JP5946705B2 - Inspection apparatus and inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method.

従来、長尺状の検査対象物を撮像した画像から当該検査対象物の異常を検出する検査装置が知られている(例えば、特許文献1)。   Conventionally, an inspection apparatus that detects an abnormality of an inspection object from an image obtained by imaging a long inspection object is known (for example, Patent Document 1).

特開2011−011496号公報JP 2011-011496 A

画像から異常を検出する検査装置では、例えば、画像に明るさのむらが生じるなどすると、異常が検出されにくくなる。   In an inspection apparatus that detects an abnormality from an image, for example, if uneven brightness occurs in the image, it is difficult to detect the abnormality.

そこで、本発明は、一例としては、より異常を検出しやすい検査装置および検査方法を得ることを目的の一つとする。   Therefore, as an example, an object of the present invention is to obtain an inspection apparatus and an inspection method that can detect an abnormality more easily.

本発明の実施形態にかかる検査装置にあっては、長尺状の検査対象物その長手方向の一方側から照らす第一の光の第一光源と、検査対象物長手方向の他方側から第一の光と交互に照らす第二の光の第二光源と、検査対象物が長手方向に搬送されている状態で、第一光で照らされたタイミングにおける検査対象物の第一の一次元画像の取得と、第二光で照らされたタイミングにおける検査対象物の第二の一次元画像の取得とを、交互に反復して行う撮像部と、第一の一次元画像と当該第一の一次元画像が取得された後の隣接したタイミングで取得された第二の一次元画像とが合成された第三の一次元画像が第一の一次元画像が取得された順に当該第三の一次元画像の長手方向との直交方向に並んだ二次元の合成画像を生成する画像処理部と、合成画像を画像処理して検査対象物の異常を検出する異常検出部と、を備えた。 In the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the elongated test object and the first light source of the first light illuminating from one side of the longitudinal direction, the test object in the longitudinal direction from the other side a second light source of the second light illuminating alternating with the first light, in a state where the test object is being conveyed in the longitudinal direction, the first primary of the inspection object at a timing that is illuminated by the first light and acquisition of the original image, a second and an acquisition of a one-dimensional image of the inspection object in the second timing illuminated with light, an imaging unit that performs repeated alternately, said a first one-dimensional image first The third one-dimensional image obtained by combining the second one-dimensional image acquired at the adjacent timing after the one one-dimensional image is acquired is the third one-dimensional image in the order in which the first one-dimensional image is acquired. Processing to generate a two-dimensional composite image aligned in the direction orthogonal to the longitudinal direction of a one-dimensional image When, with an abnormality detection unit for detecting an abnormality of the inspection object a composite image image processing to the.

本発明によれば、一例としては、より異常を検出しやすい検査装置および検査方法を得ることができる。   According to the present invention, as an example, it is possible to obtain an inspection apparatus and an inspection method that can more easily detect an abnormality.

図1は、実施形態にかかる検査装置の一例が示された斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating an example of an inspection apparatus according to an embodiment. 図2は、実施形態にかかる検査装置の一部の一例を検査対象物の長手方向から見た模式図である。FIG. 2 is a schematic view of an example of a part of the inspection apparatus according to the embodiment as viewed from the longitudinal direction of the inspection object. 図3は、実施形態にかかる検査装置で取得された第一画像、第二画像、および合成画像の一例が示された模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of a first image, a second image, and a composite image acquired by the inspection apparatus according to the embodiment. 図4は、実施形態にかかる検査装置で撮像された第一画像(一次元の画像を並べた二次元の画像)の一例が示された模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a first image (a two-dimensional image in which one-dimensional images are arranged) captured by the inspection apparatus according to the embodiment. 図5は、実施形態にかかる検査装置で撮像された第二画像(一次元の画像を並べた二次元の画像)の一例が示された模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of a second image (a two-dimensional image in which one-dimensional images are arranged) captured by the inspection apparatus according to the embodiment. 図6は、実施形態にかかる検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。FIG. 6 is a schematic block diagram illustrating an example of the inspection apparatus according to the embodiment. 図7は、実施形態にかかる検査装置の制御部の一例が示された模式的なブロック図である。FIG. 7 is a schematic block diagram illustrating an example of a control unit of the inspection apparatus according to the embodiment. 図8は、実施形態にかかる検査装置で撮像された合成画像の一例が示された模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an example of a composite image captured by the inspection apparatus according to the embodiment. 図9は、実施形態にかかる検査装置による検査方法の一例が示されたフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart illustrating an example of an inspection method performed by the inspection apparatus according to the embodiment. 図10は、実施形態にかかる検査装置で検出された異常を示す画像の一例が示された模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating an example of an image indicating an abnormality detected by the inspection apparatus according to the embodiment.

本実施形態では、一例として、図1に示される検査装置1は、検査対象物100を撮像した画像に基づいて検査対象物100の検査を行う。検査対象物100は、一例としては、長尺状かつ円管状(または円柱状)の部品(例えば、ホース、チューブ、棒等)である。   In the present embodiment, as an example, the inspection apparatus 1 illustrated in FIG. 1 inspects the inspection object 100 based on an image obtained by imaging the inspection object 100. The inspection object 100 is, for example, a long and circular (or columnar) part (for example, a hose, a tube, a rod, etc.).

また、本実施形態では、一例として、図1に示されるように、検査装置1は、複数(本実施形態では、一例として二つ)の光源2U,2Dを備えている。具体的に、光源2Uおよび光源2Dは、検査対象物100の長手方向(軸方向)に離間して配置されている。光源2Uおよび光源2Dは、環状(例えば円環状)に構成されている。光源2Uおよび光源2Dは、環状に配置された複数のLED(light emitted diode)を有している。長尺状の検査対象物100は、光源2Uおよび光源2Dの環状部分の内側(例えば、中央部、中央)を貫通し、環状部分の軸方向に沿って延びている。また、光源2Uおよび光源2Dは、検査対象物100の長手方向(軸方向)と直交する面について面対称に配置されている。   In the present embodiment, as an example, as illustrated in FIG. 1, the inspection apparatus 1 includes a plurality of (in the present embodiment, two as an example) light sources 2U and 2D. Specifically, the light source 2U and the light source 2D are arranged apart from each other in the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100. The light source 2U and the light source 2D are configured in an annular shape (for example, an annular shape). The light source 2U and the light source 2D have a plurality of LEDs (light emitted diodes) arranged in an annular shape. The elongate inspection object 100 passes through the inside (for example, the center and the center) of the annular portions of the light source 2U and the light source 2D, and extends along the axial direction of the annular portion. Further, the light source 2U and the light source 2D are arranged in plane symmetry with respect to a plane orthogonal to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100.

また、本実施形態では、一例として、検査対象物100の撮像領域Aは、光源2Uと光源2Dとの間(本実施形態では、一例として中間位置)に設定されている。光源2Uからの光は、検査対象物100の長手方向の一方側(図1では左側)から撮像領域Aに照射され、光源2Dからの光は、長手方向の他方側(図1では右側)から撮像領域Aに照射される。   In the present embodiment, as an example, the imaging region A of the inspection object 100 is set between the light source 2U and the light source 2D (in the present embodiment, an intermediate position as an example). The light from the light source 2U is applied to the imaging region A from one side in the longitudinal direction (left side in FIG. 1) of the inspection object 100, and the light from the light source 2D is from the other side in the longitudinal direction (right side in FIG. 1). The imaging area A is irradiated.

また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、検査中、搬送装置30(図6参照)によって、長手方向(軸方向)に搬送されている。すなわち、検査装置1は、搬送装置30によって搬送されて移動している検査対象物100を、検査する。したがって、撮像領域Aは、検査対象物100の移動に伴って、検査対象物100の長手方向に沿って移動する。なお、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、光源2U側から光源2D側へ移動する。すなわち、光源2Uは、撮像領域Aに対して搬送方向の上流側に位置され、光源2Dは、撮像領域Aに対して搬送方向の下流側に位置されている。   In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 is transported in the longitudinal direction (axial direction) by the transport device 30 (see FIG. 6) during the inspection. That is, the inspection apparatus 1 inspects the inspection object 100 that is transported and moved by the transport apparatus 30. Therefore, the imaging region A moves along the longitudinal direction of the inspection object 100 as the inspection object 100 moves. In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 moves from the light source 2U side to the light source 2D side. That is, the light source 2U is positioned upstream in the transport direction with respect to the imaging region A, and the light source 2D is positioned downstream in the transport direction with respect to the imaging region A.

また、本実施形態では、一例として、撮像部3(例えば、カメラ等)は、検査対象物100の径方向外側に位置され、検査対象物100の表面100a(外面、周面、側面)の画像を取得する。すなわち、撮像領域Aは、検査対象物100の表面100aの一部である。   In the present embodiment, as an example, the imaging unit 3 (for example, a camera or the like) is positioned on the radially outer side of the inspection target 100 and is an image of the surface 100a (outer surface, peripheral surface, side surface) of the inspection target 100. To get. That is, the imaging region A is a part of the surface 100a of the inspection target 100.

また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、光学部品4を介して、撮像領域Aの画像を取得する。本実施形態では、一例として、光学部品4は、複数(本実施形態では、一例として二つ)のミラー4L,4Rである。具体的に、ミラー4L,4Rは、図2に示されるように、検査対象物100の撮像部3とは反対側で、軸方向からの視線でV字状に配置されている。ミラー4L,4Rは互いに120°の角度(撮像部3と検査対象物100とを結ぶ線Lに対して互いに反対側に60°となる角度)となる姿勢で配置されている。ミラー4L,4Rは、いずれも、検査対象物100の表面100aに面した(対向した)平面状の反射面4a(鏡面)を有している。反射面4aは、検査対象物100の径方向と略直交する面に沿って拡がっている。また、ミラー4L,4Rは、検査対象物100の長手方向(軸方向)と直交する面に沿って帯状に延びている。このような構成では、撮像領域Aは、検査対象物100の表面100aの、ミラー4L,4Rに面した略半周分の領域である。なお、本実施形態では、一例として、隣接するミラー4L,4Rは一体化されているが、分離されていてもよい。   In the present embodiment, as an example, the imaging unit 3 acquires an image of the imaging region A via the optical component 4. In the present embodiment, as an example, the optical component 4 is a plurality of (in the present embodiment, two as an example) mirrors 4L and 4R. Specifically, as shown in FIG. 2, the mirrors 4L and 4R are arranged in a V shape with a line of sight from the axial direction on the opposite side of the inspection object 100 from the imaging unit 3. The mirrors 4L and 4R are arranged in a posture that is at an angle of 120 ° to each other (an angle of 60 ° on the opposite side with respect to the line L connecting the imaging unit 3 and the inspection object 100). Each of the mirrors 4L and 4R has a planar reflecting surface 4a (mirror surface) facing (opposed) to the surface 100a of the inspection object 100. The reflection surface 4a extends along a surface substantially orthogonal to the radial direction of the inspection object 100. The mirrors 4L and 4R extend in a strip shape along a plane orthogonal to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100. In such a configuration, the imaging area A is an area of approximately half a circumference of the surface 100a of the inspection object 100 facing the mirrors 4L and 4R. In the present embodiment, as an example, the adjacent mirrors 4L and 4R are integrated, but may be separated.

また、本実施形態では、一例として、光源2U,2D、撮像部3、および光学部品4を含む検査部10(10U,10D)が、検査対象物100の長手方向(軸方向、搬送方向)に間隔をあけて複数箇所(本実施形態では、一例として二箇所)に設けられている。これら検査部10では、撮像部3および光学部品4の配置が異なっている。本実施形態では、一例として、搬送方向の上流側(図1の左側)に位置された検査部10Uでは、図1の上側に撮像部3が位置し、下側に光学部品4が位置する。よって、検査部10Uの撮像部3は、検査対象物100の図1の下側の領域(撮像領域A)の画像を取得する。一方、下流側(図1の右側)に位置された検査部10Dでは、図1の下側に撮像部3が位置し、上側に光学部品4が位置する。よって、検査部10Dの撮像部3は、検査対象物100の図1の上側の領域(撮像領域A)の画像を取得する。すなわち、複数の撮像部3は、それぞれ、検査対象物100の表面100aの相異なる領域(部位、位置)を撮像する。   Moreover, in this embodiment, the test | inspection part 10 (10U, 10D) containing the light sources 2U and 2D, the imaging part 3, and the optical component 4 as an example is the longitudinal direction (an axial direction, a conveyance direction) of the test target object 100. It is provided at a plurality of places (in this embodiment, two places as an example) at intervals. In these inspection units 10, the arrangement of the imaging unit 3 and the optical component 4 is different. In the present embodiment, as an example, in the inspection unit 10U located on the upstream side (left side in FIG. 1) in the transport direction, the imaging unit 3 is located on the upper side in FIG. 1 and the optical component 4 is located on the lower side. Therefore, the imaging unit 3 of the inspection unit 10U acquires an image of the lower region (imaging region A) in FIG. On the other hand, in the inspection unit 10D located on the downstream side (right side in FIG. 1), the imaging unit 3 is located on the lower side of FIG. 1 and the optical component 4 is located on the upper side. Therefore, the imaging unit 3 of the inspection unit 10D acquires an image of the upper region (imaging region A) in FIG. That is, each of the plurality of imaging units 3 images different regions (parts, positions) of the surface 100a of the inspection object 100.

また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、ラインカメラ(ラインセンサ)として構成されている。撮像部3は、検査対象物100の幅方向に沿って一列に配置された複数の光電変換素子(撮像素子、図示されず)を有する。すなわち、撮像部3は、検査対象物100の幅方向に沿った線状の画像(画像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列)を取得する。各撮像素子では、例えば256階調で輝度値のデータが取得される。撮像部3は、撮像される各時刻(タイミング)で、一次元の画像を取得する。モノクロ(白黒)の撮像部3の場合、各撮像素子について一つの画像データが取得され、カラーの撮像部3の場合、各撮像素子について複数(例えば、R(赤)G(緑)B(青)の三つ)の画像データが取得される。   In the present embodiment, as an example, the imaging unit 3 is configured as a line camera (line sensor). The imaging unit 3 has a plurality of photoelectric conversion elements (imaging elements, not shown) arranged in a line along the width direction of the inspection object 100. That is, the imaging unit 3 acquires a linear image (image data, luminance value data for each pixel corresponding to each photoelectric conversion element, luminance value data string) along the width direction of the inspection object 100. In each image sensor, luminance value data is acquired with, for example, 256 gradations. The imaging unit 3 acquires a one-dimensional image at each time (timing) when the imaging is performed. In the case of the monochrome (monochrome) imaging unit 3, one image data is acquired for each imaging device, and in the case of the color imaging unit 3, a plurality (for example, R (red) G (green) B (blue) is obtained for each imaging device. 3) of image data is acquired.

また、本実施形態では、一例として、光源2U,2Dによる検査対象物100への光の照射は交互に実行される。そして、撮像部3による撮像(画像の取得)と、光源2U,2Dによる検査対象物100への光の照射(一例としては光源2U,2Dの発光、切り替え)とが、同期されている。すなわち、本実施形態では、一例として、図3に示されるように、撮像部3は、光源2Uからの光で照らされている際の検査対象物100の一次元の画像IL1(第一画像、線状画像、画像データ、図3中では「1」と表記)と、光源2Dからの光で照らされている際の検査対象物100の一次元の画像IL2(第二画像、線状画像、画像データ、図3中では「2」と表記)とを、交互に取得する。画像処理部20d(図7参照)は、光源2Uからの光で照らされている際の検査対象物100の画像IL1を取得順に並べて二次元の画像IA1(第一画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群)を得ることができるとともに、光源2Dからの光で照らされている際の検査対象物100の画像IL2を取得順に並べて二次元の画像IA2(第二画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群)を得ることができる。   Moreover, in this embodiment, as an example, the light irradiation to the inspection object 100 by the light sources 2U and 2D is executed alternately. Then, imaging (acquisition of images) by the imaging unit 3 and irradiation of light to the inspection object 100 by the light sources 2U and 2D (for example, light emission and switching of the light sources 2U and 2D) are synchronized. That is, in the present embodiment, as an example, as illustrated in FIG. 3, the imaging unit 3 includes a one-dimensional image IL <b> 1 (first image, first object, 100) when illuminated by light from the light source 2 </ b> U. A linear image, image data (denoted as “1” in FIG. 3), and a one-dimensional image IL2 of the inspection object 100 when illuminated with light from the light source 2D (second image, linear image, Image data (denoted as “2” in FIG. 3) are obtained alternately. The image processing unit 20d (see FIG. 7) arranges the images IL1 of the inspection object 100 when illuminated by the light from the light source 2U in the order of acquisition and arranges the two-dimensional image IA1 (first image, image data, two-dimensionally). (Data group of arranged luminance values) can be obtained, and the image IL2 of the inspection object 100 when illuminated by the light from the light source 2D is arranged in the order of acquisition to obtain a two-dimensional image IA2 (second image, image) Data, a data group of luminance values arranged two-dimensionally).

光源2U,2Dからの光の照射(切り替え)および撮像部3による撮像の周波数や、搬送装置30による検査対象物100の搬送速度等を適宜に設定することにより、図4,5に例示されるような画像IA1,IA2が得られる。光源2U,2Dからの光の切り替えの周波数、すなわち撮像部3によるライン毎の撮像の周波数は、比較的高い値(例えば6kHz等)に設定される。よって、画像IA1,IA2を、検査対象物100の表面100a(の半周分)を静止状態でエリアセンサ(二次元の領域を撮像する撮像部)によって撮像した画像に類似させることができる。ラインセンサは、エリアセンサより分解能が比較的高く、また応答性も比較的高いため、ラインセンサを用いることで、より精度の高い異常検出(検査)が可能となる場合がある。画像IA1,IA2では、含まれる画像IL1,IL2中でのデータの配列方向(図3〜5で左右方向)が、検査対象物100の幅方向(短手方向)に対応し、画像IA1,IA2中で画像IL1,IL2が並べられた方向(図3〜5で上下方向)が、検査対象物100の長手方向(軸方向)に対応する。   By appropriately setting the irradiation (switching) of light from the light sources 2U and 2D, the frequency of imaging by the imaging unit 3, the conveyance speed of the inspection object 100 by the conveyance device 30, and the like are illustrated in FIGS. Such images IA1 and IA2 are obtained. The switching frequency of light from the light sources 2U and 2D, that is, the imaging frequency for each line by the imaging unit 3 is set to a relatively high value (for example, 6 kHz). Therefore, the images IA1 and IA2 can be made to be similar to an image captured by the area sensor (an imaging unit that captures a two-dimensional region) while the surface 100a (for half of the surface) of the inspection target 100 is stationary. Since the line sensor has a relatively high resolution and a relatively high response compared to the area sensor, the use of the line sensor may enable more accurate abnormality detection (inspection). In the images IA1 and IA2, the arrangement direction of data in the included images IL1 and IL2 (left and right directions in FIGS. 3 to 5) corresponds to the width direction (short direction) of the inspection object 100, and the images IA1 and IA2 The direction in which the images IL1 and IL2 are arranged (the vertical direction in FIGS. 3 to 5) corresponds to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100.

上述したように、撮像部3は、複数(本実施形態では、一例として二つ)のミラー4L,4Rを介して検査対象物100の画像を取得するため、図4,5に示されるように、上記構成の検査装置1で得られた画像IA1,IA2には、それぞれ、検査対象物100の複数(二つ)の画像Ia,Ibが含まれる。これら画像Ia,Ibは、検査対象物100の撮像部3とは反対側(ミラー4L,4Rが位置された側)を、撮像部3と検査対象物100とを結ぶ線L(図2参照)から外れた位置より見た画像である。また、二次元の画像IA1,IA2には、画像Iaと画像Ibとの間に、検査対象物100のミラー4L,4Rを介さない画像Inが含まれている。しかしながら、本実施形態では、一例として、撮像部3の焦点は、画像Ia,Ibに対応して設定されているため、画像Inはぼやけている。すなわち、本実施形態では、一例として、画像Inは、異常検出には用いられない。また、これら画像Ia,Ib,Inの背景は、暗く設定されている。本実施形態にかかる検査装置1の画像処理部20d(図7参照)は、このようにして得られた二次元の画像IA1,IA2に基づいて画像処理を実行し、検査対象物100の表面100aの異常(画像Ia,Ibに関連して写っている異常に対応した形状)を検出する。この検査装置1で検出対象となる異常には、例えば、図4,5に示されるように、検査対象物100の表面100aに生じた皺や傷等の異常A1や、突出物(糸状物)等の異常A2等がある。なお、検査装置1は、これら以外の異常も検出することができる。また、画像IL1,IL2にも、画像Ia,Ib,In(ただし、1ライン分)は含まれている。   As described above, the imaging unit 3 acquires an image of the inspection object 100 via a plurality of (in this embodiment, two as an example) mirrors 4L and 4R, as shown in FIGS. The images IA1 and IA2 obtained by the inspection apparatus 1 configured as described above include a plurality (two) of images Ia and Ib of the inspection object 100, respectively. These images Ia and Ib are lines L (see FIG. 2) connecting the imaging unit 3 and the inspection object 100 on the opposite side of the inspection object 100 from the imaging unit 3 (the side where the mirrors 4L and 4R are positioned). It is the image seen from the position deviated from. The two-dimensional images IA1 and IA2 include an image In that does not pass through the mirrors 4L and 4R of the inspection target 100 between the image Ia and the image Ib. However, in the present embodiment, as an example, the focus of the imaging unit 3 is set corresponding to the images Ia and Ib, and thus the image In is blurred. That is, in this embodiment, as an example, the image In is not used for abnormality detection. The backgrounds of these images Ia, Ib, and In are set dark. The image processing unit 20d (see FIG. 7) of the inspection apparatus 1 according to the present embodiment performs image processing based on the two-dimensional images IA1 and IA2 thus obtained, and the surface 100a of the inspection object 100 (The shape corresponding to the abnormality reflected in relation to the images Ia and Ib) is detected. For example, as shown in FIGS. 4 and 5, abnormalities to be detected by the inspection apparatus 1 include abnormalities A1 such as wrinkles and scratches generated on the surface 100a of the inspection object 100, and protrusions (threads). There are abnormalities such as A2. The inspection apparatus 1 can also detect other abnormalities. The images IL1 and IL2 also include images Ia, Ib, and In (however, for one line).

本実施形態では、一例として、図6に示されるように、検査装置1は、制御部20(例えばCPU(central processing unit)等)や、ROM21(read only memory)、RAM22(random access memory)、SSD23(solid state drive)、光照射コントローラ24、撮像コントローラ25、搬送コントローラ26、表示コントローラ27等を備えることができる。光照射コントローラ24は、制御部20からの制御信号に基づいて、光源2U,2Dの発光(オン、オフ)等を制御する。なお、開閉を切り替えて光の出射と出射停止とを切り替えるシャッター等の可変装置が設けられた場合には、当該可変装置の動作が制御される。撮像コントローラ25は、制御部20からの制御信号に基づいて、撮像部3による撮像を制御する。搬送コントローラ26は、制御部20から受けた制御信号に基づいて、搬送装置30を制御し、検査対象物100の搬送(開始、停止、速度等)を制御する。表示コントローラ27は、制御部20からの制御信号に基づいて、表示装置40を制御する。また、制御部20は、不揮発性の記憶部としてのROM21やSSD23等にインストールされたプログラム(アプリケーション)を読み出して実行する。RAM22は、制御部20がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図6に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部20等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。   In this embodiment, as an example, as illustrated in FIG. 6, the inspection apparatus 1 includes a control unit 20 (for example, a CPU (central processing unit)), a ROM 21 (read only memory), a RAM 22 (random access memory), An SSD 23 (solid state drive), a light irradiation controller 24, an imaging controller 25, a transport controller 26, a display controller 27, and the like can be provided. The light irradiation controller 24 controls light emission (ON, OFF) and the like of the light sources 2U and 2D based on a control signal from the control unit 20. Note that when a variable device such as a shutter that switches between opening and closing of light by switching between opening and closing is provided, the operation of the variable device is controlled. The imaging controller 25 controls imaging by the imaging unit 3 based on a control signal from the control unit 20. The transport controller 26 controls the transport device 30 based on the control signal received from the control unit 20 and controls transport (start, stop, speed, etc.) of the inspection object 100. The display controller 27 controls the display device 40 based on a control signal from the control unit 20. Further, the control unit 20 reads and executes a program (application) installed in the ROM 21 or the SSD 23 as a nonvolatile storage unit. The RAM 22 temporarily stores various data used when the control unit 20 executes programs and executes various arithmetic processes. Note that the hardware configuration shown in FIG. 6 is merely an example, and various modifications such as a chip or a package can be implemented. Various arithmetic processes can be performed in parallel, and the control unit 20 or the like can have a hardware configuration capable of parallel processing.

また、本実施形態では、一例として、制御部20は、ハードウエアとソフトウエア(プログラム)との協働によって、検査装置1の少なくとも一部として機能(動作)する。すなわち、図7に示されるように、制御部20は、光照射制御部20aや、撮像制御部20b、搬送制御部20c、画像処理部20d、表示制御部20e等として機能する。光照射制御部20aは、光照射コントローラ24を制御する。撮像制御部20bは、撮像コントローラ25を制御する。搬送制御部20cは、搬送コントローラ26を制御する。画像処理部20dは、撮像部3が取得した画像データを画像処理する。この画像処理部20dによる画像処理によって、検査対象物100の異常が検出される。よって、画像処理部20dは、異常検出部の一例である。表示制御部20eは、表示装置40(例えば、LCD(liquid crystal display)、OELD(organic electroluminescent display)等)を制御する。   In the present embodiment, as an example, the control unit 20 functions (operates) as at least a part of the inspection apparatus 1 in cooperation with hardware and software (program). That is, as shown in FIG. 7, the control unit 20 functions as a light irradiation control unit 20a, an imaging control unit 20b, a conveyance control unit 20c, an image processing unit 20d, a display control unit 20e, and the like. The light irradiation control unit 20 a controls the light irradiation controller 24. The imaging control unit 20b controls the imaging controller 25. The conveyance control unit 20 c controls the conveyance controller 26. The image processing unit 20d performs image processing on the image data acquired by the imaging unit 3. An abnormality of the inspection object 100 is detected by the image processing by the image processing unit 20d. Therefore, the image processing unit 20d is an example of an abnormality detection unit. The display control unit 20e controls the display device 40 (for example, an LCD (liquid crystal display), an OELD (organic electroluminescent display), etc.).

また、本実施形態にかかる検査装置1は、その外周に螺旋状の凹部または凸部を有した検査対象物100の検査を行うことができる。螺旋状の凹部または凸部(溝、突起、段差等)は、螺旋状の巻回物(例えば、テープ、リボン、ワイヤ等、図示されず)を有した場合等に形成されやすい。巻回物は、長手方向に一定のピッチで巻かれる。また、巻回物は、外周に露出するものと、露出しないものとがある。巻回物が外周に露出せず、外壁(壁部)の内部に巻回物(例えば、ワイヤ等)が設けられた場合、巻回物を覆う部分が螺旋状に突出する。   In addition, the inspection apparatus 1 according to the present embodiment can inspect the inspection object 100 having a spiral concave portion or convex portion on the outer periphery thereof. A spiral recess or projection (groove, protrusion, step, etc.) is likely to be formed when a spiral wound (eg, tape, ribbon, wire, etc., not shown) is included. The wound product is wound at a constant pitch in the longitudinal direction. In addition, the wound material may be exposed to the outer periphery or may not be exposed. When the wound product is not exposed to the outer periphery and a wound product (for example, a wire) is provided inside the outer wall (wall portion), the portion covering the wound product protrudes in a spiral shape.

そして、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した検査対象物100の検査に関する、発明者の鋭意研究により、当該検査対象物100が撮像され上述したように処理されて得られた画像IL1,IA1(図4)と画像IL2,IA2(図5)とでは、明るい領域と暗い領域とが異なる(逆転する)場合があるという知見が得られた。具体的には、例えば、図4に示される画像IA1では、検査対象物100の画像Ia,Ibの幅方向(検査対象物100の幅方向)の一方側(図4の例では左側)が明るく、他方側(図4の例では右側)が暗い。また、図5に示される画像IA2では、検査対象物100の画像Ia,Ibの幅方向の他方側(図5の例では右側)が明るく、一方側(図5の例では左側)が暗い。   Then, the image IL1, which is obtained by imaging the inspection object 100 and processing it as described above, by the inventor's earnest research regarding the inspection of the inspection object 100 having a spiral recess or protrusion on the outer periphery. In IA1 (FIG. 4) and images IL2 and IA2 (FIG. 5), it was found that the bright area and the dark area may be different (reverse). Specifically, for example, in the image IA1 shown in FIG. 4, one side (the left side in the example of FIG. 4) of the width direction (width direction of the inspection object 100) of the images Ia and Ib of the inspection object 100 is bright. The other side (right side in the example of FIG. 4) is dark. In the image IA2 shown in FIG. 5, the other side in the width direction of the images Ia and Ib of the inspection object 100 (right side in the example of FIG. 5) is bright and one side (left side in the example of FIG. 5) is dark.

このように、検出対象となる画像Ia,Ibに明るい領域と暗い領域とがある場合、輝度値で二値化する際の閾値の設定等がより難しくなりやすく、ひいては異常の検出がより難しくなりやすい。また、一例として、図4,5の画像Ia中に写っている異常A1は、場所によっては検出しにくい。さらに、画像IA1と画像IA2との差分画像から異常を検出する方式にあっては、異常A1はさらに検出しにくくなる場合がある。例えば、細い皺や傷等の異常A1にあっては、光によって照らされる方向が異なる画像IA1,IA2の双方に影が写り、差分処理によっては影が相殺されて、より検出されにくくなる場合がある。   As described above, when the images Ia and Ib to be detected include a bright region and a dark region, it is more difficult to set a threshold value when binarizing with a luminance value, and thus it is more difficult to detect an abnormality. Cheap. For example, the abnormality A1 shown in the image Ia in FIGS. 4 and 5 is difficult to detect depending on the location. Furthermore, in the method of detecting an abnormality from the difference image between the image IA1 and the image IA2, the abnormality A1 may be more difficult to detect. For example, in the case of an abnormality A1 such as a fine wrinkle or a flaw, shadows appear in both images IA1 and IA2 that are illuminated by light, and the shadows are offset depending on the difference processing, which may be difficult to detect. is there.

そこで、発明者は、鋭意研究を重ねた結果、検査対象物100が撮像され上述したように処理されて得られた二次元の画像IA1(図4)と画像IA2(図5)とが合成(加算、対応する画素の輝度値同士を加算)された二次元の画像IC(図3,8参照)を画像処理することで、より良好な結果が得られる場合があることを見出した。画像IA1と画像IA2との合成に関しては、それら画像IA1,IA2中に含まれ互いに隣接したタイミングの画像IL1と画像IL2とが重ねられる。なお、互いに隣接する画像IL1と画像IL2とは、図3に示されるように、厳密には1ライン分だけタイミングがずれるが、特に光の照射あるいは撮像の切り替え周波数が比較的高い場合には、ほぼ同じ場所の画像(画像データ)と見なすことができる。画像ICでは、含まれる画像IL1,IL2(図3の「1」,「2」)中でのデータの配列方向(図3〜5で左右方向)が、検査対象物100の幅方向(短手方向)に対応し、画像IC中で画像IL1,IL2が並べられた方向(図3〜5で上下方向)が、検査対象物100の長手方向(軸方向)に対応する。   Therefore, as a result of intensive research, the inventor synthesized a two-dimensional image IA1 (FIG. 4) and an image IA2 (FIG. 5) obtained by imaging the inspection object 100 and processing it as described above (see FIG. 5). It has been found that better results may be obtained by performing image processing on a two-dimensional image IC (see FIGS. 3 and 8) that has been subjected to addition and addition of luminance values of corresponding pixels. Regarding the synthesis of the image IA1 and the image IA2, the images IL1 and IL2 included in the images IA1 and IA2 and adjacent to each other are overlapped. As shown in FIG. 3, the images IL1 and IL2 that are adjacent to each other are shifted in timing by exactly one line, but particularly when the light irradiation or imaging switching frequency is relatively high, It can be regarded as an image (image data) in almost the same place. In the image IC, the data arrangement direction (left and right direction in FIGS. 3 to 5) in the included images IL1 and IL2 (“1” and “2” in FIG. 3) is the width direction (short side) of the inspection object 100. The direction in which the images IL1 and IL2 are arranged in the image IC (the vertical direction in FIGS. 3 to 5) corresponds to the longitudinal direction (axial direction) of the inspection object 100.

図8に、画像IA1(図4)と画像IA2(図5)とが合成(加算)された画像ICの一例が示されている。図8に示されるように、合成された画像ICに含まれる検査対象物100の画像Ia,Ibでは、合成前の画像IA1(図4)におよび画像IA2(図5)に含まれる検査対象物100の画像Ia,Ibに比べて幅方向の明るさのむらが減っている。よって、輝度値で二値化する際の閾値の設定等がより容易になりやすく、ひいては異常A1の検出がより容易になりやすい。また、異常A1が暗い領域(影)となって写っている場合には、検査対象物100の画像Ia,Ibの一般部(異常ではない大部分の領域)との輝度値の差(コントラスト)がより大きくなりやすく、ひいては、異常A1の検出がより容易になりやすい。   FIG. 8 shows an example of an image IC obtained by combining (adding) the image IA1 (FIG. 4) and the image IA2 (FIG. 5). As shown in FIG. 8, in the images Ia and Ib of the inspection object 100 included in the combined image IC, the inspection objects included in the image IA1 (FIG. 4) and the image IA2 (FIG. 5) before combining. Compared with 100 images Ia and Ib, the uneven brightness in the width direction is reduced. Therefore, it is easier to set a threshold value when binarizing with the luminance value, and it is easier to detect the abnormality A1. Further, when the abnormality A1 is shown as a dark area (shadow), the difference (contrast) in luminance value from the general part (most area that is not abnormal) of the images Ia and Ib of the inspection object 100 Tends to be larger, and as a result, the abnormality A1 can be detected more easily.

本実施形態では、一例として、検査装置1の制御部20は、図9に示されるような手順で画像処理ならびに異常検出を実行する。制御部20は、検査対象物100が一定速度で移動している状態で、光照射制御部20aならびに撮像制御部20bとして機能し、光照射コントローラ24および撮像コントローラ25ひいては光源2U,2Lならびに撮像部3を制御して、一次元の画像IL1と画像IL2とを交互に取得する(ステップS10)。次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、上述したように複数列の画像IL1と画像IL2とを所定期間内でそれぞれ取得された順に並べて、二次元の画像IA1と画像IA2とを得る(ステップS11)。次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、上述したように画像IA1と画像IA2とを合成(加算)して、画像ICを得る(ステップS12)。なお、画像ICは、画像IA1および画像IA2を経由して生成することは必須ではなく、画像IL1および画像IL2から生成してもよい。   In the present embodiment, as an example, the control unit 20 of the inspection apparatus 1 executes image processing and abnormality detection according to a procedure as shown in FIG. The control unit 20 functions as the light irradiation control unit 20a and the imaging control unit 20b in a state where the inspection object 100 is moving at a constant speed, and the light irradiation controller 24, the imaging controller 25, and the light sources 2U and 2L, and the imaging unit. 3 is controlled to alternately obtain one-dimensional images IL1 and IL2 (step S10). Next, the control unit 20 functions as the image processing unit 20d, and arranges a plurality of columns of images IL1 and IL2 in the order obtained in a predetermined period as described above, and generates two-dimensional images IA1 and IA2. Is obtained (step S11). Next, the control unit 20 functions as the image processing unit 20d, and combines (adds) the image IA1 and the image IA2 as described above to obtain an image IC (step S12). Note that the image IC is not necessarily generated via the image IA1 and the image IA2, and may be generated from the image IL1 and the image IL2.

次に、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、異常A1を検出する処理の対象領域(画像Ia,Ib)を特定(抽出)する(ステップS13)。二次元の画像IA1,IA2,ICでは、画像Ia,Ibは、出現する位置がほぼ固定され、かつ、背景より明るい。よって、ステップS13では、画像IA1,IA2,ICにおける領域の限定や、二値化処理、エッジ検出等によって処理対象領域を特定(抽出)することができる。   Next, the control unit 20 functions as the image processing unit 20d, and specifies (extracts) target areas (images Ia and Ib) for detecting the abnormality A1 (step S13). In the two-dimensional images IA1, IA2, and IC, the positions where the images Ia and Ib appear are substantially fixed and brighter than the background. Therefore, in step S13, the processing target area can be specified (extracted) by limiting the area in the images IA1, IA2, and IC, binarization processing, edge detection, and the like.

次に、制御部20は、画像処理部20d(異常検出部)として機能し、異常A1の検出を実行する(ステップS14)。異常A1は、例えば、二次元の画像IC中に、画像Ia,Ibより暗い部分として含まれている。したがって、ステップS14で、画像処理部20dは、例えば、ステップS13で特定(抽出)された画像Ia,Ibの領域を処理対象として、合成された画像ICについて改めて二値化処理を行い、輝度値が閾値より低い画素について、さらに、グルーピングやラベリング等を行う。これにより、ステップS14では、例えば、画像Ia,Ibの領域内で、他の部分より輝度値が低く(輝度値が閾値より低く)、その数が所定の範囲内である画素群(かたまり)として、異常A1を検出することができる。なお、ステップS14での二値化の閾値は、ステップS13での二値化の閾値とは異なり、当該ステップS13での閾値より低い。また、異常A1の検出については、その形状や位置の特徴を考慮することができる。   Next, the control unit 20 functions as the image processing unit 20d (abnormality detection unit), and detects the abnormality A1 (step S14). The abnormality A1 is included as a darker part than the images Ia and Ib in the two-dimensional image IC, for example. Accordingly, in step S14, the image processing unit 20d performs binarization processing on the synthesized image IC again, for example, using the regions of the images Ia and Ib specified (extracted) in step S13 as the processing target. Further, grouping, labeling, and the like are performed on the pixels having a value lower than the threshold value. Thereby, in step S14, for example, as a group of pixels (lumps) in which the luminance value is lower than the other portions (the luminance value is lower than the threshold value) and the number is within a predetermined range in the regions of the images Ia and Ib. The abnormality A1 can be detected. Note that the binarization threshold in step S14 is lower than the threshold in step S13, unlike the binarization threshold in step S13. In addition, regarding the detection of the abnormality A1, the shape and position characteristics can be taken into consideration.

また、制御部20は、画像処理部20dとして機能し、異常A2を検出する処理の対象領域(画像Ia,Ibの周縁部の領域)を特定(抽出)する(ステップS15)。このステップS15では、画像処理部20dは、例えば、ステップS13で特定(抽出)された画像Ia,Ibの領域の外側(背景中)に隣接した所定幅の領域として、処理の対象領域を特定(抽出)することができる。   Further, the control unit 20 functions as the image processing unit 20d, and specifies (extracts) a target region (region of the peripheral portion of the images Ia and Ib) for detecting the abnormality A2 (step S15). In this step S15, for example, the image processing unit 20d specifies the processing target region as a region having a predetermined width adjacent to the outside (in the background) of the region of the images Ia and Ib specified (extracted) in step S13 ( Extraction).

次に、制御部20は、画像処理部20d(異常検出部)として機能し、異常A2の検出を実行する(ステップS16)。異常A2は、例えば、画像IC中に、画像Ia,Ibの外縁部から線状に突出した明るい部分として含まれている。したがって、ステップS16で、画像処理部20dは、例えば、ステップS15で特定された所定幅の領域を処理対象として、合成された画像ICについて改めて二値化処理を行い、輝度値が閾値より高い画素について、さらに、グルーピングやラベリング等を行う。これにより、ステップS16では、例えば、ステップS15で特定された所定幅の領域内で、画像Ia,Ibに接続されて(連なって)、他の部分より輝度値が高く(輝度値が閾値より高く)、その数が所定の範囲内である画素群(かたまり)として、異常A2を検出することができる。なお、ステップS16での二値化の閾値は、ステップS15での二値化の閾値とは異なり、当該ステップS15での閾値より高い。また、異常A2の検出については、その形状や位置の特徴を考慮することができる。   Next, the control unit 20 functions as the image processing unit 20d (abnormality detection unit), and detects the abnormality A2 (step S16). For example, the abnormality A2 is included in the image IC as a bright portion protruding linearly from the outer edge of the images Ia and Ib. Accordingly, in step S16, the image processing unit 20d performs binarization processing on the synthesized image IC again, for example, with the area having the predetermined width specified in step S15 as a processing target, and pixels whose luminance value is higher than the threshold value. In addition, grouping and labeling are performed. Thereby, in step S16, for example, in the region of the predetermined width specified in step S15, connected to the images Ia and Ib (continuously), the luminance value is higher than the other parts (the luminance value is higher than the threshold value). ), The abnormality A2 can be detected as a pixel group (cluster) whose number is within a predetermined range. Note that the binarization threshold in step S16 is higher than the threshold in step S15, unlike the binarization threshold in step S15. In addition, regarding the detection of the abnormality A2, the shape and position characteristics can be taken into consideration.

次に、制御部20は、表示制御部20eとして機能し、異常A1および異常A2のうち少なくともいずれか一方が検出された場合には(ステップS17でYes)、表示装置40を制御して、例えば、図10に示されるように、異常A1,A2の検出結果を示す画像IRを当該表示装置40の表示画面に表示させる(ステップS18)。この場合、画像IRには、検査対象物100の輪郭線(外形線)等や、位置を識別する座標軸や目盛り等が含まれてもよい。   Next, the control unit 20 functions as the display control unit 20e. When at least one of the abnormality A1 and the abnormality A2 is detected (Yes in step S17), the control unit 20 controls the display device 40, for example, As shown in FIG. 10, an image IR indicating the detection results of the abnormalities A1 and A2 is displayed on the display screen of the display device 40 (step S18). In this case, the image IR may include an outline (outline) of the inspection object 100, a coordinate axis for identifying the position, a scale, and the like.

以上、説明したように、本実施形態では、一例として、検査装置1は、第一画像IA1(IL1)と第二画像IA2(IL2)とが合成された合成画像ICを画像処理して検査対象物100の異常を検出する画像処理部20dを備えた。よって、本実施形態によれば、一例としては、第一画像IA1あるいは第二画像IA2に比べて合成画像ICで明るさのむらが減る場合に、画像処理に基づく異常検出がより容易にあるいはより精度良く実行されやすい。   As described above, in this embodiment, as an example, in the present embodiment, the inspection apparatus 1 performs image processing on the composite image IC in which the first image IA1 (IL1) and the second image IA2 (IL2) are combined, and the inspection target. An image processing unit 20d that detects an abnormality of the object 100 is provided. Therefore, according to the present embodiment, as an example, when unevenness of brightness is reduced in the composite image IC compared to the first image IA1 or the second image IA2, abnormality detection based on image processing is easier or more accurate. Easy to execute well.

また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、螺旋状に巻かれた巻回物を有した。よって、本実施形態によれば、一例としては、螺旋状に巻かれた巻回物を有した検査対象物100で第一画像IA1あるいは第二画像IA2に比べて合成画像ICで明るさのむらが減る場合に、画像処理に基づく異常検出がより容易にあるいはより精度良く実行されやすい。   In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 has a spirally wound object. Therefore, according to the present embodiment, as an example, in the inspection object 100 having a spirally wound object, the brightness unevenness of the composite image IC is larger than that of the first image IA1 or the second image IA2. In the case of reduction, abnormality detection based on image processing is easily performed with higher accuracy.

また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、第一画像IL1と第二画像IL2とを交互に反復して取得する。よって、本実施形態によれば、一例としては、互いに隣接したタイミングで取得された第一画像IL1と第二画像IL2とを合成することができる。よって、合成画像ICがより実物に近い画像として得られやすい。   In the present embodiment, as an example, the imaging unit 3 acquires the first image IL1 and the second image IL2 alternately and repeatedly. Therefore, according to the present embodiment, as an example, the first image IL1 and the second image IL2 acquired at timings adjacent to each other can be synthesized. Therefore, the composite image IC can be easily obtained as an image closer to the real object.

また、本実施形態では、一例として、合成画像は、線状の第一画像IL1を取得した順に配列した二次元の第一画像IA1と、線状の第二画像IL2を取得した順に配列した二次元の第二画像IA2とが合成された画像である。よって、本実施形態によれば、一例としては、ラインセンサによるより高応答あるいは高分解能の画像に基づいて異常検出を実行することができる。また、本実施形態によれば、例えば、二次元の第一画像IA1と第二画像IA2とを差分画像に基づく異常検出処理に利用したり、二次元の第一画像IA1ならびに第二画像IA2自体を異常検出に利用したりすることができる。   In the present embodiment, as an example, the composite image includes two-dimensional first image IA1 arranged in the order in which linear first image IL1 is acquired, and two images arranged in the order in which linear second image IL2 is acquired. This is a composite image of the two-dimensional second image IA2. Therefore, according to the present embodiment, as an example, abnormality detection can be performed based on a higher response or higher resolution image from the line sensor. Further, according to the present embodiment, for example, the two-dimensional first image IA1 and the second image IA2 are used for abnormality detection processing based on the difference image, or the two-dimensional first image IA1 and the second image IA2 itself. Can be used for abnormality detection.

また、本実施形態では、一例として、第一画像IA1(IL1)および第二画像IA2(IL2)には、それぞれ、検査対象物100の複数の部位の画像Ia,Ibが含まれる。よって、本実施形態によれば、一例としては、一つの画像データの画像処理で、検査対象物100の複数の部位の異常検出を実行することができる。よって、一例としては、異常検出の演算時間が減りやすい。   In the present embodiment, as an example, the first image IA1 (IL1) and the second image IA2 (IL2) include images Ia and Ib of a plurality of parts of the inspection object 100, respectively. Therefore, according to the present embodiment, as an example, abnormality detection of a plurality of parts of the inspection object 100 can be executed by image processing of one image data. Therefore, as an example, the calculation time for abnormality detection is likely to be reduced.

また、本実施形態では、一例として、合成画像には、複数の部位の画像が検査対象物100の長手方向に対応する方向と交叉する方向に間隔をあけて含まれる。よって、画像処理に基づく異常検出がより容易にあるいはより精度良く実行されやすい。   In the present embodiment, as an example, the composite image includes images of a plurality of parts at intervals in a direction crossing a direction corresponding to the longitudinal direction of the inspection object 100. Therefore, abnormality detection based on image processing is easily performed with higher accuracy.

また、本実施形態では、一例として、撮像部3は、光を屈折あるいは反射させる光学部品4(ミラー4L,4R)を介して複数の部位の画像を取得する。よって、本実施形態によれば、一例としては、複数の部位の画像を取得する構成が、より簡素な構成として得られやすい。二つのミラー4L,4Rが一体化された光学部品4が用いられる場合、当該検査装置1の製造時やメンテナンス時に、ミラー4L,4Rをより取り扱いやすくなる。   In the present embodiment, as an example, the imaging unit 3 acquires images of a plurality of parts via the optical component 4 (mirrors 4L and 4R) that refracts or reflects light. Therefore, according to the present embodiment, as an example, a configuration for acquiring images of a plurality of parts is easily obtained as a simpler configuration. When the optical component 4 in which the two mirrors 4L and 4R are integrated is used, it becomes easier to handle the mirrors 4L and 4R at the time of manufacturing and maintenance of the inspection apparatus 1.

また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、一方側から光が照らされた場合と他方側から光が照らされた場合とで明るい領域と暗い領域とが光が照らされた方向と交叉する方向に逆転する。よって、本実施形態によれば、一例としては、第一画像IA1および第二画像IA2の特性を利用した画像処理により、検査対象物100の異常がより検出されやすくなる。   In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 has a direction in which light is illuminated in a bright area and a dark area when light is illuminated from one side and when light is illuminated from the other side. Reverses in the direction of crossing. Therefore, according to the present embodiment, as an example, the abnormality of the inspection object 100 is more easily detected by the image processing using the characteristics of the first image IA1 and the second image IA2.

また、本実施形態では、一例として、検査対象物100は、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した長尺状部品である。よって、本実施形態によれば、一例としては、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した長尺状部品が、一方側から光が照らされた場合と他方側から光が照らされた場合とで明るい領域と暗い領域とが光が照らされた方向と交叉する方向に逆転する部品である場合に、第一画像IA1および第二画像IA2の特性を利用した画像処理により、検査対象物100の異常がより検出されやすくなる。   In the present embodiment, as an example, the inspection object 100 is a long component having a spiral concave portion or convex portion on the outer periphery. Therefore, according to the present embodiment, as an example, when a long part having a spiral recess or projection on the outer periphery is illuminated from one side and from the other side In the case where the bright area and the dark area are components that are reversed in the direction intersecting with the direction in which the light is illuminated, the inspection object 100 is obtained by image processing using the characteristics of the first image IA1 and the second image IA2. This makes it easier to detect abnormalities.

また、本実施形態では、一例として、画像処理部20dは、第一画像と第二画像とが合成された合成画像の画像処理により検査対象物の異常を検出する。よって、本実施形態によれば、一例としては、合成画像ICでは、明るさのむらが減るため、検査対象物100の異常がより検出されやすくなる。   In the present embodiment, as an example, the image processing unit 20d detects an abnormality of the inspection object by image processing of a composite image obtained by combining the first image and the second image. Therefore, according to the present embodiment, as an example, in the composite image IC, the unevenness in brightness is reduced, and thus the abnormality of the inspection object 100 is more easily detected.

以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック(構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等)は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、長尺状部品以外であってもよい。また、検査装置は、上述した異常以外の異常を画像処理で検出することができる。また、検査装置は、静止状態で取得された画像で検査してもよい。また、光学部品はミラー以外(例えば、レンズ、プリズム等)であってもよい。また、画像中に検査対象物の三つ以上の部位が含まれてもよい。また、撮像部は、幅方向と交叉する方向(斜め方向)に延びた線状の画像を取得してもよい。また、撮像部は、複数設けられてもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was illustrated, the said embodiment is an example to the last. The embodiment can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, combinations, and changes can be made without departing from the scope of the invention. In addition, the configuration and shape of the embodiment can be partially replaced with other configurations and shapes. In addition, specifications (structure, type, direction, angle, shape, size, length, width, thickness, height, number, arrangement, position, material, etc.) of each configuration, shape, etc. are changed as appropriate. Can be implemented. For example, the inspection object may be other than an elongated part. Further, the inspection apparatus can detect an abnormality other than the abnormality described above by image processing. Further, the inspection apparatus may inspect with an image acquired in a stationary state. The optical component may be other than a mirror (for example, a lens, a prism, etc.). Further, three or more parts of the inspection object may be included in the image. Further, the imaging unit may acquire a linear image extending in a direction crossing the width direction (oblique direction). In addition, a plurality of imaging units may be provided.

1…検査装置、2D…光源、2U…光源、3…撮像部、4…光学部品、4L,4R…ミラー(光学部品)、20b…撮像制御部、20d…画像処理部(異常検出部)、100…検査対象物。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection apparatus, 2D ... Light source, 2U ... Light source, 3 ... Imaging part, 4 ... Optical component, 4L, 4R ... Mirror (optical component), 20b ... Imaging control part, 20d ... Image processing part (abnormality detection part), 100: Inspection object.

Claims (8)

長尺状の検査対象物その長手方向の一方側から照らす第一の光の第一光源と、
前記検査対象物前記長手方向の他方側から前記第一の光と交互に照らす第二の光の第二光源と、
前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一光で照らされたタイミングにおける前記検査対象物の第一の一次元画像の取得と、前記第二光で照らされたタイミングにおける前記検査対象物の第二の一次元画像の取得とを、交互に反復して行う撮像部と、
前記第一の一次元画像と当該第一の一次元画像が取得された後の隣接したタイミングで取得された前記第二の一次元画像とが合成された第三の一次元画像が前記第一の一次元画像が取得された順に当該第三の一次元画像の長手方向との直交方向に並んだ二次元の合成画像を生成する画像処理部と、
前記合成画像を画像処理して前記検査対象物の異常を検出する異常検出部と、
を備えた、検査装置。
A first light source of the first light illuminating an elongated inspection object from one side of the longitudinal direction,
A second light source of the second light illuminating the test object alternately with the first light from the other side of the longitudinal direction,
In a state in which the inspection object is being conveyed in the longitudinal direction, and the acquisition of the first one-dimensional image of the inspection object at a timing that is illuminated by said first light, illuminated by the second light An imaging unit that alternately and repeatedly obtains the second one-dimensional image of the inspection object at a predetermined timing ;
A third one-dimensional image obtained by combining the first one-dimensional image and the second one-dimensional image acquired at an adjacent timing after the first one-dimensional image is acquired is the first one-dimensional image. An image processing unit that generates a two-dimensional composite image arranged in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the third one-dimensional image in the order in which the one-dimensional image is acquired;
An abnormality detection unit for detecting an abnormality of the inspection object by image processing the composite image,
An inspection device comprising:
前記検査対象物は、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した長尺状の検査対象物であって当該検査対象物の長手方向の一方側から光が照らされた場合と他方側から光が照らされた場合とで明るい領域と暗い領域とが当該検査対象物の長手方向と交叉する方向に逆転する検査対象物である、請求項1に記載の検査装置。The inspection object is a long inspection object having a spiral recess or projection on the outer periphery, and light is emitted from one side in the longitudinal direction of the inspection object and light from the other side. The inspection apparatus according to claim 1, wherein a bright region and a dark region are inspected objects that are reversed in a direction crossing the longitudinal direction of the inspection object when the light is illuminated. 前記検査対象物は、螺旋状に巻かれた巻回物を有した、請求項2に記載の検査装置。The inspection apparatus according to claim 2, wherein the inspection object includes a spirally wound object. 前記第一の一次元画像および前記第二の一次元画像には、それぞれ、前記検査対象物の複数の部位の画像が含まれる、請求項1〜のうちいずれか一つに記載の検査装置。 Wherein the first one-dimensional image and the second one-dimensional image, respectively, includes an image of a plurality of sites of the inspection object, the inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3 . 前記合成画像には、前記複数の部位の画像が前記検査対象物の長手方向に対応する方向と交叉する方向に間隔をあけて含まれる、請求項に記載の検査装置。 5. The inspection apparatus according to claim 4 , wherein the composite image includes images of the plurality of parts at intervals in a direction crossing a direction corresponding to a longitudinal direction of the inspection object. 前記撮像部は、光を屈折あるいは反射させる光学部品を介して前記複数の部位の画像を取得する、請求項またはに記載の検査装置。 The imaging unit acquires an image of the plurality of sites via an optical component for refracting or reflecting light, inspection apparatus according to claim 4 or 5. 長尺状の検査対象物を撮像した画像を画像処理して当該検査対象物の異常を検出する検査装置による検査方法であって、
光照射制御部が、第一の光源が前記検査対象物をその長手方向の一方側から第一の光を照らし、第二の光源が前記第一の光源と交互に前記検査対象物を前記長手方向の他方側から第二の光を照らすよう、前記第一の光源および前記第二の光源を制御するステップと、
撮像制御部が、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光で照らされたタイミングにおける前記検査対象物の第一の一次元画像の取得と、前記第二の光で照らされたタイミングにおける前記検査対象物の第二の一次元画像の取得とを、交互に反復して行うよう撮像部を制御するステップと、
異常検出部が、前記第一の一次元画像と当該第一の一次元画像が取得された後の隣接したタイミングで取得された前記第二の一次元画像とが合成された第三の一次元画像が前記第一の一次元画像が取得された順に当該第三の一次元画像の長手方向との直交方向に並んだ二次元の合成画像の画像処理により、前記検査対象物の異常を検出するステップと、
を含む、検査方法。
An inspection method using an inspection apparatus that detects an abnormality of the inspection object by performing image processing on an image obtained by imaging a long inspection object,
The light irradiation control unit is configured such that the first light source illuminates the inspection object with the first light from one side in the longitudinal direction, and the second light source alternately illuminates the inspection object with the first light source. Controlling the first light source and the second light source to illuminate a second light from the other side of the direction;
The imaging control unit acquires the first one-dimensional image of the inspection object at the timing illuminated by the first light in a state where the inspection object is conveyed in the longitudinal direction , and the second the acquisition and the second one-dimensional images of the inspected object in the illuminated timing light, to perform repeated alternately, and controlling the imaging unit,
The third one-dimensional image obtained by synthesizing the first one-dimensional image and the second one-dimensional image acquired at an adjacent timing after the first one-dimensional image is acquired by the abnormality detection unit. Abnormality of the inspection object is detected by image processing of a two-dimensional composite image in which the images are arranged in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the third one-dimensional image in the order in which the first one-dimensional image is acquired. Steps,
Including an inspection method.
前記検査対象物は、外周に螺旋状の凹部または凸部を有した長尺状の検査対象物であって当該検査対象物の長手方向の一方側から光が照らされた場合と他方側から光が照らされた場合とで明るい領域と暗い領域とが当該検査対象物の長手方向と交叉する方向に逆転する検査対象物である、請求項7に記載の検査方法。The inspection object is a long inspection object having a spiral recess or projection on the outer periphery, and light is emitted from one side in the longitudinal direction of the inspection object and light from the other side. The inspection method according to claim 7, wherein the bright area and the dark area are reversed in a direction crossing the longitudinal direction of the inspection object when the light is illuminated.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6793053B2 (en) * 2017-02-09 2020-12-02 リコーエレメックス株式会社 Inspection device and focus adjustment support method
JP7113627B2 (en) * 2018-02-05 2022-08-05 株式会社Screenホールディングス Image Acquisition Device, Image Acquisition Method and Inspection Device
JP7165564B2 (en) * 2018-11-13 2022-11-04 リコーエレメックス株式会社 Image inspection device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5249856A (en) * 1975-10-17 1977-04-21 Kawasaki Heavy Ind Ltd Display device for surface of steel
JPS63155054U (en) * 1987-03-30 1988-10-12
JPH02124504U (en) * 1989-03-25 1990-10-15
JPH08178868A (en) * 1994-12-26 1996-07-12 Japan Aircraft Mfg Co Ltd Fiber cord automatic detecting method and device
JPH0979990A (en) * 1995-09-11 1997-03-28 Toshiba Corp Device and method for inspecting semiconductor device
JP2013522595A (en) * 2010-03-10 2013-06-13 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Application-specific repetitive defect detection in the web manufacturing process

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