[0027] ここで、図面を参照して本発明について詳細に記載する。図面は、当業者が本発明を実施することができるように、本発明の説明のための例として提供する。特に、以下の図面及び例は、本発明の範囲を単一の実施形態に限定することは意図しておらず、記載した又は例示した要素の一部又は全てを交換することによって他の実施形態も可能である。更に、既知のコンポーネントを用いて本発明のいくつかの要素を部分的に又は完全に実施可能である場合は、本発明の理解のために必要なかかる既知のコンポーネントの部分のみを説明し、かかる既知のコンポーネントの他の部分の詳細な説明は省略して、本発明を曖昧にしないようにする。ソフトウェアにおいて実施されるものとして記載する実施形態はそれに限定されず、本発明において特に明記しない限り、当業者に明らかであるように、ハードウェア、又はソフトウェア及びハードウェアの組合わせ、ならびにその逆において履行される実施形態を含むことができる。本明細書において、単一のコンポーネントを示す実施形態は、限定として見なされるものではなく、本発明は、明示的に述べられない限り、複数の同一コンポーネント、及びその逆を含む他の実施形態を包含することが意図される。更に、明示的にそのように述べない限り、出願人らは、明細書又は特許請求の範囲におけるいずれの言葉も、一般的でないか又は特別な意味と見なすことを意図しない。更に、本発明は、例示として本発明において言及される既知のコンポーネントに対する現在及び将来の既知の均等物を包含する。
[0028] 図1は、例示的なモデルベースのカラーリングプロセスのフローチャート1100を示す。モデルベースのカラーリングプロセスは、1つのターゲットパターンを、多数のマスク間に分散させた多数のフラグメント(fragment)jに分割する(ここでjはフラグメントを識別するために割り当てた番号である)。マスクは、多重露光プロセスにおいて個別に結像され、これらの像の重ね合わせによって基板上にターゲットパターンを再生する。例えば、二重露光プロセスでは、各フラグメントは第一又は第二のいずれかのマスク上にある。同様に、三重露光プロセスでは、各フラグメントは、第一、第二、又は第三のマスクの1つの上にある。異なるマスクへのフラグメントの割り当ては、得られる像パターンの品質測定基準(quality metric)に基づくことができる。各マスクにどのフラグメントを割り当てるかを決定するプロセスは、カラーリングとして知られる整数計画法(integer programming)の形態である。
[0029] ターゲットパターンは、GDS、GDSII、又はOASIS等の専用の又は標準のデータフォーマットで記載することができる。ターゲットパターンを、例えば、フィーチャ、フィーチャの部分、又は画素にフラグメント化(1105)することができる。ターゲットパターンをフラグメント化するためには様々な技法を使用可能である。例えば、米国特許出願第12/509,389号は、各パターンフィーチャの頂点からの最小解像可能距離に関連付けた長さを有する光線を投影し、隣接するパターンフィーチャが光線と交差する場所で、隣接するパターンフィーチャをフラグメント化することを記載する。用いる光線の長さは、例えば照明のタイプ(アニュラ(annular)、クワドラチャ(quadrature)、オフアクシス(off-axis等)、照明源の波長λ、投影レンズの開口数(NA)等、リソグラフィ装置の照明設定に基づいて決定することができる。この結果、例えば最小数のフラグメントを有するフラグメント化のような、ターゲットパターンの最適なフラグメント化を提供することができる。
[0030] しかしながら、カラーリングと衝突しないターゲットパターンの最適なフラグメント化は既知でないことがある。このため、一実施形態に従って、ターゲットパターンの画素化によってターゲットパターンのフラグメント化を実行する。換言すると、ターゲットパターンを、単純な及び/又は規則的なフラグメントアレイに分割することができる。ターゲットパターンの画素化によって、最も一般的なフラグメント化が行われる。従って、ターゲットパターンのフラグメント化とカラーリングとの間の衝突を軽減又は排除することができる。更に、画素の解像度を調節することによって、様々なレベルの精度を与えることができる。
[0031] 図2は、画素にフラグメント化された例示的なターゲットパターン200を示す。「+」は、各フラグメント202−jの番号jの前にあり、各フラグメントの中心を示す。ターゲットパターン200において、3つの異なるパターンフィーチャ204、206、及び208が、実質的に同一のサイズのフラグメント202−jに分割されており、j=1から32の番号が付いている。各フラグメント202−jは、最初にマスクMに割り当てられる。ここでMは整数である。二重露光では、例えば、各フラグメント202−jを、第一のマスク(すなわちM=0)又は第二のマスク(すなわちM=1)上のいずれかに配置することができる。例えば、Mj=016は、フラグメント16が第一のマスク上に位置していることを示す。一実施形態においては、各マスクに特定のカラーを関連付けて、各フラグメントのカラーが、そのフラグメントが位置しているマスクを識別するようになっている。更に、一実施形態では、各マスクに、例えば0°又は180°のような特定の照明位相を関連付ける。また、特定のフラグメントについてのマスク割り当てを設計するために、追加の技法も使用可能である。
[0032] 図1を参照すると、得られた像パターンの品質測定基準を算出するために、ターゲットパターン上の位置に評価点が割り当てられる(1110)。一実施形態においては、品質測定基準は、例えば、イメージログスロープ(ILS:image log slope)又は正規化イメージログスロープ(NILS:normalized image log slope)とすることができる。ILSは、得られた像パターンにおける明るい領域から暗い領域への遷移の峻度を表す。具体的には、遷移が急激である場合、基板上に結像されたパターンフィーチャはエッジ解像力(edge definition)が改善している。ILSは、照明強度について正規化した遷移点における強度の傾斜(slope)の値である。すなわち以下のとおりである。
[0033] 更に、ILSは、フィーチャの幅(例えばラインの幅)の百分率として表現されることが多い。従って、NILSは、ラインの幅について正規化したILSを表す。すなわち以下のとおりである。
[0034] 本開示はILS値を評価することを記載するが、ILS、NILS、又は、例えば露光寛容度(EL:exposure latitude)、焦点深度(DOF:depth of focus)、クリティカルディメンション均一性(CDU:critical dimension uniformity)、MEEF(mask error enhancement factor)、プロセスウインドウ(PW:process window)、及び/又はエッジ配置誤差(EPE:edge placement error)のような、得られる像パターンの他の品質測定基準を用いることも可能であることは理解されよう。
[0035] 図2は、更に、所与のターゲットパターン200のフラグメント202−jに割り当てられたILS評価点210−pの例示的な配置を示す。「*」は、各ILS評価点210−pの前にある。評価点にはp=1から36までの番号が付いている。各フラグメント202に少なくとも1つのILS評価点210を割り当てて、各フラグメントごとにILSを評価可能とすることが必要である。一実施形態においては、ターゲットパターン200における各フィーチャ204、206、208の外側エッジ上(すなわち周囲上)に、ILS評価点を配置することができる。しかしながら、ILS評価点210を、2つ以上のフラグメント間に共通した(すなわち共有された)フラグメント202のエッジ上に配置する必要はない。従って、ILS評価点210を、他のターゲットパターンフィーチャに隣接せずそれらに近接していないフラグメント202のエッジ上に配置する必要がない場合がある。
[0036] 例えば、一実施形態においては、ILS評価点210を、隣接するパターンフィーチャの所定の距離内にあるフラグメント202のエッジ上に配置する。具体的には、評価点210を、例えば0.3λ/NA未満の距離だけ離れた隣接するパターンフィーチャのエッジ上に配置することができる。更に、一実施形態では、ILS評価点210を、結像が難しいことがわかっている位置に(例えばパターンフィーチャの角に)設けることができる。例えば米国特許出願第12/509,389号に開示されたように、ILS評価点210を配置するための追加の技法も可能である。
[0037] 図1を参照すると、フラグメント間でクリティカルリンク(critical link)kが求められる(1115)。クリティカルリンクは、ILS評価点210のグループを同一フラグメント202に割り当てたこと、及び/又はフラグメントが近接しているのでそれらの各ILS値が相互依存していること(すなわちフラグメントが相互に影響し合うこと)を示す。クリティカルリンクが見出されるのは、ILS評価点の離間距離が所定値よりも小さい場合である。例えば一実施形態において、この距離は0.3λ/NAよりも小さい。フラグメント間のクリティカルリンクを求めることによって、所与のフラグメントの最適化がどのように残りのフラグメントに影響を及ぼすかを査定することができる。一実施形態では、特定のフラグメントを最適化することの効果を評価する負担は、この特定のフラグメントとクリティカルリンクを共有するフラグメントのみを考察することによって軽減される。図3は、フラグメント202−22とフラグメント202−11、−15、−19、−20、−21、−23、−24及び−26との間に存在する例示的なクリティカルリンク212を示す。
[0038] 図1を参照すると、各ILS評価点においてILS値が評価される(1120)。ILS値は、限定ではないが、参照により本明細書に組み込むものとする米国特許第7,493,589号に開示された方法等、様々な方法を用いて算出することができる。一実施形態では、例えばクエーサー照明、σin=0.69及びσout=0.89、NA=1.35、ならびにk1=0.224を有する照明設定に関してILS値を求める。
[0039] 評価点を分類し、最小のILS値ILSminを有する評価点を最適化のために識別する(1125)。ILSi、勾配(gradient)、及びヘッシアン(Hessian)に基づいて、ILSminを有するフラグメントのための最適なカラー割り当てを決定する(1130)。具体的には、1つのフラグメントは2つ以上のILS評価点を有する場合があるので、ILSiは、所与のフラグメントの全てのILS値として規定される。所与のフラグメントjを異なるマスクMに割り当てることによってそのフラグメントのILS値を改善することができる程度を、勾配すなわち以下を算出することによって決定することができる。
[0040] 具体的には、勾配は、フラグメントを異なるマスクMに割り当てた場合に各ILSi値がどのように変化するかを示す。勾配は、例えば、フラグメントの最終ILS値からフラグメントの初期ILS値を減算することによって算出可能である。例えば、フラグメントjを第一のマスクから第二のマスクに割り当てた場合、勾配は、フラグメントのILS値の変化に等しい。すなわち、ΔILS=ILSM=1−ILSM=0である。図4は、図2のターゲットパターン200について、様々なフラグメント202(x軸)及びILS評価点210(y軸)に関連したスケール402当たりの勾配値を示す例示的なグラフを示す。
[0041] 更に、ヘッシアン
は、競合状況を防ぐために2つのフラグメントMm及びMnのカラー割り当てを変更することに関して算出される。例えば、全てのILSi値が上昇する場合には、フラグメントのカラー割り当てを変更することが望ましい。しかしながら、1つのフラグメントが多数のILS値を有する場合、フラグメントのカラー割り当てを変更すると、いくつかのILSi値が上昇し、他のILSi値が低下することがある。換言すると、1つのフラグメントが複数の負の勾配を有する場合、このフラグメントのカラー割り当てを変更すると、負の勾配を有するILS評価点についてILSi値が低下する。ヘッシアンを算出することによって、フラグメントのILS評価点のいくつかについてILS値が低下する場合があるという事実にもかかわらずフラグメントのカラー割り当てを変更することが望ましいか否かを判定することができる。図5は、図2のターゲットパターン200について、他のフラグメント202(y軸)に対する様々なフラグメント202(x軸)に関連付けたスケール502当たりのヘッシアンを示す例示的なグラフを示す。
[0042] 各ILSiごとの勾配及びヘッシアンを合計し、勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(1135)。すなわち、以下のとおりである。
[0043] 具体的には、
は、フラグメントjのILS値の変化の和である。更に、「j∈k」は、和が、フラグメントと、物理的な近接の結果としてのカラー変更によって影響される関連したILS値とを含むことを示す。同様に、
は、フラグメントm及びnのILS値の第二導関数(second derivative)の和である。更に、「m,n∈k」は、和が、フラグメントと、物理的な近接の結果としてのカラー変更によって影響される関連したILS値とを含むことを示す。jが勾配を算出するためのフラグメントを表すのと同様に、m及びnはヘッシアンを算出するために用いられるフラグメントを表すことに留意すべきである。しかしながら、ヘッシアンは二次導関数であるので、ヘッシアンを算出するためにはフラグメントm及びnの双方のカラー割り当てを変更しなければならない。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求めることによって、フラグメントj又はフラグメントm及びnのカラー割り当てを変更すべきか否かを判定する(1140)。
[0044] カラー割り当てを変更した後、ILSminすなわちILSmin+1を再び算出する(1145)。ILSminの変化が閾値を超えるか否か(1150)、すなわち、以下であるか否かを判定する。
[0045] 具体的には、結果をスケーリングするために、ILSminの変化すなわちΔILSmin=ILSmin+1−ILSminをILSminで除算する。次いで、スケーリングしたILSminの変化を、例えば0.1のような閾値と比較する。スケーリングしたILSminの変化が閾値を超えている場合、最適化プロセスは引き続き、最適化する次のフラグメントすなわちILSmin+1のフラグメントjを決定する(1125)ために、(1125)に戻る。0.1という閾値は、ILSmin値が最適化によって改善した場合又は少なくとも著しくは低下しなかった場合に、ブランチ(branch)の最適化が継続することを示す。ILSminがグローバル最適値に達するまで最適化は継続する。あるいは、スケーリングしたILSminの変化が閾値を超えない場合は、ブランチの最適化を終了させる(1160)。
[0046] ブランチを終了させた場合(1160)、収束(convergence)のためのチェックを実行する(1165)。最適化のブランチが残っておらず、従ってILSminがグローバル最適値に達したことが示される場合に、収束が検出される。収束が検出されると最適化が終了する(1175)。あるいは、収束が検出されない場合は、最適化は引き続いて、次に高い
を決定し(1170)、フラグメントすなわちj又はm及びnの関連したカラー割り当てを変更する。
[0047] 図9から図61は、図1に関連付けて上述したカラーリングプロセスを、図6の例示的なターゲットパターン600に適用して示す。具体的には、図6は、54のフラグメント602に分割されたターゲットパターン600を示しており、各フラグメントの番号の前には「+」が付されている(図1の1105)。更に、各フラグメントに少なくとも1つのILS評価点610が割り当てられているが、上述したように、結像が難しいと認められる領域においては(例えば角)、もっと多くのILS評価点を設けることも可能である。図6において、54のフラグメント602に72のILS評価点610が割り当てられており、各評価点の前には「*」が付されている(図1の1110)。相互に物理的に近接しているのでグループ内のフラグメント602のカラー割り当ての変更がグループ内の他のフラグメント602のILS値に影響を及ぼすフラグメント602間で、クリティカルリンク612が識別される(図1の1115)(図示せず)。各ILS評価点610においてILS値を算出する(図1の1120)。図7に初期ILS値をグラフで示す。この例では、4つの最低値を有するILS評価点610は、それぞれ、ILS27、ILS11、ILS19、及びILS66であることがわかる(すなわち点610−27、610−11、610−19、及び610−66で計算されたILS)。図8は、図6のターゲットパターンの様々なフラグメント602に関連付けたヘッシアン値の例示的な図を示す。
[0048] 図35は、4つの最低ILS評価点610の値を示す。具体的には、ILS11及びILS27は双方とも−10.02の最低ILS値を有する。図35は、更に、最適化のために選択したILS27を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M24M25のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M23及びM25のヘッシアンの和を2番目に大きい和と判定する。図9は、フラグメント602−24及び602−25のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターン600を示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図35は、ILS27が−10.02から6.43に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS11であり−10.02の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は−0.1の閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
[0049] 換言すると、最適化はILS27を改善し、ILSminを低下させなかった。また、図35は、次に大きい和を有する代替的なブランチすなわちM23M25を採用することから得られるはずのILS値の改善も示す。ブランチM23M25はILS27を−10.02から5.10に改善するだけであるが、最適化プロセスはこのブランチに戻ることも可能である。例えば、M24M25を終了させた場合にブランチM23M25を採用することができる(図1の1160)。
[0050] 図36は、最適化のために選択したILS11を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M8M9のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M7M9のヘッシアンの和を2番目に大きい和と判定する。図10は、フラグメント602−8及び602−9のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図36は、ILS11が−10.02から7.10に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS19であり−0.142の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は−0.1の閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
換言すると、最適化によってILS11及びILSminが改善された。
[0051] 図37は、最適化のために選択したILS19を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M40M41のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M39M40、M40M50、M30M40のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図11は、フラグメント602−40及び602−41のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図37は、ILS19が−0.142から8.80に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS66であり0.811の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
換言すると、最適化によってILS19が改善され、更にILSminが改善された。
[0052] また、図37は、代替的なブランチM39M40、M40M50、及びM30M40を採用することから得られるはずのILS値の改善も示す。
[0053] 図38は、最適化のために選択したILS66を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M45M50のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M19M20、M45M47、及びM20M21のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図12は、フラグメント602−45及び602−50のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図38は、ILS66が0.811から6.988に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS19であり−1.746の値を有することを示す。しかしながら、ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えない(図1の1150)。すなわち以下であることが判定される。
換言すると、最適化によってILS66が改善されたが、ILSminを著しく低下させた。従って、M45M50ブランチを終了させる(図1の1160)。例えばM19M20、M45M47、及びM20M21のような更に別の最適化ブランチが存在するので、収束は発生していないことが判定される(図1の1165)。従って、次に大きい和すなわちM19M20が選択される。
[0054] 図13は、フラグメント602−19及び602−20のカラー割り当てを変更した(ならびにフラグメント602−45及び602−50のカラー割り当てが完了していない)後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図39は、ILS66が0.811から6.470に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS44であり0.863の値を有することを示す。しかしながら、ILSminのスケーリングした変化は閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
換言すると、最適化によってILS66及びILSminが改善された。
[0055] 図40は、最適化のために選択したILS44を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M4M5のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M3M4、M27M30、及びM1M4のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図14は、フラグメント602−4及び602−5のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図40は、ILS44が0.863から6.733に改善し、再び計算したILSminがILS35であり1.415の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
換言すると、最適化によってILS44及びILSminが改善された。
[0056] 図41は、最適化のために選択したILS35を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M17M18のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M18M50、M18M21、M1M18のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図15は、フラグメント602−17及び602−18のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図41は、ILS35が1.415から15.923に改善し、再び計算したILSminがILS60であり2.172の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
換言すると、最適化によってILS35が改善され、更にILSminが改善された。図42は、最適化のために選択したILS60を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M49M50のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M43M44、M47M49、M42M44のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。
[0057] 図16は、フラグメント602−49及び602−50のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図42は、ILS60が2.172から8.199に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS66であり−1.863の値を有することを示す。しかしながら、ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えない(図1の1150)。すなわち以下であることが判定される。
換言すると、最適化によってILS60が改善されたが、ILSminが著しく低下した。従って、M49M50ブランチを終了させる(図1の1160)。更に、閾値を超えないために、代替的なブランチM47M49及びM42M44も終了させることに留意すべきである。しかしながら、更に別の最適化ブランチすなわちM43M44が存在し、収束は発生していないことが判定される(図1の1165)。従って、図43に示すように、次に大きい和すなわちM43M44が選択される。
[0058] 図17は、フラグメント602−43及び602−44のカラー割り当てを変更した(ならびにフラグメント602−49及び602−50のカラー割り当てが完了していない)後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図43は、ILS60が2.172から7.526に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS32であり2.267の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超える(図1の1150)。すなわち以下のとおりである。
換言すると、最適化によってILS60及びILSminが改善した。
[0059] 図44は、最適化のために選択したILS32を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M21M22のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M21M23のヘッシアンの和、M21の勾配の和、及びM7M21のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図18は、フラグメント602−21及び602−22のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図44は、ILS32が2.267から14.633に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS30であり2.415の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。換言すると、最適化によってILS32及びILSminが改善された。
[0060] 図45は、最適化のために選択したILS30を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M23の勾配の和を最大の和と判定し、M17M23、M23M42、及びM1M23のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図19は、フラグメント602−23のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図45は、ILS30が2.415から19.405に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS4であり2.744の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。換言すると、最適化によってILS30及びILSminが改善された。
[0061] 図46は、最適化のために選択したILS4を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M1M3のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M2M3、M3M6、及びM3M8のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図20は、フラグメント602−1及び602−3のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図46は、ILS4が2.744から15.923に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS60であり−3.8616の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えないことが判定される。換言すると、最適化によってILS4が改善されたが、ILS60は−3.8616に低減した。従って、
であるので、ブランチM1M3を終了する(図1の1160)。しかしながら、例えばM2M3、M3M6、及びM3M8のような更に別の最適化ブランチが存在するので、収束は発生していないことが判定される(図1の1165)。従って、図47に示すように、次に大きい和すなわちM2M3が選択される。図21は、フラグメント602−2のカラー割り当てを変更した(ならびにフラグメント602−1のカラー割り当てが完了していない)後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図47は、ILS4が2.744から10.667に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS57であり2.981の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超える(図1の1150)。換言すると、最適化によってILS4及びILSminが改善された。
[0062] 図48は、最適化のために選択したILS57を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M1M42のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M42の勾配の和、M17M42及びM42M50のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図22は、フラグメント602−1及び602−42のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図48は、ILS57が2.981から19.403に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS50であり2.937の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。換言すると、最適化によってILS57及びILSminが改善された。
[0063] 図49は、最適化のために選択したILS50を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M30M31のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M36M37、M30M33、及びM36M38のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。例示のために、ブランチM30M33及びM36M38は(図1の1150)において必要なように閾値を超えないことがわかる。従って、ブランチM30M33及びM36M38はそれらを採用した場合は終了する。更に、簡単にわかるように、ブランチM36M37は迅速に解を生じるが、ブランチM30M31は評価しなければならないいくつかの代替的なブランチを有する。従って、例示のために、ブランチM30M31の前にブランチM36M37を説明する。
[0064] ブランチM36M37に関して、図23は、フラグメント602−36及び602−37のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図49は、ILS50が2.937から7.130に改善したこと、及び、再び計算したILSminがILS54であり2.738の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。換言すると、最適化によってILS50及びILSminが改善された。
[0065] 図50は、最適化のために選択したILS54を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M38M39のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M39の勾配の和、ならびにM1M39及びM17M39のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。例示のために、ブランチM39、M1M39、及びM17M39は(図1の1150)において必要なように閾値を超えないことがわかる。従って、ブランチM39、M1M39、及びM17M39は、それらを採用した場合は終了する。
[0066] 図24は、フラグメント602−38及び602−39のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図50は、再び計算したILSminがILS11であり3.266の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される(図1の1150)。
[0067] 図51は、最適化のために選択したILS11を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M6M7のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M1M7及びM7M17、ならびにM7の勾配の和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。ブランチM1M7、M7M17、及びM7は、(図1の1150)において必要なように閾値を超えないことがわかる。図25は、フラグメント602−6及び602−7のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILS11は3.266から11.534に改善した。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図51は、再び計算したILSminがILS27であり11.534の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される(図1の1150)。図26はこの繰り返しの後のILS値を示す。
[0068] 図52は、最適化のために選択したILS27を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M1M17のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M17の勾配の和、M17M30のヘッシアンの和、及びM1の勾配の和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図27は、フラグメント602−1及び602−17のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。しかしながら、ブランチすなわちM1M17、M17、M17M130、又はM1のどれも、閾値を超えるILSminを生じない(図1の1150)。従って、M36M37ブランチの最適化(図49を参照)は、M6M7のカラー割り当ての変化の後に停止し、ILSminの少なくともローカルな最大値である解を生じる。図28は、この繰り返しの後のILS値を示す。
[0069] 図53は、代替的なブランチM30M31の最適化を示す(図49を参照)。ブランチM36M37がILSminのグローバル最大値であるか否か、又は単にローカルな最大値であるかを判定するために、ブランチM30M31を採用する。図29は、フラグメント602−30及び602−31のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILS50は、2.937から8.616に改善した。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図54は、再び計算したILSminがILS11であり、2.943の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。
[0070] 図54は、最適化のために選択したILS11を示す(図1の1125)。この場合、M6M7のヘッシアンの和を最大の和と判定し、M7M30、M1M7、及びM7M29のヘッシアンの和を、それぞれ2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。例示のため、ブランチM7M30、M1M7、及びM7M29は(図1の1150)において必要なように閾値を超えないことがわかる。従って、ブランチM7M30、M1M7、及びM7M29は、それらを採用した場合は終了する。図30は、フラグメント6及び7のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILS11は2.943から10.416に改善している。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図54は、再び計算したILSminがILS54であり4.281の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される(図1の1150)。
[0071] 図55は、最適化のために選択したILS54を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M38M39、M33M39、M32M39、及びM1M39のヘッシアンの和を、それぞれ、1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。図31は、フラグメント38及び39のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。しかしながら、M38M39は閾値を超えず(図1の1150)、評価される他の3つのブランチすなわちM33M39、M32M39、及びM1M39を残すことが判定される(図1の1150)。
[0072] 図56は、最適化のために選択したILS54を示す(図1の1125)(ブランチM33M39の後)。図32は、(図31の602−38及び602−39でなく)フラグメント602−33及び602−39のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図56は、ILS54が4.281から11.396に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS53であり6.787の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。
[0073] 図57は、最適化のために選択したILS53を示す(図1の1125)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M37M38、M32M38、M34M38、及びM29M38のヘッシアンの和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M37M38、M32M38、M34M38、又はM29M38のどれも閾値を超えないことが判定される(図1の1150)。従って、M33M39ブランチの最適化は、M33M39のカラー割り当ての変更後に停止する。更に、ブランチM33M39の最適化によってILSminのローカル最大値が生じるが、ILSminのグローバル最大値は生じないことが判定される。なぜなら、ブランチM36M37が、11.534というもっと大きいILSminの解を生じたからである(図51及び図52を参照)。
[0074] 図58は、最適化のために選択したILS54を示す(図1の1125)(ブランチM32M39の後)。図33は、(図31の602−38及び602−39又は図32の602−33及び602−39でなく)フラグメント602−32及び602−39のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図58は、ILS54が4.281から11.349に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS50であり5.521の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。
[0075] 図59は、最適化のために選択したILS50を示す(図1の1125)(M32M39を参照)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M29M35、M1M33、M29M33、及びM17M33のヘッシアンの和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M29M35、M1M33、及びM29M33は、閾値を超えないことが判定される(図1の1150)。従って、最適化はM17M33によって進行する。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図59は、ILS50が5.521から8.825に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS49であり5.080の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。
[0076] 図59は、更に、最適化のために選択したILS49を示す(図1の1125)(M17M33を参照)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M34M35、M1M35、M35M50、及びM17M35のヘッシアンの和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M1M35、M35M50、及びM17M35は、閾値を超えない(図1の1150)。従って、最適化はM34M35によって進行する。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図59は、ILS49が5.080から18.242に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS53であり5.025の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。
[0077] 図59は、更に、最適化のために選択したILS53を示す(図1の1125)(M34M35を参照)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M37M38、M17M38、M28M38、及びM29M38のヘッシアンの和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M37M38、M17M38、M28M38、又はM29M38は、閾値を超えないことが判定される(図1の1150)。従って、M32M39ブランチの最適化(図58を参照)は、M34M35のカラー割り当ての変更後に停止する。更に、ブランチM32M39の最適化によってILSminのローカル最大値が生じるが、ILSminのグローバル最大値は生じないことが判定される。なぜなら、ブランチM36M37が、11.534というもっと大きいILSminの解を生じたからである(図51及び図52を参照)。
[0078] 図60は、最適化のために選択したILS54を示す(図1の1125)(ブランチM1M39の後)。図34は、(図31の602−38及び602−39、図32の602−32及び602−33、又は図33の602−32及び602−39でなく)フラグメント602−1及び602−39のカラー割り当てを変更した後のターゲットパターンを示す。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図60は、ILS54が4.281から10.912に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS50であり6.570の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。
[0079] 図61は、最適化のために選択したILS50を示す(図1の1125)(M1M39を参照)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M17M29、M17M33、及びM10M29のヘッシアンの和、ならびにM33の勾配の和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M17M29及びM10M29は、閾値を超えないことが判定される(図1の1150)。従って、最適化はM17M33及びM33によって進行する。
[0080] M17M33に関して、ILSminを再び算出する(図1の1145)。図61は、ILS50が6.570から9.563に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS53であり7.035の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。図61は、更に、最適化のために選択したILS53を示す(図1の1125)(M17M33を参照)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M37M38、M32M38、M34M38、及びM17M38のヘッシアンの和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M37M38、M32M38、M34M38、及びM17M38のどれも、閾値を超えない(図1の1150)。更に、ブランチM1M39の最適化(図60及び図61を参照)によって、ILSminのローカル最大値が生じるが、ILSminのグローバル最大値は生じないことが判定される。なぜなら、ブランチM36M37が、11.534というもっと大きいILSminの解を生じたからである(図51及び図52を参照)。
[0081] 従って、最適化はM33によって進行する。ILSminを再び算出する(図1の1145)。図61は、ILS50が6.570から9.339に改善したこと、及び、再び算出したILSminがILS53であり9.936の値を有することを示す。ILSminのスケーリングした変化は閾値を超えることが判定される。図61は、更に、最適化のために選択したILS53を示す(図1の1125)(M33を参照)。ILSi、勾配、及びヘッシアンを算出する(図1の1130)。勾配の和及びヘッシアンの和の最大値を求める(図1の1135)。この場合、M37M38、M17M38、及びM28M38、及びM29M38のヘッシアンの和を、それぞれ1番目、2番目、3番目、及び4番目に大きい和と判定する。しかしながら、M37M38、M17M38、及びM28M38、及びM29M38のどれも、閾値を超えないことが判定される(図1の1150)。従って、M1M39ブランチの最適化は、M33のカラー割り当ての変更後に停止する。更に、ブランチM1M39の最適化によって、ILSminのローカル最大値が生じるが、ILSminのグローバル最大値は生じないことが判定される。なぜなら、ブランチM36M37が、11.534というもっと大きいILSminの解を生じたからである(図51及び図52を参照)。最適化のために更に別のブランチが残っていないので、収束が生じ(図1の1165)、最適化は終了する(図1の1175)。従って、ILSminが11.534であるブランチM36M37の最適化プロセスがILSminのグローバル最大値を生じることが判定される。
[0082] 上記したように、本発明は、ターゲットパターンのフィーチャをフラグメントに分解するためのモデルベースのカラーリングプロセスを提供し、これらのフラグメントは、例えば多数のマスクを用いることによって別個に結像することができる。前述のプロセスの変形が可能である。例えば、フラグメントを3つ以上のカテゴリに割り当て、3回以上の露光を用いてターゲットパターンを結像することができる。また、本発明の技法は、暗視野マスクもしくは明視野マスクのいずれか、又はレベンソン型(alternating)位相シフトマスクと共に利用可能であることに留意すべきである。更に、本発明のモデルベースのカラーリングプロセスによって、ターゲットパターンの単一のフィーチャを、別個に結像可能である多数のフィーチャに自動的に分離/分割することができる。更に、本発明は、ASMLの先に開示した照明最適化技法又はASMLの照明及びソース最適化技法に関連付けて利用することができる。
[0083] 図62は、上述したカラーリングプロセスを実施することができるコンピュータシステム100を例示するブロック図である。コンピュータシステム100は、バス102又は情報を伝達するための他の通信メカニズムと、情報を処理するためのバス102に結合されたプロセッサ104とを含む。また、コンピュータシステム100は、情報及びプロセッサ104によって実行される命令を記憶するためのバス102に結合されたランダムアクセスメモリ(RAM)又は他の動的ストレージデバイス等のメインメモリ106も含む。また、メインメモリ106は、プロセッサ104によって実行される命令の実行中に一時変数又は他の中間情報を記憶するために用いることも可能である。コンピュータシステム100は、更に、プロセッサ104のための静的情報及び命令を記憶するためのバス102に結合されたリードオンリメモリ(ROM)108又は他の静的ストレージデバイスを含む。情報及び命令を記憶するために、磁気ディスク又は光ディスク等のストレージデバイス110が設けられ、バス102に結合される。
[0084] コンピュータシステム100は、情報をコンピュータユーザに表示するためにバス102を介して陰極線管(CRT)又はフラットパネル又はタッチパネルディスプレイ等のディスプレイ112に結合することができる。英数字キー及び他のキーを含む入力デバイス114は、プロセッサ104に情報及びコマンドの選択を伝達するためにバス102に結合される。別のタイプのユーザ入力デバイスは、プロセッサ104に方向情報及びコマンドの選択を伝達するため、ならびにディスプレイ112上のカーソルの動きを制御するためのマウス、トラックボール、又はカーソル方向キー等のカーソルコントロール116である。この入力デバイスは通常、2軸すなわち第一の軸(例えばx)及び第二の軸(例えばy)において2自由度を有し、これによってデバイスは平面内で位置を指定することができる。また、入力デバイスとして、タッチパネル(スクリーン)ディスプレイも使用可能である。
[0085] 本発明の一実施形態によれば、カラーリングプロセスは、メインメモリ106に収容された1つ又は複数の命令の1つ又は複数のシーケンスをプロセッサ104が実行したことに応答して、コンピュータシステム100によって実行することができる。かかる命令は、ストレージデバイス110等の他のコンピュータ可読媒体からメインメモリ106に読み込むことができる。メインメモリ106に収容された命令シーケンスの実行によって、プロセッサ104は本明細書に記載されたプロセスステップを実行する。また、マルチプロセッシング構成における1つ又は複数のプロセッサを用いて、メインメモリ106に収容された命令シーケンスを実行することも可能である。代替実施形態においては、ソフトウェア命令の代わりに又はソフトウェア命令と組合わせて、ハードワイヤード回路を用いて、本発明を実施することができる。従って、本発明の実施形態は、ハードウェア回路とソフトウェアのいずれの特定の組合わせにも限定されない。
[0086] 本発明において用いる場合、「コンピュータ可読媒体」という言葉は、実行のためにプロセッサ104に命令を提供することに関与する媒体を指す。かかる媒体は、限定ではないが、不揮発性媒体、揮発性媒体、及び伝送媒体を含む多数の形態を取ることができる。不揮発性媒体は、例えば、ストレージデバイス110等の光又は磁気ディスクを含む。揮発性媒体は、メインメモリ106等のダイナミックメモリを含む。伝送媒体は、バス102を含むワイヤを含む同軸ケーブル、銅線、及び光ケーブルを含む。また、伝送媒体は、無線周波数(RF)及び赤外線(IR)データ通信の間に発生するもののような、音波又は光波の形態を取ることができる。コンピュータ可読媒体の一般的な形態は、例えば、フロッピー(登録商標)ディスク、フレキシブルディスク、ハードディスク、磁気テープ、他のいずれかの磁気媒体、CD−ROM、DVD、他の光媒体、パンチカード、紙テープ、孔のパターンを有する他のいずれかの物理媒体、RAM、PROM、及びEPROM、FLASH−EPROM、他のいずれかのメモリチップ又はカートリッジ、以下に述べるような搬送波、又はコンピュータが読み取ることができる他の媒体を含む。
[0087] 実行のためにプロセッサ104に1つ又は複数の命令の1つ又は複数のシーケンスを搬送する際に、様々な形態のコンピュータ可読媒体を関与させることができる。例えば、命令は、最初にリモートコンピュータの磁気ディスク上に記録されている場合がある。リモートコンピュータは、命令をそのダイナミックメモリにロードし、モデムを用いて電話回線によって命令を送信することができる。コンピュータシステム100に対してローカルなモデムは、電話回線上でデータを受信し、赤外線送信器を用いてデータを赤外線信号に変換することができる。バス102に結合された赤外線検出器は、赤外線信号に搬送されたデータを受信し、このデータをバス102上に配することができる。バス102は、データをメインメモリ106に搬送し、そこからプロセッサ104が命令を取り出し実行する。メインメモリ106が受信した命令は、任意選択で、プロセッサ104による実行前又は実行後に、ストレージデバイス110上に記憶することができる。
[0088] また、コンピュータシステム100は、好ましくは、バス102に結合された通信インターフェイス118を含む。通信インターフェイス118は、ローカルネットワーク122に接続されたネットワークリンク120に対する2方向データ通信結合を提供する。例えば、通信インターフェイス118を、統合サービスデジタル通信網(ISDN)カード又はモデムとして、対応するタイプの電話回線に対するデータ通信接続を提供することができる。別の例として、通信インターフェイス118を、ローカルエリアネットワーク(LAN)カードとして、コンパチブルLANに対するデータ通信接続を提供することができる。また、ワイヤレスリンクを実施することも可能である。かかるいずれかの実施において、通信インターフェイス118は、様々なタイプの情報を表すデジタルデータストリームを搬送する電気、電磁、又は光信号を送受信する。
[0089] ネットワークリンク120は、通常、他のデータデバイスに対する1つ又は複数のネットワークを介したデータ通信を提供する。例えば、ネットワークリンク120は、インターネットサービスプロバイダ(ISP)126が動作させるホストコンピュータ124又はデータ設備に対するローカルネットワーク122を介した接続を提供することができる。ISP126は、今は一般的に「インターネット」128と呼ぶ世界パケットデータ通信ネットワークを介したデータ通信サービスを提供する。ローカルネットワーク122及びインターネット128は双方とも、デジタルデータストリームを搬送する電気、電磁、又は光信号を用いる。様々なネットワークを介した信号ならびにネットワークリンク120上及び通信インターフェイス118を介した信号は、コンピュータシステム100との間でデジタルデータを搬送するものであり、情報を転送する搬送波の例示的な形態である。
[0090] コンピュータシステム100は、ネットワーク(複数のネットワーク)、ネットワークリンク120、及び通信インターフェイス118を介して、プログラムコードを含めて、メッセージを送信しデータを受信することができる。インターネットの例では、サーバ130は、インターネット128、ISP126、ローカルネットワーク122、及び通信インターフェイス118を介して、アプリケーションプログラムのための要求されたコードを送信することができる。本発明によれば、1つのこのようなダウンロードされたアプリケーションは、例えば実施形態の照明最適化に備える。受信コードは、それが受信されたときにプロセッサ104によって実行されるか、及び/又は後の実行のためにストレージデバイス110又は他の不揮発性ストレージに記憶されることができる。このように、コンピュータシステム100は、搬送波の形態でアプリケーションコードを取得することができる。
[0091] 図63は、本発明を利用して設計されたマスクと共に用いるのに適したリソグラフィ投影装置を概略的に示す。この装置は、
− 放射の投影ビームPBを供給するための放射システムEx、IL(この特定の場合、放射システムは放射源LAも含む)と、
− マスクMA(例えばレチクル)を支持するマスクホルダを備え、アイテムPLに対してマスクを正確に位置決めするための第一位置決め手段に接続された第一の物体テーブル(マスクテーブル)MTと、
− 基板W(例えばレジストで被覆されたシリコンウェーハ)を支持する基板ホルダを備え、アイテムPLに対して基板を正確に位置決めするための第二位置決め手段に接続された第二の物体テーブル(基板テーブル)WTと、
− マスクMAの照射部分を基板Wのターゲット部分C(例えば1つ又は複数のダイを含む)上に結像する投影システム(「レンズ」)PL(例えば屈折、反射、又は反射屈折光学システム)と、を含む。
[0092] 本明細書において示したように、この装置は例えば反射型のものである(反射性マスクを有する)。しかしながら、一般に、透過型とする(すなわち透過性マスクを有する)ことも可能である。あるいは、この装置は、マスクの使用の代案として別の種類のパターニング手段を用いることができる。この例には、プログラマブルミラーアレイ又はLCDマトリクスが含まれる。
[0093] 放射源LA(例えば水銀ランプ又はエキシマレーザ)が、放射ビームを生成する。このビームは、直接又は例えばビームエキスバンダEx等の調節手段を通過した後のいずれかに、照明システム(イルミネータ)ILに供給される。イルミネータILは、ビームにおける強度分布の外側及び/又は内側半径範囲(一般にそれぞれ、σ-outer及びσ-innerと呼ばれる)を設定するための調節手段AMを含むことができる。また、イルミネータILは、インテグレータIN及びコンデンサCO等の他の種々のコンポーネントを備えていても良い。このように、マスクMAに当たるビームPBは、その断面において所望の均一性及び強度分布を有する。
[0094] 図63に関連して、放射源LAは、リソグラフィ投影装置の筐体内に配することができる(例えば放射源LAが水銀ランプである場合に多い)が、放射源LAがリソグラフィ投影装置からは遠くにあり、放射源LAが生成する放射ビームを装置内に導くことも可能である(例えば適切な方向付けミラーを用いて)ことに留意すべきである。この後者の状況は、放射源LAが(例えばKrF、ArF、又はF2レージングに基づいた)エキシマレーザである場合に多い。本発明は、これらの状況の双方を包含する。
[0095] この後、ビームPBは、テーブルMTに保持されたマスクMAを横切る。マスクMAを横切った後、ビームPBはレンズPLを通過する。レンズPLは、ビームPBを基板Wのターゲット部分C上に合焦する。第二位置決め手段(及び干渉測定手段IF)を利用して、例えばビームPBの経路内に異なるターゲット部分Cを位置決めするように、基板テーブルWTを正確に移動させることができる。同様に、第一位置決め手段を用いて、例えばマスクライブラリからマスクMAを機械的に検索した後、又はスキャン中に、ビームPBの経路に対してマスクMAを正確に位置決めすることができる。一般に、物体テーブルMT、WTの移動は、ロングストロークモジュールモジュール(粗動位置決め)及びショートストロークモジュール(微動位置決め)を用いて実現されるが、これらは図63には明示的に示していない。しかしながら、(ステップアンドスキャンツールとは対照的に)ウェーハステッパの場合は、マスクテーブルMTを単にショートストロークアクチュエータに接続するか、又は固定することができる。
[0096] 記載したツールは、2つの異なるモードにおいて用いることができる。
− ステップモードにおいては、マスクテーブルMTは、基本的に静止状態に維持される一方、マスク像全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一の「フラッシュ」)。次に、異なるターゲット部分CをビームPBによって照射できるように、基板テーブルWTがx方向及び/又はy方向に移動される。
− スキャンモードにおいては、基本的に同じ状況が当てはまるが、異なる点は、所与のターゲット部分Cを単一の「フラッシュ」で露光しないことである。代わりに、マスクテーブルMTは、速度vで所与の方向(いわゆる「スキャン方向」、例えばy方向)に移動可能であるので、マスク像の上を投影ビームPBにスキャンさせる。同時に、基板テーブルWは、速度V=Mvで同一又は逆の方向に移動される。ここでMはレンズPLの倍率である(典型的に、M=1/4又は1/5)。このように、解像度について妥協する必要なく、比較的大きいターゲット部分Cを露光することができる。
[0097] 本発明について、その好適な実施形態を参照して具体的に記載したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、その形態及び詳細において変更及び変形が可能であることは、当業者には容易に認められよう。特許請求の範囲は、かかる変更及び変形を包含することが意図される。
本発明は、以下の項によって特徴付けられる。
1.基板上に結像されるフィーチャを含むターゲットパターンを複数の露光パターンに分解する方法であって、
ターゲットパターンをフラグメントに分割すること、
フラグメントを露光パターンに割り当てること、
フラグメントに評価点を割り当てること、
評価点の値を最大化するステップであって、
評価点における値を算出すること、
評価点の最小値を求めること、
フラグメントを異なる露光パターンに割り当てた結果としての値の変化を算出すること、
値の最大の変化を決定すること、
最大の変化に関連したフラグメントを異なる露光パターンに割り当てること、
を含む該最大化すること、
を含む、方法。
2.最大の変化に関連した2つ以上のフラグメントを異なる露光パターンに割り当てることを更に含む、1項記載の方法。
3.フラグメント間のクリティカルリンクを求めることを更に含み、値の変化を算出することが、クリティカルリンクに関連して勾配値を合計すること及びヘッシアン値を合計することを含む、1項記載の方法。
4.値の変化を算出することが、勾配値を算出すること及びヘッシアン値を算出することを含み、値の最大の変化を決定することが、合計した勾配値及び合計したヘッシアン値の最大値を決定することを含む、1項記載の方法。
5.合計したヘッシアン値の最大値に基づいて異なる露光パターンに2つのフラグメントを割り当てることを更に含む、4項記載の方法。
6.最小値がグローバル最大値に収束するまで、値を最大化することを繰り返す、1項記載の方法。
7.最小値を再び算出すること、
再び算出した最小値及び最小値の関数が閾値を超えるか否かを判定すること、
を更に含む、1項記載の方法。
8.値の、次に大きい最大の変化を決定することを更に含む、4項記載の方法。
9.複数の露光パターンが、多重露光プロセスにおいて基板上にフィーチャを結像するように構成された少なくとも2つの露光パターンを含む、1項記載の方法。
10.分解がモデルベースの分解を用いて実行される、1項記載の方法。
11.フラグメントが実質的に同一のサイズである、1項記載の方法。
12.評価点の値がILS値である、1項記載の方法。
13.基板上に結像されるフィーチャを含むターゲットパターンを複数の露光パターンに分解するように構成されたコンピュータ実行可能命令を記憶するコンピュータ可読記憶媒体であって、コンピュータによって実行されると、
ターゲットパターンをフラグメントに分割すること、
フラグメントを露光パターンに割り当てること、
フラグメントに評価点を割り当てること、
評価点の値を最大化するステップであって、
評価点における値を算出すること、
評価点の最小値を求めること、
フラグメントを異なる露光パターンに割り当てた結果としての値の変化を算出すること、
値の最大の変化を決定すること、
最大の変化に関連したフラグメントを異なる露光パターンに割り当てること、
を含む該最大化すること、
を含む動作を実行する、コンピュータ可読媒体。
14.最大の変化に関連した2つ以上のフラグメントを異なる露光パターンに割り当てることを更に含む、13項記載の方法。
15.フラグメント間のクリティカルリンクを求めることを更に含み、値の変化を算出することが、クリティカルリンクに関連して勾配値を合計すること及びヘッシアン値を合計することを含む、13項記載の方法。
16.値の変化を算出することが、勾配値を算出すること及びヘッシアン値を算出することを含み、値の最大の変化を決定することが、合計した勾配値及び合計したヘッシアン値の最大値を決定することを含む、13項記載の方法。
17.合計したヘッシアン値の最大値に基づいて異なる露光パターンに2つのフラグメントを割り当てることを更に含む、16項記載の方法。
18.最小値がグローバル最大値に収束するまで、値の最大化を繰り返す、13項記載の方法。
19.最小値を再び算出すること、
再び算出した最小値及び最小値の関数が閾値を超えるか否かを判定すること、
を更に含む、13項記載の方法。
20.値の、次に大きい最大の変化を決定することを更に含む、16項記載の方法。
21.複数の露光パターンが、多重露光プロセスにおいて基板上にフィーチャを結像するように構成された少なくとも2つの露光パターンを含む、13項記載の方法。
22.分解がモデルベースの分解を用いて実行される、13項記載の方法。
23.フラグメントが実質的に同一のサイズである、13項記載の方法。
24.評価点の値がILS値である、13項記載の方法。
25.デバイス製造方法であって、
放射感応性材料層によって少なくとも部分的に被覆された基板を用意すること、
放射ビームをパターニングすること、
放射感応性材料層上にパターニングした放射ビームを投影すること、
を含み、
放射ビームのパターニングが複数の露光パターンを用いて実行され、
露光パターンが、
ターゲットパターンをフラグメントに分割し、
フラグメントを露光パターンに割り当て、
フラグメントに評価点を割り当て、
評価点の値を最大化することであって、
評価点における値を算出すること、
評価点の最小値を求めること、
フラグメントを異なる露光パターンに割り当てた結果としての値の変化を算出すること、
値の最大の変化を決定すること、
最大の変化に関連したフラグメントを異なる露光パターンに割り当てることを含む該最大化によって形成される、方法。
(関連技術の相互参照)
[0001] 本出願は、その内容全体を本明細書に参照により組み込むものとする2008年11月11日出願の米国特許出願第61/113,319号に対する優先権を主張する。また、本出願は、2009年7月24日に出願された米国特許出願第12/509,389号及び2008年7月20日に出願された米国特許出願第61/129,890号の一部継続出願であり、それらの優先権を主張する。