JP2014060193A - 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び電気機械変換素子の製造方法 - Google Patents
電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び電気機械変換素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】下地上に形成された金属層と、該金属層上の一部に形成された導電性酸化物層と、を有する第1の電極と、前記導電性酸化物層上に形成された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上の少なくとも一部に形成された第2の電極と、を含み、前記第1の電極における、前記電気機械変換膜に覆われていない領域の前記下地からの高さと、前記金属層と前記導電性酸化物層との界面の前記下地からの高さと、の差が5nm以内である、電気機械変換素子。
【選択図】図1
Description
前記導電性酸化物層上に形成された電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上の少なくとも一部に形成された第2の電極と、
を含み、
前記第1の電極における、前記電気機械変換膜に覆われていない領域の前記下地からの高さと、前記金属層と前記導電性酸化物層との界面の前記下地からの高さと、の差が5nm以内である、
電気機械変換素子が提供される。
本実施形態の電気機械変換素子を液滴吐出ヘッドに適用した場合の、実施形態について説明する。
本実施形態においては、電気機械変換膜45の材料として、PZTを主に使用した。PZTとは、ジルコン酸鉛(PbZrO3)とチタン酸鉛(PbTiO3)の固溶体である。例えば、PbZrO3とPbTiO3の比率が54:47の割合で、化学式で示すとPb(Zr0.54、Ti0.47)O3、一般にはPZT(54/47)と示されるPZTなどを使用することができる。PbZrO3とPbTiO3の比率によって、PZTの特性が異なる。
本実施形態において、第1の電極は、金属層と該金属層上の一部に形成された導電性金属層とを積層した構造のものを使用することができる。
また、第2の電極の材料としても、第1の電極と同様の、高い耐熱性を有する金属などの材料を使用することができる。第2の電極は、スパッタ法や真空蒸着等の真空成膜法などの方法により作製することができる。
第1の電極は、電気機械変換素子に信号入力する際の共通電極として電気的接続をするので、その下部にある振動板は絶縁体又は導体を絶縁処理したものを使用することができる。
本実施形態に係る電気機械変換素子の製造方法について、図を参照して説明する。
下地上に金属層及び導電性酸化物層を積層する工程と、
導電性酸化物層上にレジスト組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程と、
レジスト膜を露光、現像してパターニングする工程と、
パターニングされたレジスト膜をマスクとして、第1の電極における、レジスト膜に覆われていない領域の下地からの高さと、金属層と導電性酸化物層との界面の下地からの高さと、の差が5nm以内となるようにドライエッチングする工程と、
領域を疎水性に表面改質する工程と、
第1の電極上の表面改質されていない領域に、インクジェット方式により、電気機械変換膜の前駆体を含むゾルゲル液を塗布する工程と、
塗布された前記ゾルゲル液を熱処理する工程と、
を含む。
これより、実施形態を説明することにより、より詳細に本発明を説明する。
本実施形態では、前述した実施形態の電気機械変換素子を液滴吐出ヘッドに適用した実施形態について、説明する。
第3の実施形態では、第2の実施形態の液滴吐出ヘッドを搭載した、インクジェット用記録装置の一例について、図6及び図7を参照して説明する。なお、図6は、本実施形態のインクジェット記録装置を説明するための概略図であり、図7は、本実施形態のインクジェット記録装置を説明するための他の概略図である。
11 ノズル孔
12 ノズル板
20 液室基板
21 液室
30 振動板
40 電気機械変換素子
41 密着層
42 金属層
43 導電酸化物層
44 第1の電極
44 電気機械変換膜
45 第2の電極
Claims (7)
- 下地上に形成された金属層と、該金属層上の一部に形成された導電性酸化物層と、を有する第1の電極と、
前記導電性酸化物層上に形成された電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上の少なくとも一部に形成された第2の電極と、
を含み、
前記第1の電極における、前記電気機械変換膜に覆われていない領域の前記下地からの高さと、前記金属層と前記導電性酸化物層との界面の前記下地からの高さと、の差が5nm以内である、
電気機械変換素子。 - 前記電気機械変換膜が形成されていない領域の表面における、前記金属の濃度が75モル%以上である、
請求項1に記載の電気機械変換素子。 - 前記金属は、Pt、Au、Ag及びCuの群から選択される1つである、請求項1又は2に記載の電気機械変換素子。
- 前記導電性酸化物は、化学式ABO3、IrO2又はRuO2である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
(但し、化学式ABO3中、AはSr、Ba、Ca又はLaであり、BはRu、Co又はNiである。) - 請求項1乃至4に記載の電気機械変換素子を含む、液滴吐出ヘッド。
- 請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを含む、画像形成装置。
- 下地上に形成された金属層と、該金属層上の一部に形成された導電性酸化物層と、を有する第1の電極と、
前記導電性酸化物層上に形成された電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上の少なくとも一部に形成された第2の電極と、
が少なくとも積層された電気機械変換素子の製造方法であって、
下地上に金属層及び導電性酸化物層を積層する工程と、
前記導電性酸化物層上にレジスト組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜を露光、現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記レジスト膜をマスクとして、前記第1の電極における、レジスト膜に覆われていない領域の前記下地からの高さと、前記金属層と前記導電性酸化物層との界面の前記下地からの高さと、の差が5nm以内となるようにドライエッチングする工程と、
前記領域を疎水性に表面改質する工程と、
前記第1の電極上の表面改質されていない領域に、インクジェット方式により、前記電気機械変換膜の前駆体を含むゾルゲル液を塗布する工程と、
塗布された前記ゾルゲル液を熱処理する工程と、
を含む、電気機械変換素子の製造方法。
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