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
7. 請求項６記載の磁気ヘッド検査方法において、
   前記特定位置は、前記探索２次元磁界強度のうち最大磁界強度を示す位置であることを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
8. 請求項６又は７に記載の磁気ヘッド検査方法において、
   前記磁気ヘッドを撮像し、前記探索範囲は、前記撮像結果に基づいて設定すること、
   を特徴とする磁気ヘッド検査方法。
9. 請求項６又は７に記載の磁気ヘッド検査方法において、
   光学顕微鏡で前記磁気ヘッドを目視し、
   前記探索範囲は、前記目視情報に基づいて前記ローバーを載置する検査ステージを移動させて得られることを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
10. 請求項６乃至９のいずれかに記載の磁気ヘッド検査方法において、
    前記形状検出範囲に基づいて、前記カンチレバー手段を用いて原子力間顕微鏡による前記書込みヘッドの形状検査を行うことを特徴とする磁気ヘッド検査方法。

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