JP2013211073A - 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】効率よく磁気ヘッドを検査できる磁気ヘッド検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】ローバー状態の磁気ヘッドの接続端子に励磁用信号を供給し、所定周波数で励振される磁気力顕微鏡のカンチレバーの先端に設けられた磁性探針を前記記録ヘッドの上を浮上させて前記磁気ヘッドの一辺に平行に所定の間隔で複数のスキャンラインをスキャンする。前記スキャン中に前記カンチレバーの励振状態を示す前記磁気ヘッドの磁界強度を検出し、前記スキャンラインの磁界強度プロファイルを形成する。前記検出ステップの検出結果に基づいて、前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す実効磁界強度プロファイルを抽出し、前記実効磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求める。前記スキャンは、前記実効磁界強度プロファイルを抽出後、前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めるためのスキャンを停止する。
【選択図】図６

Description

本発明は、薄膜磁気ヘッドを検査する磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に係り、特に光学顕微鏡で検査不可能な薄膜磁気ヘッドのトラック幅の検査を効率よくできる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に関する。

薄膜磁気ヘッドのトラック幅の検査を行う技術としては、特許文献１がある。特許文献１では、ローバー状態の薄膜磁気ヘッドにボンディングパッドより記録信号（励磁用信号）を入力し、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド素子より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分の位置でスキャン移動させる。そして、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）にて直接観察することで、記録ヘッド素子の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定し、磁気的な実効トラック幅の検査を非破壊で実施可能とした。

即ち、スピンスタンドを用いてＨＧＡ状態又は擬似ＨＧＡ状態でしか検査できなかった実効トラック幅の測定を、磁気力顕微鏡を用いることによってローバー状態で行えるようにした。

特開２００９−２３０８４５号公報

しかしながら。特許文献１では、磁気ヘッド素子付近のみならず、その周囲を含めて全面をスキャンしていたので、スキャンに時間を要していた。

本発明の目的は、効率よく磁気ヘッドを検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供することにある。

本発明は、上記の目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。
本発明は、ローバー状態の磁気ヘッドの接続端子に励磁用信号を供給し、所定周波数で励振される磁気力顕微鏡のカンチレバーの先端に設けられた磁性探針を前記記録ヘッドの上を浮上させて、前記磁気ヘッドの一辺に平行に所定の間隔で複数のスキャンラインをスキャンし、前記スキャン中に前記カンチレバーの励振状態を示す前記磁気ヘッドの前記磁界強度を検出し、前記スキャンラインの磁界強度の磁界強度プロファイルを形成し、前記検出ステップの検出結果に基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す実効磁界強度プロファイルを抽出し、前記実効磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求め、前記スキャンは、前記実効磁界強度プロファイルを抽出後、前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めるためのスキャンを停止することを第１の特徴とする。

また、本発明は、前記実効磁界強度プロファイル抽出は、各前記スキャンラインで得られる前記磁界強度プロファイルの最大値の最大値を齎す磁界強度プロファイルを、又は各前記スキャンラインの前記磁界強度プロファイルから得られる磁気的な実効トラック幅の最大値を齎す磁界強度プロファイルを、前記実効磁界強度プロファイルとして抽出することを第２の特徴とする。

さらに、本発明は、前記スキャン制御は、同一の前記ローバー又は同一ロッドから前記ローバーで既に得られた前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅に基づいて、前記スキャンライン内のスキャン範囲を限定することを第３の特徴とする。

また、本発明は、前記スキャン制御は、同一の前記ローバー又は同一ロッドから前記ローバーで既に得られた前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅又は各前記スキャンラインで得られる前記磁界強度プロファイルの最大値で形成される最大値磁界強度プロファイルに基づいて、スキャンすべき前記スキャンラインの範囲を限定することを第４の特徴とする。

さらに、本発明は、前記検査は、前記実効磁界強度プロファイルの他、前記実効磁界強度プロファイルの一つ又は複数の前後の磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めることを第５の特徴とする。

本発明によれば、効率よく磁気ヘッド素子を検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供できる。

本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。 磁気ヘッドを含む所定の範囲を全面スキャンする従来技術で得られる画像である。 図２において、磁気ヘッドを横(Ｙ)方向にスキャンして得られるスキャン画像を磁界強度プロファイルとしてグラフ化したもので、磁界強度プロファイルのうち磁気ヘッドの磁界の影響が最大で、即ち磁気的な実効トラックを有する実効磁界強度プロファイルを示した図である。 図２に示す全面スキャンしたときの各スキャンにおける磁界強度プロファイルを模式的に示した図である。 磁気的な実効トラック幅を得るためのスキャン範囲を示す第１の実施例を示す図である。 実施例１における最大値磁界強度プロファイルを示す図である。 実施例１における磁気的な実効トラック幅を得るための処理フローを示す図である。 磁気的な実効トラック幅を得るためのスキャンライン内のスキャン範囲を限定する第２の実施例を示す図である。 実施例２の各磁界強度プロファイルにおけるスキャン内の開始位置及び終了位置を示す図である。 磁気的な実効トラック幅を得るためのスキャン範囲を更に限定する第３の実施例を示す図である。 磁気的な実効トラック幅を得るためのスキャンすべきスキャンラインの範囲を限定する第４の実施例を示す図である。 実施例４における最大値磁界強度プロファイルを示す図である。

図１は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。図１の磁気ヘッド検査装置は、スライダ単体（チップ）を切り出す前工程のローバー（ヘッドスライダが配列されたブロック）の状態でＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド、ＴＭＲヘッドなど（以下ＭＲヘッドと呼ぶ。）の磁気的な実効トラック幅を測定することが可能なものである。

通常、３ｃｍ〜５ｃｍ程度の細長いブロック体としてウエハから切り出されたローバーは、４０個〜６０個程度のヘッドスライダが配列された構成となっている。この実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置は、このローバー１をワークとして所定の検査を行うように構成されている。ローバー１は、通常、図示していないトレイ内に２０〜３０本程度、短軸方向に所定間隔で配列収納されている。図示していないハンドリングロボットは、ローバー１を図示していないトレイから一本ずつ取り出して、検査ステージ１０に搬送する。検査ステージ１０に搬送設置されたローバー１は、後述のように検査される。

検査ステージ１０は、ローバー１をＸ，Ｙ方向に移動可能なＸステージ１１、Ｙステージ１２から構成されている。ローバー１は、その長軸方向の片側面がＹステージ１２の基準面に一旦突き当てられることによって位置決めされる。Ｙステージ１２の上面には、ローバー１の位置決め用の載置部１２１が設けられている。この載置部１２１の上面側縁部には、ローバー１の形状にほぼ合致した段差部が設けられている。ローバー１は、この段差部の底面と側面にそれぞれ当接されることによって、所定位置に設置されるようになっている。段差部の後面には、ローバー１の後側面（磁気ヘッドの各接続端子のある面の反対面）が当接される。各当接面は、Ｘステージ１１の移動方向（Ｘ軸）及びＺステージ１３の移動方向（Ｚ軸）にそれぞれ平行で、かつ、直交した位置関係となる基準面を備えているので、ローバー１がＹステージ１２の段差部の底面と側面に当接設置されることによって、Ｘ方向とＺ方向の位置決めが実行されるようになっている。

図示していないが、Ｙステージ１２の上方には位置ずれ量測定用のカメラが設けられている。Ｚステージ１３は、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー部７をＺ方向に移動させるものである。検査ステージ１０のＸステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３は、それぞれピエゾステージで構成されている。所定の位置決めが終了すると、ローバー１は、載置部１２１に吸着保持され、図示していないプローブカードのプローブ先端がローバー１の前側面の端子にコンタクトされる。これによって、ローバー１の磁気ヘッドの記録ヘッド用コイルは励磁可能な状態となる。

ピエゾドライバ２０は、この検査ステージ１０の各Ｘステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３（ピエゾステージ）を駆動制御するものである。制御部３０は、モニタを含むパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を基本構成とする制御用コンピュータで構成されており、ピエゾドライバ２０を制御する。図に示すように、検査ステージ１０のＹステージ１２上に載置されたローバー１の上方の対向する位置には、先端の尖った磁性探針を自由端とするカンチレバー部７が配置されている。カンチレバー部７は、Ｚステージ１３の下側に設けられた励振部材に取り付けられている。励振部材はピエゾ素子で構成され、ピエゾドライバ２０からの励振電圧によって機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧が印加され、磁性探針は上下方向に振動される。

変位検出部は、半導体レーザ素子４１と、反射ミラー４２，４３と、２分割光ディテクタ素子からなる変位センサ４４とから構成される。半導体レーザ素子４１から出射した光は反射ミラー４２によって反射され、カンチレバー部７上に照射され、そこで反射ミラー４３に向かって反射される。カンチレバー部７で反射された反射光は、反射ミラー４３によってさらに反射されて変位センサ４４に導かれる。差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分信号に所定の演算処理を施して、ＤＣコンバータ６０に出力する。すなわち、差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分に対応した変位信号をＤＣコンバータ６０に出力する。ＤＣコンバータ６０は、差動アンプ５０から出力される変位信号を実効値の直流信号に変換するＲＭＳ−ＤＣコンバータ（Root Mean Squared value to Direct Current converter）で構成される。

差動アンプ５０から出力される変位信号は、カンチレバー部７の変位に応じた信号であり、カンチレバー部７は振動しているので交流信号となる。ＤＣコンバータ６０から出力される信号は、フィードバックコントローラ７０に出力される。フィードバックコントローラ７０は、カンチレバー部７の現在の振動の大きさをモニタするための信号として制御部３０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力すると共に、カンチレバー部７の励振の大きさを調整するためのＺステージ１３の制御用信号としてピエゾドライバ２０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力する。

制御部３０は、この信号をモニタし、その値に応じて、ピエゾドライバ２０のＺステージ１３を制御することによって、測定開始前に、カンチレバー部７の初期位置を調整するようしている。この実施の形態では、ハードディスクドライブのヘッド浮上高さをカンチレバー部７の初期位置として設定する。また、制御部は、フィードバックコントローラ７０から得られたデータに基づいて、磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を得る処理を行う。カンチレバーの浮上高さは、ヘッド浮上高さにすることは好ましいが、異なるっていてもよい。異なる場合は、得られた磁気的な実効トラック幅を高さに基づいて補正する。

発信機８０は、カンチレバー部７を励振するための発振信号をピエゾドライバ２０に供給するものである。ピエゾドライバ２０は、この発信機８０からの発振信号に基づいてカンチレバー部７を所定の周波数で振動させる。

このような構成によって、カンチレバー部７が有する所定の周波数での振動は、磁気ヘッドが発生する磁界の強度に比例した位相差が生じ、その位相差の大きさに応じて２分割光ディテクタ４３を有する変位センサ４４から出力される２つの信号に差分が生じる。それ故、２つの信号の差分から磁気ヘッドから磁界の強度が分かる。この様な状態で、磁気ヘッドの記録ヘッドをＡＣ励磁しながら、以下に述べるように磁気ヘッドをスキャンさせることで、磁気ヘッドの実効トラック幅を得ることができる。また、記録ヘッドをＡＣ励磁することなく、通常のＭＦＭとして検査することによって、磁気ヘッドのポール幅(構造的な磁極幅)を実測することが可能となる。

磁気ヘッドの検査は、次のように行われる。まず、カンチレバー部７を、その磁性探針の先端部が、ローバー１に形成された磁気ヘッドの表面からヘッド浮上高さに相当する位置になるように、Ｚステージ１３で位置決めする。次に、磁気ヘッドＸ、Ｙステージ１１、１２で２次元にスキャンし、行われる。

図２は、磁気ヘッドを含む所定の範囲を全面スキャンする従来技術で得られる画像である。２次元スキャンは、ローバー１の短辺に平行方向に、磁気ヘッドを横断するＹ方向のスキャンラインのスキャンを行ない、スキャン後、ローバー１の長辺であるＸ方向に所定の間隔でスキャン(以下シフトという)し、これら動作を繰り返して行なわれる。磁気ヘッドが図２において、周りの白い部分が磁気ヘッドのＡＣ励磁磁界の影響を受けない領域であり、等高線の部分がＡＣ励磁磁界の影響を受ける領域であり、中心に行く程強い影響、即ち磁気ヘッドの磁界が強いことを示している。３次元的には、側面が外側になだらかな膨らみを有する円錐状をしている。

図３は、図２において、磁気ヘッドを横(Ｙ)方向にスキャンして得られるスキャン画像を磁界強度プロファイルとしてグラフ化したもので、磁界強度プロファイルのうち磁気ヘッドの磁界の影響が最大幅を有する、即ち尤も磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す可能性の高い実効磁界強度プロファイルを示したものである。横軸がスキャン位置を示し、縦軸が当該各位置における磁気ヘッドの磁界強度に対応するに対応するＤＣコンバータ６０の出力電圧値(Ｖ)を示す。本実施形態では、図３に示すように、一定の磁界強度以上有するレベル幅を磁気的な実効トラック幅ＴＷと定義している。なお、ＤＣコンバータ６０の出力電圧値(Ｖ)の符号は、測定条件によって逆になることがある。

図４は、図２に示す全面スキャンしたときの各スキャンラインの磁界強度プロファイルを模式的に示した図である。図４(ａ)は各スキャンラインの磁界強度プロファイルを示し、図４(ｂ)は各スキャンラインの磁界強度プロファイルの最大値が形成する最大値磁界強度プロファイルを示した図である。図４(ａ)の縦方向に示す数字は、スキャンライン番号を示す。図６、図１２も同様であり、図９は、図３と同様に、スキャン位置示す番号である。

図４(ａ）に示すように、各スキャンラインの磁界強度プロファイルは、図面上部側においては磁気ヘッドの磁界の影響ないほぼ平坦な曲線であり、その後徐々に影響力を受ける領域が拡大する。そして、図３に示す磁気ヘッドによる磁界が最大となるスキャンラインを得、その後は、減少していき、再び磁気ヘッドの磁界の影響ないところでは平坦となる。また、図４(ｂ)に示すように、各スキャンラインの磁界強度プロファイルにおける最大値が形成する最大値磁界強度プロファイルも、図２に示す磁気ヘッドによる磁界が最大となるスキャンを中心になだらかの山形形状を有するプロファイルを示す。

磁気的な実行トラック幅は、図２に実効磁界強度プロファイル又は最大値磁界強度プロファイルの最大値を示す磁界強度プロファイル、或いはそれらを含み、それらの一つ又は複数の前後の磁界強度プロファイルのデータを用いて求めることができる。従って、従来技術のように、図２に示す磁気ヘッドの所定の範囲を全面スキャンして、全てのデータを取得した後に磁気的な実効トラック幅を求める必要がない。

上記の考えから本実施形態では、実効磁界強度プロファイル又は最大値磁界強度プロファイルの最大値を示す磁界強度プロファイルのデータが得られるまでＹ方向のスキャンを行ない、その後はスキャンをやめる。ここで、スキャンをやめるとは、実効磁界強度プロファイル又は最大値磁界強度プロファイルの最大値を示す磁界強度プロファイルのデータためのスキャンをやめるということで、次の磁気ヘッドを検査するためのＹ方向のスキャンやＸ方向のシフトをやめることではない。また、多くの場合は、実効磁界強度プロファイルと最大値磁界強度プロファイルの最大値を示す磁界強度プロファイルとは一致する、即ち同一スキャンラインとなる。

(実施例１)
図５は、上記の基本的な考え方に基づいて、磁気的な実効トラック幅ＴＷを得るためのスキャン範囲を示す第１の実施例を示す図である。図６は、実施例１における図４(ｂ)に対応する最大値磁界強度プロファイルを示す。

実施例１は、最大値磁界強度プロファイルが最大値を得るまでＸ方向のシフトを行ない、スキャンを停止する。実際は、図６に示すように、最大値であることを確定させる、即ち減少傾向にあることを認識するために更に数スキャンさせる。図６によれば、最大値を齎すスキャンライン番号は３６であり、スキャンライン番号３６の図２に対応する磁界強度プロファイルより磁気的な実効トラック幅ＴＷを求める。

図６によれば、従来方式のスキャンライン数は実線と破線で示す６４に対し、本実施例のスキャンライン数は実線で示す３７である。従って、図４(ａ)に示すように、スキャン終了後、その位置から反対方向に次のスキャンをするスキャン方式で評価すれば、４２％のスキャン処理時間の低減を図ることができる。
２次元スキャンの開始位置は、ローバー１における磁気ヘッドの製造精度に基づいて決められ、確実に開始位置を捕らえるために、スキャンラインをやや早めに開始している。従って、実施例１におけるスキャン時間の低減率は４０％から５０％となる。平坦部におけるスキャンライン数が大きくなれば、スキャン時間の低減率は上がる。なお、スキャンライン間隔(シフト間隔)及び磁界強度プロファイルにおけるデータ間隔は、必要な測定精度に決まる。

図６は、実施例１における磁気的な実効トラック幅を得るための処理フローを詳細に示す図である。
まず、ステップ１（Ｓ１）において、各指標の初期値をセットする。ｉは、図４(ａ)に示すスキャンライン番号である。Ｖｉは各スキャンにおける磁界強度、即ち得られる電圧の最大値を示す。ｍは、最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈを得たことを示す指標である。

次に、Ｘ方向のスキャンを実施し、各スキャンラインに対する磁界強度プロファイルを取得し(Ｓ２)、磁界強度プロファイルにおける最大値Ｖｉを抽出する(Ｓ３)。最初のうちは磁気ヘッドの平坦部をスキャンするので、ノイズを抽出し、最大値Ｖｉは安定した値にならない。
最大値Ｖｉが安定した値ＶminになるまでＶminを最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈをとする(Ｓ４)。ＶｉがＶmin以下であれば、次のスキャンの開始位置にＸ方向にシフトする（Ｓ５、Ｓ６）。

ＶｉがＶminより大であれば、最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈの探索に入る(Ｓ７乃至Ｓ９）。Ｓ１０の処理により、既に前回のスキャンの結果、最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈを得ていれば、ｍは１を示す。従って、Ｓ７で既に最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈを得ているかを確認する。

ｍ＝０で、まだ最大値磁界強度プロファイルの最大値を得ていなければ、Ｓ８で前回と今回のスキャンにおける磁界強度プロファイルにおける最大値Ｖi−1とＶｉとを比較し、磁界強度プロファイルの最大値が減少方向に入ったかを判断する。入っていなければ、更にスキャンするためにＳ５に行く。入っていれば、前回のスキャンにおける磁界強度プロファイルの最大値Ｖi−1を最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈとし(Ｓ９）、指標ｍに１を加算する(Ｓ１０)。もう一度スキャンするためにＳ２に行く。

Ｓ７でｍ＝１ならば、Ｓ１１で最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈ＝Ｖi−1を確認し、最大値Ｖｈを得るためのスキャンを停止し(Ｓ１２）、Ｖｈを得た磁界強度プロファイルにより磁気的な実効トラック幅ＴＷを求める（Ｓ１３）。

そして、ローバー１の全ての磁気ヘッドの検査が終了したかを判断する（Ｓ１４）。処理が終了していなければ、次の磁気ヘッドのスキャン開始位置へ移動し(Ｓ１６）、Ｓ１に戻り一連の処理を再度行なう。処理が終了していれば処理を終了する。

実施例１では、最大値磁界強度プロファイルによりスキャンを停止する位置を決めていたが、磁界強度プロファイル毎にトラック幅を計算し、その低減よりスキャンを停止する位置を決めてもよい。しかし、データ処理のし易さの観点からすれば、磁界強度プロファイル毎にトラック幅を計算することなく、単に磁気強度ファイルの最大値を監視する方がよい。

なお、実効磁界強度プロファイル又は最大値磁界強度プロファイルの最大値を示す磁界強度プロファイルのデータだけではなく、それらの前後の磁界強度プロファイルのデータをも用いて磁気的な実効トラック幅ＴＷをも求めてもよい。

また、実施例１では、最大値磁界強度プロファイルの最大値Ｖｈを得た後でもスキャンを行なったが、直ちにスキャンを停止してもよい。

(実施例２)
図８は、磁気的な実効トラック幅ＴＷを得るためのスキャンライン内のスキャン範囲を限定する第２の実施例を示す図である。

ローバー１は、４０個〜６０個の磁気ヘッドが形成されている。実施例１の方法に基づいて複数個検査をすれば、図９に示すように、実効トラック幅ＴＷを求める必要な各磁界強度プロファイルにおけるスキャン内の開始位置Ｓ及び終了位置Ｅが分かる。従って、数スキャンライン後は、この範囲のみをスキャンする。また、同一ロードで生産されたローバー１であれば、同一ロッドで生産された他のローバー１の結果に基づいてスキャンライン内のスキャン範囲を限定してもよい。
実施例２では、実施例１に比べ、更にスキャン時間を低減できる。

(実施例３)
図１０は、磁気的な実効トラック幅ＴＷを得るためのスキャン範囲を更に限定する第３の実施例を示す図である。実施例３は、実施例２の考え方を更に発展させ、Ｘ方向の平坦部においても、実施例２と同様にスキャンの範囲を狭める例である。

実施例３では、２次元スキャンを図９に示すように、スキャン内の開始位置Ｓ、終了位置Ｅをそれぞれ３０、４６とれば、そのスキャン範囲は１７となるので、１７／６４≒２６％にスキャン時間を低減できる。同一ロッドのローバー１についても、実施例２の考え方を踏襲してもよい。

(実施例４)
図１１は、磁気的な実効トラック幅ＴＷを得るためのスキャンすべきスキャンラインの範囲を限定する第４の実施例を示す図である。実施例４においては、実施例２と同様に、複数個検査すれば、磁気ヘッドの間隔を評価できるので、スキャンすべきスキャンラインの開始位置を更に遅くした例である。図１２は、実施例４における最大値磁界強度プロファイルを示し、実線が磁界強度プロファイルを得るためにスキャンしたスキャンラインの範囲である。その結果、実施例に比べて、更にスキャン時間を低減できる。同一ロッドのローバー１についても、実施例２の考え方を踏襲してもよい。

以上説明した実施例では、Ｙ方向にスキャンしＸ方向にシフトしたが、Ｘ方向にスキャンしＹ方向にシフトしてもよい。

以上説明した実施例１乃至４によれば、従来に比べ、スキャン時間を低減でき、スループットを向上でき、効率よく磁気ヘッド素子を検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供できる。

１：ローバー ７：カンチレバー部
１０：検査ステージ １１：Ｘステージ
１２：Ｙステージ １２１：載置部
１３：Ｚステージ ２０：ピエゾドライバ
３０：制御部 ４１：半導体レーザ素子
４２，４３：反射ミラー ４４：変位センサ
５０：差動アンプ ６０：ＤＣコンバータ
７０：フィードバックコントローラ ８０：発信機
Ｖ：磁界強度
Ｖｉ：ｉスキャンラインにおける磁界強度プロファイルの最大値
Ｖｈ：最大値磁界強度プロファイルの最大値

Claims (10)

1. 先端に磁性探針を備え、所定周波数で励振される磁気力顕微鏡のカンチレバー手段と、
   ローバー状態の磁気ヘッドの接続端子に励磁用信号を供給するプローブ手段と、
   前記磁性探針を前記記録ヘッドの上を浮上させて、前記磁気ヘッドの一辺に平行に所定の間隔で複数のスキャンラインをスキャンさせるスキャン制御手段と、
   前記スキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記磁気ヘッドの磁界強度を検出する検出手段と、
   前記スキャンラインの前記磁界強度の磁界強度プロファイルを形成する磁界強度プロファイル形成手段と、
   前記検出手段の検出結果に基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す実効磁界強度プロファイルを抽出する実効磁界強度プロファイル抽出手段と、
   前記実効磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求める前記磁気ヘッドの検査手段と、
   前記スキャン制御手段が、前記実効磁界強度プロファイルを抽出後、前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めるためのスキャンを停止するスキャン停止手段を有することを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
2. 前記実効磁界強度プロファイル抽出手段は、各前記スキャンラインで得られる前記磁界強度プロファイルの最大値の最大値を齎す磁界強度プロファイルを、又は各前記スキャンラインの前記磁界強度プロファイルから得られる磁気的な実効トラック幅の最大値を齎す磁界強度プロファイルを、前記実効磁界強度プロファイルとして抽出することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド検査装置。
3. 前記スキャン制御手段は、同一の前記ローバー又は同一ロッドから前記ローバーで既に得られた前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅に基づいて、前記スキャンラインのスキャン範囲を限定することを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッド検査装置。
4. 前記スキャン制御手段は、同一の前記ローバー又は同一ロッドから前記ローバーで既に得られた前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅、又は各前記スキャンラインで得られる前記磁界強度プロファイルの最大値で形成される最大値磁界強度プロファイルに基づいて、スキャンすべき前記スキャンラインの範囲を限定することを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッド検査装置。
5. 前記検査手段は、前記実効磁界強度プロファイルの他、前記実効磁界強度プロファイルの一つ又は複数の前後の磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッド検査装置。
6. ローバー状態の磁気ヘッドの接続端子に励磁用信号を供給する供給ステップと、
   所定周波数で励振される磁気力顕微鏡のカンチレバーの先端に設けられた磁性探針を前記記録ヘッドの上を浮上させて、前記磁気ヘッドの一辺に平行に所定の間隔で複数のスキャンラインをスキャンさせるスキャン制御ステップと、
   前記スキャン中に前記カンチレバーの励振状態を示す前記磁気ヘッドの磁界強度を検出する検出ステップと、
   前記スキャンラインの前記磁界強度の磁界強度プロファイルを形成する磁界強度プロファイル形成ステップと、
   前記検出ステップの検出結果に基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を齎す実効磁界強度プロファイルを抽出する実効磁界強度プロファイル抽出ステップと、
   前記実効磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求める前記磁気ヘッドの検査ステップと、
   前記スキャン制御ステップが、前記実効磁界強度プロファイルを抽出後、前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めるためのスキャンを停止する停止ステップを有することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
7. 前記実効磁界強度プロファイル抽出ステップは、各前記スキャンラインで得られる前記磁界強度プロファイルの最大値の最大値を齎す磁界強度プロファイルを、又は各前記スキャンラインの前記磁界強度プロファイルから得られる磁気的な実効トラック幅の最大値を齎す磁界強度プロファイルを、前記実効磁界強度プロファイルとして抽出することを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘッド検査方法。
8. 前記スキャン制御ステップは、同一の前記ローバー又は同一ロッドから前記ローバーで既に得られた前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅に基づいて、前記スキャンライン内のスキャン範囲を限定することを特徴とする請求項６又は７に記載の磁気ヘッド検査方法。
9. 前記スキャン制御ステップは、同一の前記ローバー又は同一ロッドから前記ローバーで既に得られた前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅又は各前記スキャンラインで得られる前記磁界強度プロファイルの最大値で形成される最大値磁界強度プロファイルに基づいて、スキャンすべき前記スキャンラインの範囲を限定することを特徴とする請求項６又は７に記載の磁気ヘッド検査方法。
10. 前記検査ステップ手段は、前記実効磁界強度プロファイルの他、前記実効磁界強度プロファイルの一つ又は複数の前後の磁界強度プロファイルに基づいて前記磁気ヘッドの磁気的な実効トラック幅を求めることを特徴とする請求項６又は７に記載の磁気ヘッド検査方法。

Images