JP2014063633A - 透明電極、及び電子デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チタン含有層1aと、チタン含有層1aに隣接して設けられた銀を主成分とする電極層1bとを備えた透明電極1とする。
【選択図】図1
Description
1.透明電極
2.透明電極の用途
3.有機電界発光素子の第1例(ボトムエミッション型)
4.有機電界発光素子の第2例(トップエミッション型)
5.有機電界発光素子の第3例(両面発光型)
6.有機電界発光素子の第4例(逆積み構成)
7.有機電界発光素子の用途
8.照明装置−1
9.照明装置−2
なお、各実施形態において共通の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、実施形態の透明電極の構成を示す断面模式図である。この図に示すように、透明電極1は、高屈折率層Hとチタン含有層1aと電極層1bとを積層した3層構造であり、例えば基材11の上部に、高屈折率層H、チタン含有層1a、電極層1bの順に設けられている。このうち、透明電極1における電極部分である電極層1bが、銀(Ag)を主成分として構成されるところが特徴的である。また電極層1bに隣接するチタン含有層1aが、電極層1bを構成する主材料である銀と安定的に結合するチタンを含有するところが特徴的である。
本発明の透明電極1が形成される基材11は、例えばガラス、プラスチック等を挙げることができるが、これらに限定されない。また、基材11は透明であっても不透明であってもよい。本発明の透明電極1が、基材11側から光を取り出す電子デバイスに用いられる場合には、基材11は透明であることが好ましい。好ましく用いられる透明な基材11としては、ガラス、石英、透明樹脂フィルムを挙げることができる。
高屈折率層Hは、電極層1bとの間にチタン含有層1aを挟持して設けられ、金属酸化物で構成された層である。高屈折率層Hの屈折率は、波長550nmにおける屈折率が2.0以上である。このような高屈折率層Hには主に金属酸化物等が用いられ、例えば、二酸化チタン(TiO2:n=2.3〜2.4)、酸化ジルコニウム(ZrO2:n=2.4)、酸化カドミウム(CdO:n=2.49)、酸化インジウムスズ(ITO:n=2.1〜2.2)、酸化ハフニウム(HfO2:n=2.1)、五酸化タンタル(Ta2O5:n=2.16)、酸化ニオブ(Nb2O5:n=2.2〜2.4)、酸化セリウム(CeO2:n=2.2)等の光学フィルムに一般的に用いられる高屈折率材料が用いられる。
チタン含有層1aは、例えば、チタン、チタン含有化合物を用いて構成された層である。このチタン含有層1aは、チタン原子と、隣接する電極層1bを構成する銀原子とを相互作用させるため、層の全体において、特には電極層1bとの界面側において、チタン含有量が多いことが好ましい。
電極層1bは、銀を主成分として構成された層であって、銀または銀を主成分とした合金を用いて構成され、チタン含有層1aに隣接して成膜された層である。このような電極層1bが、透明電極1の実質的な電極部分として機能する。
以上のように構成された透明電極1は、銀を主成分とした電極層1bをチタン含有層1aに隣接させて設けた構成である。これにより、チタン含有層1aに隣接させて電極層1bを成膜する際には、電極層1bを構成する銀原子がチタン含有層1aを構成するチタン原子と相互作用し、銀原子のチタン含有層1a表面においての拡散距離が減少し、銀の凝集が抑えられる。このため、一般的には核成長型(Volumer−Weber:VW型)での膜成長により島状に孤立し易い銀薄膜が、単層成長型(Frank−van der Merwe:FM型)の膜成長によって成膜されるようになる。したがって、薄い膜厚でありながらも、均一な膜厚の電極層1bが得られるようになる。この結果、薄い膜厚であることで光透過率を確保しつつも、均一な膜厚であることで導電性が確保された電極層1bを確実に得ることができ、銀を用いた透明電極1における導電性の向上と光透過性の向上との両立を図ることが可能になる。
上述した構成の透明電極1は、各種電子デバイスに用いることができる。電子デバイスの例としては、有機電界発光素子、LED(Light Emitting Diode)、液晶素子、太陽電池、タッチパネル等が挙げられ、これらの電子デバイスにおいて光透過性を必要とされる電極部材として、上述の透明電極1を用いることができる。
以下では、用途の一例として、透明電極をアノードおよびカソードとして用いた有機電界発光素子の実施の形態を説明する。
<有機電界発光素子EL-1の構成>
図2は、本発明の電子デバイスの一例として、上述した透明電極1を用いた有機電界発光素子の第1例を示す断面構成図である。以下にこの図に基づいて有機電界発光素子の構成を説明する。
透明基板13’は、先に説明した本発明の透明電極1が設けられる基材のうち、光透過性を有する透明なものが用いられる。
透明電極1は、先に説明した本発明の透明電極1であり、透明基板13’側から順に、高屈折率層H、チタン含有層1a、および電極層1bを順に成膜した構成である。ここでは特に、透明電極1を構成する電極層1bが実質的なアノードとなる。
対向電極5-1は、発光機能層3に電子を供給するためのカソードとして機能する電極膜であり、金属、合金、有機または無機の導電性化合物、およびこれらの混合物が用いられる。具体的には、金、アルミニウム、銀、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属、ITO、ZnO、TiO2、SnO2等の酸化物半導体などが挙げられる。
本発明に用いられる発光層3cは、発光材料として例えば燐光発光化合物が含有されている。
発光層3cに含有されるホスト化合物としては、室温(25℃)における燐光発光の燐光量子収率が0.1未満の化合物が好ましい。さらに好ましくは燐光量子収率が0.01未満である。また、発光層3cに含有される化合物の中で、その層中での体積比が50%以上であることが好ましい。
本発明で用いることのできる発光材料としては、燐光発光性化合物(燐光性化合物、燐光発光材料ともいう)が挙げられる。
発光層3cに含まれる化合物(燐光発光性化合物)は、下記一般式(1)で表される化合物であることが好ましい。
一般式(1)で表される化合物の中でも、下記一般式(2)で表される化合物であることがさらに好ましい。
上記一般式(2)で表される化合物の好ましい態様の一つとして、下記一般式(3)で表される化合物が挙げられる。
蛍光発光材料としては、クマリン系色素、ピラン系色素、シアニン系色素、クロコニウム系色素、スクアリウム系色素、オキソベンツアントラセン系色素、フルオレセイン系色素、ローダミン系色素、ピリリウム系色素、ペリレン系色素、スチルベン系色素、ポリチオフェン系色素、または希土類錯体系蛍光体等が挙げられる。
注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と発光層3cの間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されており、正孔注入層3aと電子注入層3eとがある。
正孔輸送層3bは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層3a、電子阻止層も正孔輸送層3bに含まれる。正孔輸送層3bは単層または複数層設けることができる。
電子輸送層3dは、電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層3e、正孔阻止層(図示せず)も電子輸送層3dに含まれる。電子輸送層3dは単層構造または複数層の積層構造として設けることができる。
また電子輸送層3dの材料(電子輸送性化合物)として、好ましくは、下記一般式(4)で表される化合物を用いることができる。
一般式(4)中におけるAr1は、下記一般式(A)で表される基を表す。
一般式(A)において、Y3で表される基としては、上記6員の芳香族環から導出される基であることが好ましく、さらに好ましくは、ベンゼン環から導出される基である。
一般式(A)において、Y4で表される基としては、上記6員の芳香族環から導出される基であることが好ましく、さらに好ましくは、窒素原子を環構成原子として含む芳香族複素環から導出される基であり、特に好ましくは、Y4がピリジン環から導出される基であることである。
一般式(A)で表される基の好ましい態様としては、下記一般式(A−1)、(A−2)、(A−3)、または(A−4)のいずれかで表される基が挙げられる。
上記一般式(4)で表される化合物の中でも、下記一般式(5)で表される化合物が好ましい。
上記一般式(5)で表される化合物の中でも、下記一般式(6)で表される化合物が好ましい。
阻止層は、上記の如く有機化合物薄膜の基本構成層の他に、必要に応じて設けられるものである。例えば、特開平11−204258号公報、同11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホールブロック)層がある。
補助電極は、透明電極1の抵抗を下げる目的で設けるものであって、透明電極1の電極層1bに接して設けられる。補助電極を形成する材料は、金、白金、銀、銅、アルミニウム等の抵抗が低い金属が好ましい。これらの金属は光透過性が低いため、光取り出し面13aからの発光光hの取り出しの影響のない範囲でパターン形成される。このような補助電極の形成方法としては、蒸着法、スパッタリング法、印刷法、インクジェット法、エアロゾルジェット法などが挙げられる。補助電極の線幅は、光を取り出す開口率の観点から50μm以下であることが好ましく、補助電極の厚さは、導電性の観点から1μ以上であることが好ましい。
封止材は、有機電界発光素子EL-1を覆うものであって、板状(フィルム状)の封止部材であって接着剤によって透明基板13’側に固定されるものであっても良く、封止膜であっても良い。この封止材は、有機電界発光素子EL-1における透明電極1および対向電極5-1の端子部分を露出させる状態で、少なくとも発光機能層3を覆う状態で設けられている。また封止材に電極を設け、有機電界発光素子EL-1の透明電極1および対向電極5-1の端子部分と、この電極とを導通させるように構成されていても良い。
尚、ここでの図示は省略したが、透明基板13’との間に有機電界発光素子ELおよび封止材を挟んで保護膜もしくは保護板を設けても良い。この保護膜もしくは保護板は、有機電界発光素子ELを機械的に保護するためのものであり、特に封止材が封止膜である場合には、有機電界発光素子ELに対する機械的な保護が十分ではないため、このような保護膜もしくは保護板を設けることが好ましい。
ここでは一例として、図2に示す有機電界発光素子EL-1の製造方法を説明する。
以上説明した有機電界発光素子EL-1は、本発明の導電性と光透過性とを兼ね備えた透明電極1をアノードとして用い、この上部に発光機能層3とカソードとなる対向電極5-1とをこの順に設けた構成である。このため、透明電極1と対向電極5-1との間に十分な電圧を印加して有機電界発光素子EL-1での高輝度発光を実現しつつ、透明電極1側からの発光光hの取り出し効率が向上することによる高輝度化を図ることが可能である。さらに、所定輝度を得るための駆動電圧の低減による発光寿命の向上を図ることも可能になる。
<有機電界発光素子の構成>
図3は、本発明の電子デバイスの一例として、上述した透明電極を用いた有機電界発光素子の第2例を示す断面構成図である。この図に示す第2例の有機電界発光素子EL-2が、図2を用いて説明した第1例の有機電界発光素子EL-1と異なるところは、基板13上に対向電極5-2を設け、この上部に発光機能層3と透明電極1とをこの順に積層したところにある。以下、第1例と同様の構成要素についての重複する詳細な説明は省略し、第2例の有機電界発光素子EL-2の特徴的な構成を説明する。
以上説明した有機電界発光素子EL-2は、本発明の導電性と光透過性とを兼ね備えた透明電極1をカソードとして用い、この透明電極1における電極層1b側に発光機能層3とアノードとなる対向電極5-2とをこの順に設けた構成である。このため、第1例と同様に、透明電極1と対向電極5-2との間に十分な電圧を印加して有機電界発光素子EL-2での高輝度発光を実現しつつ、透明電極1側からの発光光hの取り出し効率が向上することによる高輝度化を図ることが可能である。さらに、所定輝度を得るための駆動電圧の低減による発光寿命の向上を図ることも可能になる。
<有機電界発光素子の構成>
図4は、本発明の電子デバイスの一例として、上述した透明電極を用いた有機電界発光素子の第3例を示す断面構成図である。この図に示す第3例の有機電界発光素子EL-3が、図2を用いて説明した第1例の有機電界発光素子EL-1と異なるところは、封止材として透明封止材を用い、2つの透明電極1間に発光機能層3を挟持させたところにある。以下、第1例と同様の構成要素についての重複する詳細な説明は省略し、第3例の有機電界発光素子EL-3の特徴的な構成を説明する。
以上説明した有機電界発光素子EL-3は、本発明の導電性と光透過性とを兼ね備えた透明電極1をアノードおよびカソードとして用い、この間に発光機能層3を挟持した構成である。このため、第1例と同様に、2つの透明電極1間に十分な電圧を印加して有機電界発光素子EL-3での高輝度発光を実現しつつ、2つの透明電極1側からの発光光hの取り出し効率が向上することによる高輝度化を図ることが可能である。さらに、所定輝度を得るための駆動電圧の低減による発光寿命の向上を図ることも可能になる。
<有機電界発光素子の構成>
図5は、本発明の電子デバイスの一例として、上述した透明電極を用いた有機電界発光素子の第4例を示す断面構成図である。この図に示す第4例の有機電界発光素子EL-4が、図2を用いて説明した第1例の有機電界発光素子EL-1と異なるところは、透明基板13’側から順にカソード(透明電極1)、発光機能層3、アノード(対向電極5-4)を設けて積層順を逆にしたところにある。以下、第1例と同様の構成要素についての重複する詳細な説明は省略し、第4例の有機電界発光素子EL-4の特徴的な構成を説明する。
以上説明した有機電界発光素子EL-4は、本発明の導電性と光透過性とを兼ね備えた透明電極1をカソードとして用い、この上部に発光機能層3とアノードとなる対向電極5-4とをこの順に設けた構成である。このため、第1例と同様に、透明電極1と対向電極5-4との間に十分な電圧を印加して有機電界発光素子EL-4での高輝度発光を実現しつつ、透明電極1側からの発光光hの取り出し効率が向上することによる高輝度化を図ることが可能である。さらに、所定輝度を得るための駆動電圧の低減による発光寿命の向上を図ることも可能になる。
上述した各構成の有機電界発光素子は、上述したように面発光体であるため各種の発光光源として用いることができる。例えば、家庭用照明や車内照明などの照明装置、時計や液晶用のバックライト、看板広告用照明、信号機の光源、光記憶媒体の光源、電子写真複写機の光源、光通信処理機の光源、光センサーの光源等が挙げられるが、これに限定するものではなく、特にカラーフィルターと組み合わせた液晶表示装置のバックライト、照明用光源としての用途に有効に用いることができる。
本発明の照明装置は、上記有機電界発光素子を有する。
また本発明の有機電界発光素子は、複数用いて発光面を大面積化した照明装置としても用いることができる。この場合、透明基板上に有機電界発光素子を設けた複数の発光パネルを、支持基板上に複数配列する(すなわちタイリングする)ことによって発光面を大面積化する。支持基板は、封止材を兼ねるものであっても良く、この支持基板と、発光パネルの透明基板との間に有機電界発光素子を挟持する状態で各発光パネルをタイリングする。支持基板と透明基板との間には接着剤を充填し、これによって有機電界発光素子を封止しても良い。尚、発光パネルの周囲には、透明電極および対向電極の端子を露出させておく。
試料101〜119の各透明電極を、導電性領域の面積が5cm×5cmとなるように作製した。下記表1には、試料101〜119の各透明電極における各層の構成を示した。
以下のようにして、ガラス製の基材上に、下記表1に示すそれぞれの膜厚で銀からなる電極層を形成した。
以下のようにして、ガラス製の基材上に、二酸化チタン(TiO2)からなる高屈折率層を30nmの膜厚で形成し、この上部に銀からなる電極層を下記表1に示すそれぞれの膜厚で形成した。
以下のようにして、ガラス製の基材上に、二酸化チタン(TiO2)からなる高屈折率層を30nmの膜厚で形成し、この上部にチタンからなるチタン含有層を下記表1に示すそれぞれの膜厚で形成し、この上部に銀からなる電極層を8nmの膜厚で形成した。
チタン含有層に用いる材料を下記表1に示すそれぞれの化合物としたこと以外は、上記試料108と同様の手順で試料111〜114の各透明電極を得た。なお、試料111のチタン含有層には、TiAl合金(組成比Ti:Al=1:1)を用いた。
基材としてポリエチレンテレフタレート(PET)を用いたこと以外は、上記試料108と同様の手順で試料115の透明電極を得た。
高屈折率層に用いる材料を下記表1に示すそれぞれの化合物としたこと以外は、上記試料108と同様の手順で試料116〜118の各透明電極を得た。
以下のようにして、ガラス製の基材上に、チタンからなるチタン含有層を1nmの膜厚で形成し、この上部に銀からなる電極層を8nmの膜厚で形成した。
上記で作製した試料101〜119の各透明電極について、光透過率、およびシート抵抗値を測定した。光透過率の測定は、分光光度計(日立製作所製U−3300)を用い、試料と同じ基材をベースラインとして行った。シート抵抗値の測定は、抵抗率計(三菱化学社製MCP−T610)を用い、4端子4探針法定電流印加方式で行った。この結果を下記表1に合わせて示す。
表1から明らかなように、高屈折率層、チタン含有層、および電極層の3層がこの順に積層された試料107〜118の透明電極は、実質的な導電性を担う銀を用いた電極層が8nmと極薄膜でありながらも、シート抵抗値の測定が可能であり、単層成長型(Frank−van der Merwe:FM型)の膜成長によってほぼ均一な膜厚で形成されていることが確認された。
実施例1で作製した構成の各透明電極を、アノードとして発光機能層の下部に設けたボトムエミッション型の有機電界発光素子を作製した。図6を参照し、作製手順を説明する。尚、下記表2には、試料201〜219の有機電界発光素子に用いた透明電極の構成を示した。各有機電界発光素子には、試料番号の下2ケタが一致する実施例1の各透明電極を用いた。
(透明電極1の形成)
先ず試料201〜219の作製において、透明な無アルカリガラス製の透明基板13’の上部に、各透明電極1を形成した。各透明電極1の形成は、実施例1の試料101〜119と同様の手順で行った。ただし、試料215の作製においては、ポリエチレンテレフタレート(PET)の透明基板13’を用いた。
まず、正孔輸送注入材料として下記構造式に示すα−NPDが入った加熱ボートに通電して加熱し、α−NPDよりなる正孔注入層と正孔輸送層とを兼ねた正孔輸送・注入層31を、透明電極1上に成膜した。この際、蒸着速度0.1nm/秒〜0.2nm/秒、膜厚20nmとした。
次に、先に構造式を示したホスト化合物H4の入った加熱ボートと、先に構造式を示した燐光発光性化合物Ir−4の入った加熱ボートとを、それぞれ独立に通電し、ホスト材料H4と燐光発光性化合物Ir−4とよりなる発光層32を、正孔輸送・注入層31上に成膜した。この際、蒸着速度がホスト材料H4:燐光発光性化合物Ir−4=100:6となるように、加熱ボートの通電を調節した。また膜厚30nmとした。
次いで、正孔阻止材料として下記構造式に示すBAlqが入った加熱ボートに通電して加熱し、BAlqよりなる正孔阻止層33を、発光層32上に成膜した。この際、蒸着速度0.1nm/秒〜0.2nm/秒、膜厚10nmとした。
その後、電子輸送材料として先に構造式を示した化合物10の入った加熱ボートと、フッ化カリウムの入った加熱ボートとを、それぞれ独立に通電し、化合物10とフッ化カリウムとよりなる電子注入層と電子輸送層とを兼ねた電子輸送・注入層34を、正孔阻止層33上に成膜した。この際、蒸着速度が化合物10:フッ化カリウム=75:25になるように、加熱ボートの通電を調節した。また膜厚30nmとした。
以上の後には、発光機能層3が形成された透明基板13’を、真空蒸着装置の第2真空槽内に移送し、第2真空槽内を4×10-4Paまで減圧した後、第2真空槽内に取り付けられたアルミニウムの入った加熱ボードを通電して加熱した。これにより、蒸着速度0.3nm/秒で膜厚100nmのアルミニウムからなる対向電極5-1を形成した。この対向電極5-1は、カソードとして用いられる。以上により透明基板13’上に、ボトムエミッション型の有機電界発光素子EL-1を形成した。
その後、有機電界発光素子EL-1を、厚さ300μmのガラス基板からなる封止材で覆い、有機電界発光素子EL-1を囲む状態で、透明封止材と透明基板13’との間に接着剤(シール材)を充填した。接着剤としては、エポキシ系光硬化型接着剤(東亞合成社製ラックストラックLC0629B)を用いた。透明封止材と透明基板13’との間に充填した接着剤に対して、ガラス基板(透明封止材)側からUV光を照射し、接着剤を硬化させて有機電界発光素子EL-1を封止した。
試料201〜219で作製した有機電界発光素子EL-1(発光パネル)について、駆動電圧および色度差を測定した。この結果を下記表2に合わせて示す。
表2から明らかなように、チタン含有層を有する試料207〜219の有機電界発光素子は、6V以下の低い駆動電圧で1000cd/m2の正面輝度の発光が得られることが確認された。さらにこれらの有機電界発光素子は、視野角による色度差が0.06以下に抑えられていることが確認された。
Claims (11)
- チタン含有層と、
前記チタン含有層に隣接して設けられた銀を主成分とする電極層とを備えた
透明電極。 - 前記電極層との間に前記チタン含有層を狭持して設けられ、金属酸化物で構成された高屈折率層を備える
請求項1記載の透明電極。 - 前記高屈折率層が、二酸化チタン(TiO2)で構成された
請求項2記載の透明電極。 - 前記チタン含有層が、5nm以下の膜厚を有する
請求項1〜3の何れか記載の透明電極。 - 前記チタン含有層が、チタンで構成された
請求項1〜4の何れか記載の透明電極。 - 前記チタン含有層が、チタンを主成分とする合金で構成された
請求項1〜4の何れか記載の透明電極。 - 前記チタン含有層が、チタン酸化物で構成された
請求項1〜4の何れか記載の透明電極。 - 前記チタン含有層が、前記二酸化チタンよりもチタン含有量の多いチタン酸化物で構成された
請求項3記載の透明電極。 - 前記チタン含有層が、チタン窒化物で構成された
請求項1〜4の何れか記載の透明電極。 - 請求項1〜9の何れかに記載の透明電極を有する
電子デバイス。 - 前記電子デバイスが有機電界発光素子である
請求項10記載の電子デバイス。
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