JP2014062629A

JP2014062629A - チューブ

Info

Publication number: JP2014062629A
Application number: JP2012209338A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Sunagawa; 武司砂川; Hiroshi Yasumoto; 浩保本; Genji Araki; 源司荒木
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-09-24
Filing date: 2012-09-24
Publication date: 2014-04-10

Abstract

【課題】チューブの摺動箇所においてチューブが傷つき、破損する恐れを低減可能とするチューブを提供する。
【解決手段】可動部を有した装置に配設されるチューブであって、チューブが局所的にコーティングされた被覆部を有し、被覆部は、可動部の動作に応じてチューブが摺動することになる摺動箇所に対応する位置に設けられる、チューブが提供される。これにより、チューブの摺動箇所が被覆部によって保護されるため、チューブの摺動箇所においてチューブが破損するおそれを低減できる。
【選択図】図２

Description

本発明は流体が流れるチューブに関する。

産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。

より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。

また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。

更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。

このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。

そして、以上に説明した各種の加工装置において張り巡らされたチューブは、互いに絡み合うことが無いように、各チューブは複数の所定位置で互いに結束バンドにより結束されることや、例えば加工装置の骨組み（フレーム）等の所定位置に固定されることが行われている。

特開平１０−３２１５６２号公報特開昭５５−１１２７６１号公報

加工装置に組み付けられたチューブにおいて、他の部材がチューブと接触して擦れるなどすると、チューブの表面が傷ついてして劣化し、劣化が進行して破損してしまうことも懸念される。

特に、チューブが加工装置の可動部に接続されており、可動部の動作にチューブが引きつられてチューブが他の部材と接触しながら摺動するような場合には、この摺動箇所においてチューブの表面が傷ついてしまうことが懸念される。

具体的には、例えば、複数のチューブが結束バンドにより結束される場合には、チューブが結束バンドによって擦られることや、チューブが加工装置の骨組み（フレーム）に固定される場合には、チューブが骨組みによって擦られることが懸念される。

さらに、チューブが擦れることによって、チューブの表面が剥離し、剥離したものが異物となって被加工物に付着してしまうなど、予期せぬ不具合が生じてしまうことも懸念される。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブの摺動箇所においてチューブが傷つき、破損する恐れを低減可能とするチューブを提供することである。

請求項１に記載の発明によると、可動部を有した装置に配設されるチューブであって、チューブが局所的にコーティングされた被覆部を有し、被覆部は、可動部の動作に応じてチューブが摺動することになる摺動箇所に対応する位置に設けられる、チューブが提供される。

本発明によると、チューブの摺動箇所が被覆部によって保護されるため、チューブの摺動箇所においてチューブが破損するおそれを低減できる。

本発明を適用する切削装置の例について示す外観斜視図である。第一のチューブ支持具の構成例について示す斜視図である。本発明のチューブの原理を説明する図である。本発明のチューブの他の実施形態について示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置１の外観斜視図を示している。この切削装置１は、ウェーハ等の被加工物を切削加工する装置であり、加工に際して移動可能な可動部として、被加工物を保持する保持手段２、及び、被加工物に切削加工を施す切削手段３を備えている。

保持手段２は、パルスモータ２６によってＸ軸方向に移動する移動基台２３上に配置されるチャックテーブル２１を有して構成される。このチャックテーブル２１により、粘着テープＴを介してリング状のフレームＦと一体となったウェーハＷ（被加工物）が吸引保持される。

切削手段３は、スピンドルハウジング３０によって回転可能に支持されたスピンドル３１の先端部に切削ブレード３２が装着された構成となっている。スピンドルハウジング３０は支持部３３によって支持されており、支持部３３は切り込み送り手段３４によって切り込み方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。

切り込み送り手段３４は、パルスモータ３６によってＹ軸方向に移動する移動基台３８に対し、パルスモータ３５によってＺ軸方向へと移動するように構成される。

そして、基台５上における移動基台２３の近傍には、第一のチューブ支持具６ａがＸ軸方向に伸びるように配設されている。図示の例では、第一のチューブ支持具６ａの一端は基台５上の接続ボックス２３ａに固定され、他端は移動基台２３上の接続ボックス２３ｂに固定されている。

また、第一のチューブ支持具６ａは、接続ボックス２３ａ，２３ｂの間を結ぶような屈曲可能なシート部材６０ａを有して構成されており、シート部材６０ａに対し、結束バンド６２ａや、ベルト部材６２ｂによって、複数のチューブ１１が括り付けられるようになっている。

そして、移動基台２３がＸ軸方向に移動すると、移動基台２３の移動に引きつられてシート部材６０ａが変形し、このシート部材６０ａの変形に伴ってチューブ１１が適宜撓むことで、移動基台２３のＸ軸方向の移動が許容されるようになっている。

同様に、基台５上における移動基台３８の近傍には、第二のチューブ支持具６ｂがＹ軸方向に伸びるように配設されている。図示の例では、第二のチューブ支持具６ｂの一端は基台５上の接続ボックス３８ａに固定され、他端は移動基台３８の側部の接続ボックス３８ｂに固定されている。

また、第二のチューブ支持具６ｂは、接続ボックス３８ａ，３８ｂの間を結ぶような屈曲可能なシート部材６０ｂを有して構成されており、シート部材６０ｂに対し、結束バンド６２ａや、ベルト部材６２ｂによって、複数のチューブ１１が括り付けられるようになっている。

そして、移動基台３８がＹ軸方向に移動すると、移動基台３８の移動に引きつられてシート部材６０ｂが変形し、このシート部材６０ｂの変形に伴ってチューブ１１が適宜撓むことで、移動基台３８のＹ軸方向の移動が許容されるようになっている。

次に、本発明の特徴的な構成について説明する。図２に示すように、第一のチューブ支持具６ａにおいては、シート部材６０ａに対し、複数本のチューブ１１が括り付けられる構成としている。

また、各チューブ１１，１１は、接続ボックス２３ｂに近い部位において、結束バンド６２ａによって複数本が束ねられた状態となっている。図２の例では、３つの束が形成されるようになっている。

さらに、シート部材６０ａには、複数箇所にベルト部材６２ｂがアーチ状に設けられており、ベルト部材６２ｂとシート部材６０ａによって囲んだ空間内に全てのチューブ１１，１１が通されるようになっている。

そして、上述した移動基台２３の移動に伴って各チューブ１１が変形すると、各チューブ１１は、結束バンド６２ａ、或いは、ベルト部材６２ｂに対して摺動する、つまりは、擦れ合うことになる。そして、擦れ合うことによってチューブ１１の表面が傷つき、破損することが懸念される。

このため、本実施形態では、各チューブ１１において結束バンド６２ａ、或いは、ベルト部材６２ｂに対して摺動する摺動箇所１３，１３のそれぞれにおいて、チューブ１１の表面を保護するための被覆部１５が形成されることとしている。

より具体的には、図３に示すように、チューブ１１の表面において、結束バンド６２ａ、或いは、ベルト部材６２ｂなどの他の部材と接触することが予定される摺動箇所１３において、チューブ１１の表面を保護するためのコーティングを施した被覆部１５を形成するものである。

被覆部１５を形成するためのコーティングに用いるコーティング剤については特に限定するものではないが、例えば合成樹脂からなるコーティング剤を用いる場合には、耐摩耗性を呈しつつ、強い耐水性を呈することが好ましく、更には、擦れた際に異物が発生し難いものが好ましい。

また、コーティングの形態については特に限定するものではないが、例えば、インクジェット方式によってチューブ１１の表面に塗布する形態や、シート状のシールなどを貼付する形態などが考えられる。

また、被覆部１５は、チューブ１１の外周方向の全周に設けられることとするほか、摺動が予想される一部の部位（例えば、チューブ１１の外周方向の３６０度の範囲において、１８０度の範囲（半分の範囲））にのみ設けられることとしてもよい。

さらに、図４に示すように、例えば、結束バンド６２ａに対して結束される部位を表示する結束位置表示１７がチューブ１１に表示される。この結束位置表示１７により、結束バンド６２ａによってチューブ１１を束ねる作業を容易にすることができる。

なお、この結束位置表示１７は、例えば、インクジェット方式や、レーザービーム照射によってチューブ１１上に表示することが考えられる。また、この結束位置表示１７が見えるように、被覆部１５は透明、或いは、半透明とすることが好ましい。

以上のようにして、本発明を実施することができる。
即ち、可動部となる移動基台２３を有した装置に配設されるチューブ１１であって、チューブ１１が局所的にコーティングされた被覆部１５を有し、被覆部１５は、可動部となる移動基台２３の動作に応じてチューブ１１が摺動することになる摺動箇所１３，１３に対応する位置に設けられる、チューブが構成される。

これにより、チューブ１１の摺動箇所１３が被覆部１５によって保護されるため、チューブ１１の摺動箇所１３においてチューブ１１が破損するおそれを低減できる。

なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。

６ａ第一のチューブ支持具
６ｂ第二のチューブ支持具
１１チューブ
１３摺動箇所
１５被覆部
１７結束位置表示
２３移動基台
６０ａシート部材
６２ａ結束バンド
６２ａ移動結束バンド
６２ｂベルト部材

Claims

可動部を有した装置に配設されるチューブであって、
該チューブが局所的にコーティングされた被覆部を有し、
該被覆部は、該可動部の動作に応じて該チューブが摺動することになる摺動箇所に対応する位置に設けられる、チューブ。