JP2014062835A - Inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus.
従来、長尺状の検査対象物を撮像した画像から当該検査対象物の異常を検出する検査装置が知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an inspection apparatus that detects an abnormality of an inspection object from an image obtained by imaging a long inspection object is known.
この種の検査装置では、比較的簡素な構成で異常が検出されやすくすることが望まれていた。 In this type of inspection apparatus, it has been desired to make it easy to detect abnormalities with a relatively simple configuration.
そこで、本発明は、一例としては、比較的簡素な構成で異常が検出されやすい検査装置を得ることを目的の一つとする。 Therefore, as an example, an object of the present invention is to obtain an inspection apparatus in which an abnormality is easily detected with a relatively simple configuration.
本発明の実施形態にかかる検査装置は、長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、を備えた。 An inspection apparatus according to an embodiment of the present invention illuminates a long inspection object with light from one side in the longitudinal direction and the inspection object with light from the other side in the longitudinal direction. A second light source, a mirror portion that is positioned between the first light source and the second light source in the longitudinal direction and reflects the inspection object, and the inspection object is conveyed in the longitudinal direction. In the state, the first image of the inspection object when illuminated from the one side by the light of the first light source and the illumination when illuminated from the other side by the light of the second light source The inspection object using a plurality of image acquisition units having an imaging unit that acquires a second image of the inspection object via the mirror unit, the first image, and the second image And a detector for detecting an abnormality of the object.
本発明の実施形態にかかる検査装置は、長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され、前記検査対象物に前記長手方向の一方側から光を照らす第三の光源と、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第一のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第一のミラー部を介して取得する第一の撮像部と、を有した第一の画像取得部と、前記長手方向で前記第二の光源と前記第三の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第二のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第三の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第二のミラー部を介して取得する第二の撮像部と、を有した第二の画像取得部と、前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、を備えた。 An inspection apparatus according to an embodiment of the present invention illuminates a long inspection object with light from one side in the longitudinal direction and the inspection object with light from the other side in the longitudinal direction. A second light source, a third light source that is positioned between the first light source and the second light source in the longitudinal direction, and illuminates the inspection object from one side in the longitudinal direction; and A first mirror portion that is positioned between the first light source and the second light source in the longitudinal direction and reflects the inspection object; and the inspection object is conveyed in the longitudinal direction, The first image of the inspection object when illuminated from the one side by the light of the first light source and the inspection object when illuminated from the other side by the light of the second light source A first imaging unit that obtains a second image via the first mirror unit; A first image acquisition unit having: a second mirror unit that is located between the second light source and the third light source in the longitudinal direction and reflects the inspection object; and the inspection object In the state of being conveyed in the longitudinal direction, the other side by the first image of the inspection object and the light of the second light source when illuminated from the one side by the light of the third light source A second imaging unit having a second imaging unit that acquires a second image of the inspection object when illuminated from the second mirror unit, and the first And a detection unit that detects an abnormality of the inspection object using the second image and the second image.
本発明によれば、一例としては、比較的簡素な構成で異常が検出されやすい検査装置を得ることができる。 According to the present invention, as an example, it is possible to obtain an inspection apparatus in which an abnormality is easily detected with a relatively simple configuration.
以下、図面を参照して、実施形態および変形例について詳細に説明する。なお、以下の複数の実施形態および変形例には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、それら同様の構成要素には共通の符号を付与するとともに、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments and modifications will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same component is contained in the following several embodiment and modification. Therefore, in the following, common reference numerals are given to those similar components, and redundant description is omitted.
（第１実施形態）
本実施形態では、一例として、図１および図２に示される検査装置１は、第一の光源２Ｕと、第二の光源２Ｄと、複数の画像取得部１０と、を備えており、検査対象物１００を撮像した画像に基づいて検査対象物１００の検査を行う。本実施形態では、画像取得部１０として、第一の画像取得部１０Ｕと第二の画像取得部１０Ｄとの二つが設けられている。
(First embodiment)
In this embodiment, as an example, the inspection apparatus 1 illustrated in FIGS. 1 and 2 includes a first light source 2U, a second light source 2D, and a plurality of image acquisition units 10, and is an inspection target. The inspection object 100 is inspected based on an image obtained by imaging the object 100. In the present embodiment, two image acquisition units 10 are provided as a first image acquisition unit 10U and a second image acquisition unit 10D.
検査対象物１００は、一例としては、長尺状かつ円管状（または円柱状）の部品（例えば、ホース、チューブ、棒等）である。また、検査装置１は、一例として、その外周に螺旋状の凹部または凸部を有した検査対象物１００の検査を行うことができる。螺旋状の凹部または凸部（溝、突起、段差等）は、螺旋状の巻回物（例えば、テープ、リボン、ワイヤ等、図示されず）を有した場合等に形成されやすい。巻回物は、外周に露出するものと、露出しないものとがある。巻回物が外周に露出せず、外壁（壁部）の内部に巻回物（例えば、ワイヤ等）が設けられた場合、巻回物を覆う部分が螺旋状に突出する。 The inspection object 100 is, for example, a long and circular (or columnar) part (for example, a hose, a tube, a rod, etc.). Moreover, the test | inspection apparatus 1 can test | inspect the test target object 100 which has the spiral recessed part or convex part in the outer periphery as an example. A spiral recess or projection (groove, protrusion, step, etc.) is likely to be formed when a spiral wound (eg, tape, ribbon, wire, etc., not shown) is included. There are some which are exposed to the outer periphery and some which are not exposed. When the wound product is not exposed to the outer periphery and a wound product (for example, a wire) is provided inside the outer wall (wall portion), the portion covering the wound product protrudes in a spiral shape.
また、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、検査対象物１００の長手方向（軸方向）に離間して配置されている。第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、検査対象物１００が挿入される環状（例えば円環状）に構成されている。第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、環状に配置された複数のＬＥＤ（light emitting diode）を有している。長尺状の検査対象物１００は、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの環状部分の内側（例えば、中央部、中央）を貫通し、環状部分の軸方向に沿って延びている。また、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、検査対象物１００の長手方向（軸方向）と直交する面について面対称に配置されている。 Further, the first light source 2U and the second light source 2D are arranged apart from each other in the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100. The first light source 2U and the second light source 2D are configured in an annular shape (for example, an annular shape) into which the inspection object 100 is inserted. The first light source 2U and the second light source 2D have a plurality of LEDs (light emitting diodes) arranged in a ring shape. The elongate inspection object 100 passes through the inside (for example, the center and the center) of the annular portions of the first light source 2U and the second light source 2D, and extends along the axial direction of the annular portion. Further, the first light source 2U and the second light source 2D are arranged in plane symmetry with respect to a plane orthogonal to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100.
また、本実施形態では、一例として、第一の光源２Ｕは、検査対象物１００に当該検査対象物１００の長手方向の一方側から光を照らし、第二の光源２Ｄは、検査対象物１００に当該検査対象物の長手方向の他方側から光を照らす。詳細には、検査対象物１００の撮像領域Ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの間に設定されている。第一の光源２Ｕからの光は、検査対象物１００の長手方向の一方側（図１では左側）から撮像領域Ａに照射され、第二の光源２Ｄからの光は、長手方向の他方側（図１では右側）から撮像領域Ａに照射される。 In the present embodiment, as an example, the first light source 2U illuminates the inspection object 100 with light from one side in the longitudinal direction of the inspection object 100, and the second light source 2D applies to the inspection object 100. Light is illuminated from the other side in the longitudinal direction of the inspection object. Specifically, the imaging region A of the inspection object 100 is set between the first light source 2U and the second light source 2D. The light from the first light source 2U is applied to the imaging region A from one side in the longitudinal direction of the inspection object 100 (left side in FIG. 1), and the light from the second light source 2D is irradiated to the other side in the longitudinal direction ( The imaging region A is irradiated from the right side in FIG.
また、本実施形態では、一例として、検査対象物１００は、検査中、搬送装置３０（図８参照）によって、その長手方向（軸方向）に搬送されている。すなわち、撮像領域Ａは、検査対象物１００の移動に伴って、検査対象物１００の長手方向に沿って移動する。なお、本実施形態では、一例として、検査対象物１００は、第一の光源２Ｕ側から第二の光源２Ｄ側へ移動する。すなわち、第一の光源２Ｕは、撮像領域Ａに対して搬送方向の上流側に位置され、第二の光源２Ｄは、撮像領域Ａに対して搬送方向の下流側に位置されている。したがって、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、それぞれ上流側光源および下流側光源ということができる。検査装置１は、搬送装置３０によって搬送されて移動している検査対象物１００を、検査する。この際、画像取得部１０の撮像部３は、検査対象物１００が当該検査対象物１００の長手方向に搬送されている状態で、第一の光源２Ｕからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像（第一の画像）と第二の光源２Ｄからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像（第二の画像）とを取得する。なお、検査対象物１００を第二の光源２Ｄ側から第一の光源２Ｕ側へ移動させてもよい。 In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 is transported in the longitudinal direction (axial direction) by the transport device 30 (see FIG. 8) during the inspection. That is, the imaging area A moves along the longitudinal direction of the inspection object 100 as the inspection object 100 moves. In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 moves from the first light source 2U side to the second light source 2D side. That is, the first light source 2U is positioned on the upstream side in the transport direction with respect to the imaging region A, and the second light source 2D is positioned on the downstream side in the transport direction with respect to the imaging region A. Therefore, the first light source 2U and the second light source 2D can be referred to as an upstream light source and a downstream light source, respectively. The inspection apparatus 1 inspects the inspection object 100 that is transported and moved by the transport apparatus 30. At this time, the imaging unit 3 of the image acquisition unit 10 performs the inspection when the inspection object 100 is illuminated with the light from the first light source 2U in a state where the inspection object 100 is conveyed in the longitudinal direction of the inspection object 100. An image (first image) of the object 100 and an image (second image) of the inspection object 100 when illuminated by the light from the second light source 2D are acquired. The inspection object 100 may be moved from the second light source 2D side to the first light source 2U side.
また、本実施形態では、一例として、第一の画像取得部１０Ｕおよび第二の画像取得部１０Ｄは、検査対象物１００の長手方向（軸方向、搬送方向）に間隔をあけて設けられている。つまり、複数の画像取得部１０が、検査対象物１００の長手方向で相互にずれて位置されている。第一の画像取得部１０Ｕは、搬送方向の上流側（図１の左側）に位置され、第二の画像取得部１０Ｄは、搬送方向の下流側（図１の右側）に位置されている。したがって、第一の画像取得部１０Ｕおよび第二の画像取得部１０Ｄは、それぞれ上流側画像取得部および下流側画像取得部ということができる。 In the present embodiment, as an example, the first image acquisition unit 10U and the second image acquisition unit 10D are provided at intervals in the longitudinal direction (axial direction, conveyance direction) of the inspection object 100. . In other words, the plurality of image acquisition units 10 are shifted from each other in the longitudinal direction of the inspection object 100. The first image acquisition unit 10U is positioned on the upstream side in the transport direction (left side in FIG. 1), and the second image acquisition unit 10D is positioned on the downstream side in the transport direction (right side in FIG. 1). Therefore, the first image acquisition unit 10U and the second image acquisition unit 10D can be referred to as an upstream image acquisition unit and a downstream image acquisition unit, respectively.
また、本実施形態では、一例として、各画像取得部１０は、撮像部３と、ミラー部４と、を有している。詳細には、本実施形態では、第一の画像取得部１０Ｕは、第一の撮像部３Ｕおよび第一のミラー部４Ｕを有し、第二の画像取得部１０Ｄは、第二の撮像部３Ｄおよび第二のミラー部４Ｄを有している。第一のミラー部４Ｕと第二のミラー部４Ｄとは、検査対象物１００の長手方向で異なる位置に位置されている。一例として、第一のミラー部４Ｕと第二のミラー部４Ｄとのうち第一のミラー部４Ｕの方が、第一の光源２Ｕに近い位置且つ第二の光源２Ｄに遠い位置に位置されている。第１の光源２Ｕの外周部の下端部（照明面の一部）と第一の撮像部３Ｕによる検査対象物１００の撮像ポイントＰ１（撮像箇所、図２）との間の距離ａは、第２の光源２Ｄの外周部の下端部（照明面の一部）と撮像ポイントＰ１との間の距離ｂよりも短い。なお、撮像ポイントＰ１は、一例として、撮像領域Ａに含まれ、検査対象物１００の第一の撮像部３Ｕとは反対側（第一のミラー部４Ｕ側）に位置した部位である。 Moreover, in this embodiment, each image acquisition part 10 has the imaging part 3 and the mirror part 4 as an example. Specifically, in the present embodiment, the first image acquisition unit 10U includes the first imaging unit 3U and the first mirror unit 4U, and the second image acquisition unit 10D includes the second imaging unit 3D. And a second mirror portion 4D. The first mirror unit 4U and the second mirror unit 4D are located at different positions in the longitudinal direction of the inspection object 100. As an example, of the first mirror unit 4U and the second mirror unit 4D, the first mirror unit 4U is positioned closer to the first light source 2U and farther from the second light source 2D. Yes. The distance a between the lower end (a part of the illumination surface) of the outer periphery of the first light source 2U and the imaging point P1 (imaging location, FIG. 2) of the inspection object 100 by the first imaging unit 3U is the first It is shorter than the distance b between the lower end part (a part of illumination surface) of the outer peripheral part of 2 light source 2D, and the imaging point P1. As an example, the imaging point P1 is a part that is included in the imaging region A and is located on the opposite side (first mirror unit 4U side) of the inspection object 100 from the first imaging unit 3U.
各撮像部３（例えば、カメラ等）は、検査対象物１００の径方向外側に位置され、検査対象物１００の表面１００ａ（外面、周面、側面）の画像を取得する。すなわち、撮像領域Ａは、検査対象物１００の表面１００ａの一部である。 Each imaging unit 3 (for example, a camera or the like) is positioned on the radially outer side of the inspection object 100 and acquires an image of the surface 100a (outer surface, peripheral surface, side surface) of the inspection object 100. That is, the imaging region A is a part of the surface 100a of the inspection target 100.
また、本実施形態では、一例として、各撮像部３は、ミラー部４（光学部品、光学系）を介して、撮像領域Ａの画像を取得する。本実施形態では、一例として、各ミラー部４は、複数（本実施形態では、一例として二つ）のミラー４Ｒ，４Ｌ（光学部品）を有する。ミラー部４は、検査対象物１００の長手方向で第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの間に位置され検査対象物１００を映す。ミラー部４は、図３，４に示されるように、検査対象物１００の撮像部３とは反対側に位置されている。ミラー４Ｒ，４Ｌは、検査対象物１００の軸方向からの視線でＶ字状に配置されている。ミラー４Ｒ，４Ｌは互いに１２０°の角度（撮像部３と検査対象物１００とを結ぶ線Ｌに対して互いに反対側に６０°となる角度）となる姿勢で配置されている。ミラー４Ｒ，４Ｌは、いずれも、検査対象物１００の表面１００ａに面した（対向した）平面状の鏡面４ａ（反射面）を有している。鏡面４ａは、検査対象物１００の径方向と略直交する面に沿って拡がっている。二つの鏡面４ａは、相互に異なる方向を向いている。二つの鏡面４ａは、撮像部３の光軸（線Ｌ）に沿って撮像部３から離れる方向に向かうにつれ相互に近づいている。また、ミラー４Ｒ，４Ｌは、検査対象物１００の長手方向（軸方向）と直交する面に沿って帯状に延びている。このような構成では、撮像領域Ａは、検査対象物１００の表面１００ａの全周のうち、ミラー４Ｒ，４Ｌに面した約７割の領域である。なお、本実施形態では、一例として、隣接するミラー４Ｒ，４Ｌは一体化されているが、分離されていてもよい。 In the present embodiment, as an example, each imaging unit 3 acquires an image of the imaging region A via the mirror unit 4 (optical component, optical system). In the present embodiment, as an example, each mirror unit 4 includes a plurality of (in the present embodiment, two as an example) mirrors 4R and 4L (optical components). The mirror unit 4 is positioned between the first light source 2U and the second light source 2D in the longitudinal direction of the inspection object 100 and reflects the inspection object 100. As shown in FIGS. 3 and 4, the mirror unit 4 is located on the opposite side of the inspection object 100 from the imaging unit 3. The mirrors 4R and 4L are arranged in a V shape with a line of sight from the axial direction of the inspection object 100. The mirrors 4 </ b> R and 4 </ b> L are arranged in an attitude that is an angle of 120 ° with each other (an angle that is 60 ° on the opposite side with respect to the line L connecting the imaging unit 3 and the inspection object 100). Each of the mirrors 4R and 4L has a planar mirror surface 4a (reflection surface) facing (opposed) to the surface 100a of the inspection object 100. The mirror surface 4 a extends along a surface that is substantially orthogonal to the radial direction of the inspection object 100. The two mirror surfaces 4a face different directions. The two mirror surfaces 4a approach each other as they go away from the imaging unit 3 along the optical axis (line L) of the imaging unit 3. Further, the mirrors 4R and 4L extend in a band shape along a plane orthogonal to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100. In such a configuration, the imaging area A is an area of about 70% facing the mirrors 4R and 4L in the entire circumference of the surface 100a of the inspection object 100. In the present embodiment, as an example, the adjacent mirrors 4R and 4L are integrated, but may be separated.
各画像取得部１０では、撮像部３およびミラー部４の配置が相互に異なっている。本実施形態では、一例として、搬送方向の上流側に位置された第一の画像取得部１０Ｕでは、図１の上側に第一の撮像部３Ｕが位置し、下側に第一のミラー部４Ｕが位置する。よって、第一の画像取得部１０Ｕでは、第一の撮像部３Ｕが、検査対象物１００の図１の下側の領域（撮像領域Ａ）の画像を取得する。一方、下流側に位置された第二の画像取得部１０Ｄでは、図１の下側に第二の撮像部３Ｄが位置し、上側の第二のミラー部４Ｄが位置する。よって、第二の画像取得部１０Ｄでは、第二の撮像部３Ｄが、検査対象物１００の図１の上側の領域（撮像領域Ａ）の画像を取得する。すなわち、複数（本実施形態では二つ）の撮像部３（第一の撮像部３Ｕ、第二の撮像部３Ｄ）は、それぞれ、検査対象物１００の表面１００ａの相異なる領域（部位、位置）を撮像する。これにより、複数の撮像部３によって検査対象物１００の全周が撮像される。 In each image acquisition unit 10, the arrangement of the imaging unit 3 and the mirror unit 4 is different from each other. In the present embodiment, as an example, in the first image acquisition unit 10U positioned on the upstream side in the transport direction, the first imaging unit 3U is positioned on the upper side in FIG. 1 and the first mirror unit 4U on the lower side. Is located. Therefore, in the first image acquisition unit 10U, the first imaging unit 3U acquires an image of the lower region (imaging region A) in FIG. On the other hand, in the second image acquisition unit 10D positioned on the downstream side, the second imaging unit 3D is positioned on the lower side of FIG. 1, and the upper second mirror unit 4D is positioned. Therefore, in the second image acquisition unit 10D, the second imaging unit 3D acquires an image of the upper region (imaging region A) of FIG. That is, a plurality (two in the present embodiment) of the imaging units 3 (first imaging unit 3U and second imaging unit 3D) are respectively different regions (parts and positions) on the surface 100a of the inspection object 100. Image. Accordingly, the entire circumference of the inspection object 100 is imaged by the plurality of imaging units 3.
また、本実施形態では、一例として、撮像部３は、ラインカメラ（ラインセンサ）として構成されている。撮像部３は、検査対象物１００の幅方向に沿って一列に配置された複数の光電変換素子（撮像素子、図示されず）を有する。すなわち、撮像部３は、検査対象物１００の幅方向に沿った線状の画像（画像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列）を取得する。各撮像素子では、例えば２５６階調で輝度値のデータが取得される。撮像部３は、撮像される各時刻（タイミング）で、一次元の画像を取得する。モノクロ（白黒）の撮像部３の場合、各撮像素子について一つの画像データが取得され、カラーの撮像部３の場合、各撮像素子について複数（例えば、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の三つ）の画像データが取得される。 In the present embodiment, as an example, the imaging unit 3 is configured as a line camera (line sensor). The imaging unit 3 has a plurality of photoelectric conversion elements (imaging elements, not shown) arranged in a line along the width direction of the inspection object 100. That is, the imaging unit 3 acquires a linear image (image data, luminance value data for each pixel corresponding to each photoelectric conversion element, luminance value data string) along the width direction of the inspection object 100. In each image sensor, luminance value data is acquired with, for example, 256 gradations. The imaging unit 3 acquires a one-dimensional image at each time (timing) when the imaging is performed. In the case of the monochrome (monochrome) imaging unit 3, one image data is acquired for each imaging device, and in the case of the color imaging unit 3, a plurality (for example, R (red) G (green) B (blue) is obtained for each imaging device. 3) of image data is acquired.
また、本実施形態では、一例として、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄによる検査対象物１００への光の照射は交互に実行される。そして、撮像部３による撮像（画像の取得）と、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄによる検査対象物１００への光の照射（一例としては第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの発光、切り替え）とが、同期されている。すなわち、本実施形態では、一例として、図５に示されるように、各撮像部３は、第一の光源２Ｕからの光で照らされている際の検査対象物１００の一次元の画像ＩＬ１（第一の画像、線状画像、画像データ、図５中では「１」と表記）と、第二の光源２Ｄからの光で照らされている際の検査対象物１００の一次元の画像ＩＬ２（第二の画像、線状画像、画像データ、図５中では「２」と表記）とを、交互に取得する。制御部２０（図８参照）は、第一の光源２Ｕからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像ＩＬ１を取得順に並べて二次元の画像ＩＡ１（第一の画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群）を得ることができるとともに、第二の光源２Ｄからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像ＩＬ２を取得順に並べて二次元の画像ＩＡ２（第二の画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群）を得ることができる。 In the present embodiment, as an example, the irradiation of light to the inspection object 100 by the first light source 2U and the second light source 2D is executed alternately. Then, imaging (acquisition of images) by the imaging unit 3 and irradiation of light to the inspection object 100 by the first light source 2U and the second light source 2D (for example, the first light source 2U and the second light source 2D). Are synchronized with each other. That is, in this embodiment, as an example, as illustrated in FIG. 5, each imaging unit 3 has a one-dimensional image IL <b> 1 (1) of the inspection object 100 when illuminated by the light from the first light source 2 </ b> U. A first image, a linear image, image data (indicated as “1” in FIG. 5), and a one-dimensional image IL2 of the inspection object 100 when illuminated by light from the second light source 2D ( The second image, the linear image, the image data, and “2” in FIG. 5) are alternately obtained. The control unit 20 (see FIG. 8) arranges the images IL1 of the inspection object 100 when illuminated by the light from the first light source 2U in the order of acquisition and arranges the two-dimensional image IA1 (first image, image data, A data group of luminance values arranged two-dimensionally), and images IL2 of the inspection object 100 illuminated with light from the second light source 2D are arranged in the order of acquisition to obtain a two-dimensional image IA2 (Second image, image data, data group of luminance values arranged two-dimensionally) can be obtained.
第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄからの光の照射（切り替え）および撮像部３による撮像の周波数や、搬送装置３０による検査対象物１００の搬送速度等を適宜に設定することにより、図６，７に例示されるような画像ＩＡ１，ＩＡ２が得られる。なお、図６，７は、画像ＩＡ１，ＩＡ２の一例を示しており、実際には各撮像部３は検査対象物１００の周方向で相互に異なる部位を撮像するので、各撮像部３に対応する画像ＩＡ１，ＩＡ２は相互に異なる部位の画像となる。第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄからの光の切り替えの周波数、すなわち撮像部３によるライン毎の撮像の周波数は、比較的高い値（例えば６ｋＨｚ等）に設定される。よって、画像ＩＡ１，ＩＡ２を、検査対象物１００の表面１００ａ（の半周分）を静止状態でエリアセンサ（二次元の領域を撮像する撮像部）によって撮像した画像に類似させることができる。ラインセンサは、エリアセンサより分解能が比較的高く、また応答性も比較的高いため、ラインセンサを用いることで、より精度の高い異常検出（検査）が可能となる場合がある。画像ＩＡ１，ＩＡ２では、含まれる画像ＩＬ１，ＩＬ２中でのデータの配列方向（図５〜７で左右方向）が、検査対象物１００の幅方向（短手方向）に対応し、画像ＩＡ１，ＩＡ２中で画像ＩＬ１，ＩＬ２が並べられた方向（図５〜７で上下方向）が、検査対象物１００の長手方向（軸方向）に対応する。 By appropriately setting the irradiation (switching) of the light from the first light source 2U and the second light source 2D, the imaging frequency by the imaging unit 3, the conveyance speed of the inspection object 100 by the conveyance device 30, and the like. Images IA1 and IA2 as illustrated in FIGS. 6 and 7 show an example of the images IA1 and IA2. Actually, each imaging unit 3 images different parts in the circumferential direction of the inspection object 100, and therefore corresponds to each imaging unit 3. The images IA1 and IA2 to be performed are images of different parts. The switching frequency of light from the first light source 2U and the second light source 2D, that is, the imaging frequency for each line by the imaging unit 3 is set to a relatively high value (for example, 6 kHz). Therefore, the images IA1 and IA2 can be made to be similar to an image captured by the area sensor (an imaging unit that captures a two-dimensional region) while the surface 100a (for half of the surface) of the inspection target 100 is stationary. Since the line sensor has a relatively high resolution and a relatively high response compared to the area sensor, the use of the line sensor may enable more accurate abnormality detection (inspection). In the images IA1 and IA2, the arrangement direction of data in the included images IL1 and IL2 (left and right directions in FIGS. 5 to 7) corresponds to the width direction (short direction) of the inspection object 100, and the images IA1 and IA2 The direction in which the images IL1 and IL2 are arranged (the vertical direction in FIGS. 5 to 7) corresponds to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100.
上述したように、各撮像部３は、複数（本実施形態では、一例として二つ）のミラー４Ｒ，４Ｌを介して検査対象物１００の画像を取得するため、図６，７に示されるように、上記構成の検査装置１で得られた画像ＩＡ１，ＩＡ２には、それぞれ、検査対象物１００の複数（二つ）の画像Ｉａ，Ｉｂが含まれる。これら画像Ｉａ，Ｉｂは、検査対象物１００の撮像部３とは反対側（ミラー４Ｒ，４Ｌが位置された側）を、撮像部３と検査対象物１００とを結ぶ線Ｌ（図３，４参照）から外れた位置より見た画像である。また、二次元の画像ＩＡ１，ＩＡ２には、画像Ｉａと画像Ｉｂとの間に、検査対象物１００のミラー４Ｒ，４Ｌを介さない画像Ｉｎが含まれている。しかしながら、本実施形態では、一例として、撮像部３の焦点は、画像Ｉａ，Ｉｂに対応して設定されているため、画像Ｉｎはぼやけている。すなわち、本実施形態では、一例として、画像Ｉｎは、異常検出には用いられない。また、これら画像Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｎの背景は、暗く設定されている。本実施形態にかかる検査装置１の制御部２０は、このようにして得られた二次元の画像ＩＡ１，ＩＡ２に基づいて画像処理を実行し、検査対象物１００の表面１００ａの異常（画像Ｉａ，Ｉｂに関連して写っている異常に対応した形状）を検出する。この検査装置１で検出対象となる異常には、例えば、図６，７に示されるように、検査対象物１００の表面１００ａに生じた皺や傷等の異常Ａ１や、突出物（糸状物）等の異常Ａ２等がある。なお、検査装置１は、これら以外の異常（例えば検査対象物１００の幅の異常等）も検出することができる。一例として、検査対象物１００の幅が規定範囲外である場合に、その幅が異常であると検出される。また、画像ＩＬ１，ＩＬ２にも、画像Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｎ（ただし、１ライン分）は含まれている。 As described above, each imaging unit 3 acquires an image of the inspection object 100 via a plurality of (in the present embodiment, two as an example) mirrors 4R and 4L, as shown in FIGS. In addition, the images IA1 and IA2 obtained by the inspection apparatus 1 having the above-described configuration include a plurality (two) of images Ia and Ib of the inspection object 100, respectively. These images Ia and Ib are lines L (FIGS. 3 and 4) connecting the imaging unit 3 and the inspection object 100 on the opposite side of the inspection object 100 from the imaging unit 3 (the side where the mirrors 4R and 4L are located). It is an image viewed from a position deviating from (see). The two-dimensional images IA1 and IA2 include an image In that does not pass through the mirrors 4R and 4L of the inspection object 100 between the image Ia and the image Ib. However, in the present embodiment, as an example, the focus of the imaging unit 3 is set corresponding to the images Ia and Ib, and thus the image In is blurred. That is, in this embodiment, as an example, the image In is not used for abnormality detection. The backgrounds of these images Ia, Ib, and In are set dark. The control unit 20 of the inspection apparatus 1 according to the present embodiment executes image processing based on the two-dimensional images IA1 and IA2 obtained in this way, and the abnormality of the surface 100a of the inspection object 100 (image Ia, The shape corresponding to the abnormality reflected in relation to Ib is detected. For example, as shown in FIGS. 6 and 7, abnormalities to be detected by the inspection apparatus 1 include abnormalities A1 such as wrinkles and scratches on the surface 100 a of the inspection object 100, and protrusions (threads) There are abnormalities such as A2. The inspection apparatus 1 can also detect other abnormalities (for example, abnormal width of the inspection object 100). As an example, when the width of the inspection object 100 is outside the specified range, it is detected that the width is abnormal. The images IL1 and IL2 also include images Ia, Ib, and In (however, for one line).
本実施形態では、一例として、図８に示されるように、検査装置１は、制御部２０（例えばＣＰＵ（central processing unit）等）や、ＲＯＭ２１（read only memory）、ＲＡＭ２２（random access memory）、ＳＳＤ２３（solid state drive）、光照射コントローラ２４、撮像コントローラ２５、搬送コントローラ２６、表示コントローラ２７等を備えることができる。光照射コントローラ２４は、制御部２０からの制御信号に基づいて、第一および第二の光源２Ｕ，２Ｄの発光（オン、オフ）等を制御する。なお、開閉を切り替えて光の出射と出射停止とを切り替えるシャッター等の可変装置が設けられた場合には、当該可変装置の動作が制御される。撮像コントローラ２５は、制御部２０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。搬送コントローラ２６は、制御部２０から受けた制御信号に基づいて、搬送装置３０を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ２７は、制御部２０からの制御信号に基づいて、表示装置４０（例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）、ＯＥＬＤ（organic electroluminescent display）等）を制御する。また、制御部２０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ２１やＳＳＤ２３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ２２は、制御部２０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図８に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部２０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。 In this embodiment, as an example, as illustrated in FIG. 8, the inspection apparatus 1 includes a control unit 20 (for example, a CPU (central processing unit)), a ROM 21 (read only memory), a RAM 22 (random access memory), An SSD 23 (solid state drive), a light irradiation controller 24, an imaging controller 25, a transport controller 26, a display controller 27, and the like can be provided. The light irradiation controller 24 controls light emission (on, off) and the like of the first and second light sources 2U and 2D based on a control signal from the control unit 20. Note that when a variable device such as a shutter that switches between opening and closing of light by switching between opening and closing is provided, the operation of the variable device is controlled. The imaging controller 25 controls imaging by the imaging unit 3 based on a control signal from the control unit 20. The transport controller 26 controls the transport device 30 based on the control signal received from the control unit 20 and controls transport (start, stop, speed, etc.) of the inspection object 100. The display controller 27 controls the display device 40 (for example, a liquid crystal display (LCD), an organic electroluminescent display (OELD), etc.) based on a control signal from the control unit 20. Further, the control unit 20 reads and executes a program (application) installed in the ROM 21 or the SSD 23 as a nonvolatile storage unit. The RAM 22 temporarily stores various data used when the control unit 20 executes programs and executes various arithmetic processes. Note that the hardware configuration shown in FIG. 8 is merely an example, and various modifications such as a chip or a package can be implemented. Various arithmetic processes can be performed in parallel, and the control unit 20 or the like can have a hardware configuration capable of parallel processing.
また、本実施形態では、一例として、制御部２０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。一例として、制御部２０は、画像取得制御部２０ａおよび検出部２０ｂ等として機能する。 In the present embodiment, as an example, the control unit 20 functions (operates) as at least a part of the inspection apparatus 1 in cooperation with hardware and software (program). As an example, the control unit 20 functions as an image acquisition control unit 20a, a detection unit 20b, and the like.
画像取得制御部２０ａは、光照射コントローラ２４、撮像コントローラ２５、搬送コントローラ２６を介して、第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第一の撮像部３Ｕ、第二の撮像部３Ｄを制御する。画像取得制御部２０ａによって各部が制御されることで、第一の画像取得部１０Ｕと第二の画像取得部１０Ｄが、それぞれ第一の画像と第二の画像とを取得する。 The image acquisition control unit 20a controls the first light source 2U, the second light source 2D, the first imaging unit 3U, and the second imaging unit 3D via the light irradiation controller 24, the imaging controller 25, and the transport controller 26. To do. The respective units are controlled by the image acquisition control unit 20a, whereby the first image acquisition unit 10U and the second image acquisition unit 10D acquire the first image and the second image, respectively.
検出部２０ｂは、画像取得制御部２０ａによって取得された第一の画像と第二の画像とを用いて検査対象物１００の異常を検出する。ここで、検査対象物１００の表面１００ａにおける平坦（平滑）部分では、第一の画像の輝度と第二の画像の輝度とにほとんど差が無い。一方、検査対象物１００の表面１００ａの凹凸部分では、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとからの光の照射方向の違いから、第一の画像の輝度と第二の画像の輝度とに差が生じる。そこで、検出部２０ｂは、一例として、撮像部３によって撮像された第一の画像と第二の画像との輝度の差をとり、検査対象物１００の傷等の異常（不良）を顕在化させることで、検査対象物１００の異常を検出する（差分方式）。 The detection unit 20b detects an abnormality of the inspection object 100 using the first image and the second image acquired by the image acquisition control unit 20a. Here, in the flat (smooth) portion of the surface 100a of the inspection object 100, there is almost no difference between the luminance of the first image and the luminance of the second image. On the other hand, in the uneven portion of the surface 100a of the inspection object 100, the luminance of the first image and the luminance of the second image are determined from the difference in the light irradiation direction from the first light source 2U and the second light source 2D. There will be a difference. Therefore, as an example, the detection unit 20b takes the difference in luminance between the first image and the second image captured by the imaging unit 3, and reveals an abnormality (defect) such as a scratch on the inspection target 100. Thus, the abnormality of the inspection object 100 is detected (difference method).
ここで、上記の差分方式では、基本的には、検査対象物１００の平坦部分に対する第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響は略等しく、検査対象物１００の凹凸部分に対する第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響が異なるということを利用するものである。しかしながら、図２に示された距離ａと距離ｂとが等しく無く、撮像領域Ａと第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離が異なる場合には、検査対象物１００の平坦部分に対する第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響が異なるものとなる。一例として、距離ａが距離ｂよりも短い場合には、第一の光源２Ｕの方が、第二の光源２Ｄに比べて、第一の撮像部３Ｕに近い位置となる。このため、第一の撮像部３Ｕが取得する第一の画像は、第一の撮像部３Ｕが取得する第二の画像よりも明るくなり易い。このように、距離ａと距離ｂとが等しくなく、撮像領域Ａ（ミラー部４）と第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離が異なる場合には、検査対象物１００の平坦部分であるか凹凸部分であるかを問わず、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響が異なるものとなってしまう。即ち、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで撮像領域Ａ（ミラー部４）に対する光量のばらつきが発生してしまう。 Here, in the above difference method, basically, the influence of the first light source 2U and the second light source 2D on the flat portion of the inspection object 100 is substantially equal, and the first difference with respect to the uneven portion of the inspection object 100 is the same. The light source 2U and the second light source 2D have different influences. However, when the distance a and the distance b shown in FIG. 2 are not equal and the distance between the imaging region A and the first light source 2U and the second light source 2D is different, the second portion relative to the flat portion of the inspection object 100 is used. The influence of the one light source 2U and the second light source 2D is different. As an example, when the distance a is shorter than the distance b, the first light source 2U is closer to the first imaging unit 3U than the second light source 2D. For this reason, the first image acquired by the first imaging unit 3U is likely to be brighter than the second image acquired by the first imaging unit 3U. As described above, when the distance a and the distance b are not equal and the distance between the imaging region A (mirror part 4) and the first light source 2U and the second light source 2D is different, the flat portion of the inspection object 100 is used. Regardless of whether it is an uneven portion or not, the influence of the first light source 2U and the second light source 2D will be different. That is, the first light source 2U and the second light source 2D cause a variation in the amount of light with respect to the imaging region A (mirror unit 4).
そこで、本実施形態では、画像取得制御部２０ａが、撮像ポイントＰ１と第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄとの距離に応じて、それらの第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの光の強度を変更するようにしている。距離ａが距離ｂよりも短い場合、第一の光源２Ｕの方が第二の光源２Ｄに比べて第一の撮像部３Ｕに近い分、第一の撮像部３Ｕの撮像画像においては、第一の画像の方が第二の画像よりも明るくなり易い。この傾向は、第一の光源２Ｕの強度（明るさ）を第二の光源２Ｄの強度に対して相対的に小さく調整することで抑えることができる。但し、距離ａが距離ｂよりも短い場合、第二の撮像部３Ｄによる検査対象物１００の撮像ポイントに対しても、第一の撮像部３Ｕの場合のように、第一の光源２Ｕの方が第二の光源２Ｄに比べて近くなるとは限らない。本実施形態では、一例として、第二の撮像部３Ｄによる検査対象物１００の撮像ポイントに対しては、第二の光源２Ｄの方が第一の光源２Ｕよりも近くなっている。この場合、第二の撮像部３Ｄの撮像に対しては、第二の光源２Ｄの光の強度を第一の光源２Ｕの光の強度に対して相対的に小さくしなければならない。このように、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの光の強度を変更するには、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとの撮像タイミングをずらすことで対応可能である。以下に、画像取得制御部２０ａが行う処理を詳しく説明する。 Therefore, in the present embodiment, the image acquisition control unit 20a determines whether the first light source 2U and the second light source 2D are in accordance with the distance between the imaging point P1, the first light source 2U, and the second light source 2D. The light intensity is changed. When the distance a is shorter than the distance b, the first light source 2U is closer to the first imaging unit 3U than the second light source 2D. The image is likely to be brighter than the second image. This tendency can be suppressed by adjusting the intensity (brightness) of the first light source 2U to be relatively small with respect to the intensity of the second light source 2D. However, when the distance a is shorter than the distance b, the first light source 2U is also applied to the imaging point of the inspection object 100 by the second imaging unit 3D as in the first imaging unit 3U. Is not necessarily closer than the second light source 2D. In this embodiment, as an example, the second light source 2D is closer to the first light source 2U than the imaging point of the inspection object 100 by the second imaging unit 3D. In this case, for imaging by the second imaging unit 3D, the light intensity of the second light source 2D must be relatively small with respect to the light intensity of the first light source 2U. As described above, the light intensity of the first light source 2U and the second light source 2D can be changed by shifting the imaging timings of the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D. . Below, the process which the image acquisition control part 20a performs is demonstrated in detail.
画像取得制御部２０ａは、一例として、図９に示されるようなタイミングチャートで撮像制御処理を実行する。図９において、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの縦軸は、光の強度を示している。また、図９の第一の撮像部シャッター信号は、第一の撮像部３Ｕに対してのパルス信号であり、当該信号の間、第一の撮像部３Ｕが撮像を行う。また、第二の撮像部シャッター信号は、第二の撮像部３Ｄに対してのパルス信号であり、当該信号の間、第二の撮像部３Ｄが撮像を行う。 As an example, the image acquisition control unit 20a executes the imaging control process using a timing chart as shown in FIG. In FIG. 9, the vertical axes of the first light source 2U and the second light source 2D indicate the light intensity. Further, the first imaging unit shutter signal in FIG. 9 is a pulse signal for the first imaging unit 3U, and the first imaging unit 3U performs imaging during the signal. The second imaging unit shutter signal is a pulse signal for the second imaging unit 3D, and the second imaging unit 3D performs imaging during the signal.
図９に示されるように、画像取得制御部２０ａは、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとの撮像タイミングをずらす。一例として、画像取得制御部２０ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとに光を交互に照射させるとともに、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得と、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得と、を交互に行わせる。一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。 As illustrated in FIG. 9, the image acquisition control unit 20a shifts the imaging timings of the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D. As an example, the image acquisition control unit 20a alternately irradiates light to the first light source 2U and the second light source 2D, and causes the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D to Acquisition of the first image by the imaging unit 3U and acquisition of the first image by the second imaging unit 3D, acquisition of the second image by the first imaging unit 3U, and second acquisition by the second imaging unit 3D Acquiring images alternately. As an example, the acquisition of the first image by the first imaging unit 3U, the acquisition of the first image by the second imaging unit 3D, the acquisition of the second image by the first imaging unit 3U, the second imaging unit Acquisition of the second image by 3D is repeatedly performed in order.
画像取得制御部２０ａは、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得の際、第一の光源２Ｕに連続して光を出射させ、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得の際、第二の光源２Ｄに連続して光を出射させる。また、画像取得制御部２０ａは、第一の撮像部３Ｕが撮像する際には、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで第一のミラー部４Ｕに対して遠い方（本実施形態では第二の光源２Ｄ）の光の強度を近い方（本実施形態では第一の光源２Ｕ）の光の強度よりも強くする。また、画像取得制御部２０ａは、第二の撮像部３Ｄが撮像する際には、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄとで第二のミラー部４Ｄに遠い方（本実施形態では第一の光源２Ｕ）の光の強度を近い方（本実施形態では第二の光源２Ｄ）の光の強度よりも強くする。なお、各光源２Ｕ，２Ｄの強度（出力レベル）の変更は、光源２Ｕ，２Ｄに印加する電圧を変更したり、点灯させるＬＥＤを増減させたりすることで実現可能である。以上の処理によって、本実施形態では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の、第一の撮像部３Ｕのそれぞれの露光量を略同じにするとともに、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の、第二の撮像部３Ｄのそれぞれの露光量を略同じにしている。なお、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで撮像領域Ａに対する光量のばらつきの発生を抑制するために、光源２Ｕ，２Ｄの強度を変更する代わりに、撮像部３のシャッター開放時間（露光時間）を変更して、撮像部３の露光量を第一の画像の取得の際と第二の画像の取得の際とで略同じにしてもよいし、撮像画像をシェーディング補正してもよい。 For example, the image acquisition control unit 20a continuously transmits light to the first light source 2U when the first imaging unit 3U acquires the first image and the second imaging unit 3D acquires the first image. And the second light source 2D emits light continuously when the second image is acquired by the first imaging unit 3U and the second image is acquired by the second imaging unit 3D. In addition, when the first imaging unit 3U captures an image, the image acquisition control unit 20a is farther from the first mirror unit 4U between the first light source 2U and the second light source 2D (this embodiment). Then, the light intensity of the second light source 2D) is made stronger than the light intensity of the closer one (first light source 2U in the present embodiment). Further, when the second imaging unit 3D captures an image, the image acquisition control unit 20a is farther from the second mirror unit 4D with the first light source 2U and the second light source 2D (in the present embodiment, the first light source 2D). The light intensity of one light source 2U is made stronger than the light intensity of the closer one (second light source 2D in this embodiment). The intensity (output level) of each light source 2U, 2D can be changed by changing the voltage applied to the light sources 2U, 2D or increasing / decreasing the LEDs to be lit. With the above processing, in the present embodiment, the exposure amounts of the first imaging unit 3U at the time of acquiring the first image and the second image by the first imaging unit 3U are made substantially the same. In addition, the exposure amounts of the second imaging unit 3D at the time of acquiring the first image and the second image by the second imaging unit 3D are substantially the same. In addition, in order to suppress the variation in the amount of light with respect to the imaging region A between the first light source 2U and the second light source 2D, instead of changing the intensity of the light sources 2U and 2D, the shutter opening time ( (Exposure time) may be changed so that the exposure amount of the imaging unit 3 is made substantially the same between the acquisition of the first image and the acquisition of the second image. Good.
本実施形態では、以上の処理によって、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで撮像領域Ａ（ミラー部４）に対する光量のばらつきの発生を抑制することができる。そして、本実施形態では、以上の処理によって取得された第一の画像と第二の画像とを用いて、検出部２０ｂが検査対象物１００の異常を検出するので、検査対象物１００の異常が良好に検出されやすい。また、本実施形態では、複数（具体的には二つ）の画像取得部１０に対して光源が二つ（第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄ）である。したがって、本実施形態によれば、複数の撮像部３の撮像にそれぞれ個別の光源が用いられる構成、つまり、各画像取得部に対して二つの光源がそれぞれ設けられる場合（合計、四つの光源が設けられる場合）に比べて、比較的簡素な構成で検査対象物１００の異常を良好に検出することができる。 In the present embodiment, it is possible to suppress the occurrence of variations in the amount of light with respect to the imaging region A (mirror part 4) between the first light source 2U and the second light source 2D by the above processing. And in this embodiment, since the detection part 20b detects abnormality of the test target object 100 using the 1st image and 2nd image which were acquired by the above process, abnormality of the test target object 100 is detected. It is easy to detect well. Further, in the present embodiment, there are two light sources (first light source 2U and second light source 2D) for a plurality (specifically, two) of image acquisition units 10. Therefore, according to the present embodiment, a configuration in which individual light sources are used for imaging by the plurality of imaging units 3, that is, in the case where two light sources are provided for each image acquisition unit (total of four light sources are provided). Compared to the case where the inspection object 100 is provided, the abnormality of the inspection object 100 can be detected well with a relatively simple configuration.
（第１変形例）
本変形例では、一例として、図１０に示されるように、画像制御取得部２０ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとのうちの一方（本変形例では第二の光源２Ｄ）の光の強度を、第一の撮像部３Ｕによる撮像の際と第二の撮像部３Ｄによる撮像の際とで同じにするとともに、上記一方（本変形例では第二の光源２Ｄ）が光を連続して照射している間に、当該光での撮像を第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに行わせる。この際、第二の光源２Ｄの光の強度は、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも大きく、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも小さい。本変形例では、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。なお、上記の第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとのうちの一方は、第一の光源２Ｕであってもよい。
(First modification)
In the present modification, as an example, as illustrated in FIG. 10, the image control acquisition unit 20a has one of the first light source 2U and the second light source 2D (second light source 2D in the present modification). Of the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D, and the above one (second light source 2D in this modification) emits light. During continuous irradiation, the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D are caused to perform imaging with the light. At this time, the intensity of the light from the second light source 2D is larger than the intensity of the light from the first light source 2U at the time of acquiring the first image by the first imaging unit 3U as an example. It is smaller than the light intensity of the first light source 2U when the first image is acquired by the unit 3D. In this modification, as an example, acquisition of the first image by the first imaging unit 3U, acquisition of the first image by the second imaging unit 3D, acquisition of the second image by the first imaging unit 3U, Acquisition of the second image by the second imaging unit 3D is repeatedly performed in order. One of the first light source 2U and the second light source 2D may be the first light source 2U.
以上説明したとおり、本変形例では、一例として、画像制御取得部２０ａが、第二の光源２Ｄの光の強度を、第一の撮像部３Ｕによる撮像の際と第二の撮像部３Ｄによる撮像の際とで同じにするとともに、第二の光源２Ｄが光を連続して照射している間に、当該光での撮像を第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに行わせる。したがって、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の撮像と第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の撮像の際に、第二の光源２Ｄの強度のレベルを変更しなくてよい。よって、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の撮像と第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の撮像とを第二の光源２Ｄからの光の強度が十分になった状態で行うことができる。なお、一例として、図９の例の場合、露光時間を少なくしてより早く撮像しようとした場合、光量がピークになる前に撮像が開始されてしまう可能性があるが、本変形例では、そのようなことが発生するのを抑制することができる。 As described above, in the present modification, as an example, the image control acquisition unit 20a determines the intensity of the light from the second light source 2D during imaging by the first imaging unit 3U and imaging by the second imaging unit 3D. While the second light source 2D is continuously irradiating light, the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D perform imaging with the light. . Therefore, the intensity level of the second light source 2D does not have to be changed when the second image is captured by the first imaging unit 3U and the second image is captured by the second imaging unit 3D. Therefore, the imaging of the second image by the first imaging unit 3U and the imaging of the second image by the second imaging unit 3D are performed in a state where the intensity of light from the second light source 2D is sufficient. Can do. As an example, in the case of the example of FIG. 9, if the exposure time is reduced and an attempt is made to image earlier, imaging may be started before the light intensity reaches a peak. The occurrence of such a situation can be suppressed.
（第２変形例）
本変形例では、図１１に示されるように、画像取得制御部２０ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとに光を交互に照射させるとともに、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像および第二の画像の取得と、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像および第二の画像の取得と、を交互に行わせる。また、この際、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得の際と第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得の際とで、第二の光源２Ｄの強度を略同じにする。また、第二の光源２Ｄの光の強度は、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも大きく、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも小さい。一例として、本変形例では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。したがって、本変形例では、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ）における一度（一回）の光の照射で撮像は１回となっている。
(Second modification)
In the present modification, as shown in FIG. 11, the image acquisition control unit 20a alternately irradiates light to the first light source 2U and the second light source 2D, and the first imaging unit 3U and the second light source 2D. Acquisition of the first and second images by the first imaging unit 3U and acquisition of the first and second images by the second imaging unit 3D alternately. Let it be done. At this time, the intensity of the second light source 2D is substantially the same when the second image is acquired by the first imaging unit 3U and when the second image is acquired by the second imaging unit 3D. To do. The intensity of the light from the second light source 2D is, for example, greater than the intensity of the light from the first light source 2U when the first image is acquired by the first imaging unit 3U. It is smaller than the light intensity of the first light source 2U at the time of acquiring the first image by 3D. As an example, in this modification, the acquisition of the first image by the first imaging unit 3U, the acquisition of the second image by the first imaging unit 3U, the acquisition of the first image by the second imaging unit 3D, Acquisition of the second image by the second imaging unit 3D is repeatedly performed in order. Therefore, in this modification, imaging is performed once by irradiating light once (once) in each light source (first light source 2U, second light source 2D).
以上説明した本変形例によれば、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとに光を交互に照射させるので、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとがそれぞれ間隔をあけて光を出射することができる。よって、第一の光源２Ｕや第二の光源２Ｄが、連続して光を出射しながら光の強度を変更する場合に比べて、第一の光源２Ｕや第二の光源２Ｄの光の強度が比較的に安定した状態で、第一の撮像部３Ｕおよび第二の撮像部３Ｄが撮像することができる。 According to the modification described above, the first light source 2U and the second light source 2D are alternately irradiated with light, so that the first light source 2U and the second light source 2D are spaced apart from each other. Can be emitted. Therefore, compared with the case where the first light source 2U and the second light source 2D change the light intensity while emitting light continuously, the light intensity of the first light source 2U and the second light source 2D is higher. The first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D can capture images in a relatively stable state.
（第３変形例）
本変形例では、検出部２０ｂが、第一の画像と第二の画像との明るさ（輝度）を画像処理によって補正する。また、本変形例では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像および第二の画像の取得と、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像および第二の画像の取得との際の、第１の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの光の強度が、相互に略同一である。
(Third Modification)
In this modification, the detection unit 20b corrects the brightness (luminance) between the first image and the second image by image processing. Further, in the present modification, the first image and the second image are acquired by the first imaging unit 3U, and the first image and the second image are acquired by the second imaging unit 3D. The light intensities of the first light source 2U and the second light source 2D are substantially the same.
一例として、検出部２０ｂは、第一のミラー部４Ｕに対する第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離の違いによる第一の画像取得部１０Ｕが取得した第一の画像および第二の画像の明るさの違いを補正する。また、検出部２０ｂは、第二のミラー部４Ｄに対する第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離の違いによる第二の画像取得部１０Ｄが取得した第一の画像および第二の画像の明るさの違いを補正する。これらの明るさの補正は、第一の画像と第二の画像とのうち一方にだけ行ってもよいし、両方に行ってもよい。一例として、図２に示された距離ａよりも距離ｂが長く、第一の光源２Ｕよりも第二の光源２Ｄの方が第一のミラー部４Ｕに対して遠い場合、第一の撮像部３Ｕの撮像画像においては、第一の画像の方が第二の画像に比べて明るくなり易い（輝度値が大きくなり易い）。したがって、この場合には、一例として、検出部２０ｂは、第一の画像の各画素の輝度値を所定の基準を用いて下げる補正を行い、当該補正後の第一の画像と、第二の画像とを比較する。所定の基準は、一例として、検査対象物１００の平坦部分において第一の画像の輝度値と第二の画像の輝度値が等しくなるような基準（値）である。 As an example, the detection unit 20b includes a first image and a second image acquired by the first image acquisition unit 10U due to a difference in distance between the first light source 2U and the second light source 2D with respect to the first mirror unit 4U. Correct the difference in brightness. In addition, the detection unit 20b includes the first image and the second image acquired by the second image acquisition unit 10D due to a difference in distance between the first light source 2U and the second light source 2D with respect to the second mirror unit 4D. Correct for differences in brightness. These brightness corrections may be performed on only one or both of the first image and the second image. As an example, when the distance b is longer than the distance a shown in FIG. 2 and the second light source 2D is farther from the first mirror unit 4U than the first light source 2U, the first imaging unit In a 3U captured image, the first image is likely to be brighter than the second image (the luminance value is likely to increase). Therefore, in this case, as an example, the detection unit 20b performs correction to lower the luminance value of each pixel of the first image using a predetermined reference, and the corrected first image and the second image Compare the image. As an example, the predetermined reference is a reference (value) such that the luminance value of the first image is equal to the luminance value of the second image in the flat portion of the inspection object 100.
以上説明した本変形例によれば、複数の画像取得部１０（第一の画像取得部１０Ｕ，第二の画像取得部１０Ｄ）における検査対象物１００の撮像ポイントに対して、複数の光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ）の距離がそれぞれ異なっていても、その距離の違いによる影響を打ち消すことができる。よって、複数の光源（第一の光源２Ｕ，第二の光源２Ｄ）による撮像結果（第一の画像、第二の画像）を適切に比較することができるので、検査対象物１００の異常を良好に検出することができる。 According to this modification described above, a plurality of light sources (first light sources) with respect to the imaging points of the inspection object 100 in the plurality of image acquisition units 10 (first image acquisition unit 10U, second image acquisition unit 10D). Even if the distances of the one light source 2U and the second light source 2D) are different from each other, it is possible to cancel the influence of the difference in distance. Therefore, since the imaging results (first image and second image) by the plurality of light sources (first light source 2U, second light source 2D) can be appropriately compared, the abnormality of the inspection object 100 is favorable. Can be detected.
（第２実施形態）
本実施形態では、図１２および図１３に示されるように、検査装置１は、第一の光源２Ｕおよび第二の光源Ｄの他に、第三の光源２Ｖを有している。
(Second Embodiment)
In the present embodiment, as shown in FIGS. 12 and 13, the inspection apparatus 1 includes a third light source 2 </ b> V in addition to the first light source 2 </ b> U and the second light source D.
第三の光源２Ｖは、検査対象物１００の長手方向で第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの間に位置され、検査対象物１００に当該検査対象物１００の長手方向の一方側から光を照らす。第三の光源２Ｖは、第一の光源２Ｕや第二の光源２Ｄと同様に、検査対象物１００が挿入される環状（例えば円環状）に構成されている。第三の光源２Ｖは、環状に配置された複数のＬＥＤを有している。また、一例として、第三の光源２Ｖの径は、第一の光源２Ｕおよび第二の光源Ｄの径よりも小さい。長尺状の検査対象物１００は、第一の光源２Ｕ、第三の光源２Ｖ、および第二の光源２Ｄの環状部分の内側（例えば、中央部、中央）を貫通し、環状部分の軸方向に沿って延びている。 The third light source 2 </ b> V is positioned between the first light source 2 </ b> U and the second light source 2 </ b> D in the longitudinal direction of the inspection object 100, and is placed on the inspection object 100 from one side in the longitudinal direction of the inspection object 100. Shine light. Similar to the first light source 2U and the second light source 2D, the third light source 2V has an annular shape (for example, an annular shape) into which the inspection object 100 is inserted. The third light source 2V has a plurality of LEDs arranged in an annular shape. As an example, the diameter of the third light source 2V is smaller than the diameters of the first light source 2U and the second light source D. The elongate inspection object 100 passes through the inside (for example, the center and the center) of the annular portion of the first light source 2U, the third light source 2V, and the second light source 2D, and the axial direction of the annular portion. It extends along.
また、本実施形態では、一例として、第一のミラー部４Ｕおよび第一の撮像部３Ｕは、検査対象物１００の長手方向で第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの中間に位置され且つ第二の光源２Ｄと第三の光源２Ｖとの間に位置されている。また、距離ａと距離ｂとは、略同じとなっている。また、第二のミラー部４Ｄおよび第二の撮像部３Ｄは、検査対象物１００の長手方向で第二の光源２Ｄと第三の光源２Ｖとの間に配置されている。また、一例として、第二の光源２Ｄの外周部の下端部（照射面の一部）と第三の光源２Ｖの外周部の上端部（照射面の一部）とを結ぶ直線上に、第二の撮像部３Ｄによる検査対象物１００の撮像ポイントＰ２が位置する。第一の光源２Ｕの光は、第三の光源２Ｖの円筒の内側を通ってもよいし外側を通ってもよい。なお、撮像ポイントＰ２は、一例として、撮像領域Ａに含まれ、検査対象物１００の第二の撮像部３Ｄとは反対側（第二のミラー部４Ｄ側）に位置した部位である。 In the present embodiment, as an example, the first mirror unit 4U and the first imaging unit 3U are positioned in the middle of the first light source 2U and the second light source 2D in the longitudinal direction of the inspection object 100. And it is located between 2nd light source 2D and 3rd light source 2V. Further, the distance a and the distance b are substantially the same. The second mirror unit 4D and the second imaging unit 3D are disposed between the second light source 2D and the third light source 2V in the longitudinal direction of the inspection object 100. Further, as an example, on the straight line connecting the lower end portion (a part of the irradiation surface) of the outer peripheral portion of the second light source 2D and the upper end portion (a part of the irradiation surface) of the outer peripheral portion of the third light source 2V, The imaging point P2 of the inspection object 100 by the second imaging unit 3D is located. The light of the first light source 2U may pass through the inside of the cylinder of the third light source 2V or the outside. As an example, the imaging point P2 is a part that is included in the imaging region A and is located on the opposite side (second mirror part 4D side) of the inspection object 100 from the second imaging part 3D.
また、本実施形態では、図１４に示されるように、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄと同様に、第三の光源２Ｖは、光照射コントローラ２４に接続されている。そして、画像取得制御部２０ａは、第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖを光照射コントローラ２４を介して制御する。 In the present embodiment, as shown in FIG. 14, the third light source 2 </ b> V is connected to the light irradiation controller 24 similarly to the first light source 2 </ b> U and the second light source 2 </ b> D. Then, the image acquisition control unit 20a controls the first light source 2U, the second light source 2D, and the third light source 2V via the light irradiation controller 24.
また、本実施形態では、画像取得制御部２０ａは、一例として、図１５に示されるタイミングチャートで、第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ、第一の撮像部３Ｕ、第二の撮像部３Ｄを制御する。本実施形態では、画像取得制御部２０ａによる各部の制御によって、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。即ち、画像取得制御部２０ａは、一例として、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとの撮像タイミングをずらすとともに、第一の撮像部３Ｕの第二の画像の取得の際の第二の光源２Ｄの光の照射と、第二の撮像部３Ｄの第二の画像の撮像の際の第二の光源２Ｄの光の照射との間に間隔をあける。したがって、本実施形態では、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）における一度（一回）の光の照射では、撮像は１回となっている。また、本実施形態では、画像制御取得部２０ａは、第一の撮像部３Ｕが第一の画像を取得する際の第一の光源２Ｕの光の強度と、第一の撮像部３Ｕが第二の画像を取得する際の第二の光源２Ｄの光の強度とを略同じにする。また、画像制御取得部２０ａは、第二の撮像部３Ｄが第一の画像を取得する際の第三の光源２Ｖの光の強度を第二の撮像部３Ｄが第二の画像を取得する際の第二の光源２Ｄの光の強度よりも強くする。以上の処理によって、本実施形態では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の第一の撮像部３Ｕのそれぞれの露光量を略同じにするとともに、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の第二の撮像部３Ｄのそれぞれの露光量を略同じにしている。 Moreover, in this embodiment, the image acquisition control part 20a is a timing chart shown by FIG. 15 as an example, 1st light source 2U, 2nd light source 2D, 3rd light source 2V, 1st imaging part 3U. The second imaging unit 3D is controlled. In this embodiment, by the control of each unit by the image acquisition control unit 20a, for example, the acquisition of the first image by the first imaging unit 3U, the acquisition of the second image by the first imaging unit 3U, and the second Acquisition of the first image by the imaging unit 3D and acquisition of the second image by the second imaging unit 3D are sequentially repeated. That is, as an example, the image acquisition control unit 20a shifts the imaging timings of the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D, and at the time of acquiring the second image of the first imaging unit 3U. An interval is provided between the irradiation of the light from the second light source 2D and the irradiation of the light from the second light source 2D when the second image capturing unit 3D captures the second image. Therefore, in this embodiment, imaging is performed once (one time) with each light source (first light source 2U, second light source 2D, and third light source 2V). In the present embodiment, the image control acquisition unit 20a is configured such that the light intensity of the first light source 2U when the first imaging unit 3U acquires the first image, and the first imaging unit 3U is the second. The intensity of the light from the second light source 2D when acquiring the image is made substantially the same. Further, the image control acquisition unit 20a uses the intensity of the light from the third light source 2V when the second imaging unit 3D acquires the first image, and the second imaging unit 3D acquires the second image. The second light source 2D is made stronger than the light intensity. With the above processing, in the present embodiment, the exposure amounts of the first imaging unit 3U at the time of acquiring the first image and the second image by the first imaging unit 3U are made substantially the same. The exposure amounts of the second imaging unit 3D when acquiring the first image and the second image by the second imaging unit 3D are substantially the same.
本実施形態では、以上の処理によって取得された第一の画像と第二の画像とを用いて、検出部２０ｂが検査対象物１００の異常を検出するので、検査対象物１００の異常が良好に検出されやすい。また、本実施形態では、複数（具体的には二つ）の画像取得部１０に対して光源が三つ（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）である。したがって、本実施形態によれば、複数の撮像部３の撮像にそれぞれ個別の光源が用いられる構成、つまり、各画像取得部に対して二つの光源がそれぞれ設けられている場合（合計、四つの光源が設けられている場合）に比べて、比較的簡素な構成で検査対象物１００の異常を良好に検出することができる。 In the present embodiment, since the detection unit 20b detects an abnormality of the inspection object 100 using the first image and the second image acquired by the above processing, the abnormality of the inspection object 100 is favorable. Easy to detect. In the present embodiment, there are three light sources (first light source 2U, second light source 2D, and third light source 2V) with respect to a plurality (specifically two) of image acquisition units 10. Therefore, according to the present embodiment, a configuration in which individual light sources are used for imaging by the plurality of imaging units 3, that is, when two light sources are provided for each image acquisition unit (total of four Compared to a case where a light source is provided), the abnormality of the inspection object 100 can be detected well with a relatively simple configuration.
また、本実施形態では、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）における一度（一回）の光の照射では、撮像は１回だけなので、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）における一度（一回）の光の照射において、光の強度を一定にすることができる。よって、当該一度の光の照射中に光の強度を高速で切り替える（変更する）必要がないという利点がある。 In the present embodiment, each light source (the first light source 2U, the second light source 2D, and the third light source 2V) is irradiated once (once), so that the image is taken only once. The light intensity can be made constant in one (one time) light irradiation in the first light source 2U, the second light source 2D, and the third light source 2V). Therefore, there is an advantage that it is not necessary to switch (change) the light intensity at high speed during the one-time irradiation of light.
（変形例）
本変形例では、図１６に示されるように、画像取得制御部２０ａは、第一の撮像部３Ｕおよび第二の撮像部３Ｄに、第二の画像の取得を同時に行わせる点が上記第２実施形態に対して異なる。したがって、本変形例によれば、一例として、画像取得部１０の分解能を第１実施形態およびその変形例に比べて、向上させることができる（一例として、１．３３倍にすることができる）。
(Modification)
In the present modification, as shown in FIG. 16, the image acquisition control unit 20a causes the first imaging unit 3U and the second imaging unit 3D to simultaneously acquire a second image. It differs from the embodiment. Therefore, according to the present modification, as an example, the resolution of the image acquisition unit 10 can be improved as compared with the first embodiment and the modification (as an example, it can be increased 1.33 times). .
以上、本発明の実施形態および変形例を例示したが、上記実施形態および変形例はあくまで一例である。実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態および変形例の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、長尺状部品以外であってもよい。また、検査装置は、上述した異常以外の異常を画像処理で検出することができる。また、検査装置は、静止状態で取得された画像で検査してもよい。また、光学部品はミラー以外（例えば、レンズ、プリズム等）であってもよい。また、画像中に検査対象物の三つ以上の部位が含まれてもよい。また、撮像部は、幅方向と交叉する方向（斜め方向）に延びた線状の画像を取得してもよい。 As mentioned above, although embodiment and the modification of this invention were illustrated, the said embodiment and modification are an example to the last. Embodiments and modifications can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, combinations, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. In addition, the configurations and shapes of the embodiments and modifications may be partially replaced with other configurations and shapes. In addition, specifications (structure, type, direction, angle, shape, size, length, width, thickness, height, number, arrangement, position, material, etc.) of each configuration, shape, etc. are changed as appropriate. Can be implemented. For example, the inspection object may be other than an elongated part. Further, the inspection apparatus can detect an abnormality other than the abnormality described above by image processing. Further, the inspection apparatus may inspect with an image acquired in a stationary state. The optical component may be other than a mirror (for example, a lens, a prism, etc.). Further, three or more parts of the inspection object may be included in the image. Further, the imaging unit may acquire a linear image extending in a direction crossing the width direction (oblique direction).
１…検査装置、２Ｄ…第二の光源、２Ｕ…第一の光源、２Ｖ…第三の光源、３…撮像部、３Ｄ…第二の撮像部、３Ｕ…第一の撮像部、４…ミラー部、４ａ…鏡面、４Ｄ…第二のミラー部、４Ｕ…第一のミラー部、１０…画像取得部、１０Ｄ…第二の画像取得部、１０Ｕ…第一の画像取得部、２０ａ…画像取得制御部、２０ｂ…検出部、１００…検査対象物。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection apparatus, 2D ... 2nd light source, 2U ... 1st light source, 2V ... 3rd light source, 3 ... Imaging part, 3D ... 2nd imaging part, 3U ... 1st imaging part, 4 ... Mirror Part, 4a ... mirror surface, 4D ... second mirror part, 4U ... first mirror part, 10 ... image acquisition part, 10D ... second image acquisition part, 10U ... first image acquisition part, 20a ... image acquisition Control unit, 20b ... detection unit, 100 ... inspection object.
Claims (19)
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
を備えた検査装置。 A first light source that illuminates light from one side in the longitudinal direction of a long inspection object;
A second light source that illuminates the inspection object from the other side in the longitudinal direction;
In the longitudinal direction, the first light source and the second light source are positioned between the first light source and the second light source, and the inspection target is conveyed in the longitudinal direction. The first image of the inspection object when illuminated from the one side by the light of the second light source and the second image of the inspection object when illuminated from the other side by the light of the second light source A plurality of image acquisition units each including an imaging unit that acquires the image of
A detection unit for detecting an abnormality of the inspection object using the first image and the second image;
Inspection device with
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置された請求項１に記載の検査装置。 The first image acquisition unit including the first mirror unit and the first imaging unit;
The second image acquisition unit having the second mirror unit and the second imaging unit;
With
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the first mirror unit and the second mirror unit are located at different positions in the longitudinal direction.
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらす請求項２に記載の検査装置。 An image acquisition control unit that controls the first light source, the second light source, the first imaging unit, and the second imaging unit;
The inspection apparatus according to claim 2, wherein the image acquisition control unit shifts imaging timings of the first imaging unit and the second imaging unit.
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され、前記検査対象物に前記長手方向の一方側から光を照らす第三の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第一のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第一のミラー部を介して取得する第一の撮像部と、を有した第一の画像取得部と、
前記長手方向で前記第二の光源と前記第三の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第二のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第三の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第二のミラー部を介して取得する第二の撮像部と、を有した第二の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
を備えた検査装置。 A first light source that illuminates light from one side in the longitudinal direction of a long inspection object;
A second light source that illuminates the inspection object from the other side in the longitudinal direction;
A third light source positioned between the first light source and the second light source in the longitudinal direction and illuminating the inspection object from one side in the longitudinal direction;
In a state where the first mirror portion that is positioned between the first light source and the second light source in the longitudinal direction and reflects the inspection object, and the inspection object is conveyed in the longitudinal direction, The first inspection object when illuminated from the one side by the light from the first light source and the inspection object when illuminated from the other side by the light from the second light source A first image acquisition unit that acquires the second image of the first image acquisition unit via the first mirror unit, and
In the state where the second mirror part that is positioned between the second light source and the third light source in the longitudinal direction and reflects the inspection object, and the inspection object is conveyed in the longitudinal direction, The first image of the inspection object when illuminated from the one side by the light of the third light source and the inspection object when illuminated from the other side by the light of the second light source A second image acquisition unit having a second imaging unit that acquires the second image of the second image through the second mirror unit,
A detection unit for detecting an abnormality of the inspection object using the first image and the second image;
Inspection device with
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらすとともに、前記第一の撮像部の前記第二の画像の取得の際の前記第二の光源の光の照射と、前記第二の撮像部の前記第二の画像の撮像の際の前記第二の光源の光の照射との間に間隔をあける請求項９ないし１１のいずれか一項に記載の検査装置。 An image acquisition control unit that controls the first light source, the second light source, the third light source, the first imaging unit, and the second imaging unit;
The image acquisition control unit shifts the imaging timing of the first imaging unit and the second imaging unit, and the second light source at the time of acquiring the second image of the first imaging unit The space between the light irradiation of the second light source and the light irradiation of the second light source at the time of capturing the second image of the second imaging unit is set as described in any one of claims 9 to 11. The inspection device described.
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部および前記第二の撮像部に、前記第二の画像の取得を同時に行わせる請求項９ないし１１のいずれか一項に記載の検査装置。 An image acquisition control unit that controls the first light source, the second light source, the third light source, the first imaging unit, and the second imaging unit;
The inspection apparatus according to any one of claims 9 to 11, wherein the image acquisition control unit causes the first imaging unit and the second imaging unit to simultaneously acquire the second image.
前記第二のミラー部は、前記検査対象物の前記第二の撮像部とは反対側に位置された請求項２ないし１３のいずれか一項に記載の検査装置。 The first mirror unit is located on the opposite side of the inspection object from the first imaging unit,
The inspection apparatus according to any one of claims 2 to 13, wherein the second mirror unit is located on a side opposite to the second imaging unit of the inspection object.
前記第二のミラー部の前記二つの鏡面は、前記第二の撮像部の光軸に沿って前記第二の撮像部から離れる方向に向かうにつれ相互に近づく請求項１５に記載の検査装置。 The two mirror surfaces of the first mirror unit approach each other as they go away from the first imaging unit along the optical axis of the first imaging unit,
The inspection apparatus according to claim 15, wherein the two mirror surfaces of the second mirror unit approach each other in a direction away from the second imaging unit along the optical axis of the second imaging unit.
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