JP2014050249A5 - - Google Patents

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本発明を説明する前の前提的基礎技術として、ヒンジ機構を備えた静電型変換装置を示す平面図である。 図１におけるヒンジの構造を示す説明図である。 図１におけるヒンジの回動状態を示す説明図である。 本発明を説明する前の前提的基礎技術として、図１とは異なるヒンジ機構を備えた静電型変換装置を示す平面図である。 図４におけるヒンジの構造を示す説明図である。 図４におけるヒンジの回動状態を示す説明図である。 本発明に係る実施の形態１として構成した静電誘導型変換装置を示す平面図である。 図７に示した静電誘導型変換装置の駆動点行列によって導かれる電気等価回路を示す図である。 図７に示した静電誘導型変換装置のＳＰＩＣＥ等価回路を示す図である。 ＳＰＩＣＥ等価回路を用いたシミュレーションの結果を示す図である。 実施の形態１により構成したＺ方向振動型櫛歯静電トランスを示す図である。 実施の形態１により構成したＹ方向振動型櫛歯静電トランスを示す図である。 本発明に係る実施の形態２として構成したＤＣ−ＤＣコンバータを示す回路図である。 図１３の回路図をより詳細に示した回路図である。 ＤＣ−ＤＣコンバータに含まれる自励発振回路の動作原理を示した回路図である。 可動部材の中間部にヒンジを設けた変形例１を示す図である。 可動部材の中間部にヒンジを設けた変形例２を示す図である。
図１２は、Ｙ軸方向に櫛歯が回動するＹ方向振動型櫛歯静電トランスを示す図である。基本的な動作原理は、図１１のＺ方向振動型櫛歯静電トランスと同じであるので、説明は省略する。
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