JP2014053593A - 半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光素子は、少なくとも第1導電型半導体層、発光層および第2導電型半導体層がこの順で積層され、発光層からの光が第1導電型半導体層側から放射するフリップチップ型の半導体発光素子である。この半導体発光素子は、第2導電型半導体層上に設けられた透明電極と、透明電極上に設けられ、屈折率の異なる誘電体からなる層が交互に積層された多重反射膜と、多重反射膜上に設けられ、発光層からの光に対して高反射率を有する金属からなり、少なくとも一部が透明電極に接するように設けられた電極と、電極上に設けられた接合電極17aとを備える。接合電極17aが電極と接する接触部と、電極が透明電極と接する接触部Rとは平面視において異なる位置に形成される。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体発光素子の平面図であり、図2〜図4は、図1に示す平面図においてA−A’、B−B’、C−C’の断面で切断したときの断面図を示している。上記各図面を用いて、本実施形態により得られる半導体発光素子の説明を行う。尚、図1〜図4で示す各部材の詳細については後述するものとする。
図16に第2の実施形態に係る半導体発光素子の一断面図を示す。本実施形態は、電極が透明電極5と接する接触部の下方であってp型窒化物半導体層4と透明電極5との間に電流非注入層51がp型窒化物半導体層4に接して形成されていることを除いては、上記第1の実施形態と同一である。電流非注入層51は、本実施形態に係る半導体発光素子に電圧を印加したときであっても電流が流れない部分であり、フォトリソグラフィ法などを用いてSiO2などで形成されることが好ましい。
Claims (13)
- 少なくとも第1導電型半導体層、発光層および第2導電型半導体層がこの順で積層され、前記発光層からの光が前記第1導電型半導体層側から放射するフリップチップ型の半導体発光素子であって、
前記第2導電型半導体層上に設けられた透明電極と、
前記透明電極上に設けられ、屈折率の異なる誘電体からなる層が交互に積層された多重反射膜と、
前記多重反射膜上に設けられ、前記発光層からの光に対して高反射率を有する金属からなり、少なくとも一部が前記透明電極に接するように設けられた電極と、
前記電極上に設けられた接合電極とを備え、
前記接合電極が前記電極と接する接触部と、前記電極が前記透明電極と接する接触部とは平面視において異なる位置に形成される半導体発光素子。 - 前記電極が前記透明電極と接する接触部は、複数個形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記電極は、p側電極及びn側電極のいずれか一方であり、前記p側電極及び前記n側電極の他方は、前記第1導電型半導体層とのオーミック接続電極を兼ねることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記第1導電型半導体層に対して前記発光層とは反対側には、透光性を有する基板が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記第1導電型半導体層、前記発光層および前記第2導電型半導体層を含む半導体層を備え、
前記透明電極から最も離れて位置する半導体層の面は、凹凸形状を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体発光素子。 - 前記接合電極は、前記電極上に設けられた絶縁膜をテーパー状に加工して形成された開口部において、前記電極と接することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記接合電極は、導電性バンプであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記接合電極は、多層金属膜により形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記電極が前記透明電極と接する接触部の下方であって少なくとも前記第2導電型半導体層と前記透明電極との間には、電流非注入層が前記第2導電型半導体層に接して設けられていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 少なくとも第1導電型半導体層、発光層および第2導電型半導体層がこの順で積層されてなる半導体層を備え、前記発光層からの光が前記第1導電型半導体層側から放射するフリップチップ型半導体発光素子を製造する方法であって、
前記半導体層を形成する工程と、
前記第2導電型半導体層上に、透明電極を形成する工程と、
前記透明電極上に、屈折率の異なる誘電体からなる層が交互に積層された多重反射膜を形成する工程と、
少なくとも一部が前記透明電極に接するように、前記多重反射膜上に、前記発光層からの光に対して高反射率を有する金属からなる電極を形成する工程と、
前記電極上に、接合電極を形成する工程とを備え、
前記接合電極を形成する工程は、平面視において、前記電極が前記透明電極と接する前記接触部とは異なる位置に、前記接合電極が前記電極と接する接触部を形成する工程を有することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記半導体層を形成する工程は、透光性を有する基板上に前記半導体層を形成する工程を有し、
前記半導体層を形成する工程の後に、前記基板を除去する工程を行なうことを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記透明電極から最も離れて位置する半導体層の面を凹凸形状に加工する工程をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記接合電極を形成する工程は、蒸着リフトオフ法、スパッタ法、メッキ法または印刷法により前記接合電極を形成することを特徴とする請求項10〜12のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016047950A1 (en) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Light emitting device and method of fabricating the same |
KR20180024555A (ko) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 소자, 발광 소자 및 이를 구비한 조명 장치 |
US10804451B2 (en) | 2017-10-26 | 2020-10-13 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and production method therefor |
JP2022079935A (ja) * | 2020-11-17 | 2022-05-27 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及び発光素子の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003224138A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法およびこれを用いた液晶表示装置 |
JP2008112957A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-05-15 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | GaN系LEDチップ |
JP2008192710A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子 |
WO2011040478A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 京セラ株式会社 | 発光素子、および発光素子の製造方法 |
WO2011071100A1 (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-16 | 昭和電工株式会社 | 半導体発光素子、半導体発光素子を用いた発光装置および電子機器 |
US20110233589A1 (en) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | Kim Sungkyoon | Light-emitting device, light-emitting device package and lighting system |
JP2012059745A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Toshiba Corp | 半導体素子 |
JP2012074665A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-04-12 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード |
JP2012114130A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Panasonic Corp | 発光素子 |
-
2013
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003224138A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法およびこれを用いた液晶表示装置 |
JP2008112957A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-05-15 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | GaN系LEDチップ |
JP2008192710A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子 |
WO2011040478A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 京セラ株式会社 | 発光素子、および発光素子の製造方法 |
WO2011071100A1 (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-16 | 昭和電工株式会社 | 半導体発光素子、半導体発光素子を用いた発光装置および電子機器 |
US20110233589A1 (en) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | Kim Sungkyoon | Light-emitting device, light-emitting device package and lighting system |
JP2012074665A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-04-12 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード |
JP2012059745A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Toshiba Corp | 半導体素子 |
JP2012114130A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Panasonic Corp | 発光素子 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016047950A1 (en) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Light emitting device and method of fabricating the same |
US10283685B2 (en) | 2014-09-26 | 2019-05-07 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Light emitting device and method of fabricating the same |
US10700249B2 (en) | 2014-09-26 | 2020-06-30 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Light emitting device and method of fabricating the same |
KR20180024555A (ko) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 소자, 발광 소자 및 이를 구비한 조명 장치 |
KR102571788B1 (ko) | 2016-08-30 | 2023-09-04 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 반도체 소자, 발광 소자 및 이를 구비한 조명 장치 |
US10804451B2 (en) | 2017-10-26 | 2020-10-13 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and production method therefor |
JP2022079935A (ja) * | 2020-11-17 | 2022-05-27 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及び発光素子の製造方法 |
JP7300603B2 (ja) | 2020-11-17 | 2023-06-30 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及び発光素子の製造方法 |
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