JP2014052474A - マスクデータ作成方法、それを実行するプログラムおよび情報処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このマスクデータ作成方法は、1つのマスクを用いて基板に露光した後、他のマスクを用いて基板に露光する多数回露光に用いられる複数のマスクのデータをコンピューターを用いて作成するものであり、複数のパターン要素を含むパターンのデータを取得するステップ(S100)と、パターンの配置制約条件を決定するステップ(S101)と、配置制約条件を定式化するステップ(S102)と、パターンの間の距離を解析するステップ(S103)と、距離の制約条件を定式化するステップ(S104)と、パターンの分割数を表す第1変数と、すべてのパターンに関する距離を表す第2変数とをコスト関数に適用し、パターンの分割を行うステップ(S105)とを有する。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 1つのマスクを用いて基板に露光した後、他のマスクを用いて前記基板に露光する多数回露光に用いられる複数のマスクのデータをコンピューターを用いて作成するマスクデータ作成方法であって、
複数のパターン要素を含むパターンのデータを取得するステップと、
前記パターンの配置制約条件を決定するステップと、
前記配置制約条件を定式化するステップと、
前記パターンの間の距離を解析するステップと、
前記距離の制約条件を定式化するステップと、
前記パターンの分割数を表す第1変数と、すべての前記パターンに関する前記距離を表す第2変数とをコスト関数に適用し、前記パターンの分割を行うステップと、
を有することを特徴とするマスクデータ作成方法。 - 前記パターンの分割を行うステップでは、複数の前記パターンに関する前記距離の最小値を前記コスト関数として用いることを特徴とする請求項1に記載のマスクデータ作成方法。
- 前記配置制約条件、前記距離の制約条件、および前記コスト関数を整数問題として記述し、
前記パターンの分割を行うステップでは、整数計画法または混合整数計画法が用いられることを特徴とする請求項1または2に記載のマスクデータ作成方法。 - 前記第1変数に掛かる係数は、正の定数であり、
前記第2変数に掛かる係数は、負の定数であり、
前記コスト関数は、これら2つの項を含む多項式で表され、
前記コスト関数を最小化することによって計算される、
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のマスクデータ作成方法。 - 前記第1変数に掛かる係数は、負の定数であり、
前記第2変数に掛かる係数は、正の定数であり、
前記コスト関数は、これら2つの項を含む多項式で表され、
前記コスト関数を最大化することによって計算される、
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のマスクデータ作成方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のマスクデータ作成方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のマスクデータ作成方法を実行することを特徴とする情報処理装置。
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